CN105264108A - 脱气处理装置 - Google Patents

Abstract

提供一种能够高效地进行维护的脱气处理装置。脱气处理装置包括：上侧及下侧辊（18A、18B），一边将被成膜材（10）上下地输送一边使其沿行进方向行进；板式加热器（12），配设为与蜿蜒的被成膜材（10）相邻；和具有外壁的腔室（14）。外壁包括分别具有上侧辊支承部（20a、22a）及下侧辊支承部（20b、22b）的前侧壁（20）和后侧壁（22）。在前侧壁（20）和后侧壁（22）的至少一方上，在其上侧辊支承部与下侧辊支承部之间的区域中形成有辊间开口（40、42），该辊间开口（40、42）具有将蜿蜒的被成膜材（10）及板式加热器（12）在上述行进方向上横穿的形状。

Description

脱气处理装置

技术领域

本发明涉及用于通过将带状的被成膜材加热来进行其脱气处理的装置。

背景技术

有时在对由长条的薄膜或薄片构成的薄壁的被成膜材通过溅镀或等离子CVD进行成膜之前，作为其前处理而进行脱气处理。该脱气处理是将上述被成膜材加热并使残留于其中的低聚体及水分成为气体且从该被成膜材除去的处理，该被成膜材的加热例如通过从板式加热器向该被成膜材的辐射或加热辊与被成膜材的直接的接触来进行。

以往，作为使用上述板式加热器的脱气处理装置，已知有专利文献1所记载的结构。该装置包括分别排列在上侧和下侧的多个辊、多片的板式加热器和收纳它们的腔室。上侧的辊和下侧的辊分别在上述行进方向上相互错开位置地配置，以便一边将被成膜材沿上下方向输送一边使其沿水平方向行进。上述板式加热器以直立姿势设置在该被输送的被成膜材中的在上述行进方向上彼此相邻的垂直部分彼此之间，通过辐射将位于该板式加热器的两侧的被成膜材的部分加热。上述腔室具有将上述各自由辊的两端能够旋转地支承的侧壁。

在上述那样的基于多个自由辊与板式加热器的组合的脱气处理装置中，由于构成要素的空间填充率高，所以能够实现装置的紧凑化，相反地，存在维护作业不容易的问题，例如各自由辊和板式加热器的清扫及被成膜材的所谓通纸的作业。即，在上述腔室内，由于多个辊、在被输送的被成膜材中相互在行进方向上相邻的多个部分及配置在这些部分之间的板式加热器在行进方向上密集，所以进行它们的维护等并不容易。

作为用来使得该维护可能的通常的方法，可以考虑在构成上述腔室的壁中的不贡献于上述各自由辊的支承的顶壁上设置较大的作业用的开口，但利用该开口，难以期待有效且高效的维护作业。具体而言，在从上侧经由该开口观察组合了上述自由辊和板式加热器的集合体的情况下，由于相对于被成膜材的行进方向（排列自由辊和板式加热器的方向）上的自由辊和板式加热器、被成膜材的间隙的尺寸较小，该集合体的进深的尺寸（即上下方向的尺寸）较大，所以即使作业人员将手从该开口插入来进行作业，在能够进行该作业的范围方面也有显著的限制。

专利文献1：日本特开2010－053382号公报。

发明内容

本发明的目的是提供一种脱气处理装置，包括用于一边将被成膜材沿上下方向输送一边使其沿左右方向行进的多个辊及多个板式加热器，能够高效地进行其维护。

本发明提供一种进行脱气处理的装置，通过将沿特定方向延伸的带状的被成膜材一边沿其纵长方向输送一边加热来进行该被成膜材的脱气处理，其中包括：多个引导辊，一边将上述被成膜材沿上下输送，一边引导该被成膜材以使其沿与上述上下方向正交的特定的行进方向行进，包括在上述行进方向上隔开间隔地排列的多个上侧辊、和在比上述上侧辊靠下侧的位置在上述行进方向上隔开间隔地排列的多个下侧辊；至少一个板式加热器，以直立姿势配设于沿上下方向被输送的被成膜材中的在上述行进方向上彼此相邻的部分彼此之间，发热以将该部分加热；和腔室，收纳上述引导辊和上述板式加热器。腔室包括外壁，所述外壁将上述引导辊和上述板式加热器包围，形成有将该外壁的内外连通的开口。该外壁包括前侧壁和后侧壁，当设与上述各引导辊的旋转中心轴平行的方向为前后方向时，所述前侧壁和后侧壁分别位于上述引导辊和上述板式加热器的该前后方向的两侧，这些前侧壁和后侧壁分别包括将上述各上侧辊的轴向端部能够旋转地支承的上侧辊支承部、和在比该上侧辊支承部靠下侧的位置将上述各下侧辊的轴向端部能够旋转地支承的下侧辊支承部。在上述开口中，包括在上述前侧壁和后侧壁的至少一方上形成在其上侧辊支承部与下侧辊支承部之间的区域中的辊间开口，该辊间开口具有将沿上下方向被输送的上述被成膜材和上述各板式加热器沿上述行进方向横穿的形状。

附图说明

图1是本发明的第1实施方式的成膜装置的剖面主视图。

图2是图1的II－II线剖视图。

图3是本发明的第2实施方式的成膜装置的剖面主视图。

图4是本发明的第2实施方式的成膜装置的俯视图。

具体实施方式

参照附图说明本发明的优选实施方式。

图1和图2表示本发明的第1实施方式的脱气处理装置。该实施方式的脱气处理装置例如作为构成成膜系统的单元之一构成。具体而言，如图1所示，该脱气处理装置配置在执行其上游侧的加工的上游侧单元U1与执行其下游侧的加工的下游侧单元U2之间，通过将从上述上游侧单元U1排出的带状的被成膜材10一边沿其纵长方向输送一边加热来进行脱气处理，将其处理后的被成膜材10送至上述下游侧单元U2。上述被成膜材10例如是如塑料制的薄膜那样长条且具有挠性的，其脱气处理通过将上述被成膜材10加热而使该被成膜材10中包含的残留的低聚体及水分成为气体并从该被成膜材分离来进行。在将该脱气处理装置组装到例如用于对被成膜材10的表面实施成膜的成膜系统中的情况下，例如包括展开滚筒的展开单元对应于上述上游侧单元U1，例如包括成膜辊的成膜单元对应于上述下游侧单元U2。

该实施方式的脱气处理装置包括多个引导辊、多个板式加热器12、收纳这些引导辊和板式加热器12的腔室14、和将该腔室14从下方支承的支承框架16。

如图1所示，上述多个引导辊配置为，一边将上述被成膜材10沿上下方向输送，一边引导该被成膜材10以使其沿着与上下方向正交的特定的行进方向即左右方向行进，上述多个引导辊分别由腔室14支承，以便能够绕沿着装置的前后方向（图1的进深方向）延伸的轴旋转。

具体而言，上述多个引导辊包括多个上侧辊18A和多个下侧辊18B。各上侧辊18A在特定的高度位置（在该实施方式中是腔室14的上端附近的高度位置）在上述行进方向（左右方向）上隔开与下侧辊18B的直径大致相同的间隔地排列。各下侧辊18B在比上述上侧辊18A靠下侧的高度位置（在该实施方式中是腔室14的下端附近的高度位置）相互隔开间隔地排列，以使其关于上述行进方向位于彼此相邻的上侧辊18A彼此之间。在本发明中，引导辊的个数没有限定，但在该实施方式中，在上下分别排列有4个上侧辊18A和3个下侧辊18B，因而，相对于这些辊18A、18B的组，将被成膜材10从上侧辊18A的高度位置导入并从相同的高度位置导出。

对于这些上侧辊18A和下侧辊18B，上述被成膜材10交替地穿过各上侧辊18A的上侧和各下侧辊18B的下侧，以交错状架设在这些辊18A、18B上。因而，通过对该被成膜材10施加沿着其纵长方向的输送力，使得能够一边将该被成膜材10沿上下方向输送一边使其沿左右方向行进。

上述各板式加热器12呈平板状，配设在通过其自身的发热将上述被成膜材10高效地加热的位置。具体而言，如上述那样架设在辊18A、18B上以沿上下方向被输送的被成膜材10具有在其行进方向上排列的多片（在图1所示的例子中有共计6片）垂直部分10a，而上述板式加热器12以直立姿势配置以夹在这些垂直部分10a中的彼此相邻的部分彼此之间。在本发明中，板式加热器的个数也没有限定，但在该实施方式中，在从上述行进方向的上游侧数位于第2个和第3个的位置的垂直部分10a彼此之间、和位于第4个和第5个的位置的垂直部分10a彼此之间，分别配置上述板式加热器12。

上述腔室14包括将上述引导辊18A、18B及上述板式加热器12包围的外壁，所述外壁形成有将该外壁的内外连通的多个开口。上述外壁具有前侧壁20、后侧壁22、左侧壁24、右侧壁26、顶壁28及底壁30。

上述前侧壁20和上述后侧壁22是在如上述那样设与各辊18A、18B的旋转中心轴平行的方向为装置的前后方向时位于该辊18A、18B及板式加热器12的该前后方向的两侧的侧壁，以直立的姿势将该辊18A、18B的轴向端部分别能够旋转地支承。即，前侧壁20和后侧壁22具有将上侧辊18A的轴向端部能够旋转地支承的上侧辊支承部20a、22a、和将下侧辊18B的轴向端部能够旋转地支承的下侧辊支承部20b、22b。在该实施方式中，上述上侧辊支承部20a、22a分别由前侧壁20和后侧壁22的上端附近部位构成，上述下侧辊支承部20b、22b分别由前侧壁20和后侧壁22的下端附近部位构成。

在该第1实施方式中，上述各板式加热器12也由上述前侧壁20和上述后侧壁22支承。具体而言，各板式加热器12的上端部分别经由加热器固定件32连结在上述前侧壁20和上述后侧壁22的适当的部位（在图1和图2中是上侧辊18A的紧下方的部位）。

上述左侧壁24和右侧壁26是当设上述被成膜材10的行进方向为装置的左右方向时以直立姿势配置在上述辊18A、18B及板式加热器12的该左右方向的两侧的侧壁，其前后方向的两端部与上述各前侧壁20和后侧壁22的左右方向的端部分别相连。

这些左右侧壁24、26的上部分别比其他部分向左右两外侧突出，分别构成导入部24a和导出部26a。分别在导入部24a的端部形成有腔室入口34，在导出部26a的端部形成有腔室出口36。导入部24a与上述上游侧单元U1连接，以使从该上游侧单元U1排出的被成膜材10经由上述腔室入口34进入腔室14内，导出部26a与上述下游侧单元U2连接，以将脱气处理后的被成膜材10经由上述腔室出口36向上述下游侧单元U2导入。进而，在上述腔室14上连接着未图示的排气泵或控制板等，它们配合地实现良好的脱气处理。

上述顶壁28和上述底壁30以水平姿势配置在上述各辊18A、18B及上述各板式加热器12的上下方向两侧。这些顶壁28和底壁30都呈矩形形状，分别与上述各侧壁20、22、24及26的上端部及下端部相连。由此，能够在上述腔室14内形成大致长方体状的密闭空间。

在以上说明的腔室14的外壁上，作为上述开口，形成有前后的辊间开口40、42、上侧开口44和下侧开口46。

上述辊间开口40、42在上述前侧壁20和后侧壁22中形成在该上侧辊支承部20a、22a与下侧辊支承部20b、22b之间的区域中，具有将如上述那样沿上下方向被输送的上述被成膜材10的各垂直部分10a及上述各板式加热器12沿上述行进方向（左右方向）横穿的形状，例如横长的矩形形状。

在该实施方式中，在上述各前侧壁20和后侧壁22上经由铰链能够转动地安装有前盖50和后盖52，前盖50和后盖52是用于将上述各辊间开口40、42开闭的盖。在各盖50、52上分别设置有观察窗48，经由这些观察窗48，能够在保持将上述盖50、52关闭的状态下进行腔室14内的检查。上述加热器固定件32连结在上述前侧壁20和后侧壁22中的上述各辊间开口40、42的紧上侧的部位上。此外，在与这些部位大致相同的高度位置还设置有配线端口47，该配线端口47是使用于上述各板式加热器12的供电的加热器用配线49穿过的孔。

具有上述形状的辊间开口40、42在上侧辊支承部20a、22a与下侧辊支承部20b、22b之间的区域中，将在上侧辊18A与下侧辊18B之间在行进方向上密集的（被成膜材10的）多个垂直部分10a和板式加热器12的主要部分，在其前侧或后侧横穿，所以能够利用上述前侧壁20和上述后侧壁22对各引导辊18A、18B进行支承，并且能够经由上述辊间开口40、42遍及大范围有效且高效地进行各辊18A、18B及板式加热器12的维护作业、以及将被成膜材10架设在各辊18A、18B上的作业。

进而，上述辊间开口40、42能够使上述板式加热器12的上下方向的尺寸增大，并相应地使行进方向（左右方向）的腔室14的尺寸减小。例如，在相对于上述上侧和下侧辊18A、18B及板式加热器12仅能够从上侧达到的装置中，如果使上侧辊18A与下侧辊18B的离开尺寸及上述板式加热器12的上下方向的尺寸增大，则手或维护用的器具不能到达该板式加热器12的下侧部分或下侧辊18B，所以在该尺寸方面存在显著的限制，与此相对，在上述那样的包括辊间开口的装置中，即使增大上述上侧辊18A、18B间的距离及板式加热器12的上下方向的尺寸，只要与其配合地扩大该辊间开口的上下尺寸，就能够确保良好的维护作业。

这样的辊间开口即使仅设在上述前侧壁20和上述后侧壁22的某一方也是有效的，但更优选的是如图1和图2所示那样形成在两侧壁20、22上。这不仅使维护作业变得更容易，还通过减小因该辊间开口的形成造成的前侧壁20和后侧壁22的刚性的降低程度的差，使从上述上侧和下侧辊18A、18B受到的载荷带来的前侧壁20和后侧壁22的变形的程度均等化，由此，能够将该辊18A、18B的水平度保持得较高。

上述上侧开口44和下侧开口46分别形成在上述顶壁28和底壁30上。在图1和图2所示的例子中，上侧开口44具有将各上侧辊18A向上方开放的大小，下侧开口46具有将各下侧辊18B向下方开放的大小。因而，能够经由这些开口44、46容易地进行各辊18A、18B的清扫及被成膜材10的架设作业。此外，在上述顶壁28和底壁30上，分别经由水平方向的铰链55能够转动地安装有上盖54和下盖56，上盖54和下盖56是用于将上述各开口44、46开闭的盖。

上述支承框架16呈包括沿上下方向延伸的多根柱57的框状，通过使该柱57主要从下方支承上述腔室14，使得在上述下侧开口46的下方在上述各柱57的内侧形成作业用的空间58。该空间58优选的是具有作业人员能够以不勉强的姿势进入的大小。该支承框架16起到利用下侧开口46使上述下侧辊18B等的维护及被成膜材10的设定作业变容易的作用。

如图2所示，该第1实施方式的脱气处理装置还包括用来进行经由上述上侧开口的作业的脚手架60、62。这些脚手架60、62配置在上述腔室14的前后方向的两侧。这些脚手架60、62的高度位置只要处于从该辊间开口40、42在上下方向上偏移以便不妨碍经由上述辊间开口40、42的维护作业的位置即可，既可以是如图2中用实线所示比各辊间开口40、42靠上侧的位置，也可以是如该图中用双点划线60′、62′分别表示的那样比各辊间开口40、42靠下侧的位置。

设置在这样的位置处的脚手架60、62能够不损害上述辊间开口40、42的功能，而且关于上述行进方向（左右方向）允许如图1所示那样配置上游侧单元U1及下游侧单元U2，同时使经由上述上侧开口44的作业变得容易。

图3和图4表示本发明的第2实施方式的脱气处理装置。

上述第1实施方式的脱气处理装置例如在成膜系统中作为其一部分的加工单元组装，在对从上游侧单元U1送来的被成膜材10实施脱气处理后向下游侧单元U2供给，与此相对，第2实施方式的脱气处理装置作为脱气处理的专用装置构成。

具体而言，该第2实施方式的脱气处理装置与上述第1实施方式同样，除了包括包含多个上侧辊18A和多个下侧辊18B的多个引导辊、多个板式加热器12和收纳这些引导辊和板式加热器12的腔室64以外，还包括展开滚筒66、卷取滚筒68、冷却辊70、一对张力检测辊72、74、和以预定形状引导被成膜材10的多个自由辊76。

上述上侧辊18A、下侧辊18B及板式加热器12的配置与上述第1实施方式的装置的配置是同样的，配设上侧辊18A和下侧辊18B以便一边将被成膜材10沿上下方向输送一边使其沿左右方向行进这一点、以及将板式加热器12配置在该被输送的被成膜材10的垂直部分10a彼此之间并将该被成膜材10加热这一点与第1实施方式的装置是共通的。

在该第2实施方式的装置中，不包括上述第1实施方式的支承框架16，取而代之，腔室64呈遍及装置的上下方向整个区域延伸的纵长的大致长方体状。并且，在该腔室64的下部收纳有上述展开滚筒66和卷取滚筒68，在该卷取滚筒68与上述下侧辊18B之间的位置配置有上述冷却辊70。

上述展开滚筒66保持卷绕着脱气处理前的被成膜材10的所谓的原料，通过以与上述各辊18A、18B的旋转轴平行的方向（前后方向）的轴为中心旋转，而将被成膜材10从该原料朝向上述辊18A、18B展开。上述卷取滚筒68通过同样地以前后方向的轴为中心旋转，来卷取穿过了上述辊18A、18B的被成膜材10。

上述冷却辊70通过在上述辊18A、18B与上述卷取滚筒68之间的位置与上述被成膜材10接触，将由上述板式加热器12加热后的被成膜材10冷却。该冷却辊70通过与未图示的马达连结，也作为对被成膜材10施加输送力的驱动辊发挥功能。上述各张力检测辊72、74将如上述那样兼作为驱动辊的冷却辊70的上游侧和下游侧的被成膜材10的张力分别转换为电信号，并向未图示的控制板输入。在由这些张力检测辊72、74检测的张力是异常的情况下，执行使装置自动停止的控制。

上述腔室64与上述第1实施方式的腔室14同样地具有外壁，该外壁具有前侧壁80、后侧壁82、左侧壁84、右侧壁86、顶壁88及底壁89。前侧壁80和后侧壁82以直立姿势配置在辊18A、18B及板式加热器12的前后方向的两侧，左侧壁84和右侧壁86以直立姿势配置在上述辊18A、18B及板式加热器12的左右方向（被成膜材10的行进方向）的两侧，顶壁88和底壁89以水平姿势配置在上述辊18A、18B及板式加热器12的上下方向的两侧。

上述前侧壁80和上述后侧壁82与第1实施方式的前侧壁20和后侧壁22同样，具有将上侧辊18A的轴向端部能够旋转地支承的上侧辊支承部80a、82a、和将下侧辊18B的轴向端部能够旋转地支承的下侧辊支承部80b、82b，在该前侧壁80和后侧壁82中，在上述上侧辊支承部80a、82a与上述下侧辊支承部80b、82b之间的区域中，分别形成有辊间开口90、92，辊间开口90、92将一边沿上下方向被输送一边沿左右方向行进的上述被成膜材10的各垂直部分10a及板式加热器12沿该被成膜材10的行进方向横穿。在上述前侧壁80和后侧壁82上，分别经由铰链能够转动地安装有将上述辊间开口90、92开闭的盖100、102，在各盖100、102上设置有观察窗104，观察窗104使得在保持将这些盖100、102关闭的状态下能够进行腔室64内的检查。

但是，在该第2实施方式中，与上述第1实施方式不同，上述下侧辊支承部80b、82b由前侧壁80和后侧壁82中的其上下方向的中间部位构成，比该下侧辊支承部80b、82b靠下侧的区域中的部位将上述展开滚筒66、展开滚筒68、冷却辊70及张力检测辊72、74的轴向的两端能够旋转地支承。

上述展开滚筒66和展开滚筒68以沿左右方向排列的方式配置在腔室64的下部，并且以能够相对于上述前侧壁80和后侧壁82拆装的方式支承在该壁80、82上。在后侧壁82上分别连结着用来将上述展开滚筒66及卷取滚筒68旋转驱动的滚筒驱动马达67、69，各滚筒驱动马达67、69具有能够与上述展开滚筒66和上述卷取滚筒68分别可拆装地连结的输出轴。此外，在腔室64上连接着另外放置的干式真空泵106或控制板等必要的附属设备。

在该实施方式中，上述各板式加热器12以从顶壁88悬吊的状态由该顶壁88支承。具体而言，各板式加热器12的上端与顶壁88经由加热器固定件38连结。

上述前侧壁80和后侧壁82的上下方向的端部与上述顶壁88及上述底壁89的前后方向的端部分别一体地接合，与此相对，上述左右侧壁84、86的后侧端部经由铰链94可绕上下方向的轴转动地连结。即，左右侧壁84、86作为将由前侧壁80、后侧壁82、顶壁88及底壁89包围的左右开口85、87开闭的门构成。

进而，该装置包括用来将腔室64内密闭的密封圈96。该密封圈96呈矩形形状，固定在与上述该开口的周缘对应的各壁80、82、88、89的左右两端面、和与这些面分别对置的左右侧壁84、86的外周部的内侧面中的一个面上，通过当将作为门的左右侧壁84、86关闭时与另一面紧贴，而将腔室64内密闭。

以上的构成使得能够容易地经由借助左右侧壁84、86开闭的左右开口85、87进行1）将左右的展开滚筒66和卷取滚筒68运入运出的作业、2）各展开滚筒66、68与辊18A、18B之间的被成膜材10的通纸作业（设定作业）、3）左右开口85、87的附近的各辊的维护作业等。

进而，在上述左右侧壁84、86上设置有多个观察窗97、98。观察窗97设置在与上述垂直部分10a及板式加热器12的中间部位对应的高度位置，观察窗98设置在与上述展开滚筒66及上述展开滚筒68对应的高度位置。这些观察窗97、98使得在保持将作为门的左右侧壁84、86关闭的状态下，能够进行上述垂直部分10a、板式加热器12、各滚筒66、68等的检查。

在该第2实施方式中，左右侧壁84、86本身转动而构成为将左右开口85、87开闭的门，但也可以是左右侧壁84、86与构成外壁的其他壁80、82、88、89一体地相连并在该左右侧壁84、86上形成左右开口85、87。在此情况下，该左右开口85、87也优选的是具有分别允许展开滚筒66及展开滚筒68经由该左右开口85、87运入运出的大小。

根据该第2实施方式的脱气处理装置，例如能够通过以下的要领获得脱气处理完毕的被成膜材10。

1）将左右侧壁84、86打开，经由左右开口，将保持原料（卷绕着未处理的被成膜材10的部件）的展开滚筒66和空的卷取滚筒68分别设定到腔室64内。

2）从展开滚筒66将被成膜材10拉出，以交错状架设到上下的引导辊18A、18B之间，再依次架设到张力检测辊72、冷却辊70及张力检测辊74上，并将该被成膜材10的端部固定到卷取滚筒68上。

3）将左右侧壁84、86关闭，使各马达、控制板及其他设备动作，执行脱气处理。具体而言，通过展开滚筒66及卷取滚筒68的旋转驱动，将被成膜材10从展开滚筒66展开，通过引导辊18A、18B与板式加热器12的组合依次执行该被成膜材10的脱气处理，利用卷取滚筒68来卷取处理后的被成膜材10。

4）在脱气处理完成后，将左右侧壁84、86打开，将空的展开滚筒66和卷取着被成膜材10的卷取滚筒68取出。将卷取在卷取滚筒68上的脱气处理后的被成膜材10用于接下来的加工（例如成膜加工）。

以下，通过反复进行1）～4）的步骤，能够依次提供脱气处理完毕的被成膜材。此外，利用上述辊间开口90、92及左右开口85、87进行高效的维护作业是如上所述那样的。

在该第2实施方式的装置中，将上述辊间开口90、92开闭的盖100、102的至少一方也可以是通过沿前后方向滑动来将该辊间开口开闭的结构。例如也可以是，前侧的盖100经由铰链能够转动地安装在前侧壁80上以将辊间开口90开闭，另一方面，后侧的盖102支承在后侧壁82上，以便通过向后方以拉出的方式滑动来将辊间开口92开放。在此情况下，上述各板式加热器12也可以以与该盖102一体地沿前后方向滑动的方式支承在该盖102上。在该装置中，也能够容易地进行维护作业。例如，也可以在将后侧的盖102向后侧拉出的状态下进行维护作业及所谓的通纸作业后，使该盖102与板式加热器12一起向前方滑动而将后侧的辊间开口92关闭，从而开始运转。

此外，本发明没有将除了上述板式加热器12以外还设有其他加热器例如加热用的辊的结构除外。即，本发明能够应用于作为加热机构而至少包括板式加热器的结构。

如上所述，根据本发明，提供一种脱气处理装置，包括用于一边将被成膜材沿上下方向输送一边使其沿左右方向行进的多个辊及多个板式加热器，能够高效地进行其维护。该装置是通过将沿特定方向延伸的带状的被成膜材一边沿其纵长方向输送一边加热来进行该被成膜材的脱气处理的装置，包括：多个引导辊，一边将上述被成膜材沿上下输送，一边引导该被成膜材以使其沿与上述上下方向正交的特定的行进方向行进，包括在上述行进方向上隔开间隔地排列的多个上侧辊、和在比上述上侧辊靠下侧的位置在上述行进方向上隔开间隔地排列的多个下侧辊；至少一个板式加热器，以直立姿势配设于沿上下方向被输送的被成膜材中的在上述行进方向上彼此相邻的部分彼此之间，发热以将该部分加热；和腔室，收纳上述引导辊和上述板式加热器。腔室包括外壁，所述外壁将上述引导辊和上述板式加热器包围，形成有将该外壁的内外连通的开口。该外壁包括前侧壁和后侧壁，当设与上述各引导辊的旋转中心轴平行的方向为前后方向时，所述前侧壁和后侧壁分别位于上述引导辊和上述板式加热器的该前后方向的两侧，这些前侧壁和后侧壁分别包括将上述各上侧辊的轴向端部能够旋转地支承的上侧辊支承部、和在比该上侧辊支承部靠下侧的位置将上述各下侧辊的轴向端部能够旋转地支承的下侧辊支承部。在上述开口中，包括在上述前侧壁和后侧壁的至少一方上形成在其上侧辊支承部与下侧辊支承部之间的区域中的辊间开口，该辊间开口具有将沿上下方向被输送的上述被成膜材和上述各板式加热器沿上述行进方向横穿的形状。

该装置的上述辊间开口在前侧壁和后侧壁的至少一方上形成在上侧辊支承部与下侧辊支承部之间，并且在上侧辊与下侧辊之间将在行进方向上密集的多个被成膜材的部分和板式加热器在其前侧或后侧横穿，所以在能够利用上述前侧壁和上述后侧壁对各引导辊进行支承的同时，能够经由上述辊间开口遍及大范围有效且高效地进行各引导辊及板式加热器的维护作业及被成膜材的所谓通纸作业（在上述各引导辊上架设被成膜材的作业）。

上述辊间开口优选的是形成在上述前侧壁和上述后侧壁这两者上。这不仅使维护作业变得更容易，而且通过减小前侧壁与后侧壁的刚性差，使由从上述各引导辊受到的载荷带来的前侧壁和后侧壁的变形程度均等化，由此，能够将各引导辊的水平度保持得较高。

更优选的是，在上述外壁上，作为上述开口除了上述辊间开口以外还形成其以外的开口。例如，在该外壁包括位于上述引导辊及上述板式加热器的上侧及下侧的顶壁和底壁的情况下，作为上述开口，也可以在上述顶壁及上述底壁上分别形成上侧开口及下侧开口。在此情况下优选的是，脱气处理装置还包括将上述腔室从下方支承并在上述下侧开口的下方形成作业用的空间的支承部件。该支承部件与上述下侧开口的组合使得不仅从上述腔室的上侧，而且从下侧也能够进行各引导辊及板式加热器的维护。

在此情况下优选的是，该脱气处理装置包括用于进行经由上述上侧开口的作业的脚手架，该脚手架可以在上述腔室的前后方向的至少一侧配置在从上述辊间开口在上下方向上偏移的位置。设置在这样的位置的脚手架不会成为经由上述辊间开口的维护作业的妨碍，此外，在关于上述行进方向允许在上述腔室的至少一侧配置其他加工单元的同时，能够使经由上述上侧开口的作业变容易。

本发明的脱气处理装置既可以作为成膜装置的一部分一体地组装在其中，也可以作为与成膜装置独立的专用装置构成。例如，本发明的脱气处理装置也可以是以下结构：除了上述各引导辊以外，还包括展开滚筒和卷取滚筒，所述展开滚筒一边绕沿前后方向延伸的轴旋转一边将被成膜材向上述各引导辊展开，所述卷取滚筒一边绕沿前后方向延伸的轴旋转一边将被成膜材从上述各引导辊卷取，这些展开滚筒和卷取滚筒与上述引导辊一起收纳在上述腔室内。

在此情况下优选的是，上述展开滚筒和卷取滚筒在从上述各引导辊在上下方向上偏移的位置，以关于与上述各引导辊的旋转中心轴正交的左右方向相互并列的方式设置，在上述腔室的外壁上，作为上述开口，形成有分别位于该外壁的左右两侧的左右开口，这些左右开口分别具有能够经由该左右开口进行上述展开滚筒和上述卷取滚筒的取放的大小。通过基于该构成，能够提供一种能够在单一的腔室内完成脱气处理的紧凑的脱气处理专用的装置，能够容易地进行作为原料滚筒的展开滚筒的运入及作为产品滚筒的卷取滚筒的取出。

Claims (6)

1.一种脱气处理装置，通过将沿特定方向延伸的带状的被成膜材一边沿其纵长方向输送一边加热来进行该被成膜材的脱气处理，其特征在于，

包括：

多个引导辊，一边将上述被成膜材沿上下方向输送，一边引导该被成膜材以使其沿与上述上下方向正交的特定的行进方向行进，包括在上述行进方向上隔开间隔地排列的多个上侧辊、和在比上述上侧辊靠下侧的位置在上述行进方向上隔开间隔地排列的多个下侧辊；

至少一个板式加热器，以直立姿势配设于沿上下方向被输送的被成膜材中的在上述行进方向上彼此相邻的部分彼此之间，发热以将该部分加热；和

腔室，收纳上述引导辊和上述板式加热器，该腔室包括外壁，所述外壁将上述引导辊和上述板式加热器包围，形成有将该外壁的内外连通的开口，

该外壁包括前侧壁和后侧壁，当设与上述各引导辊的旋转中心轴平行的方向为前后方向时，所述前侧壁和后侧壁分别位于上述引导辊和上述板式加热器的该前后方向的两侧，这些前侧壁和后侧壁分别包括将上述各上侧辊的轴向端部能够旋转地支承的上侧辊支承部、和在比该上侧辊支承部靠下侧的位置将上述各下侧辊的轴向端部能够旋转地支承的下侧辊支承部，

在上述开口中，包括在上述前侧壁和后侧壁的至少一方上形成在其上侧辊支承部与下侧辊支承部之间的区域中的辊间开口，该辊间开口具有将沿上下方向被输送的上述被成膜材和上述各板式加热器沿上述行进方向横穿的形状。

2.如权利要求1所述的脱气处理装置，其特征在于，

上述辊间开口形成在上述前侧壁和上述后侧壁这两者上。

3.如权利要求1所述的脱气处理装置，其特征在于，

上述外壁包括分别位于上述引导辊和上述板式加热器的上下方向的两侧的顶壁和底壁，作为上述开口而在上述顶壁和上述底壁上分别形成上侧开口和下侧开口，上述脱气处理装置还包括从下方支承上述腔室并在上述下侧开口的下方形成作业用的空间的支承部件。

4.如权利要求3所述的脱气处理装置，其特征在于，

还包括用于进行经由上述上侧开口的作业的脚手架，该脚手架在上述腔室的前后方向的至少一侧配置在从上述辊间开口在上下方向上偏移的位置。

5.如权利要求1～4中任一项所述的脱气处理装置，其特征在于，

还包括展开滚筒和卷取滚筒，所述展开滚筒一边绕沿前后方向延伸的轴旋转一边将被成膜材向上述各引导辊展开，所述卷取滚筒一边绕沿前后方向延伸的轴旋转一边将被成膜材从上述各引导辊卷取，这些展开滚筒和卷取滚筒与上述引导辊一起收纳在上述腔室内。

6.如权利要求5所述的脱气处理装置，其特征在于，

上述展开滚筒和卷取滚筒在从上述各引导辊在上下方向上偏移的位置，以关于与上述各引导辊的旋转中心轴正交的左右方向相互并列的方式设置，在上述腔室的外壁上，作为上述开口，形成有分别位于该外壁的左右两侧的左右开口，这些左右开口分别具有能够经由该左右开口进行上述展开滚筒和上述卷取滚筒的取放的大小。