CN105379427B - 用于产生伦琴辐射的伦琴射线源和方法 - Google Patents

用于产生伦琴辐射的伦琴射线源和方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105379427B
CN105379427B CN201480041638.8A CN201480041638A CN105379427B CN 105379427 B CN105379427 B CN 105379427B CN 201480041638 A CN201480041638 A CN 201480041638A CN 105379427 B CN105379427 B CN 105379427B
Authority
CN
China
Prior art keywords
anode
roentgen
ray source
electron beam
vaporous
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201480041638.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105379427A (zh
Inventor
O.海德
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of CN105379427A publication Critical patent/CN105379427A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105379427B publication Critical patent/CN105379427B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05GX-RAY TECHNIQUE
    • H05G2/00Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
    • H05G2/001X-ray radiation generated from plasma
    • H05G2/008X-ray radiation generated from plasma involving a beam of energy, e.g. laser or electron beam in the process of exciting the plasma
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/04Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/112Non-rotating anodes
    • H01J35/116Transmissive anodes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05GX-RAY TECHNIQUE
    • H05G2/00Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
    • H05G2/001X-ray radiation generated from plasma
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05GX-RAY TECHNIQUE
    • H05G2/00Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
    • H05G2/001X-ray radiation generated from plasma
    • H05G2/003X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas
    • H05G2/005X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas containing a metal as principal radiation generating component
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00X-ray tubes
    • H01J2235/08Targets (anodes) and X-ray converters
    • H01J2235/081Target material
    • H01J2235/082Fluids, e.g. liquids, gases

Abstract

说明一种伦琴射线源(1),所述伦琴射线源具有可抽成真空的外壳体(3)、用于发射电子射束的电子源(7)和用于产生伦琴辐射的阳极(13),其中所述外壳体具有至少一个伦琴射线束可穿透的射束出射窗口(5)。所述阳极在所述伦琴射线源运行的情况下以蒸气相存在,其中所述蒸气态阳极能够通过以冷凝相存在的阳极材料储备(15)的通过电子射束作用的蒸发来产生。此外,说明了一种方法,其中在伦琴射线源的可抽成真空的外壳体内通过以电子射束轰击以冷凝相存在的阳极材料连续地形成蒸气态阳极。所述蒸气态阳极通过与所述电子射束的相互作用发射伦琴辐射。根据本发明的用于产生伦琴辐射的方法的优点与根据本发明的伦琴射线源的优点相似地得出。

Description

用于产生伦琴辐射的伦琴射线源和方法
技术领域
本发明涉及一种伦琴射线源,所述伦琴射线源具有:可抽成真空的外壳体,所述外壳体具有至少一个伦琴射线束可穿透的射束出射窗口;用于发射电子射束的电子源和用于产生伦琴辐射的阳极。此外,本发明涉及一种用于产生伦琴辐射的方法,其中阳极通过与电子射束的相互作用发射伦琴辐射。
背景技术
在已知的伦琴射线源中,在可抽成真空的外壳体——所谓的伦琴射线管内将电子朝着阳极加速,所述阳极的材料适合用于将经加速的电子的能量转换为伦琴辐射。通过伦琴射线束可穿透的出射窗,伦琴辐射从伦琴射线源耦合输出。在应用在成像系统中的情况下,然后通常使辐射朝待检查的对象定向并且接着借助成像伦琴射线探测器测量所述辐射。主要在医学成像中,这样的系统的应用广泛流行。对于人的身体部分的诊断性检查而言一般值得期望的是,以尽可能低的伦琴射线剂量实现尽可能高的图像质量。为此,尽可能单色的伦琴辐射是有利的,其中所述辐射基本上由独特的伦琴辐射组成并且仅仅在尽可能小的部分上由分布在宽的能量范围上的轫致辐射组成。
在US 7436931B2中描述了一种用于产生单色伦琴辐射的伦琴射线源。在此应用很薄的阳极,其施加在由具有低的原子核电荷数的材料制成的阳极载体上。由此实现了,通过阳极层基本上形成在窄的能量范围中的独特的伦琴辐射。此外,通过阳极的低的层厚度并且通过载体的低的原子核电荷数少地发射轫致辐射,使得由该源仅仅产生小份额的、宽带的伦琴辐射。在此公开的解决方案的一个缺点是在阳极层中和在阳极载体中的高的放热。在这样的伦琴射线源中,在阳极中的放热通常对于电子射束的功率密度和因此也对于由伦琴射线源发射的射束功率而言是限制性的。另一个缺点是薄的阳极层的低的机械强度和与此相关的高的磨损。
发明内容
本发明的任务是,说明一种用于产生尽可能单色的伦琴辐射的伦琴射线源,所述伦琴射线源避免了上述缺点。本发明的另一个任务是,说明一种用于产生伦琴辐射的方法。
这些任务通过在权利要求1中描述的伦琴射线源和在权利要求10中描述的方法解决。
根据本发明的伦琴射线源包括可抽成真空的外壳体、用于发射电子射束的电子源和用于产生伦琴辐射的阳极,所述外壳体具有至少一个伦琴射线束可穿透的射束出射窗口。阳极在所述伦琴射线源运行的情况下以蒸气相存在,其中所述蒸气态阳极能够通过以冷凝相存在的阳极材料储备的通过电子射束作用的蒸发来产生。
根据本发明的伦琴射线源能够实现:通过应用蒸气态阳极产生具有高份额的、基本上单色的独特的辐射的伦琴辐射。蒸气态阳极的直接在电子射束中的动态产生直接在应用的位置处提供为此所应用的蒸气阳极。通过阳极以蒸气态的存在,自动地以对于产生单色辐射而言有利的少的材料量提供阳极材料。通过少的可供相互作用使用的材料量,仅仅产生小份额的、宽带的轫致辐射和高份额的、单色的独特的伦琴辐射。
此外,根据本发明的伦琴射线源能够实现在电子射束的特别高的功率密度的情况下的运行,因为通过蒸发材料储备中的阳极材料连续地重新形成蒸气态阳极。因此,不出现通过材料磨损引起的问题。此外,不必采取用于使阳极散热的特殊措施,因为通过与电子射束相互作用在蒸气阳极中形成的热通过蒸气的扩散和流动连续地从形成伦琴辐射的位置处运离。因此,相比在具有固体阳极层的伦琴射线源的情况下,可以使用具有显著更高的功率密度的电子射束。即使在使用快速转动的阳极——所谓的旋转阳极的情况下,阳极层在与电子射束相互作用的区域中的散热对于常规伦琴射线源的全部射束功率而言是限制性的因素。
恰恰对于单色伦琴辐射的产生而言,具有高功率的电子射束的应用是特别重要的,因为在与少量阳极材料相互作用的情况下也仅仅可以将小份额的电子射束功率转化成伦琴辐射。因此,为了实现对于不同成像方法所需的最小辐射功率,所应用的电子射束的功率相比于在使用具有较高层厚度和较高转化份额的常规固体阳极的情况下还必须明显更高。除了电子射束的高的绝对功率之外,电子射束的在与阳极材料相互作用的位置处的高的功率密度也是重要的。如果电子射束可以聚焦到具有相应高的功率密度的很小的区域上,则可以产生在空间上特别良好地限定的伦琴辐射,借助所述伦琴辐射能够实现特别高的位置分辨率的伦琴射线图像的拍摄。
在根据本发明的方法中,在伦琴射线源的可抽成真空的外壳体内通过以电子射束轰击以冷凝相存在的阳极材料连续地形成蒸气态阳极。所述蒸气态阳极通过与所述电子射束的相互作用发射伦琴辐射。根据本发明的用于产生伦琴辐射的方法的优点与根据本发明的伦琴射线源的优点相似地得出。
根据本发明的伦琴射线源的有利的构型和扩展方案由从属于权利要求1的权利要求得知。因此,伦琴射线源可以附加地具有以下特征:
所述伦琴射线源可以包括用于将阳极储备中的以冷凝相存在的阳极材料馈入到所述电子射束的区域中的交互区中的馈入装置。借助该实施方式,可以连续地为在电子射束中的蒸发提供阳极材料,从而新材料持续地为在电子射束中的蒸发准备好。因此,也可以持续在交互区中形成新的蒸气态阳极材料,从而持续地保证在该区中的足够高的蒸气密度。交互区通过电子射束与所形成的蒸气云在空间上的重叠来得出。沿与电子射束的轴线垂直的方向,交互区的宽度因此通过电子射束自身的侧向延展来得出。沿着电子射束的轴线,交互区的延展通过馈入区域的宽度和所形成的蒸气云的形状和大小来得出。符合目的地,交互区的宽度在不同的空间方向上类似大小。优选地,电子射束的侧向延展和馈入区域的有效宽度分别在500μm以下,特别优选地,两个延展可以在250μm以下。
所述馈入装置可以被构型成,使得阳极材料可弹射到所述电子射束的交互区中。因此,在该实施方式中,馈入区域是弹道,阳极材料在该弹道上弹道式地被引入到交互区中。小的材料部分掷入到交互区中使该部分在电子射束中的完全蒸发变得容易并且引起:在伦琴辐射的产生期间在交互区中最多存在小的残余份额的未蒸发的阳极材料。
伦琴射线源尤其可以被构型成,使得阳极材料作为分成份的固体材料可弹射到交互区中。例如,固体材料可以以粉末射束形式通过喷嘴被引导到交互区中。替代地,固体材料也可以以粒子或者其他单独的颗粒的形式脉冲式地射入到电子射束中。以固体形式存在的阳极材料优选地可以包括金属材料,特别优选地包括具有原子核电荷数至少40的材料。特别适合的材料是具有原子核电荷数42的钼和具有原子核电荷数74的钨。这样的重金属材料也可以以具有其他金属的合金存在,作为氧化材料、作为盐或者作为其他化学化合物存在。阳极颗粒例如也可以以多孔固体的形式、尤其以气凝胶的形式存在。
替代地,伦琴射线源可以被构型成,使得阳极材料以液态的微滴形式可弹射到所述交互区中。在此,阳极材料也可以优选地包括上面所提及的金属材料、尤其具有原子核电荷数至少40的金属材料。然而,附加地,阳极材料也有利地包括在室温下或者在略微提高的温度下是液态的其他材料。因此,阳极材料例如可以是低熔点的合金,或者固体的金属颗粒也可以分散地存在于另一液体中。重要的是,阳极材料在该实施方式中逐份地以小滴的形式可弹射到交互区中。因此,馈入装置例如可以包括喷嘴,所述喷嘴将阳极材料以精细地喷洒的雾的形式或者以规则的各个微滴馈入到交互区中。该喷嘴例如可以类似于喷墨打印机的喷嘴来构型。
阳极材料的馈入一般可以连续地或者脉冲式地进行,其中在脉冲式馈入中频率例如可以在高于1kHz的范围中、优选在高于10kHz的范围中。因此,在脉冲式馈入的情况下能够实现伦琴射线源的准连续的运行。伦琴射线源的电子射束一般也可以脉冲式地或者连续地运行。在脉冲式运行中,电子射束的脉冲与材料馈入的脉冲的同步是符合目的的。
在所述可抽成真空的外壳体内可以布置蒸气器皿,所述蒸气器皿在所述伦琴射线源的运行中至少部分地包围所述蒸气态阳极。该实施方式的优点在于,蒸气器皿能够实现具有相对来看较高的蒸气密度的、交互区周围的区域与具有更好的真空的外部区域的空间分离。符合目的地,电子源布置在蒸气器皿之外,使得电子源位于具有较好的真空的区域中。外壳体与蒸气器皿之间的区域也可以连续地借助真空泵抽真空。替代地或者附加地也可能的是,借助真空管路将在蒸气器皿内的区域泵空,以便因此又去除连续地引入的阳极材料量。伦琴射线源也可以包括冷却装置,借助冷却装置可以将蒸气壳体冷却到例如30摄氏度或者更低的温度上。于是,阳极材料可以在蒸气壳体的壁上冷凝并且因此连续地从该壳体的内室被抽走,使得在蒸气壳体和外壳体之间仍然可以保持相对好的真空。真空的构造是必需的,以便保证电子源的运行和电子沿着中央射束方向的加速和碰撞少的传输。蒸气器皿内的压力平均也不允许过高,因为否则电子射束到交互区中的传输变得困难。在阳极材料通过泵出和/或在器皿壁上冷凝来连续运走的情况下,可以有利地实现平衡状态,其中在交互区的中心存在相对高的、优选至少0.01bar、特别优选至少0.1bar的蒸气密度,并且其中蒸气密度从该中心出发几乎平方地随着径向距离下降。
所述电子源和所述阳极材料的储备可以是电路的一部分,其中所述电子源在所述伦琴射线源运行的情况下可以是在相对于阳极储备为负的电位上。这样的电位差能够实现:使由电子源释放的电子沿阳极材料的方向加速。在此从以下出发,从阳极储备馈入的阳极颗粒和/或阳极微滴以及由此通过蒸发形成的蒸气云也保持位于阳极储备的电位附近的电位。尤其在伦琴射线源的运行中,蒸气态阳极的电位也应比电子源的电位更低,使得所释放的电子沿蒸气态阳极方向加速。附加地,伦琴射线源还可以包括聚焦单元。例如,该聚焦单元包括一个或者多个控制电极,所述控制电极可以以壳区段的形式布置在交互区周围。这样的聚焦单元用于使电子射束成束,使得电子射束在交互区的区域中具有尽可能小的侧向延展。
伦琴射线源可以包括用于捕获穿过所述蒸气态阳极的电子的收集器,其中所述收集器在所述伦琴射线源运行的情况下是在相对于阳极储备为负的电位上。由此引起,收集器的电位相对于由此形成的蒸气态阳极也是负的。符合目的地,收集器沿电子射束方向布置在蒸气态阳极之后,使得穿过阳极的电子在其朝向收集器的进一步路径上被制动。收集器的电位可以优选地位于电子源的电位与阳极储备的电位之间,使得电子在从蒸气阳极至收集器的路径上仅仅失去其动能的一部分。该实施方式的优点是,提高伦琴射线源的能效,因为电子的动能的一部分又被归还给电场。在使用蒸气态阳极的情况下,这方面是特别重要的,因为在低的阳极材料密度的情况下从电能到伦琴辐射的转换的效率相当低。因此,更决定性的是,没有进入相互作用中的电子的未经转换的能量的回收。该实施方式的另一个优点在于,通过电子的制动避免了高能电子在其他材料中的进一步相互作用,从而抑制了附加的轫致辐射的产生,这对伦琴射线源的单色特性的改善做出贡献。
收集器可以沿着电子射束方向相比在电子的动能150keV的情况下电子的平均穿透深度更厚地构型。电子在伦琴射线源中所加速到的最大动能在许多伦琴射线源的情况下位于直至150keV的范围中。如果收集器被构型成,使得收集器在该电子能量的范围中比电子的平均穿透深度更厚,则在伦琴射线源的运行中由收集器捕获具有该最大能量的电子的主要份额。如果收集器如所设置的那样在运行中还置于负的电位上,则电子在进入到收集器的材料中之前被制动,并且相应地由收集器捕获电子的还更大的份额。通过收集器捕获的电子的份额在该实施方式中是至少1-1/e并且因此高于63%。
所描述的收集器的材料可以包括导电材料,例如不锈钢和/或铜。收集器沿电子射束方向可以具有至少1mm的厚度。
收集器沿电子射束方向可以具有凹部。这样的凹部是有利的,以便将经加速的电子可靠地捕获在收集器中并且防止电子朝伦琴射线源的外壳体的侧向逸出。收集器的凹部的构造是符合目的的,因为电子的一定的份额在阳极上散射并且因此在其飞行方向方面发生变化。具有凹部的收集器特别适合于捕获尽可能多的经散射的电子。
所描述的凹部可以梯形地构型。替代地,凹部也可以矩形地、U形地或者半圆形地构型。凹部可以具有至少1cm的深度,特别有利地,深度可以是在5cm和15cm之间。
伦琴射线源可以包括至少一个用于使电子射束转向到弯曲的电子轨道上的转向单元。电子射束特别是可以在电子源和交互区之间被弯曲。这样的布置主要在存在蒸气器皿的情况下是有利的,因为电子源于是可以被定位成,使得电子源不位于蒸气的从交互区出发直接可到达的传播方向上。符合目的地,蒸气器皿设有用于耦合输入电子射束的开口。电子源可以例如偏移地布置,使得电子源位于该进入开口和交互区的直接连接轴线旁。该实施方式的转向单元例如可以包括磁线圈和/或静电转向单元,例如以拱形的屏蔽管的形式。在该实施方式中,虽然未完全避免蒸气态阳极材料射到电子源上,但通过在克努森流中或者在普朗特-迈耶尔角区流中的流传播特性至少强烈地减少了蒸气沿非直线路经的传播。
根据本发明的方法的有利的构型和扩展方案由从属于权利要求10的权利要求得出。因此,用于产生伦琴辐射的方法可以附加地具有以下特征:
借助馈入装置可以将以冷凝相存在的阳极材料弹射到所述电子射束的交互区中。该实施方式的优点与权利要求3的优点类似地得出。
可以将所述阳极材料以固体材料的形式逐份地馈入到所述交互区中。该实施方式的优点与权利要求4的优点类似地得出。
可以将所述阳极材料以液态微滴的形式馈入到所述交互区中。该实施方式的优点与权利要求5的优点类似地得出。
可以将在所述可抽成真空的外壳体内存在的并且至少部分地包围所述蒸气态阳极的蒸气壳体冷却到最高100摄氏度的温度上。该实施方式能够实现从蒸气器皿中连续去除蒸气态阳极,这能够实现在外壳体和蒸气器皿之间的区域中的更好的真空的保持以及蒸气器皿的内室中的较低的平均蒸气密度的达到。
电子射束可以在穿过所述蒸气态阳极之后通过收集器制动并且捕获,所述收集器保持在相对于阳极材料为负的电位上。该实施方式的优点与具体权利要求8的优点类似地得出。
此外,所述方法可以包括伦琴辐射通过为此设置的射束耦合输出窗的耦合输出。
附图说明
下面根据两个优选的实施例参考附图阐述本发明,其中:
图1示出根据第一实施例的伦琴射线源的示意性横截面,以及
图2示出根据第二实施例的伦琴射线源的示意性横截面。
彼此相应的元件在附图中设有相同的附图标记。
具体实施方式
在图1中示出根据本发明的第一实施例的伦琴射线源1的示意性横截面。示出可抽成真空的外壳体3,所述外壳体具有圆形的横截面。外壳体3例如可以被构造为空心球体或者空心柱体。在壳体3内形成真空是用于电子到该空间中的发射和电子沿预给定的位置方向的加速的前提。外壳体3设有射束出射窗口5,所述射束出射窗口用于从伦琴射线源1耦合输出所产生的伦琴辐射9。射束出射窗口5也相对于外壳体3真空密闭地密封。用于射束出射窗口5的合适材料例如是铍或者铝。
在可抽成真空的空间内布置有电子源7、蒸气器皿25和收集器21,所述蒸气器皿具有进入开口26和出射开口27。电子源7用于产生电子射束,所述电子射束沿中央电子飞行轨道11加速。电子源7可以是场发射阴极或者热阴极。场发射阴极是所谓的冷阴极,其中电子通常通过非常高的局部场被发射到伦琴射线源的经抽真空的空间中。与此不同地,在热阴极的情况下,电子在高温度的影响下从阴极材料发射到经抽真空的空间中。
在蒸气器皿25之下布置有馈入装置16,通过该馈入装置可以将阳极材料以微滴14的形式通过喷嘴19馈入到蒸气器皿25的内部中。阳极材料在此作为液态阳极储备15存在于储备容器17中。通过喷嘴19将微滴14脉冲式地以规则的间距沿蒸气器皿25的中心方向喷入。微滴的直径在此例如可以位于5μm和20μm之间。馈入阳极材料,使得该材料的流与中央电子飞行轨道11交叉。在该交叉区域中,阳极材料通过电子射束的影响而蒸发。形成蒸气云13,所述蒸气云在图1中通过相同蒸气密度的两个横截面线来表明。在此,蒸气密度从蒸气云形成的中心向外强烈地径向下降。最后,电子射束与蒸气态阳极13相互作用,并且在重叠区域中产生交互区12。
伦琴射线源1包括在此未示出的电路,该电路在运行中可以将阳极储备15置于相对于电子源7为正的电位上。在该示例中,阳极储备15与蒸气器皿25的壁一起位于电位0V上,而电子源7位于电位-100V上。通过该电位差使由电子源7发射的电子沿蒸气器皿25的中心的方向以及沿阳极微滴14的方向加速。为了电子射束的成束和聚焦,伦琴射线源1还包括聚焦电极,所述聚焦电极在此为清楚起见未示出。聚焦电极在蒸气容器25内作为壳区段布置在交互区12周围。所蒸发的阳极材料13现在与电子射束11相互作用并且通过电子射束部分地离子化。形成具有高浓度阳离子的等离子体,所述阳离子将电子射束附加地聚焦在交互区12的中心。由此对于交互区12产生略微缩细的形状,并且伦琴射线源的焦点变得更紧密。电子射束的动能的一部分现在可以通过与蒸气态阳极13的相互作用转化成伦琴辐射9。因为发生仅仅与少的材料量的相互作用,所以总共电子的仅仅小份额进行相互作用,并且仅仅传输电子能量的小份额。在此特别有利的是,所形成的独特的伦琴辐射的份额是高的并且仅仅形成小份额的、宽带的轫致辐射。如在图1中所示的那样,该伦琴辐射9现在例如可以沿电子射束的方向通过射束出射窗口5被耦合输出。沿着局部电子射束轴线的耦合输出是特别有利的,因为通过交互区的经缩细的、领带状的形状可以使辐射沿该方向特别好地在空间上聚焦。辐射可以位于围绕中央耦合输出方向的角度范围α中,该角度范围例如可以位于直至+/-50度的范围中,特别有利地位于直至+/-10度的范围中。
蒸气器皿25可以借助在此未示出的冷却装置被冷却到低于例如30摄氏度的温度上,使得所蒸发的阳极材料13冷凝在器皿25的壁上。通过这种方式也又连续地从蒸气相去除连续供给的材料,使得至少在蒸气器皿25之外的区域中可以保持足够的真空。
通过蒸气器皿25的出射开口27,电子射束11又可以射出并且在该示例中射到收集器21上,在收集器上施加-90kV的电位。在至收集器21的路径上电子又被制动并且由于电位差而失去其最大动能的约90%。最后,电子射到收集器21的材料上并且由该材料捕获。通过制动和捕获的该方式仅仅形成非常小份额的轫致辐射,这同样对伦琴射线源1的单色特性做出贡献。
在所示实施例中,中央电子飞行轨道11是拱形的飞行轨道,这通过两个转向单元23引起,所述转向单元在此分别布置在蒸气器皿25之外。在此,一个转向单元23布置在电子源7和交互区12之间,并且另一个转向单元2布置在交互区12与收集器21之间。在该示例中,涉及两个磁线圈。然而,替代地也可以应用其他转向单元,例如静电转向单元和/或可以将其他转向单元布置在蒸气器皿25之内。电子源7在所示实施例中被布置成,使得电子源偏移地位于交互区12与蒸气器皿25的进入开口26之前的直的连接线旁。由此,电子源未遭受直接通过进入开口26出射的蒸气流。通过将耦合输出方向10和射束耦合输出窗5布置在蒸气器皿25的出射开口27侧上,也可以将进入开口25保持得非常小,从而使电子源7的区域尽可能好地从蒸气流屏蔽。附加地,还可以设置在此未示出的其他遮挡元件,以便保护电子源7以防传播的蒸气流。
图2示出根据第二实施例的伦琴射线源1的示意性横截面。与第一实施例不同,在此,阳极材料以各个固体颗粒29的形式被馈入到蒸气容器25的内部中。颗粒29也从储备容器17通过喷嘴19馈入。在储备容器17中阳极材料以具有尽可能均匀的颗粒大小的粉末形式存在。与第一实施例的另一个区别在于,射束出射窗口5在蒸气器皿的进入开口26侧上的布置。因此,伦琴辐射9的耦合输出方向10沿与电子射束11的局部射束方向相反的方向来定向。该向后的耦合输出具有以下优点:沿该方向,独特的伦琴辐射与轫致辐射的比例相比于沿向前方向还更有利。然而,在该几何结构中的困难在于,蒸气容器25的进入开口26视待耦合输出的角度范围α的选择而定地必须相比仅仅为电子射束11的耦合输入所需的略微更大地选择。因此,在该实施方式中,必须采取附加的措施,以便保护电子源7以防蒸气态阳极材料13的传播。因此,在此附加的、在该示例中未示出的用于屏蔽电子源7以防蒸气流的保护结构是符合目的的。

Claims (14)

1.伦琴射线源(1),具有:
- 能抽成真空的外壳体(3),所述外壳体包括至少一个伦琴射线束能穿透的射束出射窗口(5),
- 用于发射电子射束的电子源(7),
- 用于产生伦琴辐射(9)的阳极(13),
其中,所述阳极(13)在所述伦琴射线源(1)运行的情况下以蒸气相存在,其中所述蒸气态阳极(13)能够通过以冷凝相存在的阳极材料储备(15)的通过电子射束作用的蒸发来产生,所述伦琴辐射(9)能够通过蒸气态阳极(13)和电子射束之间的相互作用来产生,
其特征在于,在所述能抽成真空的外壳体(3)内布置有蒸气器皿(25),所述蒸气器皿在所述伦琴射线源(1)的运行中至少部分地包围所述蒸气态阳极(13)。
2.根据权利要求1所述的伦琴射线源(1),所述伦琴射线源包括用于将阳极储备(15)中的以冷凝相存在的阳极材料馈入到所述电子射束的区域中的交互区(12)中的馈入装置(16)。
3.根据权利要求2所述的伦琴射线源(1),其中所述馈入装置(16)被构型成,使得阳极材料能弹射到所述电子射束的交互区(12)中。
4.根据权利要求2或3所述的伦琴射线源(1),其中阳极材料作为分成份的固体材料(29)能弹射到所述交互区(12)中。
5.根据权利要求2或3所述的伦琴射线源(1),其中阳极材料以液态的微滴(14)形式能弹射到所述交互区(12)中。
6.根据权利要求2或3所述的伦琴射线源(1),其特征在于,所述电子源(7)和所述阳极材料的储备(15)是电路的一部分,其中所述电子源(7)在所述伦琴射线源(1)运行的情况下能被置于相对于阳极储备(15)为负的电位上。
7.根据权利要求1-3中任一项所述的伦琴射线源(1),所述伦琴射线源包括用于捕获穿过所述蒸气态阳极(13)的电子的收集器(21),其中所述收集器(21)在所述伦琴射线源(1)运行的情况下能被置于相对于阳极材料储备(15)为负的电位上。
8.根据权利要求1-3中任一项所述的伦琴射线源(1),所述伦琴射线源包括至少一个用于使电子射束转向到弯曲的电子轨道上的转向单元(23)。
9.用于产生伦琴辐射(9)的方法,
- 其中在伦琴射线源(1)的能抽成真空的外壳体(3)内通过以电子射束轰击以冷凝相存在的阳极材料(14,29)连续地形成被蒸气器皿(25)至少部分地包围的蒸气态阳极(13),其中所述蒸气器皿(25)位于所述抽成真空的外壳体(3)之内,并且所述蒸气器皿(25)的体积比所述外壳体(3)的体积小以便所述蒸气器皿(25)形成与真空外部区域空间的分离,
- 并且其中所述蒸气态阳极(13)通过与所述电子射束的相互作用发射伦琴辐射(9)。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,借助馈入装置(16)将以冷凝相存在的阳极材料(14,29)弹射到所述电子射束的交互区(12)中。
11.根据权利要求10所述的方法,其特征在于,将所述阳极材料以固体材料(29)的形式逐份地馈入到所述交互区(12)中。
12.根据权利要求10所述的方法,其特征在于,将所述阳极材料以液态微滴(14)的形式馈入到所述交互区(12)中。
13.根据权利要求9或10所述的方法,其特征在于,将至少部分地包围所述蒸气态阳极(13)的蒸气器皿(25)冷却到最高100摄氏度的温度上。
14.根据权利要求9或10所述的方法,其特征在于,所述电子射束在穿过所述蒸气态阳极(13)之后通过收集器(21)来制动并且捕获,所述收集器被保持在相对于阳极材料为负的电位上。
CN201480041638.8A 2013-05-22 2014-03-04 用于产生伦琴辐射的伦琴射线源和方法 Expired - Fee Related CN105379427B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102013209447.7 2013-05-22
DE102013209447.7A DE102013209447A1 (de) 2013-05-22 2013-05-22 Röntgenquelle und Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlung
PCT/EP2014/054124 WO2014187586A1 (de) 2013-05-22 2014-03-04 Röntgenquelle und verfahren zur erzeugung von röntgenstrahlung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105379427A CN105379427A (zh) 2016-03-02
CN105379427B true CN105379427B (zh) 2017-10-17

Family

ID=50193509

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201480041638.8A Expired - Fee Related CN105379427B (zh) 2013-05-22 2014-03-04 用于产生伦琴辐射的伦琴射线源和方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20160120012A1 (zh)
EP (1) EP2987391A1 (zh)
CN (1) CN105379427B (zh)
DE (1) DE102013209447A1 (zh)
WO (1) WO2014187586A1 (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2420112B1 (en) 2009-04-16 2017-03-01 Eric H. Silver Monochromatic x-ray apparatus
DE102013220189A1 (de) * 2013-10-07 2015-04-23 Siemens Aktiengesellschaft Röntgenquelle und Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlung
DE102014226813A1 (de) 2014-12-22 2016-06-23 Siemens Aktiengesellschaft Metallstrahlröntgenröhre
DE102014226814B4 (de) 2014-12-22 2023-05-11 Siemens Healthcare Gmbh Metallstrahlröntgenröhre
KR20240055138A (ko) * 2017-05-19 2024-04-26 이매진 싸이언티픽, 인크. 단색 엑스선 영상 시스템 및 방법
CA3129632A1 (en) 2018-02-09 2019-08-15 Imagine Scientific, Inc. Monochromatic x-ray imaging systems and methods
EP3671802A1 (en) 2018-12-20 2020-06-24 Excillum AB Electron collector with oblique impact portion

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57145257A (en) * 1981-03-03 1982-09-08 Fujitsu Ltd Method of x-ray generation
JP3602356B2 (ja) * 1998-12-02 2004-12-15 三菱電機株式会社 電磁波発生装置
DE19905802A1 (de) * 1999-02-12 2000-08-17 Philips Corp Intellectual Pty Röntgenröhre
AU1241401A (en) * 1999-10-27 2001-05-08 Jmar Research, Inc. Method and radiation generating system using microtargets
US6711233B2 (en) * 2000-07-28 2004-03-23 Jettec Ab Method and apparatus for generating X-ray or EUV radiation
CN1272989C (zh) * 2000-07-28 2006-08-30 杰特克公司 产生x-光的方法和装置
DE10113064B4 (de) * 2001-03-15 2004-05-19 Lzh Laserzentrum Hannover E.V. Verfahren und Einrichtung zur Erzeugung von UV-Strahlung, insbesondere von EUV-Strahlung
US7436931B2 (en) 2002-12-11 2008-10-14 Koninklijke Philips Electronics N.V. X-ray source for generating monochromatic x-rays
DE102005030304B4 (de) * 2005-06-27 2008-06-26 Xtreme Technologies Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von extrem ultravioletter Strahlung
DE102005039849B4 (de) * 2005-08-19 2011-01-27 Xtreme Technologies Gmbh Vorrichtung zur Strahlungserzeugung mittels einer Gasentladung
EP2415065A1 (en) * 2009-04-03 2012-02-08 Excillum AB Supply of a liquid-metal target in x-ray generation
DE102011079179A1 (de) * 2011-07-14 2013-01-17 Siemens Aktiengesellschaft Monochromatische Röntgenquelle

Also Published As

Publication number Publication date
WO2014187586A1 (de) 2014-11-27
DE102013209447A1 (de) 2014-11-27
EP2987391A1 (de) 2016-02-24
US20160120012A1 (en) 2016-04-28
CN105379427A (zh) 2016-03-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105379427B (zh) 用于产生伦琴辐射的伦琴射线源和方法
US20170133192A1 (en) X-ray generator and x-ray imaging apparatus
Larsson et al. A 24 keV liquid-metal-jet x-ray source for biomedical applications
Shyn et al. Angular distribution of electrons elastically scattered from N 2
US20140241492A1 (en) Multiradiation generation apparatus and radiation imaging system
CN104364876B (zh) X射线辐射源及其应用和用于产生x射线辐射的方法
JPH11510955A (ja) 熱移動装置を有するx線発生装置
TWI498934B (zh) 真空處理裝置
WO2012069861A1 (en) Liquid-anode radiation source
CN103985622A (zh) 放射线产生设备以及包含该放射线产生设备的放射线照相系统
US6304631B1 (en) X-ray tube vapor chamber target
Köhler et al. Single-shot betatron source size measurement from a laser-wakefield accelerator
JP6821304B2 (ja) 電子銃、x線発生管、x線発生装置およびx線撮影システム
EP2851928B1 (en) An apparatus and a method for generating a flattening x-rays radiation field
CN101720492B (zh) 用于生成x-射线辐射并且具有根据需要调节的大的实焦点和虚焦点的装置
Mikhailichenko A few comments to a method for producing positrons for ILC
CN108701575A (zh) 用于x射线发射装置的靶组件和x射线发射装置
CN102610474A (zh) 用于x射线管的聚焦型阴极及其x射线源和制备方法
US8654927B2 (en) Electron collecting element with increased thermal loadability, X-ray generating device and X-ray system
CN112071730B (zh) X射线管、x射线装置和乳房x射线摄影装置
JP2021061251A (ja) X線発生管、x線発生装置およびx線撮影システム
Verma et al. Charge exchange and X-ray emission in 70 MeV/u Bi–Au collisions
US10896798B2 (en) X-ray unit
Dikshit et al. A Novel 270$^{\circ} $ Bent-Axial-Type Electron Gun and Positioning of Its Electron Beam Spot on the Target
US20190272970A1 (en) Static collimator for reducing spot size of an electron beam

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20171017

Termination date: 20190304

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee