CN201832809U - 用于太阳电池湿制程中的风刀、风刀组及设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于太阳电池湿制程中的风刀、风刀组和太阳电池湿制程设备。所述风刀包括风刀管和进气接头，风刀管的管壁上沿风刀管轴线方向设置有多个出气孔；出气孔的对面或侧面的管壁上设置有进气口，进气口与进气接头连通。风刀组，包括两个风刀；所述两个风刀分别对称安装在水平运动的工件的上方和下方，每个风刀的出气孔的出风方向沿竖直方向朝向工件并偏向工件运动的反方向。本实用新型的风刀的结构简单，可以直接应用于太阳电池湿制程设备的药液槽内或药液槽之间；并具有挡液效果明显，耗气量较低，需求的气体压力较低的优点。

Description

用于太阳电池湿制程中的风刀、风刀组及设备

技术领域

本实用新型涉及太阳电池制造领域，具体地涉及一种用于太阳电池湿制程中的风刀及风刀组和太阳电池湿制程设备。

背景技术

在太阳电池湿制程过程中，需要使用药液对硅片进行处理，经过药液处理后的工件(如硅片)需要从一个药液槽移动到下一个药液槽。

在太阳电池湿制程中，工件在药液槽之间转移的空间和时间都比较有限，工件刚出一个药液槽就要进入下一个药液槽，甚至，工件同时位于两个药液槽内，即工件的后一半仍位于一个药液槽内，工件的前一半已经进入另一个药液槽内。

工件在药液槽之间转移的过程中，工件表面会残留有大量的药液，甚至有大量药液会沿着工件流出，既造成药液的浪费，又增加下一步处理时的清洗难度。因此需要对工件进行处理，清除工件表面残留的药液。

传统的干燥设备为离心式甩干机，需要把硅片装到专用的硅片盒内，再装入离心机甩干。此种方式需要把硅片从药液槽内取出放入专门的离心式甩干机中进行操作，也不能直接安装在太阳电池湿制程中。

此外，还可以采用风刀进行干燥，通常的风刀结构是在风刀板上开设一条细缝作为出风口。现有技术存在如下的缺陷：当工件上的药液较多时，除液效果不好，不能有效清除其表面的残留药液，并存在耗气量大的缺点。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种除液装置，可以直接安装在太阳电池湿制程的药液槽内或药液槽之间，并能有效地清除工件表面的残留药液，防止药液随着工件进入下一道处理工序。

为解决上述问题，本实用新型提供了一种用于太阳电池湿制程中的风刀，包括风刀管和进气接头，其特征在于，所述风刀管的管壁上沿所述风刀管轴线方向设置有多个出气孔；所述出气孔的对面或侧面的管壁上设置有进气口，所述进气口与所述进气接头连通。

优选地，所述管壁设置有多个所述进气口，多个所述进气口沿所述风刀管的轴线方向上均匀分布。

进一步地，所述进气口为两个。

作为优选，所述风刀管的两端通过堵头封闭，至少一个所述堵头通过螺纹与所述连接管连接。

作为优选，所述风刀管的管壁上设置有多排出气孔，每排所述出气孔沿所述风刀管轴线方向均匀排列。

优选地，所述出气孔的孔径为0.15～0.5mm，每排所述出气孔之间的孔间距为孔径的8～15倍。

作为优选，所述风刀管、进气接头的材质均为聚氯乙烯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚偏氟乙烯或聚四氟乙烯。

本实用新型还提供了一种用于太阳电池湿制程中的风刀组，其特征在于，包括两个上述任意一种风刀；两个所述风刀分别对称安装在水平运动的工件的上方和下方，每个所述风刀的出气孔的出风方向沿竖直方向朝向所述工件并偏向所述工件运动的反方向。

作为优选，每个所述风刀的出气孔的出风方向与竖直方向的夹角在5°～10°之间。

本实用新型还提供了一种太阳电池湿制程设备，其特征在于，安装有如上所述的风刀组。

本实用新型的风刀具有如下有益效果：结构简单，可以直接应用于太阳电池湿制程设备的药液槽内或药液槽之间；并具有挡液效果明显，耗气量较低，需求的气体压力较低的优点。

附图说明

图1是本实用新型实施例的用于太阳电池湿制程中的风刀的主视示意图；

图2是本实用新型实施例的用于太阳电池湿制程中的风刀组的安装示意图；

图3是图2中一个风刀的安装放大示意图(图中用短划代表出气孔的位置，箭头代表工件的运动方向)。

具体实施方式

下面参照附图详细描述本实用新型的实施方式。

图1是本实用新型实施例的用于太阳电池湿制程中的风刀的主视图。如图1所示，本实用新型的用于太阳电池湿制程中的风刀，包括风刀管1和进气接头4；风刀管4两端采用堵头5封闭；风刀管1的管壁上沿风刀管1的轴线方向设置有多个出气孔11；本实施例中，管壁上设有一排出气孔11，出气孔11沿着风刀管1的轴线方向均匀排列，出气孔11设置在风刀管1一侧的管壁上，进气口12设置在风刀管1的另一侧的管壁上，进气口12与进气接头4连通。作为优选，本实施例中，风刀管1的管壁上设置有两个进气口12，两个进气口12沿风刀管1的轴线方向上均匀分布并分别与进气接头4对应连通。作为优选，本实施例中风刀管1的形状为圆管。

本实施例中，连接管3两侧的堵头5均是通过螺纹与连接管3进行连接的，这样易于拆卸堵头5，便于对连接管3进行清洗和修理。

作为优选方案，本实施例中，出气孔11的孔径为0.2mm，当然孔径可在0.15～0.5mm之间根据实际情况选择。在此范围内孔径越小，耗气量越少；并且在同等压力下，孔径越小出气孔11内的气体流速越高，作用在工件表面上的残留液体的力也就越大。最优孔径与工件的大小和材质有关，实际中可以多次测试试验确定最佳孔径。本实用新型的风刀采用设置多个出气孔的方式，能有效降低耗气量；而且只需要较低压力的压缩气体即可达到较高的气流速度，通常选0.15～0.3Mpa，有效降低了压缩气体过程中的能耗。为了保证出气孔11中排出气体的吹扫效果，本实施例中，出气孔11的孔间距为孔径的8倍。当然，孔间距可以为孔径的8～15倍之间进行选择，只是孔间距越小，出气孔就越密，单位时间的出气量就越大。实际实施中，最优的孔间距需要根据工件性质进行试验确定。

作为优选方案，本实施例中风刀的各个部件如风刀管、进气接头等均由塑料制成，如聚氯乙烯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚偏氟乙烯或聚四氟乙烯等，这些塑料材料具有优良的耐腐蚀的性能，能耐受太阳电池湿制程中的各种药液的腐蚀，并具有相当的强度和硬度，能直接安装在药液槽的内部。

图2是本实用新型的实施例的用于太阳电池湿制程中的风刀组的安装示意图；图3是图2中一个风刀的安装放大示意图(图中用短划代表出气孔的位置，箭头代表工件的运动方向)。需要说明的是，由于出风方向91沿着出气孔11，图中表示出风方向91的虚线应与表示出气孔11位置的短划线重合，但为清晰起见，图3中表示出风方向91的虚线与代表示出气孔11位置的短划线是平行的，但这并不影响出风方向91与竖直方向90的夹角α的大小。

如图2、图3所示，图中工件70在传动装置72的带动下从药液槽81水平传送到药液槽82。本实用新型的用于太阳电池湿制程中的风刀组安装在药液槽81内；风刀组包括两个风刀7，两个风刀7通过压力调节阀73连接压力管路74，风刀7分别对称安装在水平运动的工件70的上方和下方，每个风刀7的出气孔11的出风方向91沿竖直方向90朝向工件70并偏向工件70运动的反方向。这样出气孔11吹出的压缩空气就把工件70从药液槽81上带出的药液吹回药液槽81内，防止流入药液槽82内。

如图3所示，本实施例中，每个风刀7的出气孔11的出风方向91与竖直方向90的夹角α为9°；当然只要α在5°～10°之间选择即可，最优的夹角需要根据风刀的出气孔与工件之间的距离及工件的性质进行试验选取。

在实际实施过程中，根据需要还可以并列设置多个风刀组，以加大对残留液体的作用力，并增加残留液体的蒸发，提高阻液效果。同样，安装有上述风刀组的太阳电池湿制程设备也具有上述的阻液效果。

当然，以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种用于太阳电池湿制程中的风刀，包括风刀管和进气接头，其特征在于，

所述风刀管的管壁上沿所述风刀管轴线方向设置有多个出气孔；

所述出气孔的对面或侧面的管壁上设置有进气口，所述进气口与所述进气接头连通。

2.如权利要求1所述的用于太阳电池湿制程中的风刀，其特征在于，所述管壁设置有多个所述进气口，多个所述进气口沿所述风刀管的轴线方向上均匀分布。

3.如权利要求2所述的用于太阳电池湿制程中的风刀，其特征在于，所述进气口为两个。

4.如权利要求1所述的用于太阳电池湿制程中的风刀，其特征在于，所述风刀管的两端通过堵头封闭，至少一个所述堵头通过螺纹与所述连接管连接。

5.如权利要求1所述的用于太阳电池湿制程中的风刀，其特征在于，所述风刀管的管壁上设置有多排出气孔，每排所述出气孔沿所述风刀管轴线方向均匀排列。

6.如权利要求5所述的用于太阳电池湿制程中的风刀，其特征在于，所述出气孔的孔径为0.15～0.5mm，每排所述出气孔之间的孔间距为孔径的8～15倍。

7.如权利要求1所述的用于太阳电池湿制程中的风刀，其特征在于，所述风刀管、进气接头的材质均为聚氯乙烯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚偏氟乙烯或聚四氟乙烯。

8.一种用于太阳电池湿制程中的风刀组，其特征在于，包括两个如权利要求1-7任意一项所述的风刀；

两个所述风刀分别对称安装在水平运动的工件的上方和下方，每个所述风刀的出气孔的出风方向沿竖直方向朝向所述工件并偏向所述工件运动的反方向。

9.如权利要求8所述的用于太阳电池湿制程中的风刀组，其特征在于，每个所述风刀的出气孔的出风方向与竖直方向的夹角在5°～10°之间。

10.一种太阳电池湿制程设备，其特征在于，安装有如权利要求8或9所述的风刀组。

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