CN105443802B - 具有改进的密封机构的三端口微型阀 - Google Patents

Abstract

一种具有改进的密封机构的三端口微型阀。微型阀包括第一板，该第一板具有内表面、设置在内表面内的凹入区域、设置在凹入区域内的常开流体端口和常闭流体端口。第一密封结构绕常开流体端口延伸，第二密封结构绕常闭流体端口延伸。第二板限定非可动部分和可动部分。非可动部分的表面抵靠第一板的内表面，非可动部分具有贯穿其中形成的开口。可动部分形成在开口内，具有轴线，并且限定了由形成在开口中的旋绕弹簧连接到非可动部分的可移动构件。可移动构件在开口内的第一位置与第二位置之间是滑动地并且轴向地可移动的。

Description

具有改进的密封机构的三端口微型阀

相关申请的交叉引用

本申请要求2014年8月14日提交的美国临时申请编号62/037,328的权益，其公开内容通过引用并入本文。

技术领域

本发明总体涉及用于控制流体通过流体回路的流动的微型阀。特别地，本发明涉及一种用于三端口板式微型阀的改进结构，其抵抗与该板式微型阀的可移动构件的自由运动的干扰，所述干扰否则可能由包含在流过其中的流体中的颗粒污染物的存在产生。

背景技术

一般而言，微机电系统是这样一种系统，它不仅包括电气部件和机械部件两者，而且又在实体上较小，其通常包括具有在十微米的范围内或更小的尺寸的特征。术语“微机械加工”通常被理解为涉及这样的微机电系统设备的三维结构和运动部件的生产。在过去，微机电系统中使用改良的集成电路(例如，计算机芯片)制造技术(诸如化学蚀刻)和材料(诸如硅半导体材料)，所述材料被微机械加工以提供这些非常小的电气和机械部件。然而，最近，其他的微机械加工技术和材料已变得可用。

如本文所使用的，术语“微机械加工设备”指的是包括具有的尺寸在微米的范围内或更小的特征的设备，并且由此至少部分地通过微机械加工形成。同样如本文所使用的，术语“微型阀”指的是包括具有的尺寸在微米的范围内或更小的特征的阀，并且由此至少部分地通过微机械加工形成。最后，术语“微型阀设备”指的是不仅包括微型阀并且还包括其他部件的微机械加工设备。应当注意的是，如果不是微型阀的部件包括在所述微型阀设备内，这些其他部件可以或者是微机械加工部件或者是标准尺寸(即更大)部件。类似地，微机械加工设备可既包括微机械加工部件又包括标准尺寸部件。

多种微型阀结构在本领域中已知用于控制流体通过流体回路的流动。一种公知的微型阀结构包括可移动构件，其支撑在设置于阀体中的封闭的内部空腔内，用于在关闭位置与打开位置之间的枢转运动、轴向运动或其他运动。当置于关闭位置时，所述可移动构件基本上堵塞了否则与第二流体端口流体连通的第一流体端口，从而防止流体在第一与第二流体端口之间的流动。当置于打开位置时，所述可移动构件基本没有堵塞第一流体端口与第二流体端口的流体连通，从而允许流体在第一与第二流体端口之间的流动。

在这种常规的微型阀结构中，封闭的内部腔体的厚度通常仅稍大于设置在其中的可移动构件的厚度。由此，相对较小的空间设置在可移动构件与微型阀的限定封闭内部腔体的相邻部分之间。当可移动构件被布置在关闭位置中时，这样做使得尽量减少穿过其中的不期望泄漏的量。然而，已经发现的是，当这种传统的微型阀结构用于控制含有固体颗粒(诸如可能包含在流体中的颗粒污染物)的流体流动时，这样的颗粒可能变得卡在可移动构件与微型阀的限定封闭内部腔体的相邻部分之间。在某些情况下，这样的颗粒堵塞能够不期望地干扰可移动构件在关闭与打开位置之间的自由运动。由此，所期望的是提供一种用于微型阀的改进结构，其能够抵抗与微型阀的可移动构件的自由运动的干扰，所述干扰否则可能由包含在流过其中的流体内的颗粒污染物的存在产生。

发明内容

本发明涉及一种用于微型阀的改进结构，其抵抗与微型阀的可移动构件的自由运动的干扰，所述干扰否则可能由包含在流过其中的流体内的颗粒污染物的存在产生。所述微型阀包括第一板，其具有内表面、设置在所述内表面内的凹入区域、设置在所述凹入区域内的常开流体端口和常闭流体端口。第一密封结构绕所述常开流体端口延伸，而第二密封结构绕所述常闭流体端口延伸。第二板限定非可动部分和可动部分。非可动部分的表面抵靠第一板的内表面，所述非可动部分具有贯穿其中形成的开口。所述可动部分形成在所述开口内，具有轴线，并且限定了由形成在开口中的旋绕弹簧连接到非可动部分的可移动构件。可移动构件在开口内的第一位置与第二位置之间是滑动地并且轴向地可移动的，在所述第一位置中，可移动构件与所述第二密封结构协作以防止通过常闭流体端口的流体连通，在所述第二位置中，可移动构件与所述第二密封结构的至少一部分不协作，以防止通过常闭流体端口的流体连通。

当考虑附图阅读时，本发明的其他优点从以下详细描述中对本领域技术人员将变得显而易见。

附图说明

图1是一种已知先导式三端口板式微型阀的分解透视图。

图2是图1所示的盖板的内表面的平面图。

图3是图1所示的微型阀的剖切正视图，其示出为组装好的。

图4是根据本发明的改进的先导式三端口板式微型阀的分解透视图。

图5是图4所示的基板的内表面的平面图。

图6是图4所示的中间板的第一表面的平面图，其示出了处于第一位置的中间板。

图7是图4和图6所示的中间板的第一表面的交替平面图，其示出了处于第二位置的中间板。

图8是图4所示的盖板的内表面的平面图。

图9是图4所示的微型阀的剖切正视图，其示出为组装好的并示出了处于第一位置的中间板。

图10是图4和图9所示的微型阀的第一交替剖切正视图，其示出了处于第二位置的中间板。

图11是图4、图9和图10所示的微型阀的第二交替剖切正视图，其示出了处于维持位置的中间板。

具体实施方式

现在参照附图，一种已知微型阀的实施例在图1至图3中整体用10表示。所示微型阀10是先导式压力控制三端口板式微型阀，类似于在Hunnicutt的美国专利编号8,113,482中公开的微型阀的实施例，其公开内容以其整体并入本文。

如图1所示，所述微型阀10包括盖板12、中间板14和基板16。盖板12具有外表面18和内表面20。中间板14具有第一表面22和第二表面24，并限定了可动部分40和非可动部分42。基板16具有内表面26和外表面28。基板16还具有贯穿其中形成的控制端口30、第一流体端口32、第二流体端口34和第三流体36。

当微型阀10被如图3所示地组装好时，盖板12的内表面20接合中间板14的非可动部分42的第一表面22，而基板16的内表面26接合中间板14的非可动部分42的第二表面24。盖板12、中间板14和基板16可以以任何期望的方式被保持在这个朝向上。

盖板12的内表面20的结构示于图2中。如其中所示，盖板12包括第一凹入区域44、第二凹入区域46，和形成在第一凹入区域44中的两个压力平衡沟槽47。第一和第二压力均衡槽(分别是48和50)也形成在第一凹入区域44内的内表面20上。

基板16的内表面26的结构示于图1中。如其中所示，基板16包括第一凹入区域54、第二凹入区域56，和形成在第一凹入区域54中的两个压力平衡沟槽57。第一流体端口32、第二流体端口34和第三流体36形成在第一凹入区域54内的内表面26上。控制端口30形成在第二凹入区域56内的内表面26上。

中间板14的结构详细地示于图1中。如其中所示，较宽并且优选地是矩形的板开口60以及相邻并且也优选地是矩形的弹簧开口62形成在中间板14中。弹簧开口62优选地比板开口60窄。板开口60和弹簧开口62彼此流体连通。

板开口60具有第一端64，其与弹簧开口62相邻并流体连通。板开口60还具有与第一端64相对的第二端66。

中间板14还包括可移动构件或板68，其在板开口60的第一与第二端64与66之间布置在板开口60中。可移动板68在邻近板开口60的第二端66的第一位置(未示出)与邻近板开口60的第一端64的第二位置(如图1所示)之间是可移动的。

可移动板68大致是矩形的，并且具有最靠近板开口60的第一端64布置的第一端68a。可移动板68具有最靠近板开口60的第二端66布置的第二端68b。

可移动板68具有贯穿其中形成的第一流体开口70和多个第二流体开口72。压力平衡端口74也贯穿可移动板68而形成。

中间板14还包括旋绕弹簧78，其布置在弹簧开口62中。旋绕弹簧78将中间板14的非可动部分42可动地连接到可移动板68，并优选地将可移动板68偏压到第一位置。旋绕弹簧64还将可移动板68保持在板开口60中。

可变容积区域80限定在可移动板68的第二端68b之下第一凹入区域44与第一凹入区域54之间。压力平衡沟槽47和57提供第二流体端口34与可变容积区域80之间的流体连通。

如在图3中最好地示出的，第一相对小的空间S1限定在设置于盖板12的内表面20上的第一凹入区域44与可移动板68的邻近第一表面22(在观看图3时的下表面)之间。此第一相对小的空间S1的厚度传统上一直是约3μm，以防止通过微型阀10的过多泄漏。

类似地，第二相对小的空间S2限定在设置于基板16的内表面26上的第一凹入区域54与可移动板68的邻近第二表面24(在观看图1时的上表面)之间。此第二相对小的空间S2的厚度传统上一直是约3μm，以防止通过微型阀1的过多泄漏。

为了最小化通过图1至图3中所示的传统微型阀10的泄漏，所期望的是相对小的空间S1和S2的厚度尽可能地小。然而，由于这些相对小的空间S1和S2的厚度不仅相对较小，而且在可移动板68的整个表面区域上是恒定的，因而包含在通过这样的相对小的空间S1和S2泄漏的流体中的一个或多个颗粒(未示出)卡在其间的可能性增加。换句话说，颗粒可能或者卡在(1)设置在盖板12的内表面20上的第一凹入区域44与可移动板68的邻近第一表面22之间，或者卡在(2)设置在基板16的内表面26上的第一凹入区域54与可移动板68的邻近第二表面24之间。

图4至图10示出了一种总体表示为100的改进微型阀的一部分，其根据本发明第一实施例最小化了这种不期望堵塞的可能性。所示微型阀100是先导式压力控制三端口板式微型阀，其包括在下面详细描述的改进密封结构。

如图4所示，微型阀100包括盖板102、中间板103和端口或基板104。盖板102具有外表面105和内表面106。盖板102还具有贯穿其中形成的共用端口112。中间板103具有第一表面107和第二表面108。基板104具有内表面109和外表面110。基板104还具有贯穿其中形成的常闭阀口114、常开阀口116和控制端口118。

当微型阀100被如图9和图10所示地组装好时，盖板102的内表面106接合中间板103的非可动部分171的第一表面107，而基板104的内表面109接合中间板103的非可动部分171的第二表面108。盖板102、中间板103和基板104可以以任何期望的方式保持在这种朝向中。例如，盖板102和/或基板104的一部分可以通过上述用于粘结微型阀100的组成板的任何方法粘结到中间板103的非可动部分。盖板102、中间板103和基板104可以由任何期望的材料或材料的组合组成，诸如硅、单晶硅和/或类似的材料。

盖板102的内表面106的结构详细地示于图8中。如其中所示，盖板102包括设置在其内表面106上的第一凹入区域122、第二凹入或控制区域124和第三凹入区域126。共用端口112贯穿第一凹入区域122形成。第一和第二压力均衡槽128和129也形成在第一凹入区域122内的内表面106上。

盖板102还包括第一密封结构130和第二密封结构132，所述第一密封结构130从第一凹入区域122的底表面延伸并且完全围绕第一压力均衡槽128的周边，所述第二密封结构132也从第一凹入区域122的底表面延伸并且完全围绕第二压力均衡槽129的周边。第三密封结构134从第一凹入区域122的底表面延伸，并且完全围绕第一凹入区域122的周边。通道135形成在盖板102的内表面106上，并且贯穿一部分的第三密封结构134。通道135流体地连接所述第一凹入区域122与第三区域126，并且限定反馈端口。在所示实施例中，示出了两个通道135。可选地，可提供任何期望数量的通道135，包括一个通道135和三个或更多的通道135。

如图9所示，在所示实施例中，各密封结构130、132和134是壁，其通常是梯形横截面形状，并且在其顶部具有约70μm的宽度W。可选地，宽度W可以在大约40μm至120μm的范围内。各密封结构130、132和134包括四个直线延伸的壁段，其分别地邻近第一压力均衡槽128、第二压力均衡槽129和第一凹入区域122的四个边延伸。然而，密封结构130、132和134可以形成为具有任何期望的横截面形状或形状的组合，并且还可以以任何期望的方式(直线地或其他方式)绕第一压力均衡槽128、第二压力均衡槽129和第一凹入区域122延伸。例如，密封结构130、132和134可以基本上如图9和图10所示地形成，但也可以在相邻的直线延伸壁段之间具有圆角，具有一个或多个非直线延伸的壁段，或者是完全非直线的形状。

中间板103的结构详细地示于图4、图6和图7中。如其中所示，较宽并且优选地是矩形的板开口170形成在中间板103上。

板开口170具有第一端174和与第一端174相对的第二端176。板开口170在第一端174与第二端176之间延伸的每个壁170a和170b具有多个形成于其中的向外延伸的凹部178，其目的将在下面描述。一对向内延伸的突片172也在板开口170的第一端174和第二端176的中间形成在壁170a和170b上。

中间板103还包括构造为可移动构件或板136的可动部分，其在板开口170的第一与第二端174与176之间布置在板开口170中。可移动板136大致是矩形的，其具有最靠近板开口170的第一端174布置的并限定轴线A的第一端136a。可移动板136具有最靠近板开口170的第二端176布置的第二端136b。

可移动板136在维持位置与第一位置与第二位置之间是可动的，在所述维持位置中，如在图11中示出并在下面详细描述的，所述常闭阀口114和常开阀口116被关闭，在所述第一位置中，如在图6和图9中示出的，第二端136b与板开口170的第二端176隔开，在所述第二位置中，如在图7和图10中最佳地示出的，第二端136b邻近板开口170的第二端176。

可移动板136具有贯穿其中形成的相对较大并且居中地形成的流体流动开口140。压力平衡端口144也贯穿可移动板136邻近流体流动开口140形成。

可移动板136还具有限定在其侧壁上的多个突起180。如图6所示，当可移动板136处于第一位置时，各个突起180与形成在板开口170的壁上的凹部178中的相应一个对准。当突起180与凹部178对准时，突起180与凹部178之间的泄漏路径被最小化。突起180足够浅；即，具有最小化的厚度，以便不妨碍可移动板136在板开口170内的行进。但是，当可移动板136在第一位置之外时，可移动板136上的向外延伸的突起180不再与相应的向外延伸的凹部178对准，并且所述突起180更靠近板开口170的壁的非凹陷部分，并相对于所述非凹陷部分具有减小的间隙。

一对凹口142也分别地在第一和第二端136a和136b的中间形成在可移动板136的侧壁上。每个凹口142与形成在板开口170的壁170a和170b上的突片172中的相应一个对准。突片172限定止动表面，其限制了可移动板136在第一位置与第二位置之间的行程。

中间板103还包括旋绕弹簧138，其布置在板开口170中。旋绕弹簧138将中间板103的非可动部分171可动地连接到可移动板136，并优选将可移动板136偏压到第一位置。旋绕弹簧138还将可移动板136保持在板开口170中，在制造过程中简化了中间板103的处理。当可移动板136处于第一位置中时，可变容积区域145限定在可移动板136与板开口170的第二端176之间。

基板104的内表面109的结构详细地示于图5中。如其中所示，基板104包括设置在其内表面109上的第一凹入区域146、第二凹入或控制区域148和第三凹入区域150。常闭阀口114和常开阀口116贯穿第一凹部区域146形成，而控制端口118和第二反馈端口116贯穿第二凹入区域148形成。如下面所述，控制区域124和148结合以限定控制腔室182。

基板104还包括第一密封结构152，其从第一凹入区域146的底表面延伸，并且完全围绕常开阀口116的周边。第二密封结构154也从第一凹入区域146的底表面延伸，并且完全围绕常闭阀口114的周边。第三密封结构156从第一凹入区域146的底表面延伸，并且完全围绕第一凹入区域146的周边。通道149形成在基板104的内表面109上，并且贯穿一部分的第三密封结构156。通道149流体地连接所述第一凹入区域146与第三凹入区域150，并且限定反馈端口。在所示实施例中，示出了两个通道149。可选地，可提供任何期望数量的通道149，包括一个通道149和三个或更多的通道149。

如图9所示，在所示实施例中，各密封结构152、154和156是壁，其通常是梯形横截面形状，并且在其顶部具有约70μm的宽度W。可选地，宽度W可以在大约40μm至120μm的范围内。各密封结构152、154和156包括四个直线延伸的壁段，其分别地邻近常开阀口116、常闭阀口114和第一凹入区域146的四个边延伸。然而，密封结构152、154和156可以形成为具有任何期望的横截面形状或形状的组合，并且还可以以任何期望的方式(直线地或其他方式)绕常开阀口116、常闭阀口114和第一凹入区域146延伸。例如，密封结构152、154和156可以基本上如图9和图10所示地形成，但也可以在相邻的直线延伸壁段之间具有圆角，具有一个或多个非直线延伸的壁段，或者是完全非直线的形状。

第一空间S3限定在基板104的凹入区域146的底表面与中间板103的可移动板136的第二表面108之间。第二空间S4也限定在盖板102的凹入区域122的底表面与中间板103的可移动板136的第一表面107之间。第一和第二空间S3和S4的厚度可以是不太可能导致包含在流过第一和第二空间S3和S4的流体中的一个或多个颗粒(未示出)卡在其中的任何期望的值。例如，第一和第二空间S3和S4的厚度可以是大约50μm。

此外，相对小的第三空间S5限定在基板104的密封结构152、154和156的顶表面与中间板103的可移动板136的第二表面108之间，并且在密封结构130、132和134的顶表面与中间板103的可移动板136的第一表面107之间。相对小的第三空间S5的厚度可以是不太可能导致上述过分泄露的任何期望的值。例如，相对小的第三空间S5的厚度可以是大约3μm。

第四空间S6限定在基板104的凹入区域150的底表面与中间板103的可移动板136的第二表面108之间。第五空间S7限定在盖板102的凹入区域126的底表面与中间板103的可移动板136的第一表面107之间。第六空间S8限定在基板104的凹入区域148的底表面与中间板103的可移动板136的第二表面108之间。第七空间S9也限定在盖板102的凹入区域124的底表面与中间板103的可移动板136的第一表面107之间。第四、第五、第六和第七空间S6、S7、S8和S9的厚度分别可以是不太可能导致包含在流过第四、第五、第六和第七空间S6、S7、S8和S9的流体中一个或多个颗粒(未示出)卡在其中的任何期望的值。在所示实施例中，第四、第五、第六和第七空间S6、S7、S8和S9具有大约50μm的厚度。

本文所描述的先导式板式微型阀100的操作类似于在Hunnicutt的美国专利编号8,113,482中公开的先导式板式微型阀，其公开内容通过引用以其整体并入本文，其描述了已知的先导式压力控制板式微型阀的多个实施例的结构和操作。

在使用过程中，微型阀100可以常规方式(或以其它方式)操作，以从维持位置(在图11中所示的)到或者第一位置(在图6中所示的)或者第二位置(在图7中所示的)选择性地移动所述可移动板136，在所述第一位置中，常闭阀口114是关闭的，而常开阀口116是至少部分地打开的，在所述第二位置中，常闭阀口114是至少部分地打开的，而常开阀口116是关闭的。当可移动板136位于第一位置时，理想的是尽可能少的流体流过常闭阀口114。同样，当可移动板136位于第二位置时，理想的是尽可能少的流体流过常开阀口116。类似地，当可移动板136位于维持位置时，理想的是尽可能少的流体流过常闭阀口114和常开阀口116。这是通过提供第一密封结构152和第二密封结构154、第一密封结构130以及第二密封结构132实现的，所述第一密封结构152从第一凹入区域146的底表面延伸并且完全地围绕常开阀口116的周边，所述第二密封结构154从第一凹入区域146的底表面延伸并且完全地围绕常闭阀口114的周边，所述第一密封结构130从第一凹入区域122的底表面延伸并且完全地围绕第一压力均衡槽128的周边，所述第二密封结构132也从第一凹入区域122的底表面延伸并且完全地围绕第二压力均衡槽129的周边。

同时，微型阀100的几何形状抵抗与微型阀100的可移动板136的自由运动的干扰，所述干扰否则可能会由包含在流过其中的流体中的颗粒污染物的存在产生。这是通过提供(1)第一空间S3和(2)第二空间S4实现的，所述第一空间S3在设置于基板104上的第一凹入区域146与可移动板136的邻近第二表面108(观看图9和图10时的下表面)之间，而所述第二空间S4在设置于盖板102上的第一凹入区域122与可移动板136的邻近第一表面107(观看图9和图10时的上表面)之间。第一和第二空间S3和S4的相对大的厚度被选择，以便防止包含在流过微型阀100的流体中的一个或多个颗粒(未示出)被卡在其间，或者至少最小化可能卡在其间的这样的颗粒的数量。

所示的微型阀100是压力控制三端口板式微型阀，并且可以通过先导阀致动，所述先导阀示意性地在160处示出。先导阀可以是供给指令压力到控制端口118的任何所需阀，诸如微型阀或标准尺寸先导阀。

在典型的应用中，常闭阀口114被连接到加压流体的源162，诸如泵、蓄能器或者可提供加压流体的任何其他设备。共用端口112是构造为供给流体至负载166的负载端口，所述负载诸如传动离合器或制动器和其它液压致动器。常开阀口116可连接到目的设备164，诸如流体容器、泵吸入端口或流体蓄能器。

在图11中，微型阀100被示出在保持位置中，其中，在可变容积区域145中的流体压力基本上等于在控制腔室182中的流体压力加上旋绕弹簧138的弹簧力。在保持位置中，在可移动板136中的所述流体流动开口140被定位在所述常闭阀口114与常开阀口116之间，因此使所述常闭阀口114和常开阀口116都被关闭。

通过供给相对高压力的流体(与在可变容积区域145中的流体压力相比)到控制端口118内，控制腔室182中的压力将促使可移动板136到第二位置，如在图10所示地拉伸弹簧138，直到在控制腔室182中的指令压力达到在常闭阀口114处的供给压力。

如图4、图6和图9所示，当在控制端口118中的流体压力被减小，使得在可变容积区域145中的流体压力接近在控制腔室182中的流体压力时，纵向地作用在可移动板136上的流体压力将开始抵消，并且可移动板136将移动到第一位置。

除了通过密封结构130、132、134、152、154和156提供的优点之外，压力平衡端口144贯穿可移动板136邻近流体流动开口140形成。这种结构省去了对细长压力平衡沟槽的需要，所述沟槽诸如在已知的微型阀10中的细长压力平衡沟槽47和57。此外，密封结构130、132、134、152、154和156的组合以及细长压力平衡沟槽47和57的消除允许改进的微型阀100的板102、103和104比已知微型阀10中的相应板12、14和16小。组成板102、103和104的减小尺寸还导致在固定板102和104与可动板103之间的减小的接触表面积，进一步简化了制造，并降低了微型阀10的成本。此外，因为微型阀100不包括已知微型阀10的细长压力平衡沟槽47和57，生产微型阀100的必需步骤的数量相对于已知微型阀10可以减少，从而进一步有助于微型阀100的成本降低。

在图4至图11中所示的本发明的板式微型阀100的实施例包括形成在盖板102上的共用端口112。然而，将理解的是，本发明的改进的密封结构可以被应用到一种板式微型阀，其中所述共用端口112形成在端口或底板104上。

所述微型阀的原理和操作模式已经在其优选实施例中进行了描述。然而，应当注意的是，在不脱离其范围的情况下，本文所描述的微型阀可以以不同于具体示出和描述的方式实施。

Claims (17)

1.一种微型阀，包括：

第一板，其限定平面并包括内表面、设置在所述内表面内的第一凹入区域、设置在所述第一凹入区域内的常开流体端口和常闭流体端口，从所述第一凹入区域的底表面延伸并完全围绕所述常开流体端口的周边的第一密封结构，和从所述第一凹入区域的底表面延伸并完全围绕所述常闭流体端口的周边的第二密封结构；以及

第二板，其限定平面、非可动部分和可动部分，所述非可动部分的表面抵靠所述第一板的内表面，所述非可动部分具有贯穿其中形成的开口，所述可动部分形成在所述开口内并具有轴线，所述可动部分限定了由形成在所述开口中的旋绕弹簧连接到所述非可动部分的可移动构件，所述可移动构件在所述开口内的第一位置和第二位置之间是滑动地并且轴向地可移动，所述可移动构件的滑动移动在由第二板限定的平面内发生并且平行于由第一板限定的平面；

其中可移动构件相对于第一板定位，使得第一空间限定在所述可移动构件与所述第一板的第一凹入区域的表面之间，第一空间具有第一厚度，以及使得第二空间限定在所述可移动构件与所述第一、第二密封结构以及从所述第一凹入区域的底表面延伸的第三密封结构之间，第二空间具有小于第一厚度的第二厚度；

其中在所述第一位置中，所述可移动构件与所述第二密封结构协作以减少通过所述常闭流体端口的流体连通，并允许至少一些流体通过第二空间泄漏到流体端口中或从流体端口流出；和

其中在所述第二位置中，所述可移动构件与所述第二密封结构的至少一部分不协作，以允许通过所述常闭流体端口的流体连通。

2.根据权利要求1所述的微型阀，其中，所述微型阀是压力控制板式微型阀。

3.根据权利要求1所述的微型阀，其中，所述微型阀是先导式压力控制板式微型阀。

4.根据权利要求1所述的微型阀，其中，在所述第一位置中，所述可移动构件与所述第一密封结构的至少一部分不协作，以允许通过所述常开流体端口的流体连通，并且其中，在所述第二位置中，所述可移动构件与所述第一密封结构协作，以防止通过所述常开流体端口的流体连通。

5.根据权利要求1所述的微型阀，其中，所述第二板限定一个平面，并且其中当在所述第一与第二位置之间运动时，所述可移动构件平行于由第二板限定的平面运动。

6.根据权利要求1所述的微型阀，其中，所述可移动构件构造为具有贯穿其中形成的流体流动开口的板。

7.根据权利要求1所述的微型阀，其中，所述第一板还包括第二凹入区域。

8.根据权利要求7所述的微型阀，其中，所述第三密封结构绕所述第一凹入区域的周边延伸，并且绕所述常开流体端口和所述常闭流体端口两者。

9.根据权利要求7所述的微型阀，还包括设置在所述第二凹入区域内的控制端口。

10.一种微型阀，包括：

基板，其限定平面并包括内表面、设置在所述内表面内的第一凹入区域、设置在所述凹入区域内的常开流体端口和常闭流体端口，从所述第一凹入区域的底表面延伸并完全围绕所述常开流体端口的周边的第一密封结构，和从所述第一凹入区域的底表面延伸并完全围绕所述常闭流体端口的周边的第二密封结构；

盖板，其限定平面并包括内表面、设置在所述内表面内的第二凹入区域、设置在所述第二凹入区域内的第一和第二压力均衡槽，从所述第二凹入区域的底表面延伸并完全围绕所述第一压力均衡槽的周边的第三密封结构，和从所述第二凹入区域的底表面延伸并完全围绕所述第二压力均衡槽的周边的第四密封结构；以及

中间板，其限定平面、非可动部分和可动部分，所述非可动部分的第一表面抵靠所述基板的内表面，并且所述非可动部分的第二表面抵靠所述盖板的内表面，所述非可动部分具有贯穿其中形成的开口，所述可动部分形成在所述开口内并具有轴线，所述可动部分限定了由形成在所述开口中的旋绕弹簧连接到所述非可动部分的可移动构件，所述可移动构件在所述开口内的第一位置和第二位置之间是滑动地并且轴向地可移动，所述可移动构件的滑动移动在由中间板限定的平面内发生并且平行于由基板和盖板限定的平面；

其中可移动构件相对于基板和盖板定位，使得第一空间限定在所述可移动构件与所述基板的第一凹入区域的表面以及盖板的第二凹入区域的表面之间，第一空间具有第一厚度，以及使得第二空间限定在所述可移动构件与所述第一、第二、第三和第四密封结构之间，第二空间具有小于第一厚度的第二厚度；

其中在所述第一位置中，所述可移动构件与所述第二和第四密封结构协作以减少通过所述常闭流体端口的流体连通，并允许至少一些流体通过第二空间泄漏到流体端口中或从流体端口流出；和

其中在所述第二位置中，所述可移动构件与所述第二和第四密封结构的至少一部分不协作，以允许通过所述常闭流体端口的流体连通。

11.根据权利要求10所述的微型阀，其中，具有第一厚度的第一空间限定在所述可移动构件与所述基板的第一凹入区域和所述盖板的所述第二凹入区域之间，而具有第二厚度的第二空间限定在所述可移动构件与所述第一、第二、第三和第四密封结构之间，其中，所述第一厚度大于所述第二厚度。

12.根据权利要求10所述的微型阀，其中，所述可移动构件构造为具有贯穿其中形成的流体流动开口的板。

13.根据权利要求10所述的微型阀，其中，所述基板还包括第三凹入区域。

14.根据权利要求13所述的微型阀，还包括从所述基板的第一凹入区域的底表面延伸的基板密封结构，其绕所述基板的第一凹入区域的周边，并且绕所述常开流体端口和所述常闭流体端口两者。

15.根据权利要求13所述的微型阀，还包括设置在所述基板的第三凹入区域内的控制端口。

16.根据权利要求10所述的微型阀，其中，所述微型阀是压力控制板式微型阀。

17.根据权利要求10所述的微型阀，其中，所述微型阀是先导式压力控制板式微型阀。