CN105452741A - 隔膜阀 - Google Patents

隔膜阀 Download PDF

Info

Publication number
CN105452741A
CN105452741A CN201480034016.2A CN201480034016A CN105452741A CN 105452741 A CN105452741 A CN 105452741A CN 201480034016 A CN201480034016 A CN 201480034016A CN 105452741 A CN105452741 A CN 105452741A
Authority
CN
China
Prior art keywords
valve seat
medial extrusion
valve
height
protruding outside
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201480034016.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105452741B (zh
Inventor
石桥圭介
北野太一
谷川毅
山路道雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikin Inc
Original Assignee
Fujikin Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujikin Inc filed Critical Fujikin Inc
Publication of CN105452741A publication Critical patent/CN105452741A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105452741B publication Critical patent/CN105452741B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
    • F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
    • F16K7/17—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being actuated by fluid pressure

Abstract

提供一种隔膜阀，通过进行适当的铆固，从而使耐老化性提高。在阀体(2)的凹部(2c)的底面(2d)设置有环状且直径相对小的内侧突出部(22)和环状且直径相对大的外侧突出部(23)。阀座(5)设为合成树脂制，且插入内侧突出部(22)与外侧突出部(23)之间。两个突出部(22、23)被铆固，从而防止阀座(5)的脱落。内侧突出部(22)的高度比外侧突出部(23)的高度低，并且内侧突出部(22)的外侧的角(22a)为曲面。

Description

隔膜阀
技术领域
本发明涉及隔膜阀。
背景技术
作为阀体使用隔膜的隔膜阀从以往就广为人知。在图3以及图4中示出了以往的隔膜阀。
在图3中，隔膜阀1具有：具有流体流入通路2a、流体流出通路2b以及朝向上方开口的凹部2c的块状阀体2；下端部与阀体2的凹部2c上部螺合且向上方延伸的圆筒状阀盖3；与阀盖3螺合的壳体4；设置于流体流入通路2a的周缘的环状的合成树脂制阀座5；按压于阀座5或从阀座分离而对流体流入通路2a进行开闭的隔膜6；按压隔膜6的中央部的隔膜按压件7；内置于阀盖3以及壳体4且经由隔膜按压件7而使隔膜6按压于阀座5或者从阀座分离的致动装置(省略图示)。
如对图4进行放大所示，在阀体2的凹部2c的底面2d设置有环状且直径相对小的内侧突出部12和环状且直径相对大的外侧突出部13，合成树脂制阀座5插入内侧突出部12与外侧突出部13之间。而且，内侧突出部12在径向外侧被铆固并且外侧突出部13在径向内侧被铆固，从而防止合成树脂制阀座5的脱落。
在专利文献1中，公开了通过内侧突出部被铆固从而防止阀座的脱落。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特表2002-513457号公报
发明内容
在上述以往的隔膜阀中，进行适当的铆固对阀座的耐老化性的提高是有效的，但在专利文献1所记载的隔膜阀中，存在无法得到足够的耐老化性的问题。
本发明的目的是提供一种隔膜阀，通过进行适当的铆固从而使耐老化性提高。
基于本发明的隔膜阀，其特征在于，具有：设置有流体流入通路、流体流出通路以及向上开口的凹部的阀体、配置于阀体的凹部的底面的环状的阀座、通过按压于阀座或从阀座分离而进行流体通路的开闭的能够弹性变形的隔膜，在阀体的凹部的底面上设置有环状且直径相对小的内侧突出部和环状且直径相对大的外侧突出部，阀座为合成树脂制，且插入内侧突出部与外侧突出部之间，两个突出部被铆固，从而防止阀座的脱落，上述隔膜阀的特征在于，内侧突出部的高度比外侧突出部的高度低，并且内侧突出部的外侧的角为曲面。
阀座为例如PCTFE(聚三氟氯乙烯)制，但也可以为除其以外的合成树脂制。阀体的材质为例如316L等的钢制，但无特别限定。
各突出部的铆固(塑性变形)通过适当的铆固夹具实施。与内侧突出部的高度比外侧突出部(以往的内侧突出部)的高度低相应地，内侧突出部的铆固夹具优选为与以往不同的形状。
除了阀座、内侧突出部以及外侧突出部以外的隔膜阀的构成为适当的公知的构成。例如，使隔膜按压于阀座或从阀座分离的致动装置既可以为使用压缩空气的构成，也可以为其它的构成。另外，隔膜为例如由镍合金薄板构成的部件，但也存在由不锈钢薄板构成，或者由不锈钢薄板与镍钴合金薄板的层叠体构成的部件。
外侧突出部的高度以不与隔膜发生干涉的方式比阀座的高度低。内侧突出部的高度通常与外侧突出部的高度相等，但根据本发明的隔膜阀，内侧突出部的高度比外侧突出部的高度低。(外侧突出部的高度-内侧突出部的高度)优选为0.5mm以上。
内侧突出部的高度设为比外侧突出部的高度低，并且内侧突出部的外侧的角为曲面，从而能够缓和由内侧突出的角导致的应力对阀座的集中，能够进行适当的铆固，实现合成树脂制阀座的耐老化性的大幅度的提高。
耐老化性提高的优选条件设为0.4mm≦内侧突出部的高度≦1.0mm。耐老化性提高的更优选的条件设为0.5mm≦内侧突出部的高度≦0.7mm。以往的隔膜阀中的内侧突出部的高度为1.5mm左右，以此为基准，当模拟阀座的形变量时，通过将内侧突出部的高度设为1mm，从而能够减少31％左右的形变量。另外，将内侧突出部的高度设为0.4mm，从而能够减少63％左右的形变量。为了减少50％以上的形变量，优选将内侧突出部的高度设为0.7mm以下。当使内侧突出部的高度过低时，存在阀座脱落的可能性，使内侧突出部的高度优选为0.4mm以上，进一步优选为0.5mm以上，从而能够可靠地防止阀座的脱落。
发明效果
根据本发明的隔膜阀，使内侧突出部的高度比外侧突出部的高度低，并且使内侧突出部的外侧的角为曲面，从而缓和由内侧突出的角导致的应力对阀座的集中，并能够进行适当的铆固，实现合成树脂制阀座的耐老化性的大幅度的提高。
附图说明
图1是表示基于本发明的隔膜阀的第一实施方式的放大纵剖视图。
图2是表示基于本发明的隔膜阀的第二实施方式的放大纵剖视图。
图3是表示以往的隔膜阀的纵剖视图。
图4是图3的主要部分的放大纵剖视图。
附图标记说明
2阀体
2a流体流入通路
2b流体流出通路
2c凹部
2d底面
5阀座
6隔膜
21、31隔膜阀
22、32内侧突出部
22a、32a外侧的角
23、33外侧突出部
具体实施方式
以下参照附图说明本发明的实施方式。另外，在以下的说明中，由于隔膜阀的整体图除了阀座的保持部分以外与图3相同，所以省略图示，仅图示说明与示出以往的阀座的保持部分的图4对应的阀座的保持部分。
图1示出基于本发明的隔膜阀的第一实施方式的主要部分。在该隔膜阀21中，在阀体2的凹部2c的底面2d设置有环状且直径相对小的内侧突出部22和环状且直径相对大的外侧突出部23，阀座5为合成树脂制，插入内侧突出部22与外侧突出部23之间，通过对两个突出部22、23铆固，防止阀座5的脱落。
阀座5为PCTFE(聚三氟氯乙烯)制。阀体2的材质为不锈钢(例如由316L构成的钢制)。
阀座5与以往相同，为截面大致方形的环状体。更详细的是，内周面5a为圆筒面，外周面设为下侧为圆筒面5b，上侧为锥面5c。
内侧突出部22的高度以及外侧突出部23的高度以不与隔膜(参照图3的6)发生干涉的方式，均比阀座5的高度低。另外，内侧突出部22的高度通常与外侧突出部23的高度相等，但根据本实施方式的隔膜阀21，为内侧突出部22的高度比外侧突出部23的高度低。外侧突出部23的高度(上端位置)为，与阀座5的外周面的圆筒面5b与锥面5c之间的边界相比位于上侧。内侧突出部22的外侧的角22a为曲面。
作为本实施方式的具体的尺寸，内侧突出部22的上端位置位于距凹部2c的底面2d处1.0mm的位置，内侧突出部22的上端位置与阀座5的上端位置之间的距离为1.0mm。
在图4所示的以往的结构中，作为具体的尺寸，内侧突出部12的上端位置位于距凹部2c的底面2d处1.5mm的位置，内侧突出部12的上端位置与阀座5的上端位置之间的距离为0.5mm。
图2示出基于本发明的隔膜阀的第二实施方式的主要部分。在该隔膜阀31中，在阀体2的凹部2c的底面2d设置有环状且直径相对小的内侧突出部32和环状且直径相对大的外侧突出部33，阀座5为合成树脂制，插入内侧突出部32与外侧突出部33之间，两个突出部32、33被铆固，从而防止阀座5的脱落。
在该第二实施方式的隔膜阀31中，与第一实施方式的隔膜阀21相比，内侧突出部32的上端位置更低。外侧突出部33与第一实施方式的隔膜阀21相同、内侧突出部32的外侧的角32a为曲面。
作为本实施方式的具体的尺寸，内侧突出部32的上端位置位于距凹部2c的底面2d0.5mm的位置，内侧突出部32的上端位置与阀座5的上端位置之间的距离为1.5mm。
在表1中示出通过模拟求出改变了内侧突出部12、22、32的上端位置的情况下的阀座5的变形量(等效形变)的结果。内侧突出部12、22、32的上端位置为距阀体2的凹部2c的底面2d的距离。
[表1]
内侧突出部的上端位置 等效形变3 -->
1.5(以往) 0.613
1 0.421
0.4 0.229
根据该表，得知相对于现有的形状(内侧突出部12的高度1.5mm)，如第一实施方式那样，将内侧突出部22的高度设为1.0mm，从而等效形变成为0.421/0.613＝0.69，减少了31％，将内侧铆固部的高度设为0.4mm(比第二实施方式的内侧突出部32进一步低0.1mm)，从而等效形变为0.229/0.613＝0.37，减少了63％。
即，由于设为使内侧突出部22、32的高度比外侧突出部23、33的高度低，从而能够进行适当的铆固，实现了合成树脂制阀座5的耐老化性的大幅度提高。
而且，由于内侧突出部22、32的外侧的角22a、32a为曲面，从而能够成为对耐老化性更有利的铆固，实现合成树脂制阀座5的耐老化性的进一步提高。关于曲面的形状，能够为从倒角程度的小曲面到内侧突出部前端为半圆形那样的曲面的各种形状。
考虑到可靠地防止阀座5的脱落，耐老化性提高的优选条件设为0.4mm≦内侧突出部22、32的高度(距凹部2c的底面2d的距离)≦1.0mm。耐老化性提高的更优选的条件设为0.5mm≦内侧突出部22、32的高度≦0.7mm。
该条件能够适用于即使阀座5为除了PCTFE(聚三氟氯乙烯)制以外的合成树脂制，以及即使阀体2的材质为由316L构成的钢制以外的材质制。
工业实用性
在隔膜阀中，以提高隔膜的耐老化性为课题，根据本发明，不使隔膜本身变更，就能够提高隔膜的耐老化性。由此，能够有助于隔膜阀的性能提高。

Claims (2)

1.一种隔膜阀，具有：设置有流体流入通路、流体流出通路以及向上开口的凹部的阀体、配置于阀体的凹部的底面的环状的阀座、通过按压于阀座或从阀座分离而进行流体通路的开闭的能够弹性变形的隔膜，在阀体的凹部的底面设置有环状且直径相对小的内侧突出部和环状且直径相对大的外侧突出部，阀座为合成树脂制，且插入内侧突出部与外侧突出部之间，两个突出部被铆固，从而防止阀座的脱落，所述隔膜阀的特征在于，
内侧突出部的高度比外侧突出部的高度低，并且内侧突出部的外侧的角为曲面。
2.根据权利要求1所述的隔膜阀，其特征在于，
0.4mm≦内侧突出部的高度≦1.0mm。
CN201480034016.2A 2013-07-18 2014-07-04 隔膜阀 Active CN105452741B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013149254A JP6218470B2 (ja) 2013-07-18 2013-07-18 ダイヤフラム弁
JP2013-149254 2013-07-18
PCT/JP2014/067870 WO2015008633A1 (ja) 2013-07-18 2014-07-04 ダイヤフラム弁

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105452741A true CN105452741A (zh) 2016-03-30
CN105452741B CN105452741B (zh) 2018-04-27

Family

ID=52346102

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201480034016.2A Active CN105452741B (zh) 2013-07-18 2014-07-04 隔膜阀

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9976658B2 (zh)
JP (1) JP6218470B2 (zh)
KR (1) KR101809810B1 (zh)
CN (1) CN105452741B (zh)
TW (1) TWI611130B (zh)
WO (1) WO2015008633A1 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6654020B2 (ja) * 2015-11-13 2020-02-26 株式会社フジキン ダイヤフラムバルブおよびその製造方法
US11047490B2 (en) * 2016-08-25 2021-06-29 Kitz Sct Corporation Diaphragm valve and flow rate control device for semiconductor manufacturing apparatus
JP7237370B2 (ja) 2018-07-31 2023-03-13 株式会社フジキン バルブ装置
KR102307625B1 (ko) * 2020-05-08 2021-10-01 주식회사 유니락 로킹 밸브

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5215286A (en) * 1992-05-26 1993-06-01 Nupro Company High pressure diaphragm valve
JPH08210454A (ja) * 1995-02-01 1996-08-20 Honda Motor Co Ltd 無段変速機用プーリにおけるアクチュエータケースのかしめ構造
US6092550A (en) * 1997-02-03 2000-07-25 Swagelok Marketing Co. Diaphragm valve seat arrangement
US20040094740A1 (en) * 2000-11-16 2004-05-20 Shigeru Itoi Metal diaphragm valve
CN1833132A (zh) * 2003-04-14 2006-09-13 斯瓦戈洛克公司 隔膜阀阀座
CN101349355A (zh) * 2007-07-20 2009-01-21 喜开理株式会社 流体控制阀
US7988130B2 (en) * 2003-02-13 2011-08-02 Fujikin Incorporated Valve for vacuum exhaustion system
US20120097881A1 (en) * 2010-10-25 2012-04-26 Ckd Corporation Valve seat structure of fluid control valve

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0234527Y2 (zh) 1986-07-07 1990-09-17
JPH0448470U (zh) 1990-08-29 1992-04-24
JP3343313B2 (ja) 1995-06-30 2002-11-11 株式会社フジキン ダイヤフラム弁
TWM276133U (en) * 2004-12-07 2005-09-21 Metal Ind Res & Dev Ct Pushing block applied in the valve
US8172197B2 (en) * 2006-07-06 2012-05-08 Mks Instruments, Inc. Fast-acting pneumatic diaphragm valve
JP5905456B2 (ja) * 2010-06-22 2016-04-20 スウエイジロク・カンパニー 溶接されたダイヤフラムのための締付リング

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5215286A (en) * 1992-05-26 1993-06-01 Nupro Company High pressure diaphragm valve
JPH08210454A (ja) * 1995-02-01 1996-08-20 Honda Motor Co Ltd 無段変速機用プーリにおけるアクチュエータケースのかしめ構造
US6092550A (en) * 1997-02-03 2000-07-25 Swagelok Marketing Co. Diaphragm valve seat arrangement
JP2008304067A (ja) * 1997-02-03 2008-12-18 Swagelok Co ダイヤフラム弁の弁座装置
US20040094740A1 (en) * 2000-11-16 2004-05-20 Shigeru Itoi Metal diaphragm valve
US7988130B2 (en) * 2003-02-13 2011-08-02 Fujikin Incorporated Valve for vacuum exhaustion system
CN1833132A (zh) * 2003-04-14 2006-09-13 斯瓦戈洛克公司 隔膜阀阀座
US20070045587A1 (en) * 2003-04-14 2007-03-01 Terrence Kolenc Diaphragm valve seat
CN101349355A (zh) * 2007-07-20 2009-01-21 喜开理株式会社 流体控制阀
US20120097881A1 (en) * 2010-10-25 2012-04-26 Ckd Corporation Valve seat structure of fluid control valve
CN102454808A (zh) * 2010-10-25 2012-05-16 喜开理株式会社 流体控制阀的阀座结构

Also Published As

Publication number Publication date
TW201516299A (zh) 2015-05-01
KR101809810B1 (ko) 2017-12-15
TWI611130B (zh) 2018-01-11
US20160131269A1 (en) 2016-05-12
JP6218470B2 (ja) 2017-10-25
CN105452741B (zh) 2018-04-27
KR20160009060A (ko) 2016-01-25
JP2015021543A (ja) 2015-02-02
WO2015008633A1 (ja) 2015-01-22
US9976658B2 (en) 2018-05-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8291936B2 (en) Non-return valve, in particular for medical uses
CN105452741A (zh) 隔膜阀
US20150337868A1 (en) Hydraulic damper
CN105556185A (zh) 隔膜阀
CN103748392B (zh) 隔膜阀及隔膜阀用阀座保持器单元
US9175779B2 (en) Diaphragm valve
KR20160143832A (ko) 다이어프램 밸브, 유체 제어 장치, 반도체 제조 장치 및 반도체 제조 방법
US20090014077A1 (en) One piece double membrane diaphragm valve
CN202719205U (zh) 一种底阀
CN105697785A (zh) 对称型弹簧密封圈
US9404592B2 (en) Diaphragm valve
CN110573735B (zh) 环状阀以及环状阀用阀芯
US20200386191A1 (en) Check valve
CN107407430B (zh) 隔膜阀
CN201827465U (zh) 逆止阀
JP5912993B2 (ja) 燃料圧力制御弁
US20140264103A1 (en) Shaped Diaphragm with Retaining Feature
CN211820840U (zh) 一种防外漏耐腐蚀电磁阀
CN203330214U (zh) 减压阀用波纹膜片的成型工装
CN205145776U (zh) 一种滤芯的安全阀结构
CN205781039U (zh) 一种阀膜片
CN103557353A (zh) 止回片
JP2013221543A (ja) チェック弁
JP2013167311A (ja) 皿ばね

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant