CN105215835A - 高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺。它解决了现有抛丸打磨的工艺存在以下问题：打磨后内壁的光洁度较低，且内壁光洁度相对不够均匀；打磨后内壁颗粒及金属离子附着率较高，且此类物质难以完全去除，导致产品质量差等技术问题。本高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，该研磨工艺包括以下步骤：a、准备待研磨的容器；b、粗磨；c、第一次清洗；d、第一次吹干；e、精磨；f、第二次清洗；g、第二次吹干。本发明具有内壁光洁度高的优点。

Description

高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺

技术领域

本发明涉及一种研磨工艺，特别是一种高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺。

背景技术

随着半导体产品升级换代，特别28NM以下的半导体产品的生产，其集成电路产业对电子材料特别是电子化学品的纯度和有害杂质的要求越来越高。电子材料依赖进口的情况随着国家对其扶持，不少已实现国产化，而高纯及超高纯电子化学品的规模化不仅仅是简单的提纯生产，还必须依靠分装、储存、运输、安全管理等各个环节才能实现，其中高纯及超纯电子化学品的包装物是国产电子材料规模化生产中的那块短板，其各类高纯化学品包装容器目前只能依靠国外进口。而根据高纯及超纯电子化学品的要求，其包装容器充装高纯及超高纯化学品的需要，容器内壁的光洁度达标是其容器生产的首要条件。

目前，国内外使用的内壁处理技术基本采用的抛丸打磨的工艺进行处理，这种处理方式存在以下问题：1、打磨后内壁的光洁度较低(一般在0.3S左右)，且内壁光洁度相对不够均匀；2、打磨后内壁颗粒及金属离子附着率较高，且此类物质难以完全去除，导致产品质量差。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，通过该研磨工艺研磨后的容器具有内壁光洁度高的特点。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，其特征在于，该研磨工艺包括以下步骤：a、准备待研磨的容器；b、粗磨：按照容器体积的大小装入适量的粗磨料，将容器安装到研磨机上，开启研磨机10-15个小时，使粗磨料在容器内进行滚动，从而对容器内壁进行粗磨；c、第一次清洗：将容器中的粗磨料倒出，通过清洗装置对容器内壁进行清洗，使粗磨料全部脱离容器；d、第一次吹干：利用气体吹干装置对容器进行吹干；e、精磨：按照容器体积的大小装入适量的精磨料，将容器安装到研磨机上，开启研磨机20-25个小时，使精磨料在容器内进行滚动，从而对容器内壁进行精磨，精磨料的外径小于粗磨料的外径；f、第二次清洗：将容器中的精磨料倒出，通过清洗装置对容器内壁进行清洗，使精磨料全部脱离容器；g、第二次吹干：利用气体吹干装置对容器进行吹干，从而完成容器的研磨。

采用以上工艺，通过对容器进行粗磨、清洗、吹干、精磨、再清洗和再吹干的方式，可对各类形状容器的整个内壁进行研磨，同时，可使容器的内壁能达到所需的光洁度，产品光洁度好。

所述步骤b和e中的研磨机包括机架，在机架上设置有能转动的转动轴，转动轴的两端均通过轴向固定且周向转动的方式设置在机架上，转动轴一端的端部连接有能驱动转动轴转动的动力机构，在转动轴中部通过连接支架固定有安装板，所述的安装板上设置有能将容器定位住的定位结构，在安装板下部设置有震动电机。

本研磨机的工作原理如下：在容器中放入相应类型的磨料，将容器通过定位结构定位在安装板上，通过动力机构带动转动轴转动，转动轴带动连接支架转动，连接支架带动安装板转动，安装板带动容器转动，同时，开启震动电机，震动电机使容器产生震动，随着磨料在容器内转动和震动，可对容器的整个内壁进行打磨，从而提高研磨效果。

所述的动力机构包括PLC可编程控制器、高速旋转电机、步进电机和超越离合器，超越离合器具有输出端、输入端一和输入端二，高速旋转电机和输入端一相连接，步进电机和输入端二相连接，输出端与上述的转动轴相连接，所述的高速旋转电机、步进电机和超越离合器均通过线路与PLC可编程控制器相连接。

当粗磨时，即：需要使转动轴高速转动，通过PLC可编程控制器使高速旋转电机和输入端一相连接，高速旋转电机带动超越离合器的输入端一转动，超越离合器的输出端带动转动轴转动，从而使转动轴高速转动；当精磨时，即：需要使转动轴低速转动，通过PLC可编程控制器使步进电机和输入端二相连接，步进电机带动超越离合器的输入端二转动，超越离合器的输出端带动转动轴转动，从而使转动轴低速转动，变速方便。

作为另外一种情况，所述的动力机构包括步进电机和联轴器，步进电机固定在机架上，联轴器设置在步进电机的输出轴和上述的转动轴之间。

当需要使转动轴转动时，控制步进电机的输出轴转动，步进电机的输出轴通过联轴器带动转动轴转动，从而使转动轴转动。

所述的定位结构包括开设在安装板上的定位槽、左定位件、右定位件和定位绳，在安装板上固定有左基座，在左基座和定位槽之间固定有左导轨，左定位件设置在左导轨中，在左定位件和左基座之间设置有左弹簧，左弹簧一端固定在左定位件上，左弹簧另一端固定在左基座上；在安装板上固定有右基座，在右基座和定位槽之间固定有右导轨，右定位件设置在右导轨中，在右定位件和右基座之间设置有右弹簧，右弹簧一端固定在右定位件上，右弹簧另一端固定在右基座上；在安装板上固定有左挂环一、左挂环二、右挂环一和右挂环二，左挂环一和左挂环二分别设置在定位槽的两侧，右挂环一和右挂环二分别设置在定位槽的两侧，左挂环一和右挂环一处于定位槽的同一侧，定位绳包括定位绳一和定位绳二，定位绳一的一端固定在左挂环一上，定位绳一的另外一端能固定在右挂环二上，定位绳二的一端固定在左挂环二上，定位绳二的另外一端能固定在右挂环一上。

当需要将容器定位在安装板上时，将容器放在定位槽中，在左弹簧的弹力作用下，左弹簧推动左定位件沿着左导轨移动，左定位件将容器的一端定位住，同时，在右弹簧的弹力作用下，右弹簧推动右定位件沿着右导轨移动，右定位件将容器的另一端定位住；将定位绳一的一端固定在左挂环一上，将定位绳一的另一端绕过容器的侧面固定在右挂环二上，将定位绳二的一端固定在左挂环二上，将定位绳二的另一端绕过容器的侧面固定在右挂环一上，从而可将容器定位在安装板上，定位可靠、方便。

所述的左定位件朝向右定位件的一侧上固定有左橡胶垫，所述的右定位件朝向左定位件的一侧上固定有右橡胶垫。

采用以上结构，通过左橡胶垫可避免左定位件和容器的一端直接接触，通过右橡胶垫可避免右定位件和容器的另一端直接接触，对容器起到有效的保护，防护作用好。

所述步骤c和f中的清洗装置，包括底座，在底座上设置有储存桶、水泵、喷枪、立柱和机械手，所述立柱垂直设置在底座上，立柱上端设置有连接板，机械手设置在连接板下部处，在机械手下部设置有回收桶，回收桶上部设置有过滤网，在储存桶内设置有超纯水，水泵一端与储存桶相连通，水泵另一端通过连接管与喷枪相连通，所述的喷枪的出水口向上设置，且喷枪与一能带动其上下升降的升降定位结构相连；在连接管中还设置有流量调节阀；所述的回收桶上部具有成喇叭状的回收部，上述的过滤网设置在回收部处；所述的回收桶通过回流管与储存桶相连通，所述的回收桶处于储存桶上方。

本清洗装置的工作原理如下：通过机械手将容器夹持住，并使容器的瓶口朝下，通过升降定位结构将喷枪的出水口处于容器的内部，开启水泵，水泵通过连接管将储存桶中的超纯水输送到喷枪处，通过流量调节阀将喷枪处的超纯水流量调节到所需值，喷枪将容器的内壁清洗干净，使用过的超纯水在重力作用下，流到回收部处，通过过滤网将其过滤，过滤好的超纯水流到回收桶中，回收桶中的超纯水通过回流管流回到储存桶中，将容器从机械手上取下，从而完成其清洗作业，清洗快速、方便。

作为另外一种情况，所述步骤c和f中的清洗装置，包括底座，底座两端分别竖直设置有主动轴和从动轴，主动轴与一能带动其转动的驱动电机相连接，主动轴上固定有主动链轮一和主动链轮二，从动轴上固定有与主动链轮一相对应的从动链轮一和与主动链轮二相对应的从动链轮二，主动链轮一和从动链轮一之间设置有链条一，主动链轮二和从动链轮二之间设置有链条二，链条一和链条二之间固定有若干安装块，安装块上设置有机械手，在底座上还设置有储存桶、水泵、喷枪和立柱，立柱固定在底座上，在储存桶内设置有超纯水，水泵一端与储存桶相连通，水泵另一端通过连接管与喷枪相连通，所述的喷枪的出水口向上设置，喷枪通过一能带动其上下升降的升降定位结构设置在立柱上，且机械手能位于喷枪的正上方；在连接管中还设置有流量调节阀；喷枪下部设置有回收桶，回收桶上部设置有过滤网，所述的回收桶上部具有成喇叭状的回收部，上述的过滤网设置在回收部处；所述的回收桶通过回流管与储存桶相连通，所述的回收桶处于储存桶上方。

另一方案中清洗装置的工作原理如下：通过机械手将容器夹持住，并使容器的瓶口朝下，控制驱动电机的输出轴转动，驱动电机的输出轴带动主动轴转动，主动轴带动主动链轮一和主动链轮二一起转动，主动链轮一和主动链轮二分别带动相应的链条一和链条二一起转动，链条一和链条二分别带动从动链轮一和从动链轮二一起转动，从动链轮一和从动链轮二带动从动轴转动，同时，链条一和链条二带动安装板转动，随着安装板的转动，可使机械手处于喷枪的正上方，通过升降定位结构将喷枪的出水口处于容器的内部，开启水泵，水泵通过连接管将储存桶中的超纯水输送到喷枪处，通过流量调节阀将喷枪处的超纯水流量调节到所需值，喷枪将容器的内壁清洗干净，使用过的超纯水在重力作用下，流到回收部处，通过过滤网将其过滤，过滤好的超纯水流到回收桶中，回收桶中的超纯水通过回流管流回到储存桶中，将容器从机械手上取下，从而完成其清洗作业；通过在底座上设置多个喷枪，每个喷枪中喷出不同的清洗液，随着机械手的转动，不同的清洗液可依次对容器的内部进行清洗，清洗效果好。

所述的升降定位结构包括固定在上述立柱上的竖直导轨，在竖直导轨中设置有滑块，滑块下端设置有气缸，气缸的缸体固定在底座上，气缸的活塞杆向上设置与滑块相固定，在滑块上固定有连接杆，上述的喷枪固定在连接杆端部处。

当需要使喷枪上下移动时，控制气缸的活塞杆上下移动，气缸的活塞杆带动滑块沿着竖直导轨上下移动，滑块带动连接杆上下移动，连接杆带动喷枪上下移动，从而使喷枪上下移动，调节方便。

所述步骤d和g中的气体吹干装置包括气体储存箱、气泵和出气管，出气管采用金属材料制成，出气管中部设置有电加热管，出气管一端通过气管与气泵相连通，在气管上设置有调节阀，出气管另一端为出气端，出气端能伸入到容器内，气泵另一端与气体储存箱相连通。

本气体吹干装置工作原理如下：将出气管的出气端插入到容器的内部，开启气泵和电加热管，气泵通过气管将气体储存箱中的气体输送到出气管中，出气管通过加热的气体将容器的内部吹干，吹干方便。

与现有技术相比，本高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺具有以下有点：

1、本研磨工艺中通过对容器进行粗磨、清洗、吹干、精磨、再清洗和再吹干的方式，可对各类形状容器的整个内壁进行研磨，同时，可使容器的内壁能达到所需的光洁度，内壁光洁度高。

2、本研磨机中通过转动轴带动安装板转动，安装板带动容器转动，并通过震动电机使容器产生震动，随着磨料在容器内转动和震动，将容器的内部磨光，研磨效果好。

3、本清洗装置中通过机械手将容器夹持住，水泵将储存桶中的超纯水输送到喷枪处，通过喷枪将容器的内壁清洗干净，清洗快速。

4、本气体吹干装置中将出气管的出气端插入到容器的内部，气泵将储存箱中的气体输送到出气管中，出气管通过加热的气体将容器，吹干方便。

5、通过左橡胶垫可避免左定位件和容器的一端直接接触，通过右橡胶垫可避免右定位件和容器的另一端直接接触，对容器起到有效的保护，防护作用好。

6、通过气缸的活塞杆带动滑块上下移动，滑块带动喷枪上下移动，可使喷枪能够上下移动，调节方便。

附图说明

图1是本研磨机的立体结构示意图。

图2是本研磨机拆去部分零件的立体结构示意图。

图3是本研磨机中动力机构的平面结构示意图。

图4是本清洗装置的立体结构示意图。

图5是图4中A处的局部放大示意图。

图6是本清洗装置另一方案的立体结构示意图。

图7是本清洗装置另一方案拆去部分零件的立体结构示意图。

图8是本气体吹干装置的平面结构示意图。

图中，1、机架；2、PLC可编程控制器；3、转动轴；4、安装板；4a、定位槽；5、右基座；6、右弹簧；7、定位绳一；8、定位绳二；9、左定位件；10、左弹簧；11、左基座；12、左导轨；13、连接支架；14、左挂环一；15、右挂环一；16、右导轨；17、右定位件；18、右橡胶垫；19、右挂环二；20、左橡胶垫；21、左挂环二；22、步进电机；23、高速旋转电机；24、超越离合器；24a、输入端一；24b、输入端二；24c、输出端；25、底座；26、储存桶；27、回流管；28、回收桶；28a、回收部；29、连接架；30、喷枪；30a、出水口；30a1、辅助出水孔；31、流量调节阀；32、连接杆；33、机械手；34、连接板；35、立柱；36、竖直导轨；37、滑块；38、气缸；39、连接管；40、水泵；41、过滤网；42、安装块；43、从动链轮一；44、从动链轮二；45、从动轴；46、链条二；47、链条一；48、主动轴；49、主动链轮二；50、主动链轮一；51、驱动电机；52、气泵；53、调节阀；54、出气管；55、电加热管；56、气体储存箱。

具体实施方式

以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。

本高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，该研磨工艺包括以下步骤：a、准备待研磨的容器；b、粗磨：按照容器体积的大小装入适量的粗磨料，将容器安装到研磨机上，开启研磨机10-15个小时，粗磨的时间可以是10、12或15个小时；使粗磨料在容器内进行滚动，从而对容器内壁进行粗磨；c、第一次清洗：将容器中的粗磨料倒出，通过清洗装置对容器内壁进行清洗，使粗磨料全部脱离容器；d、第一次吹干：利用气体吹干装置对容器进行吹干；e、精磨：按照容器体积的大小装入适量的精磨料，将容器安装到研磨机上，开启研磨机20-25个小时，精磨的时间可以是20、22或25个小时；使精磨料在容器内进行滚动，从而对容器内壁进行精磨，精磨料的外径小于粗磨料的外径；f、第二次清洗：将容器中的精磨料倒出，通过清洗装置对容器内壁进行清洗，使精磨料全部脱离容器；g、第二次吹干：利用气体吹干装置对容器进行吹干，从而完成容器的研磨；采用该工艺，通过对容器进行粗磨、清洗、吹干、精磨、再清洗和再吹干的方式，可使容器的内壁能达到所需的光洁度，同时，也可以研磨各类形状的容器内壁，通用性强。

如图1、图2所示，步骤b和e中的研磨机包括机架1，在机架1上设置有能转动的转动轴3，转动轴3的两端均通过轴向固定且周向转动的方式设置在机架1上，转动轴3的两端套设有轴承，轴承外设置有轴承座，轴承座固定在机架1上；转动轴3一端的端部连接有能驱动转动轴3转动的动力机构，在转动轴3中部通过连接支架13固定有安装板4，转动轴3的中部通过焊接的方式和连接支架13的一端相固定，安装板4通过焊接的方式和连接支架13的另一端相固定；安装板4上设置有能将容器定位住的定位结构，在安装板4下部设置有震动电机，震动电机通过螺栓连接的方式固定在安装板4的下部，震动电机采用市场上可以买到的现有产品。

如图3所示，动力机构包括PLC可编程控制器2、高速旋转电机23、步进电机22和超越离合器24，超越离合器24采用市场上可以买到的现有产品，PLC可编程控制器2采用市场上可以买到的控制器，控制器控制离合器动作的程序为现有，其程序不需要重新编辑：超越离合器24具有输出端24c、输入端一24a和输入端二24b，高速旋转电机23和输入端一24a相连接，步进电机22和输入端二24b相连接，输出端24c与转动轴3相连接，高速旋转电机23、步进电机22和超越离合器24均通过线路与PLC可编程控制器2相连接。

当然，也可以采用该种实施方案，即：动力机构包括步进电机22和联轴器，步进电机22固定在机架1上，步进电机22通过螺栓连接的方式固定在机架1上；联轴器设置在步进电机22的输出轴和转动轴3之间。

如图1、图2所示，定位结构包括开设在安装板4上的定位槽4a、左定位件9、右定位件17和定位绳，在安装板4上固定有左基座11，在安装板4上通过螺栓连接的方式固定有左基座11；在左基座11和定位槽4a之间固定有左导轨12，左导轨12通过螺栓连接的方式固定在安装板4上；左定位件9设置在左导轨12中，在左定位件9和左基座11之间设置有左弹簧10，左弹簧10一端固定在左定位件9上，左弹簧10另一端固定在左基座11上；在安装板4上固定有右基座5，在安装板4上通过螺栓连接的方式固定有右基座5；在右基座5和定位槽4a之间固定有右导轨16，右导轨16通过螺栓连接的方式固定在安装板4上；右定位件17设置在右导轨16中，在右定位件17和右基座5之间设置有右弹簧6，右弹簧6一端固定在右定位件17上，右弹簧6另一端固定在右基座5上；在安装板4上固定有左挂环一14、左挂环二21、右挂环一15和右挂环二19，左挂环一14和左挂环二21分别设置在定位槽4a的两侧，右挂环一15和右挂环二19分别设置在定位槽4a的两侧，左挂环一14和右挂环一15处于定位槽4a的同一侧，定位绳包括定位绳一7和定位绳二8，定位绳一7的一端固定在左挂环一14上，定位绳一7的另外一端能固定在右挂环二19上，定位绳二8的一端固定在左挂环二21上，定位绳二8的另外一端能固定在右挂环一15上。

如图2所示，左定位件9朝向右定位件17的一侧上固定有左橡胶垫20，左定位件9通过螺栓连接的方式固定有左橡胶垫20；右定位件17朝向左定位件9的一侧上固定有右橡胶垫18，右定位件17通过螺栓连接的方式固定有右橡胶垫18，采用该结构，通过左橡胶垫20可避免左定位件9和容器的一端直接接触，通过右橡胶垫18可避免右定位件17和容器的另一端直接接触，对容器起到有效的保护，防护作用好。

本研磨机的工作原理如下：在容器中放入用于研磨的磨料，将容器放在定位槽4a中，在左弹簧10的弹力作用下，左弹簧10推动左定位件9沿着左导轨12移动，左定位件9将容器的一端定位住，同时，在右弹簧6的弹力作用下，右弹簧6推动右定位件17沿着右导轨16移动，右定位件17将容器的另一端定位住，将定位绳一7的一端固定在左挂环一14上，将定位绳一7的另一端绕过容器的侧面固定在右挂环二19上，将定位绳二8的一端固定在左挂环二21上，将定位绳二8的另一端绕过容器的侧面固定在右挂环一15上，将容器定位在安装板4上；粗研磨时，通过PLC可编程控制器2使高速旋转电机23和输入端一24a相连接，高速旋转电机23带动超越离合器24的输入端一24a转动，超越离合器24的输出端24c带动转动轴3转动，转动轴3带动连接支架13转动，连接支架13带动安装板4转动，安装板4带动容器转动，同时，开启震动电机，震动电机使容器产生震动，随着磨料在容器内转动和震动，对容器的内部粗磨；精研磨时，通过PLC可编程控制器2使步进电机22和输入端一24a相连接，步进电机22带动超越离合器24的输入端二24b转动，超越离合器24的输出端24c带动转动轴3转动，转动轴3带动连接支架13转动，连接支架13带动安装板4转动，安装板4带动容器转动，同时，开启震动电机，震动电机使容器产生震动，随着磨料在容器内转动和震动，对容器的内部精磨；磨料为粗磨料和精磨料，粗磨料为多边形磨料，比如四边形磨料、五边形磨料、六边形磨料，粗磨料材料为金刚砂，粗磨料的尺寸可为30毫米-50毫米，根据容器的大小来选择；精磨料为陶瓷颗粒，精磨料的尺寸可为5毫米-20毫米，根据容器的大小来选择。

如图4、图5所示，步骤c和f中的清洗装置，包括底座25，在底座25上设置有储存桶26、水泵40、喷枪30、立柱35和机械手33，机械手33采用市场上可以买到的现有产品；立柱35垂直设置在底座25上，立柱35上端设置有连接板34，机械手33设置在连接板34下部处，在机械手33下部设置有回收桶28，回收桶28通过连接架29固定在底座25上；回收桶28上部设置有过滤网41，过滤网41采用市场上可以买到的现有产品；在储存桶26内设置有超纯水，超纯水采用的是市场上可以买到的；水泵40一端与储存桶26相连通，储存桶26通过螺栓连接的方式固定在底座25上；水泵40另一端通过连接管39与喷枪30相连通，喷枪30的出水口30a向上设置，出水口30a的侧面还具有辅助出水孔30a1，可提高清洗的效果；且喷枪30与一能带动其上下升降的升降定位结构相连；在连接管39中还设置有流量调节阀31，流量调节阀31采用市场上可以买到的现有产品，通过流量调节阀31可调节连接管39中的液体流量；回收桶28上部具有成喇叭状的回收部28a，过滤网41设置在回收部28a处；回收桶28通过回流管27与储存桶26相连通，回收桶28处于储存桶26上方，可使回收桶28中的超纯水在重力的作用下，通过回流管27自动流回到储存桶26中。

当然，也可以采用该种实施方案，即：步骤c和f中的清洗装置，包括底座25，底座25两端分别竖直设置有主动轴48和从动轴45，主动轴48与一能带动其转动的驱动电机51相连接，主动轴48上固定有主动链轮一50和主动链轮二49，主动轴48上通过键连接的方式固定有主动链轮一50和主动链轮二49；从动轴45上固定有与主动链轮一50相对应的从动链轮一43和与主动链轮二49相对应的从动链轮二44，从动轴45上通过键连接的方式固定有从动链轮一43和从动链轮二44；主动链轮一50和从动链轮一43之间设置有链条一47，主动链轮二49和从动链轮二44之间设置有链条二46，链条一47和链条二46之间固定有若干安装块42，在本实施例中，安装块42的数量为六块；安装块42上设置有机械手33，每个安装块42上通过螺栓连接的方式均连接有一个机械手33；在底座25上还设置有储存桶26、水泵40、喷枪30和立柱35，立柱35固定在底座25上，立柱35通过螺栓连接的方式固定在底座25上；在储存桶26内设置有超纯水，水泵40一端与储存桶26相连通，水泵40另一端通过连接管39与喷枪30相连通，喷枪30的出水口30a向上设置，喷枪30通过一能带动其上下升降的升降定位结构设置在立柱35上，且机械手33能位于喷枪30的正上方；在连接管39中还设置有流量调节阀31，流量调节阀31采用市场上可以买到的现有产品，通过流量调节阀31可调节连接管39中的液体流量；喷枪30下部设置有回收桶28，回收桶28通过连接架29固定在底座25上；回收桶28上部设置有过滤网41，回收桶28上部具有成喇叭状的回收部28a，过滤网41设置在回收部28a处；回收桶28通过回流管27与储存桶26相连通，回收桶28处于储存桶26上方，可使回收桶28中的超纯水在重力的作用下，通过回流管27自动流回到储存桶26中；采用该结构，通过在底座25上设置多个喷枪30，每个喷枪30中可喷出不同的清洗液，随着机械手33的转动，不同的清洗液可依次对容器的内部进行清洗，清洗效果好；具体如图6、图7所示。

如图4所示，升降定位结构包括固定在立柱35上的竖直导轨36，竖直导轨36通过螺栓连接的方式固定在立柱35上；在竖直导轨36中设置有滑块37，滑块37可沿着竖直导轨36上下移动；滑块37下端设置有气缸38，气缸38的缸体固定在底座25上，气缸38的缸体通过螺栓连接的方式固定在底座25上；气缸38的活塞杆向上设置与滑块37相固定，气缸38的活塞杆端部通过螺栓连接的方式和滑块37相固定；在滑块37上固定有连接杆32，在滑块37上通过焊接的方式固定有连接杆32；喷枪30固定在连接杆32端部处，喷枪30通过螺栓连接的方式固定在连接杆32端部处。

本清洗装置的工作原理如下：通过机械手33将容器夹持住，并使容器的瓶口朝下，控制气缸38的活塞杆向上移动，气缸38的活塞杆带动滑块37向上移动，滑块37带动连接杆32向上移动，连接杆32带动喷枪30向上移动，使喷枪30的出水口30a处于容器的内部，开启水泵40，水泵40通过连接管39将储存桶26中的超纯水输送到喷枪30处，通过流量调节阀31将喷枪30处超纯水的流量调节到所需值，喷枪30将容器的内壁清洗干净，使用过的超纯水在重力作用下，流到回收部28a处，通过过滤网41将其过滤，过滤好的超纯水流到回收桶28中，回收桶28中的超纯水通过回流管27流回到储存桶26中，将容器从机械手33上取下，从而完成其清洗作业。

如图8所示，步骤d和g中的气体吹干装置包括气体储存箱56、气泵52和出气管54，在本实施例中，气体储存箱56中的气体可以是高纯氮气或者氦气，出气管54采用金属材料制成，出气管54可采用不锈钢加工制成；出气管54中部设置有电加热管55，出气管54一端通过气管与气泵52相连通，在气管上设置有调节阀53，调节阀53采用市场上可以买到的现有产品；出气管54另一端为出气端，出气端能伸入到容器内，气泵52另一端与气体储存箱56相连通。

本气体吹干装置工作原理如下：将出气管54的出气端插入到容器的内部，开启气泵52和电加热管55，气泵52通过气管将气体储存箱56中的高纯氮气输送到出气管54中，出气管54通过加热的高纯氮气将容器的内部吹干，从而完成其吹干作业。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (10)

1.高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，其特征在于，该研磨工艺包括以下步骤：a、准备待研磨的容器；b、粗磨：按照容器体积的大小装入适量的粗磨料，将容器安装到研磨机上，开启研磨机10-15个小时，使粗磨料在容器内进行滚动，从而对容器内壁进行粗磨；c、第一次清洗：将容器中的粗磨料倒出，通过清洗装置对容器内壁进行清洗，使粗磨料全部脱离容器；d、第一次吹干：利用气体吹干装置对容器进行吹干；e、精磨：按照容器体积的大小装入适量的精磨料，将容器安装到研磨机上，开启研磨机20-25个小时，使精磨料在容器内进行滚动，从而对容器内壁进行精磨，精磨料的外径小于粗磨料的外径；f、第二次清洗：将容器中的精磨料倒出，通过清洗装置对容器内壁进行清洗，使精磨料全部脱离容器；g、第二次吹干：利用气体吹干装置对容器进行吹干，从而完成容器的研磨。

2.根据权利要求1所述的高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，其特征在于，所述步骤b和e中的研磨机包括机架，在机架上设置有能转动的转动轴，转动轴的两端均通过轴向固定且周向转动的方式设置在机架上，转动轴一端的端部连接有能驱动转动轴转动的动力机构，在转动轴中部通过连接支架固定有安装板，所述的安装板上设置有能将容器定位住的定位结构，在安装板下部设置有震动电机。

3.根据权利要求2所述的高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，其特征在于，所述的动力机构包括PLC可编程控制器、高速旋转电机、步进电机和超越离合器，超越离合器具有输出端、输入端一和输入端二，高速旋转电机和输入端一相连接，步进电机和输入端二相连接，输出端与上述的转动轴相连接，所述的高速旋转电机、步进电机和超越离合器均通过线路与PLC可编程控制器相连接。

4.根据权利要求2所述的高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，其特征在于，所述的动力机构包括步进电机和联轴器，步进电机固定在机架上，联轴器设置在步进电机的输出轴和上述的转动轴之间。

5.根据权利要求2所述的高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，其特征在于，所述的定位结构包括开设在安装板上的定位槽、左定位件、右定位件和定位绳，在安装板上固定有左基座，在左基座和定位槽之间固定有左导轨，左定位件设置在左导轨中，在左定位件和左基座之间设置有左弹簧，左弹簧一端固定在左定位件上，左弹簧另一端固定在左基座上；在安装板上固定有右基座，在右基座和定位槽之间固定有右导轨，右定位件设置在右导轨中，在右定位件和右基座之间设置有右弹簧，右弹簧一端固定在右定位件上，右弹簧另一端固定在右基座上；在安装板上固定有左挂环一、左挂环二、右挂环一和右挂环二，左挂环一和左挂环二分别设置在定位槽的两侧，右挂环一和右挂环二分别设置在定位槽的两侧，左挂环一和右挂环一处于定位槽的同一侧，定位绳包括定位绳一和定位绳二，定位绳一的一端固定在左挂环一上，定位绳一的另外一端能固定在右挂环二上，定位绳二的一端固定在左挂环二上，定位绳二的另外一端能固定在右挂环一上。

6.根据权利要求5所述的高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，其特征在于，所述的左定位件朝向右定位件的一侧上固定有左橡胶垫，所述的右定位件朝向左定位件的一侧上固定有右橡胶垫。

7.根据权利要求1所述的高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，其特征在于，所述步骤c和f中的清洗装置，包括底座，在底座上设置有储存桶、水泵、喷枪、立柱和机械手，所述立柱垂直设置在底座上，立柱上端设置有连接板，机械手设置在连接板下部处，在机械手下部设置有回收桶，回收桶上部设置有过滤网，在储存桶内设置有超纯水，水泵一端与储存桶相连通，水泵另一端通过连接管与喷枪相连通，所述的喷枪的出水口向上设置，且喷枪与一能带动其上下升降的升降定位结构相连；在连接管中还设置有流量调节阀；所述的回收桶上部具有成喇叭状的回收部，上述的过滤网设置在回收部处；所述的回收桶通过回流管与储存桶相连通，所述的回收桶处于储存桶上方。

8.根据权利要求1所述的高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，其特征在于，所述步骤c和f中的清洗装置，包括底座，底座两端分别竖直设置有主动轴和从动轴，主动轴与一能带动其转动的驱动电机相连接，主动轴上固定有主动链轮一和主动链轮二，从动轴上固定有与主动链轮一相对应的从动链轮一和与主动链轮二相对应的从动链轮二，主动链轮一和从动链轮一之间设置有链条一，主动链轮二和从动链轮二之间设置有链条二，链条一和链条二之间固定有若干安装块，安装块上设置有机械手，在底座上还设置有储存桶、水泵、喷枪和立柱，立柱固定在底座上，在储存桶内设置有超纯水，水泵一端与储存桶相连通，水泵另一端通过连接管与喷枪相连通，所述的喷枪的出水口向上设置，喷枪通过一能带动其上下升降的升降定位结构设置在立柱上，且机械手能位于喷枪的正上方；在连接管中还设置有流量调节阀；喷枪下部设置有回收桶，回收桶上部设置有过滤网，所述的回收桶上部具有成喇叭状的回收部，上述的过滤网设置在回收部处；所述的回收桶通过回流管与储存桶相连通，所述的回收桶处于储存桶上方。

9.根据权利要求7所述的高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，其特征在于，所述的升降定位结构包括固定在上述立柱上的竖直导轨，在竖直导轨中设置有滑块，滑块下端设置有气缸，气缸的缸体固定在底座上，气缸的活塞杆向上设置与滑块相固定，在滑块上固定有连接杆，上述的喷枪固定在连接杆端部处。

10.根据权利要求1所述的高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，其特征在于，所述步骤d和g中的气体吹干装置包括气体储存箱、气泵和出气管，出气管采用金属材料制成，出气管中部设置有电加热管，出气管一端通过气管与气泵相连通，在气管上设置有调节阀，出气管另一端为出气端，出气端能伸入到容器内，气泵另一端与气体储存箱相连通。