CN105399342B - 具有多层薄膜减反射玻璃的连续式制备方法及其镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种减反射玻璃的制备方法及其镀膜设备。该设备位于平板玻璃生产线的退火窑内，包括固设在所述退火窑内腔顶部的镀膜反应器和固化设备；该方法是在当玻璃进入且通过退火窑时，装在退火窑内的镀膜反应器启动，向玻璃垂直喷涂液态或气态的镀膜介质，形成多层减反射膜，然后通过固化设备对减反射膜进行固化，便得到了具有多层减反射膜的减反射玻璃。用本发明的镀膜设备和制备方法得到的减反射玻璃，玻璃透过率大于95％，反射率小于2％；用本发明的设备和方法能够得到性能更好的薄膜；其具有成本低、膜层材料与基体玻璃结合牢、耐侯性强，无废气产生等优势；有益于推广应用。

Description

具有多层薄膜减反射玻璃的连续式制备方法及其镀膜设备

技术领域

本发明涉及一种具有多层薄膜减反射玻璃的连续式制备方法及其镀膜设备，属于平板玻璃深加工技术领域。

背景技术

减反射玻璃，是在平板玻璃表面镀制增透膜，降低玻璃表面的反射率，使玻璃表面具有低反射和高透视性能，也称为低反射玻璃、防眩玻璃。普通平板玻璃的反射率一般在8％左右，存在着眩光刺眼和透射影像的清晰度低等问题，甚至造成环境的光污染。减反射玻璃将光的反射率由8％降低到2-3％以下，同时使得90％以上的光线可以穿透，创造了清晰透明的视觉空间，极大地减少了玻璃的反光，提高了玻璃的透视效果。减反射玻璃已广泛用于光伏电池、电视拼接墙、平板电视、背投电视、液晶显示器、触摸屏、工业仪表、高级像框及需应用低反射高穿透玻璃的场合等等。

减反射的膜系材料和工艺很多，主要膜系材料有：单层膜系有二氧化硅、氟化镁等，多层薄膜有硅锡硅、硅钛硅、钛锡硅等，主要工艺有：磁控溅射镀膜方法、凝胶溶胶镀膜方法、滚涂镀膜方法，以上工艺都是必须先将成品平板玻璃经切裁、磨边、清洗、再加热进行镀膜处理；由于是间歇式生产，效率低，成本高，而且膜层牢固度不强，使用寿命短；其次，镀液在高温环境下易分解，分解的氧化物很稳定，沉积在玻璃表面，使得形成的膜层气孔率高，减反射效果差，严重阻碍了该技术的推广应用。

发明内容

为了解决上述现有技术中存在的缺陷，本发明目的是提供一种具有多层薄膜减反射玻璃的连续式制备方法，同时还提供了实现该方法的专用镀膜设备。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种具有多层薄膜减反射玻璃的镀膜设备，位于平板玻璃生产线的退火窑内，包括固设在所述退火窑内腔顶部的镀膜反应器和固化设备；所述镀膜反应器为一由不锈钢板隔成多空间区域结构的中空长方体，沿玻璃行进方向的中心区域为雾化喷射区，雾化喷射区的两侧由内至外依次为冷却区、狭缝喷镀区和废气收集仓区；

雾化喷射区：用于将液态镀膜介质喷镀在玻璃表面上，形成减反射膜层的中间层；

冷却区：用于冷却液态镀膜介质，防止液态镀膜介质在雾化喷射区气化；

狭缝喷镀区：用于将气态镀膜介质喷镀在玻璃表面上，形成多层结构的减反射膜层的上层、下层；

废气收集仓区：用于吸收多余的液态镀膜介质及气态镀膜介质；

所述固化设备：用于将固化介质喷涂在减反射膜层上，起到固化作用。

所述固化设备由若干个固化装置和横梁构成；所述固化装置包括固化介质进口管、若干个喷射通道和喷射射头；所述固化装置通过固化介质进口管与横梁固接，固化介质进口管与若干个喷射通道贯通连接，喷射通道下端连有相互错位排布的喷射射头。

所述雾化喷射区内设多个雾化喷射装置，雾化喷射装置包括若干喷射管、喷头和液态镀膜介质进口管；液态镀膜介质进口管穿过并焊接在所述镀膜反应器后壁上部，液态镀膜介质进口管的下部与喷射管的顶端固接并与之相通；喷射管向下延伸至其下部与镀膜反应器的底板固接，其下端连接喷头，喷头内设用于调节喷雾的均匀度和液滴大小的塞头。

所述雾化喷射装置有6-12个，并均匀相互错位分布成1-3排，任意相邻的两个雾化喷射装置之间的间距均相等，为50-100mm。

所述冷却区是由狭缝喷镀区隔板，雾化喷射装置及镀膜反应器的前后壁、顶板、底板围成的腔体；上、下部分别设有冷却液的出口管、进口管，冷却液通过进口管和出口管循环。

所述狭缝喷镀区由废气收集仓区隔板，狭缝喷镀区隔板及镀膜反应器前后壁、顶板构成的底部开口的区域，其上部宽、底部窄，形成一具有收口斜坡结构的喷镀狭缝；位于冷却区左侧的所述喷镀狭缝为第一喷镀狭缝，位于冷却区右侧的所述喷镀狭缝为第二喷镀狭缝。

所述废气收集仓区由内至外分为两个低负压废气收集仓区和两个高负压废气收集仓区；

所述低负压废气收集仓区由废气收集仓区隔板、废气收集仓区间隔板及镀膜反应器前后壁、顶板构成的用于吸收废气的底部开口的区域；

所述高负压废气收集仓区由废气收集仓区间隔板及镀膜反应器前后壁、左或右外壁、顶板构成的底部开口的区域，其中，镀膜反应器的左或右外壁向其底板下延伸并连接有高负压废气收集仓区底板，使此区域在底部形成一个用于吸收废气的半封闭入口；

两者顶部设有用于排出废气的低负压废气出口管和高负压废气出口管。

为了实现上述目的，本发明同时还提供了一种利用上述的镀膜设备制备具有多层薄膜减反射玻璃的方法，当玻璃进入且通过退火窑时，装在退火窑内腔的镀膜反应器启动，其具体操作如下：

1)将均化的第一镀液通过雾化喷射装置雾化，同时，将第二镀液的各组分分别在120-200℃下气化后混合均匀成气态镀膜介质，再送至镀膜反应器两侧的喷镀狭缝，

2)第一喷镀狭缝将气态镀膜介质喷到通过的玻璃板面上，形成减反射膜层的下层，液态镀膜介质经雾化喷射装置喷射到在其下方通过的玻璃板面上，形成减反射膜层的中间层，然后第二喷镀狭缝将气态镀膜介质喷到通过的玻璃板面上，形成减反射膜层的上层，最终在玻璃板面上形成多层结构的减反射膜层；

3)将第三镀液的各组分分别在500-600℃下气化后混合均匀成固化介质，再送至固化设备的喷射射头，然后喷到已经镀好减反射膜层的玻璃板面的表面，以固化减反射膜层；

其中，第一镀液为：按重量份数：硅源90～95份、催化剂3-7份、稳定剂2～3份，混合均匀后，放置3-5天，使其充分均化；

第二镀液各组分为：按重量份数：硅源85～90份、水5～10、酸1-3份、稳定剂2～4份；

第三镀液各组分为：按重量份数：氧化剂80～85份、水15～20份。

优选的：

所述第一镀液为：按重量份数：硅酸乙酯90份、氨水7份、乙酸乙酯3份，混合均匀后，放置5天，使其充分均化；

所述第二镀液各组分为：按重量份数：硅烷90份、水5份、醋酸1份、甲基丙烯酸甲酯4份；

所述第三镀液各组分为：按重量份数：富氧气体85份、水15份；

低负压废气收集仓区内的负压为50Pa，高负压废气收集仓区的负压为200Pa。

本发明还提供了一种具有多层薄膜的减反射玻璃，是由上述方法制备得到的。

由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果如下：1)本发明利用平板玻璃生产时，玻璃成型后其表面温度高、活性强的特点，在平板玻璃生产线的退火窑中直接制备减反射玻璃，充分利用了玻璃板热量，将减反射膜层材料喷到行进中的平板玻璃表面上进行分解、沉积，在其玻璃表面形成多层增透膜的方法制备成减反射玻璃，有效降低了生产成本、膜层材料与基体玻璃结合牢、耐侯性强。2)镀膜反应器的结构简单，易于操作，有效保证了玻璃板面上膜层的平整度。3)多层薄膜即达到减反射效果好的目的，又加强膜层表面硬度，提高薄膜的耐侯性及耐酸碱侵蚀性能。4)废气由两路排气管排出，即保证镀膜材料有效利用率，又保证废气不至于落在薄膜表面，污染膜层，保证膜层的纯净度，有效提高了减反射玻璃薄膜的质量。5)由于增加薄膜固化设备，一方面提高膜层减反射性能，另一方面又提高膜层化学稳定性。

附图说明

图1为本发明镀膜设备的纵向截面示意图；

图2为本发明镀膜反应器C-C向截面示意图；

图3为本发明固化设备C-C向截面示意图。

具体实施方式

本发明提供了一种减反射玻璃的镀膜设备，其位于平板玻璃生产线上，它包括镀膜反应器和固化设备，镀膜反应器和固化设备的顶端均悬挂且固定在平板玻璃生产线上的退火窑内腔顶部。镀膜反应器和固化设备都由耐腐蚀不锈钢板焊接而成。

本发明设备的工作原理为：本设备在平板玻璃退火窑500-600℃区域，当玻璃板面通过退火窑内时，镀膜反应器利用退火窑的温度，先将第二镀液各组分分别气化后再混合均匀成气态镀膜介质，通过第一喷镀狭缝喷镀在经过其下方的玻璃板面上，形成减反射膜层的下层；然后玻璃板面经过雾化喷射区时，高压镀液经过雾化喷嘴挤压、切割成大小均匀的微细雾滴，产生雾化效果，分散、沉积在玻璃板面上，形成多孔状掺氟二氧化硅薄膜——减反射膜层的中间层，最后玻璃板面经过第二喷镀狭缝时，再同样利用硅源气化配以酸及稳定剂在减反射膜层的中间层上形成一层薄膜——减反射膜层的上层，这样构成多层减反射膜层再经过固化设备固化，即得到具有多层薄膜的减反射玻璃。

以下结合附图和具体实施例，更具体地说明本发明的内容，并对本发明作进一步阐述，但这些实施例绝非对本发明有任何限制。本领域技术人员在本说明书的启示下对本发明实施例中所作的任何变动都将属于本发明权利要求书的范围内。

如图1和图2所示，本发明的镀膜反应器A为一底面不完全封闭的中空长方体，其长度(水平垂直于玻璃板面运行方向为长度方向)为6000-12000mm，宽度(平行于玻璃板面运行方向为宽度方向)为900-1700mm，高度(竖直垂直于玻璃板面运行方向为高度方向)为800-1200mm，内腔由耐腐蚀不锈钢板(各隔板)隔成多空间区域结构，位于正中间部位的空间区域是雾化喷射区1，雾化喷射区将整个镀膜反应器分隔成以此为轴对称的多个空间区域，由内到外分别为冷却区2、狭缝喷镀区3、废气收集仓区。废气收集仓区由内至外又分为低负压废气收集仓4和高负压废气收集仓5。

其中，雾化喷射区1宽度为200-300mm，内设多个雾化喷射装置(如图2)，雾化喷射装置由若干喷射管11、喷头12和液态镀膜介质进口管13组成(如图1)，外周为装有冷却液的冷却区2。液态镀膜介质进口管13位于该区上方，穿过镀膜反应器后壁62，并与之焊接，然后穿过冷却区，液态镀膜介质进口管13下部与喷射管11的顶端以均布形式固接(如焊接)，并与之贯通；喷射管11穿过冷却区2与镀膜反应器的底板固接；喷射管11的下端以螺纹形式连接喷头12，喷头12内设塞头14，塞头14可以调节喷雾的均匀度和液滴大小。该雾化喷射装置距运行玻璃板面为20-30mm，水平垂直于玻璃板面运行方向均布有6-12个，相邻两个雾化喷射装置之间的间距相等，为50-100mm；平行于玻璃运行方向有1-3排，相邻两排雾化喷射装置之间的间距相等，为50-100mm；所有喷头相互错位排布。

冷却区2由狭缝喷镀区隔板31(31’)，雾化喷射装置及镀膜反应器的前后壁62(62’)、顶板61、底板63围成的腔体。冷却区上部有冷却液出口管21，下部有冷却液进口管22，冷却液通过进口管22和出口管21循环，冷却液围绕在液态镀膜介质进口管13和喷射管11周围，由于喷射管11下端穿过镀膜反应器的底板63并与之固接，因此能保证冷却液不流出冷却区以外。冷却区外侧为两个狭缝喷镀区3(3’)。

狭缝喷镀区3(3’)由废气收集仓区隔板41(41’)，狭缝喷镀区隔板31(31’)及镀膜反应器前后壁62(62’)、顶板61构成的底部开口的区域，其宽度为50-100mm，该区域底部的宽度缩小至0.5-1.5mm，形成一具有收口斜坡结构的喷镀狭缝(位于冷却区左侧的是第一喷镀狭缝33’，右侧的是第二喷镀狭缝33)，该区域上端设有气态镀膜介质进口管32，气态镀膜介质由此进入夹缝喷镀区3，经过喷镀狭缝喷到行进中的玻璃板面上。狭缝喷镀区3外侧为两个低负压废气收集仓区4(4’)。

低负压废气收集仓4(4’)由废气收集仓区隔板41(41’)、废气收集仓区间隔板42(42’)及镀膜反应器前后壁62(62’)、顶板61构成的底部开口的区域，其宽度为50-100mm，废气(未喷镀到玻璃板面上的液态镀膜介质和气态镀膜介质)从底部的开口进入此区域，通过低负压废气出口管43(43’、43^#、43’^#)(该出口管设置在镀膜反应器顶部并与退火窑外部的处理废气的装置相连)排出。低负压废气收集仓区4外侧为两个高负压废气收集仓区5(5’)。

高负压废气收集仓区5(5’)由废气收集仓区间隔板42(42’)及镀膜反应器前后壁62(62’)、左(或右)外壁64(或64’)、顶板61构成的底部开口的区域，其宽度为100-200mm，与低负压废气收集仓区4之间的间距(即废气收集仓区间隔板42(42’)的厚度)为150-300mm。镀膜反应器的左(或右)外壁64(或64’)向其底板63下延伸连接有高负压废气收集仓区底板51(51’)，使此区域在底部形成一个半封闭的入口52(52’)，废气(未喷镀到玻璃板面上的液态镀膜介质和气态镀膜介质)经这个半封闭的入口被吸入，通过顶部的高负压废气出口管53(53^#、53’、53’^#)排出(该出口管也设置在镀膜反应器顶部并与退火窑外部的处理废气的装置相连)。除高负压废气收集仓区底板外，其余空间区域的底面一律平齐，距通过退火窑内的玻璃板面的垂直距离为20-30mm；高负压废气收集仓区底板比其余空间区域的底面低，距离玻璃板面10-20mm。

如图1和图3所示，玻璃板面行进过镀膜反应器A之后会经过一固化设备B，其与镀膜反应器A的水平距离为500-1000mm。固化设备B为雾化喷射装置结构类似，长度、高度均与镀膜反应器相等，宽度为200-400mm。固化设备B由若干个固化装置(本实施方式为两个)和横梁71构成，固化装置包括固化介质进口管72、若干个喷射通道73和喷射射头74。喷射射头74沿固化介质进口管72的长度方向均布有6-12个，本实施方式中的两个固化装置分别设有8个和9个，沿固化介质进口管72的宽度方向布设有1-2排，本实施方式中装有2排；相邻两个喷射射头4之间的距离相等，均为50-100mm；相邻两排喷射射头74之间间距50-100mm；所有喷射头互相错位排布。喷射射头74的底端距通过退火窑内的玻璃板面的垂直距离为20-30mm，固化介质由固化介质进口管72进入，经喷射通道73由喷射射头74喷到载有薄膜的玻璃板面上，起到固化薄膜的作用。

本实施方式中，所有材质均为耐热不锈钢材质；该冷却区充满导热循环油，导热循环油为市购产品，其型号为100^#的硅油。

所用的喷头、塞头、喷射射头选用市售的常规雾化喷头及匹配的塞头、喷射射头。

在本发明镀膜设备中所用的连接管路均可选用市售的耐腐蚀不锈钢管，其规格为316l，DN25-40不锈钢管；管径的大小与该设备中对接的接口口径大小匹配。

本发明还提供一种利用上述镀膜设备制备具有多层薄膜减反射玻璃的方法，它包括平板玻璃生产线成型玻璃的常规步骤；当待成型玻璃进入且通过退火窑时，装在退火窑内腔500-600℃温度区域内的镀膜反应器启动，由镀膜反应器向下方行进中的玻璃板面垂直喷涂液态或气态的镀膜介质，通过化学气相沉积法在玻璃板面上沉积形成多层薄膜，即为减反射膜，然后通过固化设备对减反射膜进行固化，便得到了具有多层减反射膜的减反射玻璃。其具体操作如下：

1)将均化的第一镀液通过加压泵打入镀膜反应器的雾化喷射装置内，利用加压泵加压形成的高压，将通过雾化喷射装置的镀液雾化；同时将第二镀液的各组分在120-200℃下气化后混合均匀，形成气态镀膜介质，用惰性气体将气态镀膜介质输送至镀膜反应器两侧的喷镀狭缝；

2)当玻璃板面在镀膜反应器下通过时，气态镀膜介质首先通过第一喷镀狭缝喷到通过的玻璃板面上，形成减反射膜层的下层；运行到雾化喷射区下方时，液态镀膜介质喷射到在其下方通过的玻璃板面上，形成减反射膜层的中间层；最后玻璃板面经过第二喷镀狭缝，再被喷镀一层气态镀膜介质，形成减反射膜层的上层；

3)将第三镀液的各组分在500-600℃下气化后混合均匀，形成固化介质，用空气将固化介质输送至固化设备的喷射射头，然后喷到已经镀好减反射膜层的玻璃板面的表面，以固化减反射膜层。

其中，第一镀液为：按重量份数：硅源90～95份、催化剂3-7份、稳定剂2～3份，混合均匀后，放置3-5天，使其充分均化；

第二镀液各组分为：按重量份数：硅源85～90份、水5～10、酸1-3份、稳定剂2～4份；

第三镀液各组分为：按重量份数：氧化剂80～85份、水15～20份；

低负压废气收集仓区内的负压为50-100Pa，高负压废气收集仓区的负压为200-300Pa。

本发明利用上述镀膜设备制备具有多层薄膜减反射玻璃的方法，由下述具体实例进一步说明：

实施例1：经过常规平板玻璃生产线成型的平板玻璃进入且通过退火窑时，装在退火窑内腔500-600℃温度区域内的镀膜反应器启动，由镀膜反应器向下方行进中的玻璃板面垂直喷涂液态或气态的镀膜介质，通过化学气相沉积法在玻璃板面上沉积形成多层薄膜，即为减反射膜，然后通过固化设备对减反射膜进行固化，便得到了具有多层减反射膜的减反射玻璃。其具体操作如下：

1)将均化的第一镀液通过加压泵加压至5-10MPa，打入镀膜反应器的雾化喷射装置内，利用加压泵加压形成的高压，将通过雾化喷射装置的镀液雾化；同时将第二镀液于180℃气化，形成气态镀膜介质，用氮气将气态镀膜介质输送至镀膜反应器两侧的喷镀狭缝(V_氮气：V_{气态镀膜介质}＝1:8)；

2)当玻璃板面在镀膜反应器下通过时，气态镀膜介质首先通过第一喷镀狭缝喷到通过的玻璃板面上，形成减反射膜层的下层；运行到雾化喷射区下方时，液态镀膜介质喷射到在其下方通过的玻璃板面上，形成减反射膜层的中间层；最后玻璃板面经过第二喷镀狭缝，再被喷镀一层气态镀膜介质，形成减反射膜层的上层；其中，减反射膜层的上、下层厚度分别为50-100nm，减反射膜层的中间层厚度为100-300nm；

3)将第三镀液于600℃气化，形成固化介质，用空气将固化介质输送至固化设备的喷射射头(V_空气：V_固化介质＝5:1)，然后喷到已经镀好减反射膜层的玻璃板面的表面，以固化减反射膜层。

其中，第一镀液为：按重量份数：硅酸乙酯90份、氨水7份、乙酸乙酯3份，混合均匀后，放置5天，使其充分均化；

第二镀液各组分为：按重量份数：硅烷90份、水5份、醋酸1份、甲基丙烯酸甲酯4份；

第三镀液各组分为：按重量份数：富氧气体85份、水15份；

低负压废气收集仓区内的负压为50Pa，高负压废气收集仓区的负压为200Pa。

实施例2：基本步骤同实施例1，不同处在于：第一镀液为：按重量份数：正硅酸丁酯95份、水3份、甲基丙烯酸甲酯2份，混合均匀后放置3天，使其充分均化；第二镀液各组分为：按重量份数：硅烷85份、水10份、盐酸3份、乙酸乙酯2份；第三镀液各组分为：按重量份数：双氧水(质量百分含量为30％)80份、水20份；低负压废气收集仓区内的负压为100Pa，高负压废气收集仓区的负压为300Pa。

实施例1-2中形成的减反射膜层的总厚度通常在200-500nm，一般可根据产品需求确定。

本发明提供的镀膜设备在平板玻璃表面形成多层组合的减反射膜层再经过固化设备固化，即得到具有多层膜的减反射玻璃。这种具有多层薄膜结构的减反射膜层强度好、附着力强、表面硬度高、耐酸碱侵蚀能力强，减反射膜层经过固化剂固化，强度更好，膜性能提高，由于膜层反射率与基体玻璃不同，光具有波的特性，利用了光的干涉原理，使同一波长的反射光在反射时正好产生干涉现象，使膜层反射与基体玻璃反射正好抵消，达到降低玻璃反射率的目的。

本发明所用的方法主要是将镀液直接雾化，减少镀液在高温环境下分解，从而避免因分解得到的氧化物沉积在玻璃表面，导致减反射膜层气孔率高，减反射效果差的问题。用本发明的镀膜设备和制备方法得到的减反射玻璃，玻璃透过率大于95％，反射率小于2％。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出的是，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种具有多层薄膜减反射玻璃的镀膜设备，位于平板玻璃生产线的退火窑内，其特征在于:包括固设在所述退火窑内腔顶部的镀膜反应器和固化设备；所述镀膜反应器为一由不锈钢板隔成多空间区域结构的中空长方体，沿玻璃行进方向的中心区域为雾化喷射区，雾化喷射区的两侧由内至外依次为冷却区、狭缝喷镀区和废气收集仓区；

雾化喷射区：用于将液态镀膜介质喷镀在玻璃表面上，形成减反射膜层的中间层；

冷却区：用于冷却液态镀膜介质，防止液态镀膜介质在雾化喷射区气化；

狭缝喷镀区：用于将气态镀膜介质喷镀在玻璃表面上，形成多层结构的减反射膜层的上层、下层；

废气收集仓区：用于吸收多余的液态镀膜介质及气态镀膜介质；

所述固化设备：用于将固化介质喷涂在减反射膜层上，起到固化作用；

所述固化设备由若干个固化装置和横梁构成；所述固化装置包括固化介质进口管、若干个喷射通道和喷射射头；所述固化装置通过固化介质进口管与横梁固接，固化介质进口管与若干个喷射通道贯通连接，喷射通道下端连有相互错位排布的喷射射头。

2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于：所述雾化喷射区内设多个雾化喷射装置，雾化喷射装置包括若干喷射管、喷头和液态镀膜介质进口管；液态镀膜介质进口管穿过并焊接在所述镀膜反应器后壁上部，液态镀膜介质进口管的下部与喷射管的顶端固接并与之相通；喷射管向下延伸至其下部与镀膜反应器的底板固接，其下端连接喷头，喷头内设用于调节喷雾的均匀度和液滴大小的塞头。

3.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于：所述雾化喷射装置有6-12个，并均匀相互错位分布成1-3排，任意相邻的两个雾化喷射装置之间的间距均相等，为50-100mm。

4.根据权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于：所述冷却区是由狭缝喷镀区隔板，雾化喷射装置及镀膜反应器的前后壁、顶板、底板围成的腔体；上、下部分别设有冷却液的出口管、进口管，冷却液通过进口管和出口管循环。

5.根据权利要求4所述的镀膜设备，其特征在于：所述狭缝喷镀区由废气收集仓区隔板，狭缝喷镀区隔板及镀膜反应器前后壁、顶板构成的底部开口的区域，其上部宽、底部窄，形成一具有收口斜坡结构的喷镀狭缝；位于冷却区左侧的所述喷镀狭缝为第一喷镀狭缝，位于冷却区右侧的所述喷镀狭缝为第二喷镀狭缝。

6.根据权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于：所述废气收集仓区由内至外分为两个低负压废气收集仓区和两个高负压废气收集仓区；

所述低负压废气收集仓区由废气收集仓区隔板、废气收集仓区间隔板及镀膜反应器前后壁、顶板构成的用于吸收废气的底部开口的区域；

所述高负压废气收集仓区由废气收集仓区间隔板及镀膜反应器前后壁、左或右外壁、顶板构成的底部开口的区域，其中，镀膜反应器的左或右外壁向其底板下延伸并连接有高负压废气收集仓区底板，使此区域在底部形成一个用于吸收废气的半封闭入口；

两者顶部设有用于排出废气的低负压废气出口管和高负压废气出口管。

7.一种利用权利要求1－6任一项所述镀膜设备制备减反射玻璃的方法，其特征在于：当玻璃进入且通过退火窑时，装在退火窑内腔的镀膜反应器启动，其具体操作如下：

1)将均化的第一镀液通过雾化喷射装置雾化，同时，将第二镀液的各组分分别在120-200℃下气化后混合均匀成气态镀膜介质，再送至镀膜反应器两侧的喷镀狭缝，

2)第一喷镀狭缝将气态镀膜介质喷到通过的玻璃板面上，形成减反射膜层的下层，液态镀膜介质经雾化喷射装置喷射到在其下方通过的玻璃板面上，形成减反射膜层的中间层，然后第二喷镀狭缝将气态镀膜介质喷到通过的玻璃板面上，形成减反射膜层的上层，最终在玻璃板面上形成多层结构的减反射膜层；

3)将第三镀液的各组分分别在500-600℃下气化后混合均匀成固化介质，再送至固化设备的喷射射头，然后喷到已经镀好减反射膜层的玻璃板面的表面，以固化减反射膜层；

其中，第一镀液为：按重量份数：硅源90～95份、催化剂3-7份、稳定剂2～3份，混合

均匀后，放置3-5天，使其充分均化；

第二镀液各组分为：按重量份数：硅源85～90份、水5～10、酸1-3份、稳定剂2～4份；

第三镀液各组分为：按重量份数：氧化剂80～85份、水15～20份。

8.根据权利要求7所述方法，其特征在于：

所述第一镀液为：按重量份数：硅酸乙酯90份、氨水7份、乙酸乙酯3份，混合均匀后，放置5天，使其充分均化；

所述第二镀液各组分为：按重量份数：硅烷90份、水5份、醋酸1份、甲基丙烯酸甲酯4份；

所述第三镀液各组分为：按重量份数：富氧气体85份、水15份；

低负压废气收集仓区内的负压为50Pa，高负压废气收集仓区的负压为200Pa。

9.一种具有多层薄膜的减反射玻璃，其特征在于：是由权利要求7或8所述方法制备得到的。