JP2005165013A - カラーフィルタ基板及びそれを備える液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ステッピングプロキシミティ露光方式により形成されるカラーフィルタ基板に対し、多重露光部が形成されることによる表示品位の低下を防止する。
【解決手段】 カラーフィルタ基板1は、表示領域5及び額縁領域を有する基板と、基板の表示領域5にパターン形成され、ネガ型のレジストにより構成された複数の着色層20と、着色層20及び額縁領域の双方に設けられ、着色層20と同じ材料により構成された点状パターン部30と、額縁領域と、隣接する着色層20の間とに設けられたブラックマトリクス10とを備えている。複数の着色層20に形成された点状パターン部30の少なくとも1つは、複数回露光された多重露光部34を備えている。そして、ブラックマトリクスは、多重露光部34に重なる重畳部12を備えている。
【選択図】図6
【解決手段】 カラーフィルタ基板1は、表示領域5及び額縁領域を有する基板と、基板の表示領域5にパターン形成され、ネガ型のレジストにより構成された複数の着色層20と、着色層20及び額縁領域の双方に設けられ、着色層20と同じ材料により構成された点状パターン部30と、額縁領域と、隣接する着色層20の間とに設けられたブラックマトリクス10とを備えている。複数の着色層20に形成された点状パターン部30の少なくとも1つは、複数回露光された多重露光部34を備えている。そして、ブラックマトリクスは、多重露光部34に重なる重畳部12を備えている。
【選択図】図6
Description
本発明は、カラー表示に用いられるカラーフィルタ基板、及びそれを備える液晶表示装置に関する。
近年、カラー表示を行う液晶表示装置(Liquid Crystal Display)は、薄型で低消費電力であるという特徴を有するため、例えば、従来のCRT型のTVモニターに代わる表示装置として、需要が飛躍的に増大している。
液晶表示装置は、一般に、カラーフィルタを有するカラーフィルタ基板と、スイッチング素子であるTFTを有するTFT基板と、上記カラーフィルタ基板及びTFT基板の間に設けられた液晶層とを備えている。
上記カラーフィルタ基板は、例えば、ガラス基板と、ガラス基板に所定のパターンで配置されたR,G,Bの3原色の複数の着色層と、各着色層の境界に形成されたブラックマトリクスと、透明電極と、偏光板とを備えている。
従来より、上記着色層を、フォトリソグラフィ等によりパターン形成することが知られている。すなわち、例えば、ネガ型のレジストである着色材料をガラス基板の上に均一に塗布した後に、露光工程で、フォトマスクを介して露光させる。その後、現像工程で、露光されなかった部分を除去することにより、着色層を所定のパターンに形成する。
ところで、近年の表示画面の大型化の要請から、カラーフィルタ基板に用いられるガラス基板は、より大きな面積へと移行している。しかしながら、ガラス基板の大型化に伴って、フォトマスクや露光装置を大型化することは難しくコストの上昇を招いてしまう。
そこで、従来より、基板全体の面積よりも小さい1つのフォトマスクと露光装置とを用い、露光を複数回のステップに分けて行うことが知られている(例えば、特許文献1参照)。この露光方式は、ステッピングプロキシミティ露光方式とも称され、基板上に形成された着色層のパターンをつなぎ合わせることにより、大面積のカラーフィルタ基板を製造するようにしている。
ところで、TFT基板とカラーフィルタ基板との間のセルギャップを確保するスペーサ等の点状パターン部を、カラーフィルタ基板の額縁領域に複数形成することが知られている。スペーサは、例えば着色層と同じ材料を基板上に積層することにより構成されている。
図15は、フォトマスク110を模式的に示す平面図である。フォトマスク110は、着色層を形成するための露光光が透過する第1透過部111と、点状パターン部を形成するための露光光が透過する第2透過部112とを備えている。尚、図15では、説明を簡単にするために単純化しており、第1透過部111及び第2透過部112の数を省略して示している。
着色層及び点状パターン部を形成する場合には、着色材料が塗布されたガラス基板に対し、平面図である図16に示すように、フォトマスク110を用いて、例えば2回のステップに分けて露光を行う。このことにより、基板上には、第1透過部111に応じて露光部121が形成されると共に、第2透過部112に応じて露光部122が形成される。その後、露光されなかった部分を除去することにより、露光部121が着色層に形成される一方、露光部122が点状パターン部に形成される。こうして、カラーフィルタ基板は製造される。
特開2000−347020号公報
ところで、上記従来のように、複数回のステップに分けて露光を行う場合には、露光誤差を考慮して、露光される領域の継ぎ目が重なるように各ステップが行われる。すなわち、図16に示すように、例えば2回目のステップでは、露光部122が、1回目のステップで形成された露光部121の一部に重なるように露光される。その結果、露光部121には、二重に露光された二重露光部123が形成されることとなる。
しかし、上記二重露光部123は、他の一重露光部である着色層に比べて、表示光の透過率等が異なるため、表示ムラとして視認され、表示品位を損ねてしまうという問題がある。
本発明は、斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ステッピングプロキシミティ露光方式により形成されるカラーフィルタ基板に対し、多重露光部が形成されることによる表示品位の低下を防止することにある。
上記の目的を達成するために、この発明では、ブラックマトリクスを、多重露光部に重なるように形成した。
具体的に、本発明に係るカラーフィルタ基板は、表示領域と、該表示領域の周りに設けられた額縁領域とを有する基板と、上記基板の表示領域にパターン形成され、ネガ型のレジストにより構成され複数の着色層と、上記着色層及び上記基板の額縁領域の双方に設けられ、上記着色層と同じ材料により構成された点状パターン部と、上記額縁領域と、隣接する上記着色層の間とに設けられたブラックマトリクスとを備えるカラーフィルタ基板であって、上記複数の着色層に形成された点状パターン部の少なくとも1つは、複数回露光された多重露光部を備え、上記ブラックマトリクスは、上記多重露光部に重なる重畳部を備えている。
上記多重露光部は、着色層の幅方向中央位置よりも幅方向端部側に配置されていることが好ましい。
上記ブラックマトリクスは、複数の着色層の幅方向内側へそれぞれ延びる延長部を備え、上記延長部の少なくとも1つは、上記重畳部を構成していてもよい。
上記延長部は、全ての着色層の幅方向内側に延びるように設けられていることが好ましい。
上記点状パターン部の少なくとも1つは、スイッチング素子を有するスイッチング素子基板との間の間隔を規定するためのスペーサに構成されていてもよい。
また、本発明に係る液晶表示装置は、上記カラーフィルタ基板と、上記カラーフィルタ基板に対向して設けられ、スイッチング素子を有するスイッチング素子基板と、上記スイッチング素子基板と、カラーフィルタ基板との間に設けられた液晶層とを備えている。
−作用−
次に、本発明に係るカラーフィルタ基板及び液晶表示装置の作用について説明する。
次に、本発明に係るカラーフィルタ基板及び液晶表示装置の作用について説明する。
カラーフィルタ基板を製造する場合には、まず、基板の上の表示領域及び額縁領域にブラックマトリクスをパターン形成する。このとき、表示領域において後工程で着色層が設けられる複数の部分には、ブラックマトリクスが形成されていない。続いて、基板の上にネガ型のレジストが一様に設けられ、複数回に分けて露光された後に、露光されなかった部分が除去されることにより、着色層及び点状パターン部がパターン形成される。このことにより、カラーフィルタ基板を製造する。その後、カラーフィルタ基板に対し、スイッチング素子基板を対向して設けると共に、カラーフィルタ基板とスイッチング素子基板との間に液晶層を介在させることにより、液晶表示装置を製造する。
このとき、カラーフィルタ基板の製造工程において、複数の露光領域が露光誤差を考慮して所定のマージンで重ねられるため、点状パターン部の少なくとも1つは、露光領域の継ぎ目部分において多重に露光される。この点状パターン部の多重露光部は、光の透過率が他の露光部分に比べて変化しているため、そのまま表示光を透過させると、表示ムラとして視認されてしまう。
これに対し、本発明では、ブラックマトリクスの一部を、上記多重露光部に重なる重畳部により構成したので、多重露光部を透過しようとする光は、上記重畳部により遮断される。その結果、多重露光部が形成されたとしても、表示ムラの発生が防止されることとなる。
また、上記多重露光部を、着色層の幅方向中央位置よりも幅方向端部側に配置することにより、多重露光部をブラックマトリクスに近接して設けることが可能となる。その結果、多重露光部が着色層の幅方向中央位置に配置されている場合に比べて、重畳部の面積が低減されるため、開口率の低下を抑制することが可能となる。
また、ブラックマトリクスが、複数の着色層の幅方向内側へそれぞれ延びる延長部を備え、上記延長部の少なくとも1つによって重畳部を構成することも可能である。つまり、重畳部を構成しない延長部を設けるようにしてもよい。このとき、延長部を全ての着色層に設けることにより、表示領域の全体に、延長部を均等に配置させることが可能となる。その結果、表示領域の全てに亘って表示状態が均一化されるため、表示品位が向上する。
また、上記点状パターン部を、カラーフィルタ基板とスイッチング基板との間の間隔を規定するスペーサに構成することにより、上記間隔は、球状粒子により構成されたスペーサに比べて厳密に確保することが可能となる。
本発明によると、ブラックマトリクスの一部を多重露光部に重なる重畳部に構成したので、多重露光部を透過しようとする光を、重畳部により遮断することができる。その結果、ステッピングプロキシミティ露光方式により製造されるカラーフィルタ基板に対し、多重露光部が形成されたとしても、表示ムラの発生を防止して表示品位の向上を図ることができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の各実施形態に限定されるものではない。
《発明の実施形態1》
図1〜図9は、本発明に係るカラーフィルタ基板及びそれを備える液晶表示装置の実施形態1を示している。本実施形態の液晶表示装置Aは、バックライト等の光源の光を透過して表示を行う透過型の液晶表示装置である。
図1〜図9は、本発明に係るカラーフィルタ基板及びそれを備える液晶表示装置の実施形態1を示している。本実施形態の液晶表示装置Aは、バックライト等の光源の光を透過して表示を行う透過型の液晶表示装置である。
液晶表示装置は、カラーフィルタ基板1(以下、CF基板と称する)と、CF基板1に対向して設けられ、TFT等のスイッチング素子を有するスイッチング素子基板(図示省略、以下、TFT基板と称する)と、TFT基板とCF基板1との間に設けられた液晶層(図示省略)とを備えている。
上記TFT基板は、図示を省略するが、マトリクス状に配置された複数のTFTと、各TFTに接続されて液晶層を駆動するための絵素電極とを備えている。TFT及び絵素電極は、CF基板1における後述の各着色層20に対応して設けられている。
上記液晶層は、図示を省略するが、複数の液晶領域(ドメイン)により構成されると共に、各液晶領域において液晶分子は基板表面に対して垂直配向するようになっている。このことにより、液晶表示装置は、MVA(Multi-domain Vertical Alignment)モードで表示を行うように構成され、視野角を拡大して表示品位の向上が図られている。
上記CF基板1は、液晶層側から見た概略平面図である図1に示すように、透明基板3を備え、透明基板3に表示領域5と、表示領域5の周りに設けられた額縁領域6とを有している。上記表示領域5は、透過する光により表示を行うための領域であり、上記額縁領域6は、光を透過しない領域である。
CF基板1は、例えば、表示領域5における拡大断面図である図5、及び額縁領域6における拡大断面図である図9に示すように、透明基板3と、ブラックマトリクス10と、着色層20と、点状パターン部30と、透明電極35とを備えている。
上記透明基板3は、例えばガラス等の絶縁性の透明絶縁材料により構成されている。透明基板3の一方の表面には、偏光板(図示省略)が積層して設けられている。透明基板3の他方の表面には、ブラックマトリクス10がパターン形成されている。
上記ブラックマトリクス10は、図1の部分拡大図である図3に示すように、表示領域5及び額縁領域6の双方に設けられている。額縁領域6のブラックマトリクス10は、透明基板3の表面に均一に形成されている。一方、表示領域6のブラックマトリクス10は、隣接する後述の複数の着色層20同士の間に形成されている。言い換えれば、ブラックマトリクス10は、表示領域5において隣接する各着色層20の境界を構成している。そして、ブラックマトリクス10は、基板を透過しようとする光を遮断する遮光膜に構成されている。
上記着色層20は、ネガ型のレジストにより構成され、透明基板3の表示領域5に複数設けられている。着色層20は、図1の拡大平面図である図2に示すように、R(赤),G(緑),B(青)の3原色の着色層20r,20g,20bにより構成され、その順に交互に配置するようにパターン形成されている。
上記各着色層20r,20g,20bは、それぞれ同じ形の略長方形に形成され、その長辺同士が隣接するように一列に並んでいる。図2では、各着色層20r,20g,20bが左右方向に一列に交互に並んでいる状態を示しているが、表示領域5の全体には、図2に示す着色層20の列が、複数平行に並んで設けられている。すなわち、各着色層20r,20g,20bは、表示領域5においてマトリクス状に配置されている。着色層20r,20g,20bが設けられている各領域は、表示の最小単位である絵素領域8を構成しており、上記絵素電極(図示省略)は、各絵素領域8毎に対応して設けられている。
上記点状パターン部30は、図2に示すように、表示領域5及び額縁領域6の双方に設けられ、上記着色層20と同じ材料であるネガ型のレジストにより構成されている。そして、点状パターン部30は、着色層20よりも小さい微細なパターンに形成されている。
表示領域5の点状パターン部30は、図2に示すように、複数の着色層20に形成され、例えば、R,G,Bの3種類の着色層20r,20g,20bのうち、R,Bの2種類の着色層20r,20bの表面に配置されている。つまり、Gの着色層20gには、点状パターン部30が設けられていない。各着色層20r,20bには、例えば3つの点状パターン部30が、着色層20r,20bの長辺方向に並んで設けられている。これら着色層20r,20bの点状パターン部30は、断面図である図5及び図7に示すように、着色層20r,20bの表面から液晶層側へ突出して形成されている。
そして、上記点状パターン部30の少なくとも1つは、CF基板1とTFT基板(図示省略)との間の間隔(セルギャップ)を規定するためのスペーサに構成されている。すなわち、着色層20rの点状パターン部30は、フォトスペーサ(Photo Spacer、以降、PSと略称する)31に構成されている。
上記PS31は、拡大平面図である図4と、図3及び図4におけるV−V線断面図である図5とに示すように、着色層20rの表面に積層された第1積層体21と、第1積層体21の表面に積層された第2積層体22とにより構成されている。第1積層体21は、着色層20gと同じGの着色材料により構成される一方、第2積層体22は、着色層20bと同じBの着色材料により構成されている。そして、PS31は、図5に示すように、着色層20と共に透明電極35によって覆われると共に、さらに、高分子樹脂等からなる先端部40により覆われている。
一方、着色層20bの点状パターン部30は、スペーサではなくダミーパターン32に構成されている。ダミーパターン32は、拡大平面図である図6と、図3及び図6におけるVII−VII線断面図である図7とに示すように、着色層20bの表面に積層された第1積層体2により構成されている。そして、ダミーパターン32は、図7に示すように、着色層20と共に透明電極35によって覆われると共に、さらに、高分子樹脂等からなる先端部40により覆われている。このように、ダミーパターン32は、第1積層体のみにより構成されているため、上記PS31よりも積層方向の高さが低くなっている。
ネガ型のレジストである着色層20及び点状パターン部30は、製造工程において、複数回のステップに分けて露光されるため、点状パターン部30の少なくとも1つは、露光ショットの継ぎ目領域において、複数回露光された多重露光部34を備えている。具体的に、図2で左右方向の中央領域に形成される複数のダミーパターン32は、それぞれ多重露光部34を有している。多重露光部34は、図6及び図7に示すように、複数回露光された第1積層体21により構成されている。この多重露光部34を有するダミーパターン32は、他の多重露光部34を有しないものに比べて、光の透過率が異なっている。
上記多重露光部34は、着色層20の幅方向中央位置よりも幅方向端部側に配置されている。すなわち、ダミーパターン32は、図3に示すように、略長方形状に形成された各着色層20bにおける一方の長辺側に偏って設けられている。さらに、上記PS31も、ダミーパターン32と同様に、着色層20rの一方の長辺側に偏って設けられている。ダミーパターン32及びPS31は、これら各ダミーパターン32及びPS31が属する着色層20b,20rにおける幅方向端部との間隔がそれぞれ等しくなるように配置されている。
一方、額縁領域6の点状パターン部30は、図2に示すように、ブラックマトリクス10の表面上に複数設けられ、それぞれ所定の間隔で配置されている。そして、ブラックマトリクス10の表面から液晶層側へ突出して形成されている。
上記額縁領域6の点状パターン部30は、CF基板1とTFT基板との間のセルギャップを規定するためのPS33に構成されている。PS33は、拡大平面図である図8と、図3及び図8におけるIX−IX線断面図である図9に示すように、ブラックマトリクス10の表面に積層された第1積層体21と、第1積層体21の表面に積層された第2積層体22とにより構成されている。そして、PS33は、図9に示すように、ブラックマトリクス10と共に透明電極35によって覆われると共に、さらに、高分子樹脂等からなる先端部40により覆われている。
額縁領域6におけるPS33の第1積層体21及び第2積層体22は、上記表示領域5におけるPS31の第1積層体21及び第2積層体22よりも厚く形成されている。このことにより、表示領域5においてブラックマトリクス10の表面に着色層20rを介して形成されたPS31と、額縁領域6においてブラックマトリクス10の表面に形成されたPS33とによって、所定のセルギャップが確保されるようになっている。
また、上記ブラックマトリクス10は、図3及び図4に示すように、着色層20の幅方向端部側から着色層20の幅方向内側へそれぞれ延びる複数の延長部11を備えている。各延長部11は、図3で着色層20の左側端部から右方向へ延びており、それぞれ同じ形状を有している。延長部11は、全ての着色層20毎に所定の間隔で複数設けることが好ましく、本実施形態では、各着色層20毎に例えば3つずつ設けられている。このことにより、延長部11は、表示領域5の全体に亘って均一に設けられている。
そして、本発明の特徴として、ブラックマトリクス10は、図3に示すように、上記多重露光部34に対し、透明基板3の法線方向に重なる重畳部12を備えている。重畳部12は、上記延長部11の少なくとも1つにより構成されている。尚、以降では、「透明電極3の法線方向に重なる」ことを、単に「重なる」と略して説明する。
上記延長部11の少なくとも1つは、多重露光部34を有するダミーパターン32に重なっている。また、他の延長部11の少なくとも1つは、多重露光部34を有しないダミーパターン32又はPS31に重なっている。
すなわち、着色層20bの内側に設けられている延長部11は、ダミーパターン32に重なっている。また、着色層20rの内側に設けられている延長部11は、PS31に重なっている。一方、着色層20bの内側に設けられている延長部11は、ダミーパターン32及びPS31の何れにも重なっていない。
言い換えれば、ダミーパターン32は、図7に示すように、延長部11に対し、着色層20bを介して積層されている。また、PS31は、延長部11に対し、着色層20rを介して積層されている。
こうして、光源の光は、TFT基板及び液晶層を透過した後に、CF基板1に入射する。表示領域5に入射した光は、着色層20r,20g,20bの各領域を透過する。このとき、着色層20r,20g,20bの領域のうち、ブラックマトリクス10の延長部11及び重畳部12が形成されている部分では、光の透過が遮断される。そして、着色層20r,20g,20bを透過した光により、所望の表示が行われる。
−製造方法−
次に、本実施形態のCF基板1及び液晶表示装置の製造方法について、図10〜図14を参照して説明する。
次に、本実施形態のCF基板1及び液晶表示装置の製造方法について、図10〜図14を参照して説明する。
本実施形態の製造方法は、CF基板製造工程と、基板貼付工程とを備えている。すなわち、液晶表示装置は、CF基板製造工程で製造されたCF基板1を、基板貼付工程においてTFT基板に貼り付けると共に、両基板間に液晶層を介装することにより製造される。このとき、PS31,33を覆っている先端部40は、TFT基板の表面に当接している。
上記CF基板製造工程は、ブラックマトリクス形成工程と、着色層形成工程と、透明電極形成工程とを備えている。
まず、ブラックマトリクス形成工程では、図3に示すように、透明基板3に対して所定のパターンでブラックマトリクス10を形成する。透明基板3の額縁領域6に対しては、ブラックマトリクス10をベタ状に形成する。一方、透明基板3の表示領域5に対しては、後工程で着色層を設けない領域にブラックマトリクス10を形成すると共に、後工程で着色層を設ける領域にブラックマトリクス10の延長部11をパターン形成する。ブラックマトリクス10のパターン形成は、フォトリソグラフィにより行う。
次に、着色層形成工程では、ブラックマトリクス10がパターン形成された透明基板3に対して、R,G,Bの各着色層20r,20g,20bを形成する。着色層20r,20g,20bは、各色毎にフォトリソグラフィにより形成する。このフォトリソグラフィにおける露光は、図1に示すように、ステッピングプロキシミティ露光方式により例えば2回のステップに分けて行う。
図10は、Rの着色層20rの形成方法を示す説明図である。透明基板3の表面に予め均一に塗布されたネガ型の赤色レジスト材料に対し、フォトマスク51を介して露光を行う。フォトマスク51は、図10に示すように、着色層20rを形成するための複数の透過部51aを有している。透過部51aは、例えば5つ設けられている。
そして、例えば、透明基板3における図10で左側の5つの領域をフォトマスク51を介して露光した後に、図10で右側の5つの領域を露光する。その後、露光されなかったレジストを除去することにより、Rの着色層20rをパターン形成する。
図11及び図12は、Gの着色層20gの形成方法を示す説明図である。着色層20rがパターン形成された透明基板3に対して予め緑色レジスト材料を塗布し、その後、図11に示す1回目の露光をフォトマスク52を介して行う。
フォトマスク52は、図11に示すように、着色層20gを形成するための第1透過部52aと、点状パターン30(第1積層体21)を形成するための第2透過部52bとを有している。第1透過部52aは、例えば5つ設けられている。第2透過部52bは、上記第1透過部52aが設けられていない領域の所定位置に複数設けられている。
そして、図11に示すように、透明基板3の表面の左側の領域には、第1透過部52aに対応して被露光部である着色層20gが形成されると共に、第2透過部52bに対応して被露光部である第1積層体21が形成される。着色層20gは、図11で各着色層20rの右隣りにそれぞれ形成される。また、第1積層体21は、額縁領域6及び表示領域5の双方に形成される。表示領域5における第1積層体21は、ブラックマトリクス10の延長部11に重なるように、着色層20rが形成されている領域と、後工程で着色層20bが形成される領域とに形成される。
次に、図12に示すように、同じフォトマスク52を用いて2回目の露光を行う。このことにより、1回目の露光と同様に、図12で透明基板3の右側の領域には、被露光部である着色層20g及び第1積層体21が形成される。
このとき、透明基板3における左右中央の領域では、複数の第1積層体21が二重に露光された多重露光部34に形成されている。これは、露光誤差を考慮し、露光領域の継ぎ目を重ねたことにより生じるものである。多重露光部34は、1回目の露光においてフォトマスク52における左側領域の第2透過部52bにより露光されると共に、2回目の露光においてフォトマスク52における右側領域の第2透過部52bによりさらに露光されている。
その後、露光されなかったレジストを除去することにより、Gの着色層20gと、点状パターン部30の第1積層体21とを形成する。第1積層体21は、表示領域5において一様に形成される。
図13及び図14は、Bの着色層20bの形成方法を示す説明図である。着色層20r,20gがパターン形成された透明基板3に対して予め青色レジスト材料を塗布し、その後、図13に示す1回目の露光をフォトマスク53を介して行う。
尚、図13及び図14では、説明のため、上記フォトマスク52により形成した点状パターン部30の図示を省略している。
フォトマスク53は、図13に示すように、着色層20bを形成するための第1透過部53aと、点状パターン30(第2積層体22)を形成するための第2透過部53bとを有している。第1透過部53aは、例えば5つ設けられている。第2透過部53bは、上記第1透過部53aが設けられていない領域の所定位置に複数設けられている。
そして、図13に示すように、透明基板3の表面の左側の領域には、第1透過部53aに対応して被露光部である着色層20bが形成されると共に、第2透過部53bに対応して被露光部である第2積層体22が形成される。着色層20bは、図13で各着色層20gの右隣りにそれぞれ形成される。また、第2積層体22は、上記第1積層体21に重なるように、額縁領域6と、着色層20rが形成されている領域とに形成される。
次に、図14に示すように、同じフォトマスク53を用いて2回目の露光を行う。このことにより、1回目の露光と同様に、図14で透明基板3の右側の領域には、被露光部である着色層20b及び第2積層体22が形成される。このフォトマスク53による露光では、多重露光部34は形成されない。つまり、第2積層体は、二重に露光されない。
その後、露光されなかったレジストを除去することにより、Bの着色層20bと、点状パターン部30の第2積層体22とを形成する。
続いて、透明基板3に対し、上記着色層20r,20g,20b及び点状パターン30を覆うように、透明電極35を積層する。その後、透明電極35の表面に液晶分子の初期配向を規制するための配向膜を積層する。以上のCF基板製造工程により、CF基板1は製造される。
−実施形態1の効果−
したがって、この実施形態によると、光の透過率が他の領域と相異する多重露光部34に対し、ブラックマトリクス10の重畳部12を重ねるようにしたので、多重露光部34を透過しようとする光を、上記重畳部12により遮断することができる。その結果、ステッピングプロキシミティ露光方式により表示領域5に多重露光部34が形成されたとしても、その多重露光部34を原因とする表示ムラの発生を防止し、表示品位の向上を図ることができる。
したがって、この実施形態によると、光の透過率が他の領域と相異する多重露光部34に対し、ブラックマトリクス10の重畳部12を重ねるようにしたので、多重露光部34を透過しようとする光を、上記重畳部12により遮断することができる。その結果、ステッピングプロキシミティ露光方式により表示領域5に多重露光部34が形成されたとしても、その多重露光部34を原因とする表示ムラの発生を防止し、表示品位の向上を図ることができる。
さらに、多重露光部34を、着色層20の幅方向中央位置よりも幅方向端部側に配置するようにしたので、多重露光部34をブラックマトリクス10に近接して設けることができる。その結果、多重露光部34が着色層20の幅方向中央位置に配置されている場合に比べて、重畳部34の面積を小さくできるため、開口率の低下を抑制することができる。
また、ブラックマトリクス10が、複数の着色層20の幅方向内側へそれぞれ延びる延長部11を備え、その延長部11の少なくとも1つによって重畳部12を構成することも可能である。つまり、重畳部12を構成しない延長部11を設けるようにしてもよい。このとき、延長部11を全ての着色層20に設けることにより、表示領域5の全体に、延長部11を均等に配置させることができる。その結果、表示領域5の全てに亘って表示状態が均一化できるため、表示品位を向上させることができる。
さらに、点状パターン部30を、CF基板1とTFT基板との間の間隔を規定するPS31,32に構成することにより、上記各基板間の間隔は、球状粒子により構成された一般的なスペーサに比べて厳密に確保することができる。
また、PS31だけでなく複数のダミーパターン32を表示領域に対して一様に設けるようにしたので、表示領域5の均一さを検査する製品検査を容易に行うことができる。
さらに、ブラックマトリクス10の延長部11を表示領域5に対して均一に設けるようにしたので、延長部11を部分的に設ける場合に比べて、表示品位の向上を図ることができる。
《その他の実施形態》
上記実施形態1では、露光を2回のステップに分けて行う例について説明したが、3回以上のステップに分けて露光を行う場合についても適用できる。したがって、多重露光部34も二重露光されている場合に限らず、3回以上重ねて露光されていてもよい。
上記実施形態1では、露光を2回のステップに分けて行う例について説明したが、3回以上のステップに分けて露光を行う場合についても適用できる。したがって、多重露光部34も二重露光されている場合に限らず、3回以上重ねて露光されていてもよい。
また、実施形態1では、多重露光部34を着色層20の幅方向中央位置よりも幅方向端部側に配置するようにしたが、幅方向中央位置に設けるようにしてもよい。ただし、重畳部12を小さくして開口率を向上させる観点から、上記実施形態1のように、幅方向端部側に設けることが好ましい。
また、重畳部12は、必ずしも、ブラックマトリクス10の延長部11として形成する必要はない。すなわち、多重露光部34に重なる形状であればよいため、例えば、他のブラックマトリクス10とは独立した浮島状のブラックマトリクスに形成しても構わない。
また、上記実施形態1では、全ての着色層20に対して延長部11を設けるようにしたが、本発明は、これに限らない。すなわち、延長部11を全ての着色層20の一部にのみ設けるようにしてもよい。この場合であっても、表示品位を向上する観点から、各延長部11を表示領域5の全体に亘って偏らないように配置することが好ましい。
また、上記実施形態12では、CF基板1を液晶表示装置のカラーフィルタ基板として説明したが、本発明はこれに限定されず、他のカラー表示装置のCF基板として適用することができる。
以上説明したように、本発明は、ステッピングプロキシミティ露光方式により形成されるカラーフィルタ基板、及びそれを備える液晶表示装置について有用であり、特に、多重露光部が形成されることによる表示品位の低下を防止する場合に適している。
1 CF基板(カラーフィルタ基板)
3 透明基板(基板)
5 表示領域
6 額縁領域
10 ブラックマトリクス
11 延長部
12 重畳部
20 着色層
20r 着色層
20g 着色層
20b 着色層
30 点状パターン部
31 PS(点状パターン部、スペーサ)
32 ダミーパターン(点状パターン部)
33 PS(点状パターン部、スペーサ)
34 多重露光部
3 透明基板(基板)
5 表示領域
6 額縁領域
10 ブラックマトリクス
11 延長部
12 重畳部
20 着色層
20r 着色層
20g 着色層
20b 着色層
30 点状パターン部
31 PS(点状パターン部、スペーサ)
32 ダミーパターン(点状パターン部)
33 PS(点状パターン部、スペーサ)
34 多重露光部
Claims (6)
- 表示領域と、該表示領域の周りに設けられた額縁領域とを有する基板と、
上記基板の表示領域にパターン形成され、ネガ型のレジストにより構成された複数の着色層と、
上記着色層及び上記基板の額縁領域の双方に設けられ、上記着色層と同じ材料により構成された点状パターン部と、
上記額縁領域と、隣接する上記着色層の間とに設けられたブラックマトリクスとを備えるカラーフィルタ基板であって、
上記複数の着色層に形成された点状パターン部の少なくとも1つは、複数回露光された多重露光部を備え、
上記ブラックマトリクスは、上記多重露光部に重なる重畳部を備えている
ことを特徴とするカラーフィルタ基板。 - 請求項1において、
上記多重露光部は、着色層の幅方向中央位置よりも幅方向端部側に配置されている
ことを特徴とするカラーフィルタ基板。 - 請求項1において、
上記ブラックマトリクスは、複数の着色層の幅方向内側へそれぞれ延びる延長部を備え、
上記延長部の少なくとも1つは、上記重畳部を構成している
ことを特徴とするカラーフィルタ基板。 - 請求項3において、
上記延長部は、全ての着色層の幅方向内側に延びるように設けられている
ことを特徴とするカラーフィルタ基板。 - 請求項1において、
上記点状パターン部の少なくとも1つは、スイッチング素子を有するスイッチング素子基板との間の間隔を規定するためのスペーサに構成されている
ことを特徴とするカラーフィルタ基板。 - 請求項1のカラーフィルタ基板と、
上記カラーフィルタ基板に対向して設けられ、スイッチング素子を有するスイッチング素子基板と、
上記スイッチング素子基板と、カラーフィルタ基板との間に設けられた液晶層とを備えている
ことを特徴とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003404463A JP2005165013A (ja) | 2003-12-03 | 2003-12-03 | カラーフィルタ基板及びそれを備える液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003404463A JP2005165013A (ja) | 2003-12-03 | 2003-12-03 | カラーフィルタ基板及びそれを備える液晶表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005165013A true JP2005165013A (ja) | 2005-06-23 |
Family
ID=34727445
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003404463A Pending JP2005165013A (ja) | 2003-12-03 | 2003-12-03 | カラーフィルタ基板及びそれを備える液晶表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005165013A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015008667A1 (ja) * | 2013-07-17 | 2015-01-22 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | カラーフィルタ、液晶表示装置、及びカラーフィルタの製造方法 |
US9046779B2 (en) | 2012-12-27 | 2015-06-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of fabricating display device using maskless exposure apparatus and display device |
-
2003
- 2003-12-03 JP JP2003404463A patent/JP2005165013A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9046779B2 (en) | 2012-12-27 | 2015-06-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of fabricating display device using maskless exposure apparatus and display device |
WO2015008667A1 (ja) * | 2013-07-17 | 2015-01-22 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | カラーフィルタ、液晶表示装置、及びカラーフィルタの製造方法 |
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