CN105388353B - 一种抗噪声soi晶体管光电流测试系统 - Google Patents

一种抗噪声soi晶体管光电流测试系统 Download PDF

Info

Publication number
CN105388353B
CN105388353B CN201510836301.2A CN201510836301A CN105388353B CN 105388353 B CN105388353 B CN 105388353B CN 201510836301 A CN201510836301 A CN 201510836301A CN 105388353 B CN105388353 B CN 105388353B
Authority
CN
China
Prior art keywords
soi transistor
transistor
photoelectric current
soi
test
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201510836301.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105388353A (zh
Inventor
解磊
代刚
李顺
梁堃
孙鹏
刘鑫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Electronic Engineering of CAEP
Original Assignee
Institute of Electronic Engineering of CAEP
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of Electronic Engineering of CAEP filed Critical Institute of Electronic Engineering of CAEP
Priority to CN201510836301.2A priority Critical patent/CN105388353B/zh
Publication of CN105388353A publication Critical patent/CN105388353A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105388353B publication Critical patent/CN105388353B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

本发明公开了一种抗噪声SOI晶体管光电流测试系统，该测试系统包括SOI晶体管结构测试单元和至少两个噪声测试电阻，噪声测试电阻与SOI晶体管结构测试单元串联，SOI晶体管结构测试单元的两端至少有一个噪声测试电阻；本发明利用大规模并联SOI晶体管方式，放大辐射效应下产生的光电流，通过对称放置的电阻导线同步测量实验室的电磁及环境噪声；通过增加可测光电流和对实验室电磁及环境噪声的提取，可通过测得的光电流推导出单个SOI晶体管的辐射效应光电流，研究晶体管的辐射效应；为研究半导体辐射效应、有针对性的进行设计提供有效手段。

Description

一种抗噪声SOI晶体管光电流测试系统
技术领域
本发明属于半导体器件辐射效应研究领域，主要涉及一种抗噪声SOI晶体管光电流测试系统。
背景技术
SOI工艺相比CMOS工艺晶体管，在相同辐射作用下，具有更小的感生光电流效应，如何准确的得到辐射在SOI晶体管中感生的光电流成为目前的重点研究内容。
目前该研究主要采用单管的辐射所致光电流测试。这种方式存在一定局限性，由于单晶体管感生的光电流非常小，实验室环境噪声大，虽然使用严格的辐射屏蔽和保护措施等，也难于精确地提供器件在辐射下感生的光电流信息。难以满足科研人员在设计初期对半导体器件的辐射效应进行测试和研究的需求。探索研究了特殊的大规模并联晶体管结构、电阻测量环境噪声的测试方法，使更为方便的测量SOI晶体管的辐射感生光电流问题提供了技术可能。目前国内尚无抗噪声SOI晶体管光电流测试系统的相关报道。
发明内容
针对单个SOI晶体管辐射条件下感生光电流较小，不易测量的固有限制，以及当前实验室存在环境噪声的不足，本发明提出了一种抗噪声SOI晶体管光电流测试系统，能实现放大测量SOI晶体管光电流，并且可通过电阻导线测量环境噪声来消除其对晶体管影响。本发明总体设计简单，方便后期在光电流的测试数据中去掉噪声的辐射效应抗噪声光电流测试系统。
本发明的技术方案如下：
一种抗噪声SOI晶体管光电流测试系统，其特征在于：包括SOI晶体管结构测试单元和至少两个噪声测试电阻，噪声测试电阻与SOI晶体管结构测试单元串联，SOI晶体管结构测试单元的两端至少有一个噪声测试电阻；
该测试系统的测试过程为：在辐射条件下，光电流流过SOI晶体管结构测试单元的晶体管漏极端口，通过与SOI晶体管结构测试单元串联的噪声测试电阻，测试得到SOI晶体管结构测试单元与噪声测试电阻组成的串联电路两端的电势差，然后将电势差除以噪声测试电阻的电阻值，得到在环境噪声干扰下总的光电流，然后去掉噪声测试电阻导线上测得的环境噪声，则得到SOI晶体管结构测试单元中产生的总的光电流，通过除以SOI晶体管结构测试单元中的晶体管个数得到单个晶体管的光电流。
所述SOI晶体管结构测试单元可以是单个SOI晶体管测试模块，也可以是若干个并联的SOI晶体管测试模块形成的测试单元，每个SOI晶体管测试模块的端口包括晶体管栅极连接、晶体管漏极连接、晶体管源极连接和晶体管体连接。
为了预防静电对于器件的影响，每个SOI晶体管测试模块的栅极G、漏极D、源极S和B极均通过带有ESD保护的IO PAD连接到外部，不同模块的IO PAD所需的电源VDD和地GND的电压源相互独立，以此避免整个测试结果存在系统性误差；所述被测器件由直流电源供电。
所述SOI晶体管结构测试单元中晶体管的个数范围为100—100000个，不同的SOI晶体管测试模块可能包含不同结构的器件，所述SOI晶体管结构测试单元的类型不限，可为浮体条形栅、体接触T型栅及体接触H型栅等不同的晶体管结构。
本发明中对于N型SOI晶体管采用漏端电阻电压采样的方式测试实验数据；对于P型SOI晶体管采用源端电阻电压采样的方式测试实验数据。
本发明的技术效果如下：
本发明是通过在一个测试芯片系统中放置不同结构、不同数量的多管并联SOI晶体管阵列，准确的测得不同宽长比、不同结构的SOI晶体管在辐射条件下产生的光电流，通过SOI晶体管结构测试单元的实验数据减去噪声测试电阻单独测试的实验室环境噪声的方法，得到去除实验室噪声的包含光电流信息的电压信号；噪声测试电阻是一种简单、可靠、经济的可用于测量实验室噪声的模拟系统，可作为在同一个测试芯片中测量信号的去除噪声处理，降低了试验成本，提高了试验效率，而且还克服了现有的SOI晶体管辐射条件下光电流测试系统的不足，可精确的测得辐射环境下单个SOI晶体管的光电流。
附图说明
图1-4为本发明中需要用到的SOI工艺条形栅、T型栅、H栅和BTS的SOI晶体管结构的示意图；
图5为本发明待测晶体管并联测试电路示意图；
图6为本发明待测试芯片的整体结构示意图。
具体实施方式
如图6所示，一种抗噪声SOI晶体管光电流测试系统，其特征在于：包括SOI晶体管结构测试单元和至少两个噪声测试电阻，噪声测试电阻与SOI晶体管结构测试单元串联，SOI晶体管结构测试单元的两端至少有一个噪声测试电阻；设置至少两个噪声测试电阻，以提高整个系统去噪声的能力。
该测试系统的测试过程为：在辐射条件下，光电流流过SOI晶体管结构测试单元的晶体管漏极端口，通过与SOI晶体管结构测试单元串联的噪声测试电阻测试得到两端电势差，然后将电势差除以噪声测试电阻的电阻值，得到在环境噪声干扰下总的光电流，然后去掉噪声测试电阻导线上测得的环境噪声，则得到SOI晶体管结构测试单元中产生的总的光电流，通过除以SOI晶体管结构测试单元中的晶体管个数得到单个晶体管的光电流。
所述SOI晶体管结构测试单元可以是单个SOI晶体管测试模块，也可以是若干个并联的SOI晶体管测试模块形成的测试单元，每个SOI晶体管测试模块的端口包括晶体管栅极连接、晶体管漏极连接、晶体管源极连接和晶体管体连接，分别对应于图5电路中的G极、D极、S极和B极。如图5所示，为NMOS晶体管信号连接示意图，所有并联晶体管的源极、漏极、栅极和体引出（其中体引出和源极接地）都连接在一起，作为模块的端口。其中，整个模块漏极所接的取样电阻放置在模块外面的测试电路中。
为了预防静电对于器件的影响，每个SOI晶体管测试模块的栅极G、漏极D、源极S和B极均通过带有ESD保护的IO PAD连接到外部，不同模块的IO PAD所需的电源VDD和地GND的电压源相互独立，以此避免整个测试结果存在系统性误差；所述被测器件由直流电源供电。
所述SOI晶体管结构测试单元中晶体管的个数范围为100—100000个，对应如图6所示的每一个SOI晶体管测试模块；不同的SOI晶体管测试模块可能包含不同结构的器件，所述SOI晶体管结构测试单元的类型不限，可为浮体条形栅、体接触T型栅及体接触H型栅等不同的晶体管结构，如图1-4所示。图6中，设计多个待测SOI晶体管测试模块是为了消除芯片中不同位置对测试结构的影响，使实验数据更贴近真实的物理情形。
本发明中对于N型SOI晶体管采用漏端电阻电压采样的方式测试实验数据；对于P型SOI晶体管采用源端电阻电压采样的方式测试实验数据。

Claims (6)

1.一种抗噪声SOI晶体管光电流测试系统，其特征在于：包括SOI晶体管结构测试单元和至少两个噪声测试电阻，噪声测试电阻与SOI晶体管结构测试单元串联，SOI晶体管结构测试单元的两端至少有一个噪声测试电阻；
该测试系统的测试过程为：在辐射条件下，光电流流过SOI晶体管结构测试单元的晶体管漏极端口，通过与SOI晶体管结构测试单元串联的噪声测试电阻，测试得到SOI晶体管结构测试单元与噪声测试电阻组成的串联电路两端的电势差，然后将电势差除以噪声测试电阻的电阻值，得到在环境噪声干扰下总的光电流，然后去掉噪声测试电阻导线上测得的环境噪声，则得到SOI晶体管结构测试单元中产生的总的光电流，通过除以SOI晶体管结构测试单元中的晶体管个数得到单个晶体管的光电流。
2.根据权利要求1所述的一种抗噪声SOI晶体管光电流测试系统，其特征在于：所述SOI晶体管结构测试单元是单个SOI晶体管测试模块，或者是若干个并联的SOI晶体管测试模块形成的测试单元，每个SOI晶体管测试模块的端口包括晶体管栅极连接、晶体管漏极连接、晶体管源极连接和晶体管体连接。
3.根据权利要求2所述的一种抗噪声SOI晶体管光电流测试系统，其特征在于：所述每个SOI晶体管测试模块的栅极G、漏极D、源极S和B极均通过带有ESD保护的IO PAD连接到外部，不同模块的IO PAD所需的电源VDD和地GND的电压源相互独立。
4.根据权利要求1所述的一种抗噪声SOI晶体管光电流测试系统，其特征在于：所述SOI晶体管结构测试单元中晶体管的个数范围为100—100000个。
5.根据权利要求1所述的一种抗噪声SOI晶体管光电流测试系统，其特征在于：不同的SOI晶体管测试模块包含有不同结构的SOI晶体管结构，所述SOI晶体管结构测试单元的类型包括浮体条形栅、体接触T型栅及体接触H型栅的晶体管结构。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的一种抗噪声SOI晶体管光电流测试系统，其特征在于：对于N型SOI晶体管采用漏端电阻电压采样的方式测试实验数据；对于P型SOI晶体管采用源端电阻电压采样的方式测试实验数据。
CN201510836301.2A 2015-11-26 2015-11-26 一种抗噪声soi晶体管光电流测试系统 Expired - Fee Related CN105388353B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510836301.2A CN105388353B (zh) 2015-11-26 2015-11-26 一种抗噪声soi晶体管光电流测试系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510836301.2A CN105388353B (zh) 2015-11-26 2015-11-26 一种抗噪声soi晶体管光电流测试系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105388353A CN105388353A (zh) 2016-03-09
CN105388353B true CN105388353B (zh) 2018-03-30

Family

ID=55420851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510836301.2A Expired - Fee Related CN105388353B (zh) 2015-11-26 2015-11-26 一种抗噪声soi晶体管光电流测试系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105388353B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114334914B (zh) * 2022-01-11 2022-07-08 中国航天科工集团八五一一研究所 一种p+硅边柱soi工艺抗辐照nmos器件

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4989057A (en) * 1988-05-26 1991-01-29 Texas Instruments Incorporated ESD protection for SOI circuits
CN1948981A (zh) * 2005-10-14 2007-04-18 上海华虹Nec电子有限公司 一种高速晶圆允收测试方法
CN102253324A (zh) * 2011-06-17 2011-11-23 上海集成电路研发中心有限公司 一种mos器件热载流子效应的测试结构及测试方法
CN102572323A (zh) * 2011-12-28 2012-07-11 上海中科高等研究院 图像传感器像素电路
CN103278759A (zh) * 2013-05-02 2013-09-04 北京大学 分离soi器件中两种效应导致阈值电压漂移的方法
CN103376395A (zh) * 2012-04-28 2013-10-30 上海华虹Nec电子有限公司 一种晶体管交流热载流子注入特性的测试结构
CN103383402A (zh) * 2012-05-02 2013-11-06 南通大学 半导体二维电子气圆偏振自旋光电流的检测系统及其检测方法
CN103941171A (zh) * 2013-01-22 2014-07-23 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 半导体测试结构及测试方法
CN104618027A (zh) * 2013-11-05 2015-05-13 上海雷盘电子科技有限公司 新型远程监控专用1w大功率led红外线发射管

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060130045A (ko) * 2003-11-20 2006-12-18 시옵티컬 인코포레이티드 실리콘계열 쇼트키 장벽 적외선 광검출기

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4989057A (en) * 1988-05-26 1991-01-29 Texas Instruments Incorporated ESD protection for SOI circuits
CN1948981A (zh) * 2005-10-14 2007-04-18 上海华虹Nec电子有限公司 一种高速晶圆允收测试方法
CN102253324A (zh) * 2011-06-17 2011-11-23 上海集成电路研发中心有限公司 一种mos器件热载流子效应的测试结构及测试方法
CN102572323A (zh) * 2011-12-28 2012-07-11 上海中科高等研究院 图像传感器像素电路
CN103376395A (zh) * 2012-04-28 2013-10-30 上海华虹Nec电子有限公司 一种晶体管交流热载流子注入特性的测试结构
CN103383402A (zh) * 2012-05-02 2013-11-06 南通大学 半导体二维电子气圆偏振自旋光电流的检测系统及其检测方法
CN103941171A (zh) * 2013-01-22 2014-07-23 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 半导体测试结构及测试方法
CN103278759A (zh) * 2013-05-02 2013-09-04 北京大学 分离soi器件中两种效应导致阈值电压漂移的方法
CN104618027A (zh) * 2013-11-05 2015-05-13 上海雷盘电子科技有限公司 新型远程监控专用1w大功率led红外线发射管

Also Published As

Publication number Publication date
CN105388353A (zh) 2016-03-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105226128B (zh) 光感测组件及其制造方法
EP2563011A3 (en) Solid-state imaging device and electronic apparatus
RU2010150350A (ru) Устройство фотоэлектрического преобразования и система формирования изображений, использующая его
JP2009278078A5 (zh)
RU2010148449A (ru) Формирователь сигналов изображения и система камеры
JP2010028109A5 (zh)
ATE488868T1 (de) Elektrisches verbindungssystem
US9316705B2 (en) Vertical hall effect-device
DE602004011995D1 (de) Hochempfindlicher magnetischer eingebauter stromsensor
CN102034820B (zh) 半导体装置
JP2012199913A5 (zh)
US20150069563A1 (en) Low Offset and High Sensitivity Vertical Hall Effect Sensor
TW200603347A (en) Semiconductor device, electrical inspection method thereof, and electronic apparatus including the semiconductor device
JP2010206186A5 (zh)
Hemperek et al. A Monolithic Active Pixel Sensor for ionizing radiation using a 180 nm HV-SOI process
CN105388353B (zh) 一种抗噪声soi晶体管光电流测试系统
CN205487263U (zh) 一种阵列基板、显示装置及用于检测阵列基板的电路
CN106546638B (zh) 能带缺陷密度分布的测试方法
CN106796265B (zh) Ic中的裸片内晶体管特性
US9978803B2 (en) Imaging apparatus and electronic apparatus
CN206223841U (zh) 一种低压检测电路和半桥驱动芯片
EP2555245A3 (en) Soft x-ray detection apparatus and soft x-ray detection system
CN102769008B (zh) 一种增加单位测试模块的可测器件Kelvin测试回路
JP2011077073A5 (zh)
CN106328754A (zh) 一种组合式太赫兹波探测器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20180330

Termination date: 20201126