CN105226133A - 一种风刀及具有风刀的湿法处理装置 - Google Patents

一种风刀及具有风刀的湿法处理装置 Download PDF

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Abstract

本发明涉及湿制程设备领域，公开了一种风刀，包括进风部和出风部，所述进风部与出风部连通，所述进风部设置有进风口，所述出风部设置有多个排风通道，每个排风通道向水平面倾斜设置，所述排风通道与水平面的夹角为排风通道的倾斜角度，且多个排风通道的倾斜角度不完全相同，气流通过排风通道排出风刀，本发明还公开了一种具有风刀的湿法处理装置。本发明的风刀的进风压力与风量需求适中，气流结构设计合理，出气均匀且向不同的角度喷出，防止硅片受力不均而发生破裂或残留水渍。

Description

一种风刀及具有风刀的湿法处理装置
技术领域
本发明涉及湿制程设备领域，尤其涉及一种风刀及具有风刀的湿法处理装置。
背景技术
太阳能电池生产过程中，在对太阳能电池片化学湿法处理清洗后，需要对硅片进行干燥以便后续作业。
传统方法，需要把硅片装入硅片盒中，放入甩干机进行甩干。生产效率较低，不适合水平湿法处理。
现有的水平湿法处理设备中采用的风刀结构，具有如下问题：一是采用压缩空气吹干，需要一直消耗洁净的压缩空气，成本较高；二是采用一般高压风机供气的风刀，但是由于现有的风刀结构不合理，经过风刀吹气处理后的硅片上仍会有少量的水残留，为了去除残留的水分，需要增加空气压力和流量，容易导致硅片破裂，碎片率上升。
现有技术中没有一种结构合理的风机，在压力与风量需求适中的前提下，既能够保证硅片不会破裂，又能够完全去除硅片上的水分。
发明内容
为克服现有技术的不足，本发明的目的是：提供一种风刀及具有风刀的湿法处理装置，风刀的进风压力与风量需求适中，气流结构设计合理，出气均匀且向不同的角度喷出，防止硅片受力不均而发生破裂或残留水渍。
为了解决背景技术中的技术问题，本发明提供了一种风刀，包括进风部和出风部，所述进风部与出风部连通，所述进风部设置有进风口，所述出风部设置有多个排风通道，每个排风通道向水平面倾斜设置，所述排风通道与水平面的夹角为排风通道的倾斜角度，且多个排风通道的倾斜角度不完全相同。
可选地，所述排风通道的孔径范围为0.5mm-1.5mm。
优选地，所述出风部和进风部均为长条体，所述出风部上远离进风部的端部为排风部，所述排风通道设置在所述排风部上。
优选地，所述排风部上设置有多个排风通道组，每个排风通道组包括多个排风通道，每个排风通道组的多个排风通道排成一排，每个排风通道与排风部端面形成夹角，所述夹角范围为40°-80°。
进一步地，每一个排风通道组的排风通道沿着排风部的长度方向设置，任意两个排风通道组的排风通道交错分布。
具体地，每个排风通道在出风方向上均向着出风部长度方向的同一侧面倾斜，同一个排风通道组的排风通道的倾斜角度均相同，越靠近所述同一侧面的排风通道组中排风通道的倾斜角度越小。
优选地，相邻两个排风通道组的排风通道的倾斜角度差值均相等。
进一步地，所述进风部内部具有进风腔，所述出风部内部具有排风腔，优选地，所述进风腔的宽度大于排风腔的宽度，所述进风部和出风部均由玻璃纤维增强环氧树脂板制成。
优选地，所述进风部上远离出风部的表面为中部高两边低的倾斜结构，所述倾斜结构由倾斜结构中部向进风部上沿着长度方向的两个侧面倾斜而形成。
本发明还提供了一种具有风刀的湿法处理装置，包括两个如上所述的风刀，两个风刀的排风部相对设置。
采用上述技术方案，本发明的风刀的进风压力与风量需求适中，气流结构设计合理，出气均匀且向不同的角度喷出，防止硅片受力不均而发生破裂或残留水渍。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。
图1是本发明实施例提供的风刀的正视图；
图2是本发明实施例提供的风刀的左视图；
图3是本发明实施例提供的风刀的安装示意图；
图4是本发明实施例提供的风刀的出风部的侧视图；
图5是本发明实施例提供的风刀的排风通道的分布示意图。
其中，图中附图标记对应为：2-出风部，21-排风腔，22-排风通道，23-排风部，3-进风部，31-进风腔，32-进风口，41-固定块，42-连接件，43-螺栓，44-支撑块，5-硅片。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1：图1是本发明实施例提供的风刀的正视图，图2是本发明实施例提供的风刀的左视图，从图中可以清楚地看出，本实施例提供的风刀包括进风部3和出风部2，所述进风部3为内部具有进风腔31的进风壳体，所述出风部2为内部具有排风腔21的出风壳体，所述进风壳体的进风腔31与出风壳体的排风腔21连通，所述进风壳体表面设置有进风口32，所述出风部2设置有多个排风通道22，每个排风通道22向水平面倾斜设置，所述排风通道22与水平面的夹角为排风通道22的倾斜角度，且多个排风通道22的倾斜角度不完全相同。
为了同时能对多个硅片5进行干燥处理，本实施例中，所述出风部2和进风部3均为长条体，为了保证所述进风部壳体与出风壳体的密封连接，所述风刀上设置有多个用于连接所述进风部壳体与出风壳体的连接件42，所述出风部2上远离进风部3的端部为排风部23，所述排风通道22设置在所述排风部23上。
如图1所示，所述进风部3上远离出风部2的表面为中部高两边低的倾斜结构，所述倾斜结构由倾斜结构中部向进风部3上沿着长度方向的两个侧面倾斜而形成，本实施例中，所述进风部3具有一个进风口32，所述进风口32设置在进风壳体的前端面上，进入进风口32的气流在进风部3的倾斜结构侧面导流作用下更容易进入到出风部2。
由于风机的出口与进风部3的进风口32连接，所述风机的排风气流通过进风部3的进风腔31再进入排风腔21，最后通过排风通道22排出所述风刀并对硅片5进行吹干，因此，所述进风腔31的宽度优选设置为大于排风腔21的宽度，本实施例中缩减排风腔21的宽度是为了减小风机的排风气流排出风刀的强度，避免在对硅片5进行干燥处理时造成硅片5破裂的情况。
本实施例中，所述排风部23上设置有三个排风通道组，每个排风通道组包括多个排风通道22，每个排风通道组的多个排风通道22排成一排，每个排风通道22与排风部23端面形成夹角，所述夹角范围为40°-80°，如图4所示，当所述风刀水平放置时，所述排风通道22与排风部23端面形成的夹角即为所述排风通道22向水平面倾斜的倾斜角度。
具体地，每一个排风通道组的排风通道22沿着排风部23的长度方向设置，任意两个排风通道组的排风通道22交错分布，从图5中可以清楚地看出所述的交错分布是指三个排风通道组中的排风通道22没有上下一一对齐，最为最优的一种交错分布的排列方式为三排中的第一排的第一个排风通道22的左边沿与第三排的第一个排风通道22的右边沿对齐，而右边沿与第二排的第一个排风通道22的左边沿对齐，依次这样排列形成三个排风通道组。
具体地，每个排风通道22在出风方向上均向着出风部2长度方向的同一侧面倾斜，同一个排风通道组的排风通道22的倾斜角度均相同，越靠近所述同一侧面的排风通道组中排风通道22的倾斜角度越小。
由于以上交错排布的排风通道组以及每个排风通道22向水平面倾斜的设置结构，且倾斜角度有序变化，使得从排风通道22排出的气流向硅片均匀喷射，因此在相同的气压条件下，并保证硅片能吹干的前提下，所述排风通道22的孔径可以缩小，本实施例中，所述排风通道22的孔径范围为0.5mm-1.5mm。
优选地，相邻两个排风通道组的排风通道22的倾斜角度差值均相等，即最靠近向之倾斜的侧面的排风通道组中排风通道22与排风部23端面的夹角为40°，最远离所述侧面的排风通道组中排风通道22与排风部23端面的夹角为80°，则中间一个排风通道组中排风通道22与排风部23端面的夹角为60°，本发明包括但不限定于这种相邻两个排风通道组的排风通道22的倾斜角度差值均相等的设置方式。
为了保证与风机连接的风刀具有足够的承受强大气流的能力，优选地，所述进风壳体和出风壳体均由玻璃纤维增强环氧树脂板制成。
图3是本发明实施例提供的风刀的安装示意图，从图中可以清楚地看出，本实施例提供的具有风刀的湿法处理装置，包括两个如上所述的风刀，两个风刀的排风部23相对设置，即一个风刀的排风部23的排风通道22出口向下，另一个风刀的排风部23的排风通道22出口向上，硅片从上下风刀的中间穿过，风刀排风部23的端面距硅片5的距离范围为4～10mm。
为了方便将风刀安装在湿法处理装置上，所述风刀的两侧设置有固定块41，所述湿法处理装置上设置有与所述固定块41相配合的支撑块44，所述支撑块44托载所述固定块41，并通过螺栓43的固定方式将固定块41固定在支撑块44上，从而实现将风刀固定安装在湿法处理装置上。
为了方便以正确的方向安装两个风刀，在所述风刀的壳体上标明排风通道22的倾斜方向，上下两个风刀的排风通道22均向各自风刀的前端面倾斜，则标记由后端向前端的箭头，或者均向各自风刀的后端面倾斜，则标记由前端向后端的箭头。
长条状的风刀可以同时对5-8个硅片5进行干燥处理操作，如图3所示，本实施例中，风刀同时对6个硅片5进行吹干操作，所述风刀位置保持不动，所述6个硅片5同时逆着标记箭头水平运动，比如，所述排风通道22在出风方向上由风刀的后端向前端倾斜，则硅片5由两个风刀的前端穿过风刀之间运动到所述风刀的后端，完成硅片5的干燥操作。
风机优选无油类型的侧流气环式风机，吹干压力优选10～20kPa，在这个压力范围内，既能够保证硅片的干燥处理结果，又能够防止硅片5不被吹破。
实施例2：与实施例1中的风刀结构不同的是，所述排风通道组的数量为四个，在保持同一个排风通道组中相邻的排风通道22的间距不变的前提下，四个排风通道组中对应的排风通道22在水平位置上有重叠，将对硅片进行更全面更均匀地吹风处理，同理，根据风刀宽度和相邻两个排风通道组的间距，也可以适应性地增加或减少排风通道组的数量，而不限定排风通道组的数量为三个或四个。
作为优选的设置方式，在距所述向之倾斜的侧面由近到远的四个排风通道组中排风通道22与排风部23端面的夹角分别为40°、53°、66°和80°，但是本发明不限定于这种相邻两个排风通道组的排风通道22的倾斜角度差值均相等的设置方式。
风刀的其他结构特征与实施例1中风刀的结构特征相同，以及风刀在湿法处理装置上的安装形式也与实施例1相同，在此不再赘述。
本发明的风刀的进风压力与风量需求适中，气流结构设计合理，出气均匀且向不同的角度喷出，防止硅片受力不均而发生破裂或残留水渍。
以上所揭露的仅为本发明的几种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明权利要求所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种风刀，其特征在于，包括进风部(3)和出风部(2)，所述进风部(3)与出风部(2)连通，所述进风部(3)设置有进风口(32)，所述出风部(2)设置有多个排风通道(22)，每个排风通道(22)向水平面倾斜设置，所述排风通道(22)与水平面的夹角为排风通道(22)的倾斜角度，且多个排风通道(22)的倾斜角度不完全相同。
2.根据权利要求1所述的风刀，其特征在于，所述排风通道(22)的孔径范围为0.5mm-1.5mm。
3.根据权利要求1所述的风刀，其特征在于，所述出风部(2)和进风部(3)均为长条体，所述出风部(2)上远离进风部(3)的端部为排风部(23)，所述排风通道(22)设置在所述排风部(23)上。
4.根据权利要求3所述的风刀，其特征在于，所述排风部(23)上设置有多个排风通道组，每个排风通道组包括多个排风通道(22)，每个排风通道组的多个排风通道(22)排成一排，每个排风通道(22)与排风部(23)端面形成夹角，所述夹角范围为40°-80°。
5.根据权利要求4所述的风刀，其特征在于，每一个排风通道组的排风通道(22)沿着排风部(23)的长度方向设置，任意两个排风通道组的排风通道(22)交错分布。
6.根据权利要求4或5所述的风刀，其特征在于，每个排风通道(22)在出风方向上均向着出风部(2)长度方向的同一侧面倾斜，同一个排风通道组的排风通道(22)的倾斜角度均相同，越靠近所述同一侧面的排风通道组中排风通道(22)的倾斜角度越小。
7.根据权利要求6所述的风刀，其特征在于，相邻两个排风通道组的排风通道(22)的倾斜角度差值均相等。
8.根据权利要求1-7中任意一项所述的风刀，其特征在于，所述进风部(3)内部具有进风腔(31)，所述出风部(2)内部具有排风腔(21)，所述进风腔(31)的宽度大于排风腔(21)的宽度，所述进风部(3)和出风部(2)均由玻璃纤维增强环氧树脂板制成。
9.根据权利要求8所述的风刀，其特征在于，所述进风部(3)上远离出风部(2)的表面为中部高两边低的倾斜结构，所述倾斜结构由倾斜结构中部向进风部(3)上沿着长度方向的两个侧面倾斜而形成。
10.一种具有风刀的湿法处理装置，其特征在于，包括两个如权利要求1-9中任意一项所述的风刀，两个风刀的排风部(23)相对设置。
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