CN105229496B - 彩色滤光片、液晶显示装置以及彩色滤光片的制造方法 - Google Patents

彩色滤光片、液晶显示装置以及彩色滤光片的制造方法 Download PDF

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Abstract

提供一种能够提高BM的开口率的彩色滤光片、液晶显示装置以及彩色滤光片的制造方法。针对配置于开口(26r)的R层(23r),右曝光部(232)和配置于与开口(26r)的右侧相邻的开口(26g)的G层(23g)的左曝光部(231)是通过使用对准标记(M2)进行曝光来以图案的方式形成的。即,能够通过使用相同的对准标记进行曝光,来以图案的方式形成应该分别配置于在左右方向上相邻的2个开口(26、26)中的RGB层(23、23)的左右方向上相向的部分。因此,不会发生因参照不同的对准标记而引起RGB层(23、23)之间配置得过度(没有必要)的接近或者远离。因此,不需要在左右方向上增长RGB层(23、23)之间的BM(22)。因此能够提高BM的开口率。

Description

彩色滤光片、液晶显示装置以及彩色滤光片的制造方法
技术领域
本发明涉及一种彩色滤光片、液晶显示装置以及彩色滤光片的制造方 法。
背景技术
液晶显示装置例如具有以图案的方式形成有RGB三原色的着色层的彩 色滤光片、液晶驱动用的TFT基板、液晶部、两张为一组的偏光板以及背光 单元等。以下,将红色、绿色以及蓝色的着色层称为R层、G层以及B层。 另外,将不区分R层、G层以及B层的情况下的着色层称为RGB层。
彩色滤光片具有:透光的玻璃基板;形成于玻璃基板的一个表面的黑色 矩阵(参照专利文献1)。黑色矩阵(以下,称为BM)是指设有各矩形状 的多个开口的遮光层。以下,说明开口分别在左右方向以及上下方向上排列 设置有多个的情况。
彩色图像的1个像素对应左右方向上相邻的3个开口。在左侧的开口配 置R层,在左右方向中央部的开口配置G层,在右侧的开口配置B层。各 RGB层呈堵塞开口且局部与开口的周缘部(即BM)重合的矩形。
液晶部被封入彩色滤光片与TFT基板之间。在彩色滤光片的前表面侧配 置有一个偏光板,在TFT基板的后表面侧隔着另一个偏光板配置有背光单 元。
液晶显示装置的背光单元发出的光依次透过后表面侧的偏光板、TFT基 板以及液晶部之后,入射至彩色滤光片。入射至彩色滤光片的光透过R层、 G层以及B层中的某个层,被着色为RGB三原色中的某个颜色。着色的光 从彩色滤光片出射之后,被前表面侧的偏光板遮挡或者透过该偏光板。结果, 在液晶显示装置上显示彩色图像。
当制造彩色滤光片时,首先,在玻璃基板的一个表面上以图案的方式形 成BM。此时,设有多个对准标记。RGB层是参照这些对准标记来以图案的 方式形成的。
因形成BM时的对准标记的配置误差以及形成RGB层时的对准标记的 读取误差等,导致各个RGB层以相对于开口发生错位的状态形成。
特别地,在左右方向上相邻的2个开口中,例如,在左侧的开口形成B 层时和右侧的开口形成R层时参照不同的对准标记的情况下,有时左侧的开 口的B层相对于开口向右侧错位,右侧的开口的R层相对于开口向左侧错位。 即,B层以及R层被配置得过度(没有必要)地接近。此时,在B层以及R 层中,2个开口之间的BM(以下,称为纵向BM)的重合部分的宽度变大。 反之,若B层向左侧错位,R层向右侧错位,则B层以及R层被配置得过度 (没有必要)地远离。此时,在B层以及R层中,纵向BM的重合部分变小。
以往提出如下的一种彩色滤光片,该彩色滤光片使RGB层与BM的重 合部分在左右方向上的长度(以下,称为横向宽度)改变,而且重合部分的 横向宽度的变动程度在整个显示区域都是一样的(参照专利文献2)。
在具有专利文献2中记载的彩色滤光片的液晶显示装置的情况下,由于 因重合部分的横向宽度的变动而引起的显示不均匀现象不明显,所以能够提 高液晶显示装置所显示的彩色图像的画质。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:JP特开2010-134483号公报
专利文献2:国际公开2010/125825号
发明内容
发明要解决的问题
若RGB层之间配置得过度(没有必要)地接近或者远离,则存在开口 的一部分不被RGB层覆盖的危险。为了不发生这样的问题,预先将纵向BM 的横向宽度设置得较长。
因参照不同的对准标记而引起的RGB层之间配置得过度(没有必要) 的接近或者远离,是发生在彩色滤光片的一部分的现象。但是,在仅增加BM 的一部分的纵向BM的横向宽度的情况下,纵向BM彼此的横向宽度的差异 可能会导致显示不均匀。因此,不得不增加BM整体的纵向BM的横向宽度。
结果,产生在与液晶显示装置的显示区域相对应的范围内BM的开口率 较低的问题。
在专利文献1、2中并未记载用于提高BM的开口率的技术内容。
本发明鉴于上述的事情而提出,其主要的目的在于,提供一种能够提高 BM的开口率的彩色滤光片、液晶显示装置以及彩色滤光片的制造方法。
用于解决问题的手段
本发明的彩色滤光片具有:透光基板,遮光层,形成于该透光基板的一 面,沿一个方向排列设置有多个开口,着色层,配置于各开口中,堵塞该开 口,且与所述遮光层局部重合;其特征在于,所述开口中的至少2个开口中 分别配置的着色层,在所述一个方向的中央部具有着色凸部。
本发明的彩色滤光片,其特征在于,所述遮光层在与所述开口的所述一 个方向的中央部相对应的位置具有遮光凸部。
本发明的彩色滤光片,其特征在于,所述开口沿所述一个方向以及与该 一个方向相交的另一个方向排列设置,所述一个方向的相邻开口间的长度比 所述另一个方向的相邻开口间的长度长。
本发明的彩色滤光片,其特征在于,所述开口沿所述一个方向以及与该 一个方向相交的另一个方向排列设置,所述着色凸部形成一直线状、特定线 状或弯曲线状,该一直线状指,位于所述着色层的所述一个方向的中央部且 到达所述另一个方向的两端部的直线状,该特定线状指,位于所述着色层的 所述一个方向的中央部,且沿着所述开口的周缘部到达所述另一个方向的两 端部的线状,该弯曲线状指,位于所述着色层的所述一个方向的中央部,从 所述另一个方向的一个端部到达所述另一个方向的中央部再从该中央部到达所述另一个方向的一端部的线状。
本发明的液晶显示装置具有:液晶部,使用液晶形成,彩色滤光片,将 透过该液晶部的光着色;其特征在于,所述彩色滤光片是本发明的彩色滤 光片。
本发明的液晶显示装置,其特征在于,该液晶显示装置具有阻挡部,该 阻挡部对光向所述液晶部的入射或者透过所述液晶部的光的出射进行阻挡, 所述彩色滤光片的着色凸部的配置位置与所述阻挡部的配置位置相对应。
本发明的彩色滤光片的制造方法包括:遮光层形成工序,在透光基板的 一面上以图案的方式形成遮光层,该遮光层设有沿一个方向排列的多个开口 和多个对准标记,着色层形成工序,以图案的方式形成着色层,该着色层配 置于各开口,堵塞该开口,且与所述遮光层局部重合;在该着色层形成工序 中,通过使用同一对准标记进行曝光,以图案的方式形成应该分别配置于所 述一个方向上相邻的两个所述开口中的着色层的所述一个方向上相向的部 分,来制造权利要求1~4中任一项所述的彩色滤光片,所述着色层形成工 序包括:在所述遮光层以及通过所述开口露出的所述透光基板上层叠应该成 为一种颜色的着色层的第一着色材料层的工序,第一曝光工序,使用一个对 准标记,对与第一着色层的包括应该配置于第一开口的所述一个方向的一侧 在内的一部分相当的所述第一着色材料层进行第一曝光,第二曝光工序,使 用其他的对准标记,对与所述第一着色层的剩余部分相当的所述第一着色材 料层进行第二曝光,并且对位于应该成为所述第一着色层的部分的所述一个 方向上的中央部且进行过所述第一曝光的所述第一着色材料层再次进行曝 光,在所述第一曝光工序以及第二曝光工序结束后,形成所述第一着色层的 工序,在所述遮光层以及通过所述开口露出的所述透光基板上层叠应该成为 与所述一种颜色不同的其他颜色的着色层的第二着色材料层的工序,第三曝 光工序,使用所述一个对准标记,对与第二着色层的包括应该配置于第二开 口的所述一个方向上的另一侧在内的一部分相当的所述第二着色材料层进 行第三曝光,该第二开口在所述一个方向的一侧与所述第一开口相邻,第四 曝光工序,使用所述其他的对准标记,对与所述第二着色层的剩余部分相当 的所述第二着色材料层进行第四曝光,并且对位于应该成为所述第二着色层 的部分的所述一个方向上的中央部且进行过所述第三曝光的所述第二着色 材料层再次进行曝光,在所述第三曝光工序以及第四曝光工序结束后,形成 所述第二着色层的工序。
本发明的彩色滤光片的制造方法,其特征在于,所述遮光层形成工序包 括:在所述透光基板的一面上层叠应该成为所述遮光层的遮光材料层的工 序,第五曝光工序,对与所述遮光层的所述一个方向上的一部分相当的所述 遮光材料层进行第五曝光,第六曝光工序,对与所述遮光层的在所述一个方 向与所述一部分邻接的其他部分相当的遮光材料层进行第六曝光,并且对进 行过所述第五曝光的所述遮光材料层中的特定位置再次进行曝光,该特定位 置是与应该成为所述开口的部分在所述一个方向上的中央部相对应的位置, 在所述第五曝光工序以及第六曝光工序结束后,形成所述遮光层的工序。
根据本发明,液晶显示装置具有本发明的彩色滤光片。本发明的彩色滤 光片例如是通过本发明的彩色滤光片的制造方法制造的。
通过进行第一曝光工序以及第二曝光工序(或者第三曝光工序以及第四 曝光工序)形成的RGB层在左右方向中央部具有着色凸部。这是因为,在 以图案的方式形成过程中,曝光两次的着色材料层与仅曝光一次的着色材料 层相比更难去除。因此,从去除掉的部分观察,未被去除而剩下的部分呈凸 状的阶梯部。这就是着色凸部。由于着色凸部的突出量与RGB层的厚度相 比足够小,所以着色凸部对彩色图像的显示产生的不良影响很轻微。
配置于第一开口的RGB层在第一曝光工序中形成的部分(以下,称为 第一曝光部)与配置于第二开口的RGB层在第三曝光工序中形成的部分(以 下,称为第三曝光部)在左右方向上相向。而且,第一曝光部和第三曝光部 都是使用一个对准标记进行曝光来以图案的方式形成的。即,针对第一曝光 部和第三曝光部,不会发生因参照不同的对准标记而引起配置得过度(没有 必要)的接近或者远离的情况。
另一方面,配置于第一开口的RGB层在第二曝光工序中形成的第二曝 光部与配置于第二开口的RGB层在第四曝光工序中形成的第四曝光部都是 通过使用其他的对准标记进行曝光来以图案的方式形成的。
应该配置于除了第一以及第二开口以外的开口的RGB层可以与应该配 置于第一以及第二开口的RGB层同样地,通过使用2个对准标记进行两次 曝光来以图案的方式形成,也可以与以往的RGB层同样地,通过使用1个 对准标记进行一次曝光来以图案的方式形成。通过适当地使用这些方式,能 够通过使用同一对准标记进行曝光来以图案的方式形成应该分别配置于在 左右方向上相邻的2个开口中的RGB层的左右方向上相向的部分。因此,不会发生因参照不同的对准标记而引起的RGB层彼此配置得过度(没有必 要)的接近或者远离的情况。
结果,不需要增加纵向BM的横向宽度。因此,提高BM的开口率。
根据本发明,针对BM,在第五曝光工序以及第六曝光工序中曝光两次 的部分,可以说是BM的左右方向的一部分与其他部分的接缝。该接缝位于 与纵向BM无关的部分。
因此,在遮光材料层中,即使在第六曝光工序中被曝光的部分相对于在 第五曝光工序中被曝光的部分在左右方向上产生错位,不会对纵向BM的横 向宽度产生不良影响。换言之,能够使纵向BM的横向宽度恒定。
根据本发明,例如左右方向上的相邻开口间的长度与左右方向上相邻的 2个开口之间的BM的左右方向上的长度(即纵向BM的横向宽度)相同。 纵向BM的横向宽度比上下方向上的相邻开口间的长度,即,比在上下方向 上相邻的2个开口之间的BM(以下,称为横向BM)的左右方向上的长度 更长。
一般地,与进一步地缩短较短的宽度相比,缩短较长的宽度更容易。即, 通过缩短BM的比较容易缩短的部分,能够高效地提高开口率。
根据本发明,着色凸部的形状可以是一条直线也可以是弯曲线状,可以 与开口的形状相对应也可以与开口的形状无关。即,针对在第一曝光工序(或 者第三曝光工序)中被曝光的部分的形状和在第二曝光工序(或者第四曝光 工序)中被曝光的部分的形状的设计的自由度较高。
根据本发明,着色凸部的配置位置与阻挡部的配置位置相对应。
RGB层的具有着色凸部的部分与RGB层的不具有着色凸部的部分相 比,光略微难以透过。但是,由于阻挡部阻挡光从各个光路向液晶显示装置 的外部出射,所以即使RGB层的具有着色凸部的部分的透明度较低,也没 有问题。因此,能够忽略着色凸部对彩色图像的显示产生的不良影响。
发明的效果
本发明的彩色滤光片,在液晶显示装置以及彩色滤光片的制造方法,例 如针对隔着纵向BM相邻的RGB层之间,不会发生因参照不同的对准标记 而引起的配置得过度(没有必要)的接近或者远离的情况。因此,能够将纵 向BM的横向宽度缩短得比以往的横向宽度更短。因此,能够提高BM的开 口率。
具有BM的开口率较高的彩色滤光片的液晶显示装置能够提高当显示彩 色图像时的光的利用效率。
附图说明
图1是示意性地示出本发明的实施方式1的液晶显示装置的结构的剖视 图。
图2是示意性地示出本发明的实施方式1的彩色滤光片的结构的主视 图。
图3是示意性地示出彩色滤光片具有的RGB层的配置的主视图。
图4是示意性地示出用于以图案的方式形成BM的曝光掩膜的结构的主 视图。
图5A是用于说明BM的形成顺序的示意图。
图5B是用于说明BM的形成顺序的示意图。
图5C是用于说明BM的形成顺序的示意图。
图6A是用于说明BM的形成顺序的示意图。
图6B是用于说明BM的形成顺序的示意图。
图7是示意性地示出用于以图案的方式形成RGB层的曝光掩膜的结构 的主视图。
图8是示意性地示出设于用于以图案的方式形成R层的曝光掩膜的左侧 掩膜部以及中央掩膜部的掩膜图案的主视图。
图9是示意性地示出设于用于以图案的方式形成G层的曝光掩膜的左侧 掩膜部以及中央掩膜部的掩膜图案的主视图。
图10是示意性地示出设于用于以图案的方式形成B层的曝光掩膜的左 侧掩膜部以及中央掩膜部的掩膜图案的主视图。
图11是用于说明R层的形成顺序的示意的剖视图。
图12是用于说明R层的形成顺序的示意的剖视图。
图13是用于说明R层的形成顺序的示意的剖视图。
图14是用于说明G层的形成顺序的示意的剖视图。
图15是用于说明G层的形成顺序的示意的剖视图。
图16是用于说明G层的形成顺序的示意的剖视图。
图17是用于说明B层的形成顺序的示意的剖视图。
图18是用于说明B层的形成顺序的示意的剖视图。
图19是用于说明B层的形成顺序的示意的剖视图。
图20是示意性地示出以往的彩色滤光片具有的RGB层的配置的主视 图。
图21是示意性地示出本发明的实施方式2的彩色滤光片的结构的主视 图。
图22是示意性地示出本发明的实施方式3的彩色滤光片具有的用于以 图案的方式形成BM的曝光掩膜的结构的主视图。
图23A是用于说明BM的形成顺序的示意图。
图23B是用于说明BM的形成顺序的示意图。
图23C是用于说明BM的形成顺序的示意图。
图24A是用于说明BM的形成顺序的示意图。
图24B是用于说明BM的形成顺序的示意图。
图25是示意性地示出本发明的实施方式4的彩色滤光片具有的用于以 图案的方式形成BM的曝光掩膜(左侧掩膜部以及右侧掩膜部)的结构的主 视图。
图26是示意性地示出本发明的实施方式4的彩色滤光片具有的用于以 图案的方式形成BM的曝光掩膜(中央掩膜部)的结构的主视图。
图27是用于说明BM的形成顺序的示意图。
图28是示意性地示出本发明的实施方式5的彩色滤光片的结构的主视 图。
图29是示意性地示出本发明的实施方式6的彩色滤光片的RGB层(弯 曲线状的着色凸部)的结构的主视图。
图30是示意性地示出本发明的实施方式6的彩色滤光片的RGB层(一 直线状的着色凸部)的结构的主视图。
图31是示意性地示出本发明的实施方式7的彩色滤光片的结构的主视 图。
图32是示意性地示出本发明的实施方式8的彩色滤光片的结构的主视 图。
图33是示意性地示出本发明的实施方式9的彩色滤光片的结构的主视 图。
图34是示意性地示出本发明的实施方式10的彩色滤光片的结构的主视 图。
图35是示意性地示出本发明的实施方式11的彩色滤光片的结构的主视 图。
图36是示意性地示出本发明的实施方式12的彩色滤光片的结构的主视 图。
具体实施方式
以下,基于示出该实施方式的附图,详细描述本发明。在以下的说明中, 在图中使用由箭头表示的上下、前后以及左右方向。另外,也将前侧以及后 侧称为前表面侧以及后表面侧。进一步地,也将上下方向以及左右方向称为 纵向以及横向。
实施方式1.
图1是示意性地示出本发明的实施方式1的液晶显示装置1的结构的剖 视图。
液晶显示装置1例如是电视接收机或者显示器等。
液晶显示装置1的后述的彩色滤光片2的结构以及制造顺序与以往的彩 色滤光片的结构以及制造顺序不同。即,除了彩色滤光片2以外的液晶显示 装置1的结构以及制造顺序与以往的液晶显示装置的结构以及制造顺序是同 样的。另外,液晶显示装置1的彩色图像的显示顺序与以往的液晶显示装置 的彩色图像的显示顺序是同样的。
首先,说明液晶显示装置1的结构。
液晶显示装置1具有LCD模块11、背光单元12、扩散板13、偏光板 14、15以及保护玻璃16。
背光单元12是正下方型或者边灯型的照明装置,配置于液晶显示装置1 的后表面侧。
在背光单元12的前表面侧从后表面侧向前表面侧依次配置有扩散板13、 偏光板14、LCD模块11、偏光板15以及保护玻璃16。偏光板14、15使相 互正交的直线偏光透过。
LCD模块11具有液晶部17、彩色滤光片2以及TFT基板3。
TFT基板3配置于LCD模块11的后表面侧。在TFT基板3的玻璃基板 31的前表面从后表面侧向前表面侧依次配置有薄膜晶体管部32、透明电极 部33以及配向膜(alignmentfilm)34。
彩色滤光片2配置于LCD模块11的前表面侧。在彩色滤光片2的玻璃 基板(透光基板)21的后表面依次配置有BM22,RGB层23、23、…、透 明电极部24以及配向膜25。
在BM22上设有多个开口26、26、…。另外,在BM22上设有多个对准 标记(在图1中未图示)。在本实施方式中,举例示出设有4个对准标记 M1~M4的情况(参照后述的图2以及图3)。
通常,构成液晶部17的液晶分子的排列是由配向膜25、34的表面形状 决定的。入射至该状态的液晶部17的光保持原样透过液晶部17。但是,在 通过薄膜晶体管部32向透明电极部24、33之间施加电压的情况,构成液晶 部17的液晶分子的排列发生变化。液晶部17使入射至该状态的液晶部17 的光发生偏光。
背光单元12向前表面侧照射光。背光单元12照射的光透过扩散板13 进行扩散。扩散的光依次透过偏光板14以及TFT基板3之后入射至液晶部 17。入射至液晶部17的光保持原样透过液晶部17或者发生偏振之后,入射 至彩色滤光片2。入射至彩色滤光片2的光在透过配向膜25以及透明电极部 24之后入射至RGB层23、23、…或者被BM22遮挡,透过RGB层23、23、… 的光(以下,称为着色光)透过玻璃基板21出射。在保持原样地透过液晶 部17的情况下,从彩色滤光片2出射的着色光被偏光板15遮挡。在被液晶 部17偏振的情况下,从彩色滤光片2出射的着色光依次透过偏光板15以及 保护玻璃16向外部出射。
以下,一边参照图1以及后述的图2,一边详细描述彩色滤光片2的结 构。
图2是示意性地示出本发明的实施方式1的彩色滤光片2的结构的主视 图。在图2中示出了BM22,RGB层23、23、…,以及对准标记M1、M2。
在左右方向(一个方向)以及上下方向(另一个方向)上呈格子状地各 排列有数百个开口26、26、…。各开口26呈矩形。
此外,开口26、26、…也可以配置为锯齿状(zigzag shape)。
各RGB层23呈比开口26大的矩形。1个RGB层23堵塞1个开口26。 此时,RGB层23填充于开口26中。另外,RGB层23的周缘部与开口26 的周缘部(即BM22的一部分)重合。
彩色图像的每一个像素与左右方向相邻的3个开口26、26、…相对应。 在图1中示出2个像素的6个开口26、26、…,在图2中,在左右方向上示 出3个像素,在上下方向上示出2个像素,共计示出18个开口26、26、…。 3个开口26、26、…与RGB三原色相对应。
以下,在按照颜色区分RGB层23的情况下,将红色的RGB层23称为 R层23r,将绿色的RGB层23称为G层23g,将蓝色的RGB层23称为B 层23b。就1个像素的3个开口26、26、…而言,R层23r、G层23g以及B 层23b从左侧向右侧依次配置。以下,在配置于开口26的RGB层23是R 层23r、G层23g或者B层23b的情况下,将该开口26称为开口26r、开口 26g或者开口26b。
在图2中示出的左右方向中央部的1个像素的各RGB层23,在在左右 方向中央部具有着色凸部23a(图2中的阴影部分)。着色凸部23a是RGB 层23的表面的台阶状部分。着色凸部23a在RGB层23的左右方向中央部 形成为到达上下方向的两端部的一直线状。该着色凸部23a也可以位于RGB 层23的左右方向中央部且沿着开口26的周缘部到达上下方向上的两端部的 线状。
在本实施方式中,着色凸部23a配置于RGB层23的左右方向上的中心 位置,但是RGB层23的左右方向中央部并不仅限定于RGB层23的左右方 向上的中心位置。
以下,将RGB层23的包括着色凸部23a在内的左半部分称为左曝光部 231。另外,以下,将RGB层23的包括着色凸部23a在内的右半部分称为 右曝光部232。如后所述,左曝光部231以及右曝光部232是通过参照相互 不同的2个对准标记(例如对准标记M1、M2)曝光来形成的部分。着色凸 部23a是参照2个对准标记曝光两次的部分。
图2所示的左端部的1个像素的各RGB层23是通过参照对准标记M1 曝光来形成的。另一方面,右端部的1个像素的各RGB层23是通过参照对 准标记M2曝光来形成的。
在图2中,用粗实线包围来表示参照对准标记M1曝光的部分,用细实 线包围来表示参照对准标记M2曝光的部分。
图3是示意性地示出RGB层23、23、…的配置的主视图。
在图3中示出左右方向上的7个像素,上下方向上的2个像素的RGB 层23、23、…。在图3中用实线示出的各方格表示各RGB层23。各RGB 层23的颜色用英文字母“R”、“G”、“B”表示。但是,针对具有着色 凸部23a(扩展到左曝光部231以及右曝光部232)的RGB层23用英文字 母“RR”、“GG”、“BB”表示。着色凸部23a用虚线表示。
用图3中的箭头A1示出的范围是表示参照对准标记M1,通过后述的左 侧掩膜部421进行曝光的范围。在用箭头A1示出的范围中,针对通过参照 对准标记M1进行曝光来形成的RGB层23、左曝光部231或者右曝光部232, 用粗实线来示出方格的横线。
用箭头A2示出的范围是表示参照对准标记M2,通过后述的中央掩膜部 422进行曝光的范围。在用箭头A2示出的范围中,针对通过参照对准标记 M2进行曝光来形成的RGB层23、左曝光部231或者右曝光部232,用细实 线来示出方格的横线。
用箭头A3示出的范围是表示参照对准标记M3,通过中央掩膜部422 进行曝光的范围。在用箭头A3示出的范围中,针对通过参照对准标记M3 进行曝光来形成的RGB层23、左曝光部231或者右曝光部232,用粗实线 来示出方格的横线。
用箭头A4示出的范围是表示参照对准标记M4,通过后述的右侧掩膜部 423进行曝光的范围。在用箭头A4示出的范围中,针对通过参照对准标记 M4进行曝光来形成的RGB层23、左曝光部231或者右曝光部232,用细实 线示出方格的横线。
如图2以及图3所示,在彩色滤光片2中,在上下方向上相邻的2个RGB 层23、23彼此是参照相同的对准标记M1~M4进行曝光的。
另外,针对在左右方向上相邻的2个RGB层23、23,至少相向的部分 彼此(例如左侧的RGB层23的右曝光部232和右侧的RGB层23的左曝光 部231)是通过参照相同的对准标记M1~M4进行曝光来形成的。
即,在本实施方式中,在上下方向上以及左右方向上,都不会发生因参 照不同的对准标记M1~M4而引起的RGB层23、23彼此配置得过度(没有 必要)的接近或者远离。
以下,说明彩色滤光片2的制造顺序。
首先,针对BM22的形成顺序进行说明。BM22的形成顺序与以往相同。
制造者准备矩形的玻璃基板21,在玻璃基板21的一个表面层叠遮光材 料层220(参照后述的图5A~C以及图6A)。
另外,制造者准备用于以图案的方式形成BM22的曝光掩膜41(参照下 面的图4)。
图4是示意性地示出曝光掩膜41的结构的主视图。
本实施方式的曝光掩膜41具有:左侧掩膜部411、中央掩膜部412、右 侧掩膜部413,该左侧掩膜部411设有要形成于遮光材料层220的左端部的 BM22的掩膜图案,该中央掩膜部412设有要形成于遮光材料层220的左右 方向中央部的左半部分或者右半部分的BM22的掩膜图案,该右侧掩膜部 413设有要形成于遮光材料层220的右端部的BM22的掩膜图案。
为了简化说明,举例示出如下的情况,在该情况下,在图4所示的左侧 掩膜部411以及右侧掩膜部413分别设有与在上下方向上相邻的2个开口 26、26相对应8字框状的掩膜图案,在中央掩膜部412设有与在上下方向以 及左右方向上两两相邻的4个开口26、26、…相对应的田字框状的掩膜图案。
其中,在本实施方式中实际应该设于曝光掩膜41的各掩膜图案是与上 下方向以及左右方向上排列的多个开口26、26、…相对应的格子框状。
图5A~C以及图6A、图6B是用于说明BM22的形成顺序的示意图。 图5A~C以及图6A是主视图,图6B是沿图6A的VI-VI线的剖视图。
在图5A~C以及图6A中用阴影示出曝光的部分,用交叉阴影示出两次 曝光的部分。
制造者通过左侧掩膜部411对遮光材料层220左端部进行曝光(参照图 5A)。以下,将此时曝光的部分称为曝光框22a。曝光框22a的形状与左侧 掩膜部411的掩膜图案的形状相同。
接下来,制造者通过中央掩膜部412对遮光材料层220的左右方向中央 部的左半部分进行曝光(参照图5B)。以下,将此时刚刚曝光的部分称为 曝光框22b。曝光框22b以及后述的曝光框22c的形状与中央掩膜部412的 掩膜图案的形状相同。曝光框22b以曝光框22b的左端部(左框)的配置位 置与曝光框22a的右端部(右框)的配置位置相一致的方式设置。即,曝光 框22a的右框再次被曝光。
进一步地,制造者通过中央掩膜部412对遮光材料层220的左右方向中 央部的右半部分进行曝光(参照图5C)。以下,将此时刚刚曝光的部分称 为曝光框22c。曝光框22c以曝光框22c的左框的配置位置与曝光框22b的 右框的配置位置一致的方式设置。即,曝光框22b的右框再次被曝光。
然后,制造者通过右侧掩膜部413对遮光材料层220的右端部进行曝光 (参照图6A)。以下,将此时曝光的部分称为曝光框22d。曝光框22d的形 状与右侧掩膜部413的掩膜图案的形状相同。曝光框22d以曝光框22d的左 框的配置位置与曝光框22c的右框的配置位置一致的方式设置。即,曝光框 22c的右框再次被曝光。
然后,若用显影液去除遮光材料层220的未曝光的部分,则得到排列设 有开口26、26、…的BM22(参照图6B)。此时,曝光框22a~22d各自的 内部变为开口26、26、…。另外,曝光框22a~22d的两次曝光的部分形成 纵向BM。
当形成BM22时,也同时形成对准标记M1~M4。此时,对准标记M1~ M4分别形成于与液晶显示装置1的显示区域相对应的范围的外部(所谓的 边框区域)。
以下,针对RGB层23、23、…的形成顺序进行说明。
图7是示意性地示出曝光掩膜42的结构的主视图。
制造者准备用于以图案的方式形成RGB层23、23、…的曝光掩膜42。 然后,制造者在BM22上以及通过开口26、26、…露出的玻璃基板21上层 叠着色材料层230。
本实施方式的曝光掩膜42具有左侧掩膜部421、中央掩膜部422、右侧 掩膜部423,该左侧掩膜部421设有要形成于着色材料层230的左端部的RGB 层23、23、…的掩膜图案,该中央掩膜部422设有要形成于着色材料层230 的左右方向中央部的左半部分或者右半部分的RGB层23、23、…的掩膜图 案,该右侧掩膜部423设有要形成于着色材料层230的右端部的RGB层23、 23、…的掩膜图案。
以下,在区分与R层23r、23r、…,G层23g、23g、…,B层23b、23b、… 相对应的曝光掩膜42、左侧掩膜部421、中央掩膜部422以及右侧掩膜部423 的情况下,将这些构件分别标记上附图标记“r”、“g”、“b”。
图8是示意性地示出设于用于以图案的方式形成R层23r、23r、…的曝 光掩膜42r的左侧掩膜部421r以及中央掩膜部422r的掩膜图案的主视图。 图8所示的粗实线的部分是掩膜图案。图8所示的掩膜图案的配置与图3所 示的RGB层23、23、…的配置相对应。图8所示的双点划线的部分表示图 3所示的RGB层23、23、…的配置。
为了简化说明,在图8所示的左侧掩膜部421r上设置有在上下方向以及 左右方向各为2个像素的R层23r、23r、…的掩膜图案,在中央掩膜部422r 上设置有在上下方向为2个像素且在左右方向上为3个像素的R层23r、 23r、…的掩膜图案。
在左右方向上,左侧掩膜部421r的右侧的1个像素的R层23r的掩膜图 案与中央掩膜部422r的左端部的1个像素的R层23r的掩膜图案具有互相补 足的关系。具体地说,在左侧掩膜部421r上设有与R层23r的左曝光部231 相对应的掩膜图案,在中央掩膜部422r上设有与R层23r的右曝光部232 相对应的掩膜图案。
另外,在左右方向上,中央掩膜部422r的左端部的1个像素的R层23r 的掩膜图案与中央掩膜部422r的右端部的1个像素的R层23r的掩膜图案具 有互相补足的关系。
进一步地,在左右方向上,中央掩膜部422r的右端部的1个像素的R 层23r的掩膜图案与右侧掩膜部423r的左侧的1个像素的R层23r的掩膜图 案具有互相补足的关系。
在左右方向上,左侧掩膜部421r的左侧的1个像素的R层23r的掩膜图 案、中央掩膜部422r的中央部的1个像素的R层23r的掩膜图案、右侧掩膜 部423r的右侧的1个像素的R层23r的掩膜图案与不具有着色凸部23a的R 层23r相对应。
图9是示意性地示出设于用于以图案的方式形成G层23g、23g、…的 曝光掩膜42g的左侧掩膜部421g以及中央掩膜部422g的掩膜图案的主视图。
图10是示意性地示出设于用于以图案的方式形成B层23b、23b、…的 曝光掩膜42b的左侧掩膜部421b以及中央掩膜部422b的掩膜图案的主视图。
图9以及图10与图8相对应。因此,图9以及图10所示的粗实线的部 分是掩膜图案。图9以及图10所示的掩膜图案的配置与图3所示的RGB层23、23、…的配置相对应。图9以及图10所示的双点划线的部分表示图3 所示的RGB层23、23、…的配置。
曝光掩膜42g、42b的结构与曝光掩膜42r大致相同。
例如,在左右方向上,左侧掩膜部421g的右侧的1个像素的G层23g 的掩膜图案与中央掩膜部422g的左端部的1个像素的G层23g的掩膜图案 具有互相补足的关系。具体地说,在左侧掩膜部421g设有与G层23g的右 曝光部232相对应的掩膜图案,在中央掩膜部422g设有与G层23g的左曝 光部231相对应的掩膜图案。
以下,针对R层23r、23r、…的形成顺序进行说明。
在形成BM22之后,制造者在BM22上以及通过开口26、26、…露出的 玻璃基板21上层叠红色的着色材料层230。
图11~图13是用于说明R层23r、23r、…的形成顺序的示意的剖视图。 图11以及图12包含着色材料层230的剖视图。但是,着色材料层230的标 记有朝向右下方的阴影的部分表示通过参照对准标记M1进行曝光形成的部 分,标记有朝向右上方的阴影的部分表示通过参照对准标记M2进行曝光形 成的部分。标记有交叉阴影的部分表示曝光两次的部分。另外,虚线表示曝 光的部分与未曝光的部分的边界,空白表示未曝光的部分。
制造者参照对准标记M1,通过左侧掩膜部421r对着色材料层230的左 端部进行曝光(参照用图3中的箭头A1示出的范围以及图11)。
接下来,制造者参照对准标记M2,通过中央掩膜部422r对着色材料层 230的左右方向中央部的左半部分进行曝光(参照用图3中的箭头A2示出 的范围以及图12)。此时,对进行了前一次曝光(在该情况下,具体地是指 图11所示的曝光)的部分的局部再次进行曝光。
进一步地,制造者参照对准标记M3,通过中央掩膜部422r对着色材料 层230的左右方向中央部的右半部分进行曝光(参照用图3中的箭头A3示 出的范围)。此时,对进行了图12所示的曝光的部分的局部再次进行曝光。
然后,制造者参照对准标记M4,通过右侧掩膜部423r对着色材料层230 的右端部进行曝光(参照用图3中的箭头A4示出的范围)。此时,也对进 行了前一次曝光的部分的局部再次进行曝光。
进行了两次曝光的部分位于应该成为R层23r的部分的左右方向中央 部。即,此处是生成着色凸部23a的部分。
然后,若用显影液去除着色材料层230的未曝光的部分,则得到R层23r、 23r、…(参照图13)。
曝光两次的着色材料层230比仅曝光一次的着色材料层230更难去除。 因此,在一部分R层23r、23r、…上分别形成着色凸部23a。针对R层23r, 具有着色凸部23a的部分的厚度比不具有着色凸部23a的部分的厚度厚1 %~2%左右。因此,着色凸部23a、23a、…对彩色图像的显示带来的不良 影响(例如显示不均匀)很轻微。
此处,针对当曝光时发生错位的情况进行描述。
例如,在正确的位置参照对准标记M1进行曝光(用图3中的箭头A1 示出的范围的曝光。参照图11)之后,参照对准标记M2的曝光(图3中的 用箭头A2示出的范围的曝光。参照图12)以向正确位置的左侧(或者右侧) 错位的状态进行的情况下,在两者的边界形成的着色凸部23a的横向宽度变 长(或者变短)。横向宽度较长的着色凸部23a与横向宽度较短的着色凸部 23a相比,对彩色图像的显示带来的不良影响更大。但是,之后在参照对准 标记M3在正确的位置进行曝光(图3中的用箭头A3示出的范围的曝光) 的情况下,在与参照对准标记M2进行曝光的部分之间的边界形成的着色凸 部23a的横向宽度变短(或者变长)。因此,在液晶显示装置1的显示区域 整体上产生宽度较宽的着色凸部23a、23a、…。
以下,针对G层23g、23g…的形成顺序进行说明。
在形成R层23r、23r、…之后,制造者在BM22上以及通过开口26、26、… 露出的玻璃基板21上层叠绿色的着色材料层230。
图14~图16是用于说明G层23g、23g、…的形成顺序的示意性的剖视 图。图14~图16与图11~图13相对应。
制造者参照对准标记M1,通过左侧掩膜部421g对着色材料层230的左 端部进行曝光(参照用图3中的箭头A1示出的范围以及图14)。
接下来,制造者参照对准标记M2,通过中央掩膜部422g对着色材料层 230的左右方向中央部的左半部分进行曝光(参照图3中的用箭头A2示出 的范围以及图15)。此时,对进行了前一次曝光(该情况,具体地指图14 所示的曝光)的部分的局部再次进行曝光。
进一步地,制造者参照对准标记M3,通过中央掩膜部422g对着色材料 层230的左右方向中央部的右半部分进行曝光(参照图3中的用箭头A3示 出的范围)。此时,对进行了图12所示的曝光的部分的局部再次进行曝光。
进一步地,制造者参照对准标记M3,通过中央掩膜部422g对着色材料 层230的左右方向中央部的右半部分进行曝光(参照图3中的用箭头A3示 出的范围)。此时,对进行了图12所示的曝光的部分的局部再次进行曝光。
然后,制造者参照对准标记M4,通过右侧掩膜部对着色材料层230的 右端部进行曝光(参照图3中的用箭头A4示出的范围)。此时,对进行了 前一次曝光的部分的局部再次进行曝光。
进行了两次曝光的部分位于应该成为G层23g的部分的左右方向中央 部。即,此处是形成着色凸部23a的部分。
然后,若用显影液去除着色材料层230的未曝光的部分,则得到G层 23g、23g、…(参照图16)。一部分G层23g、23g、…分别具有着色凸部 23a。
图17~图19是用于说明B层23b、23b、…的形成顺序的示意的剖视图。 图17~图19与图11~图13以及图14~图16相对应。
B层23b、23b、…的形成顺序与R层23r、23r、…或者G层23g、23g、… 的形成顺序大致相同。
在图11所示的曝光工序以及图12所示的曝光工序中包括本发明的实施 方式中的第一曝光工序以及第二曝光工序。在图14所示的曝光工序以及图 15所示的曝光工序中包括本发明的实施方式中的第三曝光工序以及第四曝 光工序。
但是,若将图14所示的曝光工序以及图15所示的曝光工序看做包括本 发明的实施方式中的第一曝光工序以及第二曝光工序,则在图17所示的曝 光工序以及图18所示的曝光工序中包括本发明的实施方式中的第三曝光工 序以及第四曝光工序。
具体地说,在图14所示的曝光工序中包括如下的第一曝光工序,该第 一曝光工序是,使用对准标记M1,对与应该配置于开口26g的G层23g的 右曝光部232相当的着色材料层230进行曝光的工序。另外,在图15所示 的曝光工序中包括如下的第二曝光工序,该第二曝光工序是:使用对准标记 M2,对与应该配置于开口26g的G层23g的左曝光部231相当的着色材料 层230进行曝光。
进一步地,在图17所示的曝光工序中包括如下的第三曝光工序,该第
三曝光工序是,使用对准标记M1对与应该配置于开口26b的B层23b的左 曝光部231相当的着色材料层230进行曝光的工序,该开口26b在左右方向 的右侧与开口26g相邻。在图18所示的曝光工序中包括如下的第四曝光工 序,该第四曝光工序是,使用对准标记M2,对与应该配置于开口26b的B 层23b的右曝光部232相当的着色材料层230进行曝光的工序。
此处,比较彩色滤光片2与以往的彩色滤光片。
图20是示意性地示出以往的彩色滤光片具有的RGB层23、23、…的配 置的主视图。图20与图3的上下方向为2个像素以及左端部为3个像素相 对应。
在以往的彩色滤光片的制造中,BM22是按照与本发明的实施方式同样 的顺序被以图案的方式形成的。此时,设有对准标记M1~M4。
以下,按照与本发明的实施方式同样的顺序,以图案的方式形成RGB 层23、23、…。但是,此时形成的RGB层23都不具有着色凸部23a。这是 因为,在RGB层23上不存在通过参照相互不同的对准标记M1~M4进行曝 光来形成的左曝光部231以及右曝光部232。
因此,如图20所示,在以往的彩色滤光片中,在左右方向上相邻的2 个RGB层23、23之间一定不是通过参照相同的对准标记M1~M4进行曝光 来形成的。因此,在图20中用空心箭头示出的位置可能会发生因参照不同 的对准标记M1~M4而引起的RGB层23、23之间配置得过度(没有必要) 的接近或者远离。具体地说,由于RGB层23、23之间从正确的配置位置相互接近或者远离3μm左右,所以纵向BM需要具有30μm左右的横向宽度。
另一方面,彩色滤光片2中的RGB层23、23、…的一部分(例如,在 以往的彩色滤光片中可能因参照不同的对准标记M1~M4而引起的配置得 过度(没有必要)的接近或者远离的RGB层23、23中的至少一者)是按照 与以往不同的顺序形成的。即,与RGB层23的包括左侧(或者右侧)在内 的一部分相当的着色材料层230和与RGB层23的剩余部分相当的着色材料层230是参照不同的对准标记M1~M4进行曝光的。换言之,RGB层23的 左曝光部231与右曝光部232是参照相互不同的对准标记M1~M4形成的。 因此,在相邻的RGB层23、23之间,不会发生因参照不同的对准标记M1~ M4而引起的RGB层23、23之间配置得过度(没有必要)的接近或者远离 的情况。
因此,能够将彩色滤光片2的左右方向上相邻的RGB层23、23之间的 BM22(即纵向BM)的横向宽度缩短得比以往短。具体地说,能够从以往的 30μm缩短至27μm。结果能够提高BM22的开口率。
具有这样的彩色滤光片2的液晶显示装置1在显示彩色图像时能够提高 背光单元12发出的光的利用效率。
在RGB层23的左曝光部231与右曝光部232有时会配置得过度(没有 必要)的接近或者远离。虽说如此,但是若左曝光部231以及右曝光部232 的横向宽度足够长,则通过将左曝光部231与右曝光部232远离配置,就不 会有RGB层23覆盖不到开口26的一部分的危险。
此外,与形成RGB层23、23、…时曝光两次的部分和该部分的附近相 对应的掩膜图案也可以是疏密配置的瓦片状。通过这样的掩膜图案之间互相 补足瓦片的疏密(所谓的“马赛克拼接”),能够使着色凸部23a呈缓和的 隆起状,使其难以识别。
本实施方式的彩色滤光片2具有作为凸状的阶梯部的着色凸部23a,但 是并不仅限定于此。例如,彩色滤光片2也可以取代着色凸部23a,而具有 凹状的阶梯部。凹状的阶梯部是在形成RGB层23时曝光两次的着色材料层 230比仅曝光一次的着色材料层230更易于去除的情况下产生的。或者,彩 色滤光片2可以是如下的结构,即,RGB层23中参照2个对准标记曝光两 次的部分与参照1个对准标记曝光一次的部分颜色不同,但是两者之间没有高度差。这是在着色材料层230被曝光而变色的情况下产生的。
实施方式2.
本实施方式的液晶显示装置1以及彩色滤光片2是与实施方式1的液晶 显示装置1以及彩色滤光片2大致相同的结构。以下,针对与实施方式1的 差异进行说明,在其他的与实施方式1相对应的部分上标记相同附图标记, 并省略它们的说明。
图21是示意性地示出本发明的实施方式2的彩色滤光片2的结构的主 视图。图21与实施方式1的图2相对应。但是,图21摘选了图2所示的开 口26、26、…中的上半部分左端部的1个像素的开口26、26、…的开口26b 和与该开口26b的右侧相邻的开口26r。
就专利文献1中记载的液晶显示装置而言,对应于彩色图像的每一个像 素,都具有液晶分子的配向方位不同的多个区域(以下,称为畴(Domain))。 畴是通过设计彩色滤光片2具有的配向膜25以及TFT基板3具有的配向膜 34各自的表面形状来设置的。
畴之间的边界部分(以下,称为畴边界线)具有不透光性。因此,配向 膜34的畴边界线实现对光向液晶部17的入射进行阻挡的阻挡部的功能,配 向膜25的畴边界线实现对透过液晶部17的光的出射进行阻挡的阻挡部的功 能。
本实施方式中的畴边界线显示为将各RGB层23在上下方向以及左右方 向上分割为四等分的十字线D。
因此,着色凸部23a位于十字线D的纵线的上方。即,着色凸部23a的 配置位置在上下方向上与十字线D的配置位置相对应,当从前表面观察时, 着色凸部23a与十字线D的纵线重合。
由于背光单元12发出的光被十字线D阻挡,所以不会入射至着色凸部 23a。或者,从着色凸部23a出射的光由于被十字线D阻挡,所以不会向液 晶显示装置1的外部出射。因此,能够忽略着色凸部23a对彩色图像的显示 带来的不良影响。
换言之,由于不会对彩色图像的显示产生不良影响并提高BM22的开口 率,所以能够利用以往存在的阻挡部。
此外,本发明的实施方式的阻挡部并不仅限定于畴边界线。阻挡部只要 是对光向液晶部17的入射或者透过液晶部17的光的出射进行阻挡的结构 (例如以横跨开口26的配置位置的方式配置的遮光物)即可。作为例子可 以举出漏极配线。
实施方式3.
本实施方式的液晶显示装置1以及彩色滤光片2是与实施方式1、2的 液晶显示装置1以及彩色滤光片2大致相同的结构。以下,针对与实施方式 1、2的差异进行说明,在其他的与实施方式1、2相对应的部分标记相同的 附图标记,并省略它们的说明。
图22是示意性地示出本发明的实施方式3的彩色滤光片2具有的用于 以图案的方式形成BM22的曝光掩膜43的结构的主视图。图22与实施方式1的图4相对应。
本实施方式的曝光掩膜43具有分别与实施方式1的曝光掩膜41的左侧 掩膜部411、中央掩膜部412以及右侧掩膜部413相对应的左侧掩膜部431、 中央掩膜部432以及右侧掩膜部433。
设于左侧掩膜部431的掩膜图案是将与在上下方向上相邻的2个开口 26、26相对应的8字框的上框、下框以及中框分别向右侧延长而成的形状。 该延长部分的长度比8字框的上框、下框以及中框各自的长度的一半更长。
设于中央掩膜部432的掩膜图案是将与在上下方向上相邻的2个开口 26、26相对应的8字框的上框、下框以及中框分别向左右两侧延长而成的形 状。延长部分的长度比8字框的上框、下框以及中框各自的长度的一半更长。
设于右侧掩膜部433的掩膜图案是将与在上下方向上相邻的2个开口 26、26相对应的8字框的左半部分去除而成的形状。与上框、下框以及中框 相当的部分的长度比8字框的上框、下框以及中框各自的长度的一半更长。
设于左侧掩膜部431的掩膜图案的右端部以及右端部附近与设于中央掩 膜部432的掩膜图案的左端部以及左端部附近通过互相补足而具有成为8字 框的形状。设于中央掩膜部432的掩膜图案的左端部以及左端部附近与设于 中央掩膜部432的掩膜图案的右端部以及右端部附近通过互相补足而具有成 为8字框的形状。设于中央掩膜部432的掩膜图案的右端部以及右端部附近 与设于右侧掩膜部433的掩膜图案的左端部以及左端部附近通过互相补足而 具有成为8字框的形状。
设于曝光掩膜43的各掩膜图案的形状虽然与设于实施方式1的曝光掩 膜41的各掩膜图案的形状不同,但是使用曝光掩膜43设置的BM22的形状 与使用曝光掩膜41设置的BM22的形状相同。
图23A~C以及图24A、B是用于说明BM22的形成顺序的示意图。图 23A~C以及图24A是主视图,图24B是图24A的沿α-α线的剖视图。在 图23A~C以及图24A、B中用阴影示出被曝光的部分,用交叉阴影示出被 曝光两次的部分。图23A~C以及图24A、B与实施方式1的图5A~C以及 图6A、B相对应。
制造者通过左侧掩膜部431,对遮光材料层220左端部进行曝光(参照 图23A)。以下,将此时被曝光的部分称为曝光框221。曝光框221的形状 与左侧掩膜部431的掩膜图案的形状相同。曝光框221的右端部221a、 221a、…是上述的8字框的上框、中框以及下框各自的延长部分的顶端部。
接下来,制造者通过中央掩膜部432,对遮光材料层220的左右方向中 央部的左半部分进行曝光(图23B参照)。以下,将此时刚刚被曝光的部分 称为曝光框222。曝光框222以及后述的曝光框223的形状与中央掩膜部432 的掩膜图案的形状相同。曝光框222的右端部222a、222a、…是上述的8字 框的上框、中框以及下框各自向右侧的延长部分的顶端部。曝光框222的左 端部222b、222b、…是上述的8字框的上框、中框以及下框各自向左侧的延 长部分的顶端部。曝光框222是以曝光框222的左端部222b、222b、…的配 置位置与曝光框221的右端部221a、221a、…的配置位置相一致的方式设置 的。即,曝光框221的右端部221a、221a、…再次被曝光。
通过曝光框221的右端部221a、221a、…以及右端部221a、221a、…附 近与曝光框222的左端部222b、222b、…以及曝光框222的左端部222b、 222b、…附近互相补足,来形成8字框状的曝光部分。当将该8字框状的曝 光部分显影时,形成在上下方向上相邻的2个开口26、26。在该开口26、 26的周缘部形成后述的遮光凸部22e、22e、…。
进一步地,制造者通过中央掩膜部432,对遮光材料层220的左右方向 中央部的右半部分进行曝光(参照图23C)。以下,将此时刚刚被曝光的部 分称为曝光框223。曝光框223是以曝光框223的左端部223b、223b、…的 配置位置与曝光框222的右端部222a、222a、…的配置位置相一致的方式设 置的。即,曝光框222的右端部222a、222a、…再次被曝光。
通过曝光框222的右端部222a、222a、…以及右端部222a、222a、…附 近与曝光框223的左端部223b、223b、…以及曝光框223的左端部223b、 223b、…附近互相补足,来形成8字框状的曝光部分。当将该8字框状的曝 光部分显影时,形成在上下方向上相邻的2个开口26、26。在该开口26、 26的周缘部形成遮光凸部22e、22e、…。
然后,制造者通过右侧掩膜部433,对遮光材料层220的右端部进行曝 光(参照图24A)。以下,将此时曝光的部分称为曝光框224。曝光框224 的形状与右侧掩膜部433的掩膜图案的形状相同。曝光框224是以曝光框224 的左端部224a、224a、…的配置位置与曝光框223的右端部223a、223a、… 的配置位置相一致的方式设置的。即,曝光框223的右端部223a、223a、… 再次被曝光。
通过曝光框223的右端部223a、223a、…以及右端部223a、223a、…附 近与曝光框224的左端部224a、224a、…以及曝光框224的左端部224a、 224a、…附近互相补足,形成8字框状的曝光部分。当将该8字框状的曝光 部分显影时,形成在上下方向上相邻的2个开口26、26。在该开口26、26 的周缘部形成遮光凸部22e、22e、…。
然后,若用显影液去除遮光材料层220的未曝光的部分,则得到排列设 有开口26、26、…的BM22(参照图24B)。
当形成BM22时,也同时形成对准标记M1~M4。此时,对准标记M1~ M4分别形成于边框区域。
如图24B所示,BM22具有遮光凸部22e、22e、…。遮光凸部22e、22e、… 相当于遮光材料层220被曝光两次的部分,比仅曝光一次的部分突出。各遮 光凸部22e的突出位置是与BM22中的开口26的在左右方向中央部相对应 的位置。即,遮光凸部22e在左右方向上的位置与开口26的左右方向中央 部在左右方向上的位置相一致。各遮光凸部22a是BM22的一部分。
在本实施方式中,遮光凸部22e配置于与开口26的左右方向中心位置 相对应的位置,但是开口26的左右方向中央部并不仅限定于开口26的左右 方向中心位置。
此处,针对与按照以往那样的顺序以图案的方式形成的BM22相比,本 实施方式的BM22的优点进行说明。
如参照图6B可知的那样,就按照以往那样的顺序以图案的方式形成的 BM22而言,纵向BM的横向宽度不是恒定的。这是因为,例如,在相对于 形成于正确的位置的曝光框22a向左右方向错位而形成曝光框22b的情况 下,由于曝光框22a的右框在左右方向上的配置位置与曝光框22b的左框在 左右方向上的配置位置变得不一致,所以从图6B所示的左侧第2个纵向BM 比其他的纵向BM的宽度更宽。
另一方面,如参照图24B可知的那样,就按照本实施方式的顺序以图案 的方式形成的BM22而言,纵向BM的横向宽度恒定。例如,即使在相对于 分别形成于正确的位置的曝光框221向左右方向错位来形成曝光框222的情 况下,也不会影响到纵向BM的横向宽度。仅仅是曝光框221的右端部221a、 221a、…与曝光框222的左端部222b、222b、…重合的范围发生变化而已。 结果虽然从左侧数第二个开口26、26的横向宽度变短(或者变长),但是 若曝光框223形成于正确的位置,则从左数第四个开口26、26的横向宽度 变长(或者变短)。结果,从液晶显示装置1的显示区域整体来看,BM22 的开口率并没有过度(没有必要地)降低。
如以上所述的彩色滤光片2能够通过与实施方式1、2同样的作用效果, 将纵向BM缩短得比以往的更短。进一步地,能够防止因形成BM22时的错 位而导致的纵向BM过度(没有必要)地变宽的现象。
此外,本实施方式的彩色滤光片2具有遮光凸部22e,但是并不仅限定 于此。例如,彩色滤光片2也可以取代遮光凸部22e而具有凹状的台阶部。 或者,彩色滤光片2的结构为,在BM22中,参照2个对准标记曝光两次的 部分与参照1个对准标记曝光一次的部分的颜色不同,但是在两者之间没有 高度差。
实施方式4.
本实施方式的液晶显示装置1以及彩色滤光片2是与实施方式1~3的 液晶显示装置1以及彩色滤光片2大致相同的结构。以下,针对与实施方式 1~3的差异进行说明,在其他的与实施方式1~3相对应的部分标记相同附 图标记,并省略它们的说明。
图25以及图26是示意性地示出本发明的实施方式4的彩色滤光片2具 有的用于以图案的方式形成BM22的曝光掩膜44的结构的主视图。图25以 及图26与实施方式3的图22相对应。
本实施方式的曝光掩膜44具有左侧掩膜部441、中央掩膜部442以及右 侧掩膜部443。左侧掩膜部441以及右侧掩膜部443在图25中示出,中央掩 膜部442在图26中示出。
曝光掩膜44的左侧掩膜部441、中央掩膜部442以及右侧掩膜部443与 实施方式3的曝光掩膜43的左侧掩膜部431、中央掩膜部432以及右侧掩膜 部433相对应。
因此,若使用一次曝光掩膜44的左侧掩膜部441,两次中央掩膜部442 以及一次右侧掩膜部443,按照与实施方式3的顺序大致相同的顺序进行图 案化形成,则得到BM22。
不过,在使用实施方式3的曝光掩膜43按照实施方式3的顺序形成的 BM22上,在上下方向上排列有2个且在左右方向上排列有6个开口26、 26、…,但是在使用本实施方式的曝光掩膜44按照与实施方式3的顺序大 致相同的顺序形成的BM22上,在上下方向排列有2个且在左右方向上排列 有8个共计16个开口26、26、…。
图27是用于说明BM22的形成顺序的示意图。图27是与图24A相对应 的主视图。在图27中用阴影示出被曝光的部分,用交叉阴影示出被曝光两 次的部分。
在图27所示的遮光材料层220上设有与实施方式3的曝光框221、222 相对应的曝光框225、226、与实施方式3的曝光框223、224相对应的未图 示的2个曝光框。该曝光框组呈以图27所示的假想线L作为对称轴的线对 称形状。
通过曝光框225、226互相补足,形成与多个开口26、26、…相对应的 框状的曝光部分。在该曝光部分中包含曝光两次的部分,该部分成为遮光凸 部22e、22e、…。在本实施方式中,各遮光凸部22e的突出位置是与开口26 的左右方向中央部相对应的位置。
此处,针对本实施方式的BM22与实施方式3的BM22相比的优点进行 说明。
参照图24B可知,在曝光框222相对于形成于正确的位置的曝光框221、 223向左方错位的情况下,从左侧数第二个矩形框部分上下的横向宽度都变 短,但是从左侧数第四个的矩形框部分上下的横向宽度都变长。
因此,与这些部分相对应的开口26、26、…中的在上下方向上相邻的2 个也是横向宽度都变短或者横向宽度都变长。因此,在液晶显示装置1的显 示区域的一部分集中有宽度较窄的开口26、26、…,在其他部分集中有宽度 较宽的开口26、26、…。如这样的偏差存在对彩色图像的显示产生不良影响 的危险。
另一方面,参照图27可知,在曝光框226相对于形成于正确的位置的 曝光框225向左右方向错位的情况下,虽然上层最左侧的矩形框部分的横向 宽度变短,但是下层最左侧的矩形框部分的横向宽度不变。另外,虽然从上 层左侧数第三个矩形框部分的横向宽度变长,但是从下层左侧数第三个矩形 框部分的横向宽度恒定。进一步地,虽然从上层左侧数第二个矩形框部分的 横向宽度变长,但是从下层左侧数第二个矩形框部分的横向宽度变短。
因此,在与这些部分相对应的开口26、26、…的在上下方向上相邻的2 个中,不会出现两者的横向宽度都变短或者都变长的现象。结果,不会出现 宽度窄的开口26、26、…或者宽度宽的开口26、26、…集中于液晶显示装 置1的显示区域的一部分的现象。换言之,横向宽度不同的开口26、26、… 的配置不会偏离。因此,不易对彩色图像的显示产生不良影响。
此外,实施方式3的BM22特别适用于能够将在上下方向上相邻的2个 开口26、26之间的BM22(即横向BM)的纵向长度设置得足够长的液晶显 示装置1。例如,这样的液晶显示装置1考虑所谓的多个像素排列的液晶显 示装置1。在多个像素排列的情况下,彩色图像的1个像素由例如上层的副 像素和下层的副像素构成。而且,每一个副像素与沿左右方向排列的3个开 口26r、26g、26b相对应。在上层的副像素的开口26r、26g、26b与下层的 副像素的开口26r、26g、26b之间设有足够长的横向BM。
实施方式5.
本实施方式的液晶显示装置1以及彩色滤光片2是与实施方式1~4的 液晶显示装置1以及彩色滤光片2大致相同的结构。以下,针对与实施方式 1~4的差异进行说明,在其他的与实施方式1~4相对应的部分标记相同附 图标记,并省略它们的说明。
图28是示意性地示出本发明的实施方式5的彩色滤光片2的结构的主 视图。图28与实施方式1的图2以及实施方式2的图21相对应。但是,在 图28中摘选图2所示的开口26、26、…中的上层左端部的1个像素的开口 26、26、…包含的开口26b和排列于该开口26b的右侧的4个开口26r、26g、 26b、26r。
图28所示的开口26、26、…中的左侧的4个位于实施方式1的用图3 中的箭头A1示出的范围内,右侧的4个位于用箭头A2示出的范围内。
图28中的阴影部分是着色凸部23c。着色凸部23c与实施方式1的着色 凸部23a相对应,但是着色凸部23a呈I字状,而着色凸部23c呈L字状。 在本实施方式中,图28所示的开口26、26、…中的从左侧数第二个开口26r 和第三个开口26g(相当于图2所示的开口26、26、…中的从左侧数第四个 开口26r和第五个开口26g)具有着色凸部23c、23c。
R层23r的着色凸部23c呈在R层23r的左右方向中央部从上端部到达 上下方向中央部进而从该中央部到达右端部的弯曲线状。G层23g的着色凸 部23c呈在G层23g的左右方向中央部从下端部到达上下方向中央部进而从 该中央部到达左端部的弯曲线状。
此外,着色凸部23c优选位于十字线D(参照实施方式2)的上方,但 是并不仅限定于此。
具有着色凸部23c的R层23r的一边参照对准标记M1一边曝光的部分 为右上角被切掉四边形的矩形。该部分覆盖开口26r沿上下左右四等分得到 的4份中的左上、左下以及右下的3份。另外,R层23r的一边参照对准标 记M2一边曝光的部分呈矩形。该部分覆盖开口26r沿上下左右四等分得到 的4份中的右上的1份。
另一方面,G层23g的一边参照对准标记M1一边曝光的部分呈矩形。 该部分覆盖开口26g沿上下左右四等分得到4份中的左下的1份。另外,G 层23g的一边参照对准标记M2一边曝光的部分为左下角被切掉四边形的矩 形。该部分覆盖开口26g沿上下左右四等分得到的4份中的右上、右下以及 左上的3份。
针对具有着色凸部23c的R层23r以及G层23g,相向的部分是通过参 照相同的对准标记M1~M4进行曝光来形成的。
即,在本实施方式中,也不会发生因参照不同的对准标记M1~M4而引 起的RGB层23、23配置得彼此过度(没有必要)的接近或者远离。
此处,比较本实施方式的彩色滤光片2与实施方式1的彩色滤光片。
如图2所示,在实施方式1中,相邻的3个R层23r、G层23g以及B 层23b具有着色凸部23a、23a、…。
另一方面,在本实施方式中,相邻的2个R层23r以及G层23g具有着 色凸部23c、23c。
另外,在上下方向上,着色凸部23c比着色凸部23a短。相应地,着色 凸部23c具有沿左右方向配置的部分。
即,在实施方式1中,着色凸部23a的影响集中于上下方向,但是在实 施方式5中,着色凸部23c的影响分散到上下方向以及左右方向。
由于以上所述的原因,可以说因本实施方式的彩色滤光片2的着色凸部 23a或者着色凸部23c引起的对彩色图像的显示造成的影响更小。
实施方式6.
本实施方式的液晶显示装置1以及彩色滤光片2是与实施方式1~5的 液晶显示装置1以及彩色滤光片2大致相同的结构。以下,针对与实施方式 1~5的差异进行说明,在其他的与实施方式1~5相对应的部分标记相同的 附图标记,并省略它们的说明。
图29以及图30都是示意性地示出本发明的实施方式6的彩色滤光片2 的RGB层234的结构的主视图。图29以及图30与实施方式1的图2相对 应。
在本实施方式中,在BM22上排列设有不是矩形的开口260、260、…。 各开口260呈弯曲为“く”字状的六边形。因此,配置于开口260的RGB 层234也呈弯曲为“く”字状的六边形。
图29所示的RGB层234具有的着色凸部23d呈“く”字状。即,着色 凸部23d呈在RGB层234的左右方向中央部在上下方向的两端部之间沿着 开口260的周缘部的线状。
另一方面,图30所示的RGB层234具有的着色凸部23e呈I字状。即, 着色凸部23e呈在RGB层234的左右方向中央部到达上下方向的两端部的 一直线状。
RGB层234应该具有的着色凸部是着色凸部23d和着色凸部23e,能够 得到与实施方式1同样的作用效果。
根据实施方式1、5、6可知,着色凸部的形状与开口以及RGB层各自 的形状无关,能够比较自由地决定。具体地说,着色凸部的形状只要根据例 如用于以图案的方式形成RGB层的曝光掩膜的制造的容易程度、对彩色图 像的显示的影响或者阻挡部的配置位置等决定即可。
实施方式7.
本实施方式的液晶显示装置1以及彩色滤光片2是与实施方式1~6的 液晶显示装置1以及彩色滤光片2大致相同的结构。以下,针对与实施方式 1~6的差异进行说明,在其他的与实施方式1~6相对应的部分标记相同的 附图标记,并省略它们的说明。
实施方式1~6的液晶显示装置1以RGB方式显示彩色图像,而本实施 方式的液晶显示装置1以RGBW方式显示彩色图像。在RGBW方式中,针 对彩色图像的1个像素,对应有沿上下左右方向排列成“田”字状的4个开 口26、26、…。以下,将白色的着色层称为W层23w。
就1个像素的4个开口26、26、…而言,在左右方向上相邻的开口26、 26之间的纵向BM的横向宽度与在上下方向上相邻的开口26、26之间的横 向BM的纵向长度是不同的。
图31是示意性地示出本发明的实施方式7的彩色滤光片2的结构的主 视图。图31所示的彩色滤光片2的纵向BM的横向宽度比横向BM的纵向 长度更长。
图31与实施方式1的图3相对应。但是,在图31中示出左右方向上的 4个像素、上下方向上的2个像素的RGB层23、23、…。另外,在实施方 式1中用箭头A1示出的范围与用箭头A2示出的范围重合的部分中包含的 沿左右方向的像素数是1个,而在本实施方式中是2个。
各RGB层23的颜色用英文字母“R”、“G”、“B”、“W”示出。 但是,针对具有着色凸部23a(扩展到左曝光部231以及右曝光部232)的 RGB层23,用英文字母“RR”、“GG”、“BB”、“WW”示出。
除了在1个像素的开口26、26、…配置有R层23r、G层23g、B层23b 以及W层23w以外,图31所示的彩色滤光片2的制造顺序与实施方式1的 彩色滤光片2的制造顺序相差不大。
因此,就在左右方向上相邻的2个RGB层23、23而言,至少相向的部 分是通过彼此参照相同的对准标记M1~M4进行曝光形成的。
因此,本实施方式的彩色滤光片2能够通过与实施方式1同样的作用效 果,将纵向BM缩短得比以往更短。
实施方式8.
本实施方式的液晶显示装置1以及彩色滤光片2是与实施方式7的液晶 显示装置1以及彩色滤光片2大致相同的结构。以下,针对与实施方式7的 差异进行说明,在其他的与实施方式7相对应的部分标记相同的附图标记, 并省略它们的说明。
图32是示意性地示出本发明的实施方式8的彩色滤光片2的结构的主 视图。图32所示的彩色滤光片2的横向BM的纵向长度比纵向BM的横向 宽度更长。图32与实施方式7的图31相对应。
在制造本实施方式的彩色滤光片2的情况下,当以图案的方式形成 BM22时,将与对准标记M1~M4不同的4个对准标记(未图示。以下,称 为对准标记M5~M8)设于BM22。
在实施方式7的彩色滤光片2中,一部分RGB层23在RGB层23的左 右方向中央部具有到达上下方向的两端部的一直线状的着色凸部23a。
另一方面,在本实施方式的彩色滤光片2中,一部分RGB层23在RGB 层23的上下方向中央部具有到达左右方向的两端部的一直线状的着色凸部 23f。
以下,将RGB层23的包括着色凸部23f的上半部分称为上曝光部233。 另外,以下,将RGB层23的包括着色凸部23f的下半部分称为下曝光部234。 上曝光部233以及下曝光部234是通过参照相互不同的对准标记M5~M8 进行曝光来形成的部分。着色凸部23f是参照对准标记M5~M8中的两个被 曝光两次的部分。
在图32中,用具有粗实线的纵线的方格表示通过参照对准标记M3进行 曝光形成的RGB层23、左曝光部231或者右曝光部232。另外,在图32中, 用具有细实线的纵线的方格表示通过参照对准标记M4进行曝光形成的RGB 层23、左曝光部231或者右曝光部232。
这样,针对在上下方向上相邻的2个RGB层23、23之间,至少相向的 部分之间是通过参照相同的对准标记M5~M8进行曝光来形成的。
用图32中的箭头A5示出的范围是表示参照对准标记M5,通过后述的 上侧掩膜部进行曝光的范围。
用箭头A6示出的范围是表示参照对准标记M6,通过后述的中侧掩膜部 进行曝光的范围。
以下,说明RGB层23、23、…的形成顺序。
制造者准备用于以图案的方式形成RGB层23、23、…的未图示的曝光 掩膜。
本实施方式的曝光掩膜具有上侧掩膜部、中侧掩膜部、下侧掩膜部,该 上侧掩膜部设有应该形成于着色材料层230的上端部的RGB层23、23、… 的掩膜图案,该中侧掩膜部设有应该形成于着色材料层230的上下方向中央 部的上半部分或者下半部分的RGB层23、23、…的掩膜图案,该下侧掩膜 部设有应该形成于着色材料层230的下端部的RGB层23、23、…的掩膜图 案。
制造者参照对准标记M5,通过用于形成一种颜色的RGB层23、23、… 的曝光掩膜的上侧掩膜部,对一种颜色的着色材料层230的上端部进行曝光。
接下来,制造者参照对准标记M6,通过中侧掩膜部对着色材料层230 的上下方向中央部的上半部分进行曝光。此时,对进行了前一次曝光的部分 的局部再次进行曝光。
进一步地,制造者参照对准标记M7,通过中侧掩膜部对着色材料层230 的上下方向中央部的下半部分进行曝光。此时,对进行了前一次曝光的部分 的局部再次进行曝光。
然后,制造者参照对准标记M8,通过下侧掩膜部对着色材料层230的 下端部进行曝光。此时,对进行了前一次曝光的部分的局部再次进行曝光。
进行了两次曝光的部分位于应该成为RGB层23的部分的上下方向中央 部。即,此处是形成着色凸部23f的部分。
然后,若用显影液去除着色材料层230的未曝光的部分,则得到一种颜 色的RGB层23、23、…。
分别针对红色、绿色、蓝色以及白色的RGB层23、23、…进入以上所 述的顺序的处理。
因此,就在上下方向上相邻的2个RGB层23、23而言,至少相向的部 分是通过参照彼此相同的对准标记M5~M8进行曝光形成的。
因此,能够将本实施方式的彩色滤光片2的横向BM的横向宽度缩短得 比以往更短。
即使在如本实施方式这样,横向BM的纵向长度比纵向BM的横向宽度 更长的情况下,也可以以实施方式7那样的顺序以图案的方式形成RGB层 23、23、…。
但是,由于纵向BM的横向宽度较短,所以在有些情况下难以进一步地 缩短该纵向BM的横向宽度。
另一方面,由于横向BM的纵向长度较长,所以比较容易进一步地缩短 该横向BM的纵向长度。因此,能够大幅度地将横向BM的纵向长度缩短得 比以往更短,更高效地提高开口率。
同样地,即使在如本实施方式那样,横向BM的纵向长度比纵向BM的 横向宽度更长的情况下,也可以以实施方式7那样的顺序以图案的方式形成 RGB层23、23、…。但是,在这些情况下,由于纵向BM的横向宽度比横 向BM的纵向长度更长,所以通过大幅度地将横向BM的纵向长度缩短得比 以往更短,能够高效地提高开口率。
实施方式9.
本实施方式的液晶显示装置1以及彩色滤光片2是与实施方式1~6的 液晶显示装置1以及彩色滤光片2大致相同的结构。以下,针对与实施方式 1~6的差异进行说明,在其他的与实施方式1~6相对应的部分标记相同的 附图标记,并省略它们的说明。
本实施方式的液晶显示装置1是多个像素排列的液晶显示装置1。
图33是示意性地示出本发明的实施方式9的彩色滤光片2的结构的主 视图。图33与实施方式1的图3相对应。
其中,在图33中示出在左右方向上的5个像素的RGB层23、23、…。 上层(或者下层)的排列有3个的R层23r、G层23g以及B层23b是与上 层(或者下层)的副像素相对应的R层23r、G层23g以及B层23b。
另外,在实施方式1中用箭头A1示出的范围和用箭头A2示出的范围 重合的部分包含的左右方向上的像素数是1个,而在本实施方式中是3个。
图33所示的彩色滤光片2的制造顺序与实施方式1的彩色滤光片2的 制造顺序相差不大。这是因为,只要将图33所示的上层的副像素的开口26、 26、…看作是与图3所示的上层的像素的开口26、26、…同样的,将图33 所示的下层的副像素的开口26、26、…看作是与图3所示的下层的像素的开 口26、26、…同样的即可。
因此,上层的副像素的RGB层23的左曝光部231(或者右曝光部232) 和下层的副像素的RGB层23的左曝光部231(或者右曝光部232)是通过 参照相同的对准标记M1~M4进行曝光形成的。
结果,就在左右方向上相邻的2个RGB层23、23而言,至少相向的部 分是通过参照彼此相同的对准标记M1~M4进行曝光形成的。因此,本实施 方式的彩色滤光片2能够通过与实施方式1同样的作用效果,将纵向BM缩 短得比以往更短。
实施方式10.
本实施方式的液晶显示装置1以及彩色滤光片2是与实施方式9的液晶 显示装置1以及彩色滤光片2大致相同的结构。以下,针对与实施方式9的 差异进行说明,在其他的与实施方式9相对应的部分标记相同的附图标记, 并省略它们的说明。
图34是示意性地示出本发明的实施方式10的彩色滤光片2的结构的主 视图。
本实施方式的彩色滤光片2的下层的副像素组的结构与实施方式9的彩 色滤光片2的下层的副像素组的结构相同(参照图33)。
另一方面,本实施方式的彩色滤光片2的上层的副像素组的具有着色凸 部23a的RGB层23的数量比实施方式9的彩色滤光片2的上层的副像素组 少。
从左侧数第二个像素的下层的副像素的R层23r具有着色凸部23a,而 该R层23r的上层的副像素的R层23r不具有着色凸部23a。
另外,从左侧数第四个像素的下层的副像素的B层23b具有着色凸部 23a,而该B层23b的上层的副像素的B层23b不具有着色凸部23a。
从左侧数第二个像素的上层的副像素的G层23g到从左侧数第四个像素 的下层的副像素的G层23g这7个RGB层23、23、…分别具有着色凸部23a。
上层的副像素的RGB层23的左曝光部231和下层的副像素的RGB层 23的右曝光部232是通过参照相同的对准标记M1~M4进行曝光形成的。 另一方面,上层的副像素的RGB层23的左曝光部231和下层的副像素的 RGB层23的左曝光部231是通过参照相互不同的对准标记M1~M4进行曝 光形成的。
同样地,上层的副像素的RGB层23的右曝光部232和下层的副像素的 RGB层23的左曝光部231是通过参照相同的对准标记M1~M4进行曝光形 成的。另一方面,上层的副像素的RGB层23的右曝光部232和下层的副像 素的RGB层23的右曝光部232是通过参照相互不同的对准标记M1~M4 进行曝光形成的。
虽说如此,但是本实施方式的彩色滤光片2的制造顺序除了设于RGB 层23、23、…形成用的曝光掩膜的掩膜图案的形状与在制造实施方式9的彩 色滤光片2时使用的曝光掩膜的掩膜图案不同以外,与实施方式9的彩色滤 光片2的制造顺序大致相同。
结果,就在左右方向上相邻的2个RGB层23、23而言,至少相向的部 分是通过参照彼此相同的对准标记M1~M4进行曝光形成的。因此,本实施 方式的彩色滤光片2通过与实施方式1同样的作用效果,也能够将纵向BM 缩短得比以往更短。
此处,对实施方式9、10的彩色滤光片2的比较进行描述。
在形成RGB层23、23、…时发生错位,在下层的副像素的RGB层23 上形成宽度较宽的(或者宽度较窄的)着色凸部23a的情况下,在实施方式 9的彩色滤光片2中,在上层的副像素的RGB层23也形成宽度较宽的(或 者宽度较窄的)着色凸部23a。另一方面,在实施方式10的彩色滤光片2中, 即使在下层的副像素的RGB层23形成宽度较宽的(或者宽度较窄的)着色 凸部23a的情况下,在上层的副像素的RGB层23也不形成着色凸部23a, 或者形成宽度较窄(或者宽度较宽)的着色凸部23a。
即,在上下方向上,宽度较宽的着色凸部23a不连续。换言之,在液晶 显示装置1的整个显示区域中分散配置有宽度较宽的着色凸部23a、23a、…。 因此,着色凸部23a、23a、…对彩色图像的显示造成的不良影响不明显。
实施方式11.
本实施方式的液晶显示装置1以及彩色滤光片2是与实施方式9、10的 液晶显示装置1以及彩色滤光片2大致相同的结构。以下,针对与实施方式 9、10的差异进行说明,在其他的与实施方式9、10相对应的部分标记相同 的附图标记,并省略它们的说明。
图35是示意性地示出本发明的实施方式11的彩色滤光片2的结构的主 视图。
若将本实施方式的彩色滤光片2的上层的副像素的RGB层23和下层的 副像素的RGB层23看作是1个RGB层23,则是与实施方式5的彩色滤光 片2大致相同的结构(参照图28)。
在下层的副像素的RGB层23具有着色凸部23a的情况下,该RGB层 23的上层的副像素的RGB层23不具有着色凸部23a。同样地,在上层的副 像素的RGB层23具有着色凸部23a的情况下,该RGB层23的下层的副像 素的RGB层23不具有着色凸部23a。
本实施方式的彩色滤光片2的制造顺序除了设于RGB层23、23、…形 成用的曝光掩膜的掩膜图案的形状与制造实施方式9、10的彩色滤光片2时 使用的曝光掩膜的掩膜图案的形状不同以外,与实施方式9、10的彩色滤光 片2的制造顺序大致相同。
因此,就在左右方向上相邻的2个RGB层23、23而言,至少相向的部 分是通过参照彼此相同的对准标记M1~M4进行曝光形成的。因此,本实施 方式的彩色滤光片2通过与实施方式1同样的作用效果,也能够将纵向BM 缩短得比以往更短。
此处,对实施方式9~11的彩色滤光片2的比较进行描述。
在实施方式9、10的彩色滤光片2的情况下,除了一部分例外,若上层 以及下层中一者的副像素的RGB层23具有着色凸部23a,则另一者的副像 素的RGB层23也具有着色凸部23a。
但是,在实施方式11的彩色滤光片2中,大多数只有上层以及下层中 的一者具有着色凸部23a。即,着色凸部23a、23a、…的总量少。因此,着 色凸部23a、23a、…对彩色图像的显示造成的不良影响也很小。
实施方式12.
本实施方式的液晶显示装置1以及彩色滤光片2是与实施方式1~6的 液晶显示装置1以及彩色滤光片2大致相同的结构。以下,针对与实施方式 1~6的差异进行说明,在其他的与实施方式1~6相对应的部分标记相同的 附图标记,并省略它们的说明。
图36是示意性地示出本发明的实施方式12的彩色滤光片2的结构的主 视图。图36与实施方式1的图2相对应。
本实施方式的彩色滤光片2具有RGB层27、27、…以及开口28、28、… 来取代实施方式1的RGB层23、23、…以及开口26、26、…。
在实施方式1的BM22上沿左右方向以及上下方向各排列设有数百个开 口26、26、…。各开口26呈矩形。
另一方面,在本实施方式的BM22上沿左右方向排列设有数百个开口 28、28、…。各开口28呈如下的形状,该形状是通过去除实施方式1中的 沿上下方向排列设置的开口26、26、…之间的横向BM的右端部来将开口 26、26、…连结而成的形状。
各RGB层27呈比开口28大的矩形。1个RGB层27堵塞1个开口28。 此时,RGB层27填充开口28。另外,RGB层27的周缘部至少与开口28 的周缘部(即BM22的一部分)重合。
图36所示的开口28、28、…与图2所示的从右侧数的4个开口26、26、… 相对应。同样地,图36所示的RGB层27、27、…与图2所示的从右侧数的 4个RGB层23、23、…相对应。
因此,图36所示的左端部的RGB层27具有与实施方式1的着色凸部 23a相对应的着色凸部27a(图36中的阴影部分)。即,着色凸部27a是参 照2个对准标记进行两次曝光的部分。
另外,RGB层27的包含着色凸部27a的左半部分是左曝光部271,RGB 层27的包含着色凸部27a的右半部分是右曝光部272。左曝光部271以及右 曝光部272是通过参照相互不同的2个对准标记进行曝光形成的部分。
就在左右方向上相邻的2个RGB层27、27而言,至少相向的部分(例 如左侧的RGB层27的右曝光部272和右侧的RGB层27的左曝光部271) 是通过参照彼此相同的对准标记进行曝光形成的。即,在本实施方式中也不 会发生因参照不同的对准标记而引起的RGB层27、27配置得彼此过度(没 有必要)的接近或者远离。
除了RGB层27、27、…以及开口28、28、…的形状以外,本实施方式 的彩色滤光片2的制造顺序与实施方式1的彩色滤光片2的制造顺序相差不 大。
本发明披露的实施方式应该理解为在全部的方面都是例示性的,而不是 限制性的。本发明的范围不仅包括上述的意思,还包括与权利要求书的范围 等同的意思以及权利要求书的范围内的全部的变更。
另外,只要是产生本发明的效果,在液晶显示装置1或者彩色滤光片2 中也可以具有实施方式1~11中未披露的构成要素。
各实施方式中披露的构成要件(技术特征)能够相互组合,通过组合形 成新的技术特征。
附图标记的说明
1 液晶显示装置
17 液晶部
2 彩色滤光片
21 玻璃基板(透光基板)
22 BM(遮光层)
220 遮光材料层
22e 遮光凸部
23 RGB层(着色层)
230 着色材料层
23a 着色凸部
26、28 开口
D 十字线(阻挡部)
M1、M2、M3、M4 对准标记

Claims (8)

1.一种彩色滤光片,具有:
透光基板,
遮光层,形成于该透光基板的一面,沿一个方向排列设置有多个开口,
着色层,配置于各开口中,堵塞该开口,且与所述遮光层局部重合;
其特征在于,
所述开口中的至少2个开口中分别配置的着色层,在所述开口的所述一个方向的中央部具有着色凸部,
所述遮光层在所述一个方向上的与所述开口的中央部相同的位置具有遮光凸部,该遮光凸部是所述遮光层的材料被曝光两次的部分,比仅曝光一次的部分突出。
2.如权利要求1所述的彩色滤光片,其特征在于,
所述开口沿所述一个方向以及与该一个方向相交的另一个方向排列设置,
所述一个方向的相邻开口间的间距比所述另一个方向的相邻开口间的间距大。
3.如权利要求1所述的彩色滤光片,其特征在于,
所述开口沿所述一个方向以及与该一个方向相交的另一个方向排列设置,
所述着色凸部形成一直线状、特定线状或弯曲线状,
该一直线状指,位于所述着色层的所述一个方向的中央部且到达所述另一个方向的两端部的直线状,
该特定线状指,位于所述着色层的所述一个方向的中央部,且沿着所述开口的周缘部到达所述另一个方向的两端部的线状,
该弯曲线状指,位于所述着色层的所述一个方向的中央部,从所述另一个方向的一个端部到达所述另一个方向的中央部再从该中央部到达所述另一个方向的一端部的线状。
4.一种液晶显示装置,具有:
液晶部,使用液晶形成,
彩色滤光片,将透过该液晶部的光着色;
其特征在于,
所述彩色滤光片是权利要求1~3中任一项所述的彩色滤光片。
5.如权利要求4所述的液晶显示装置,其特征在于,
该液晶显示装置具有阻挡部,该阻挡部对光向所述液晶部的入射或者透过所述液晶部的光的出射进行阻挡,
所述彩色滤光片的着色凸部的配置位置与所述阻挡部的配置位置相对应。
6.一种彩色滤光片的制造方法,该彩色滤光片具有:透光基板,遮光层,形成于该透光基板的一面,沿一个方向排列设置有多个开口,着色层,配置于各开口中,堵塞该开口,且与所述遮光层局部重合;所述开口中的至少2个开口中分别配置的着色层,在所述开口的所述一个方向的中央部具有着色凸部,其特征在于,
该制造方法包括:
遮光层形成工序,在透光基板的一面上以图案的方式形成遮光层,该遮光层设有沿一个方向排列的多个开口和多个对准标记,
着色层形成工序,以图案的方式形成着色层,该着色层配置于各开口,堵塞该开口,且与所述遮光层局部重合;
在该着色层形成工序中,通过使用同一对准标记进行曝光,以图案的方式形成分别配置于所述一个方向上相邻的两个所述开口中的着色层的所述一个方向上相向的部分,来制造彩色滤光片,
所述着色层形成工序包括:
在所述遮光层以及通过所述开口露出的所述透光基板上层叠成为一种颜色的着色层的第一着色材料层的工序,
第一曝光工序,使用一个对准标记,对成为第一着色层的包括配置于第一开口的所述一个方向的一侧在内的一部分的、所述第一着色材料层进行第一曝光,
第二曝光工序,使用其他的对准标记,对成为所述第一着色层的剩余部分的所述第一着色材料层进行第二曝光,并且对位于成为所述第一着色层的部分的所述一个方向上的中央部且进行过所述第一曝光的所述第一着色材料层再次进行曝光,
在所述第一曝光工序以及第二曝光工序结束后,形成所述第一着色层的工序,
在所述遮光层以及通过所述开口露出的所述透光基板上层叠成为与所述一种颜色不同的其他颜色的着色层的第二着色材料层的工序,
第三曝光工序,使用所述一个对准标记,对成为第二着色层的包括配置于第二开口的所述一个方向上的另一侧在内的一部分的、所述第二着色材料层进行第三曝光,该第二开口在所述一个方向的一侧与所述第一开口相邻,
第四曝光工序,使用所述其他的对准标记,对成为所述第二着色层的剩余部分的所述第二着色材料层进行第四曝光,并且对位于成为所述第二着色层的部分的所述一个方向上的中央部且进行过所述第三曝光的所述第二着色材料层再次进行曝光,
在所述第三曝光工序以及第四曝光工序结束后,形成所述第二着色层的工序。
7.如权利要求6所述的彩色滤光片的制造方法,其特征在于,
所述遮光层在所述一个方向上的与所述开口的中央部相同的位置具有遮光凸部。
8.如权利要求6或7所述的彩色滤光片的制造方法,其特征在于,
所述遮光层形成工序包括:
在所述透光基板的一面上层叠成为所述遮光层的遮光材料层的工序,
第五曝光工序,对成为所述遮光层的所述一个方向上的一部分的所述遮光材料层进行第五曝光,
第六曝光工序,对成为所述遮光层的在所述一个方向与所述一部分邻接的其他部分的、遮光材料层进行第六曝光,并且对进行过所述第五曝光的所述遮光材料层中的特定位置再次进行曝光,该特定位置是在所述一个方向上的与成为所述开口的部分的中央部相同的位置,
在所述第五曝光工序以及第六曝光工序结束后,形成所述遮光层的工序。
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