CN105209857A - 转速传感器和用于运行转速传感器的方法 - Google Patents

Abstract

本发明提出一种转速传感器，其用于探测转速传感器围绕旋转轴线的旋转运动，其中旋转轴线在转速传感器的驱动平面内延伸，其中转速传感器具有第一旋转元件、第二旋转元件和能够平行于驱动平面运动的驱动结构，其中第一旋转元件可以围绕第一旋转中心被驱动成平行于驱动平面的第一旋转振动，其中第二旋转元件可以围绕第二旋转中心被驱动成平行于驱动平面的第二旋转振动，其特征在于，驱动结构与第一旋转元件并且与第二旋转元件耦合，其中驱动结构配置用于产生第一旋转振动与第二旋转振动的相反相位的驱动模式。

Description

转速传感器和用于运行转速传感器的方法

技术领域

本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分的转速传感器。

背景技术

所述转速传感器普遍已知。例如，已知探测转速传感器的转速的微机械转速传感器。所述转速传感器通常由两个能振动的质量块组成，它们也称作科里奥利元件或者部分振动器。所述部分振动器例如被驱动成反向平行或者相反相位的驱动模式，其中在施加有转速的转速传感器中通过科里奥利力激励部分振动器的反向平行或者相反相位的探测振动。部分振动器的探测振动容性地被检测并且借助分析处理电子器件产生转速信号。所述转速传感器的部分振动器的驱动振动或者探测振动例如可以是线性振动或者旋转振动，其中部分振动器在旋转振动的情形中也称作旋转元件。

然而，所述已知的转速传感器除反向平行或者相反相位的驱动模式和/或探测模式以外附加地具有相对大量的干扰模式，所述干扰模式可能干扰转速信号的探测。

此外，已知的转速传感器具有相对大量的微机械组件，这使所述微机械转速传感器、尤其多通道转速传感器的制造复杂化并且变得昂贵。

发明内容

因此本发明的任务在于，提供一种转速传感器和一种用于运行转速传感器的方法，其不具有现有技术的不利并且相对于干扰加速度不敏感，其具有少的干扰模式并且其制造被简化。

根据并列的权利要求的根据本发明的转速传感器和根据本发明的用于运行转速传感器的方法相对于现有技术具有以下优点：通过驱动结构与第一旋转元件和第二旋转元件的耦合产生第一旋转振动与第二旋转振动的相反相位的驱动模式，其中通过旋转元件的这种耦合降低干扰模式的数量。特别地，有利地能够实现，对于旋转的转速传感器提供仅仅一个唯一的驱动结构，以便简化传感器结构和所述传感器结构的制造。特别地，转速传感器具有衬底，所述衬底具有与驱动平面平行的主延伸平面，其中要探测的转速的旋转轴线平行于主延伸平面或者驱动平面布置。平行于要探测的转速的旋转轴线的方向也称作第一方向或者Y方向。特别优选地，两个旋转元件分别板状和/或相对于彼此质量对称地构造。此外，借助探测装置例如容性地探测第一旋转元件的第一探测振动作为与第一旋转振动的偏差并且探测第二旋转元件的第二探测振动作为与第二旋转振动的偏差。优选地，第一旋转元件和第二旋转元件以垂直于驱动平面或者主延伸平面的探测方向可运动地布置，其中第一和第二探测振动的探测模式尤其是相反相位的。第一和第二旋转元件尤其分别具有两个自由度，尤其具有驱动振动围绕垂直于驱动平面的第三方向的第一自由度，所述第三方向也称作Z方向；以及探测振动围绕平行于驱动平面并且垂直于旋转轴线的第二方向的第二自由度，所述第二方向也称作X方向。在此，第一旋转振动和第二旋转振动也概括地称作旋转振动或者驱动振动。特别地，第一探测振动和第二探测振动也概括地称作探测振动。优选地，第一旋转元件和第二旋转元件如此与驱动结构耦合，使得基本上仅仅驱动振动和探测振动可以被驱动。

本发明的有利构型和扩展方案由从属权利要求以及参照附图的描述得出。

根据一个优选的扩展方案，驱动结构沿着驱动方向可线性动地布置，其中驱动结构尤其构造为完全地或者至少部分地包围第一旋转元件和第二旋转元件的驱动框，其中驱动结构尤其如此与第一旋转元件并且与第二旋转元件耦合，使得借助驱动结构沿着驱动方向的线性运动彼此反相地驱动第一旋转元件和第二旋转元件。由此有利地能够实现，第一旋转元件和第二旋转元件借助一个、尤其唯一的驱动框相对于旋转振动或者驱动振动反向地驱动，从而尤其可以放弃另一驱动结构。通过第一旋转元件和第二旋转元件借助驱动结构的耦合有利地抑制相对多的干扰模式。特别地，第一旋转元件和第二旋转元件在相对置的端部上、尤其在边缘区域中与驱动结构耦合。

根据一个优选的扩展方案，第一旋转元件与衬底的第一固定元件、尤其通过第一复位元件耦合，而第二旋转元件与衬底的第二固定元件、尤其通过第二复位元件耦合，其中驱动结构通过第一耦合元件与第一旋转元件耦合，其中驱动结构通过第二耦合元件与第二旋转元件耦合，其中第一旋转元件在第一旋转中心的区域中尤其具有完全地或者部分地包围第一固定元件的第一凹部，其中第二旋转元件在第二旋转中心的区域中尤其具有完全地或者部分地包围第二固定元件的第二凹部。由此有利地能够实现，通过驱动结构的线性的驱动运动产生旋转元件的旋转振动。这尤其通过以下实现：第一耦合元件和第一固定元件、并且尤其第一复位元件在旋转元件的静止位置或者平衡位置沿着垂直于转速传感器的旋转轴线的、尤其X方向或者第二方向布置。因此，通过驱动结构的线性振动，第一耦合元件与第一旋转元件的连接位置相对于固定元件与第一旋转元件的另一连接位置平行于旋转轴线、尤其以第一(Y)方向移位。由此，产生第一旋转振动。同样的相应适于第二旋转元件，其中所有所述部件沿着一个共同的直线布置。

根据一个优选的扩展方案，第一旋转元件和第二旋转元件通过摆动结构彼此耦合，其中摆动结构尤其具有摆动旋转轴线，其中摆动旋转轴线尤其平行于旋转轴线布置。由此有利地能够实现抑制其他干扰模式。特别有利地，通过第一旋转元件和第二旋转元件通过摆动结构的耦合来抑制相同相位的探测模式。此外，通过摆动结构使干扰的相同相位的探测模式移位至较高的频率处。

根据一个优选的扩展方案，第一旋转元件和第二旋转元件仅仅通过转速传感器的衬底、驱动结构和/或摆动结构彼此耦合。由此有利地能够实现，第一和第二旋转元件的驱动运动或者驱动振动、即第一旋转振动和第二旋转振动仅仅通过驱动结构或者外部驱动框彼此耦合。由此，与现有技术相比减少弹簧的数量并因此减少干扰模式的数量。此外，通过第一旋转元件和第二旋转元件通过摆动结构的耦合抑制相同相位的探测模式。此外，通过摆动结构使干扰的相同相位的探测模式移位到较高的频率处。

根据一个优选的扩展方案，驱动结构的驱动方向平行于旋转轴线地布置或者驱动方向与旋转轴线围成一对顶角(Scheitelwinkel)，其中特别地所述对顶角从旋转轴线出发朝向驱动方向优选为0度和90度之间、特别优选地为30度和60度之间，完全特别优选地为45度。通过将对顶角调节到45度有利地能够实现，借助两个尤其在一个共同的衬底上布置的转速传感器来探测围绕两个彼此垂直的旋转轴线的两个转速并且同时借助一个唯一的驱动结构来驱动两个转速传感器的全部旋转元件。此外有利地能够实现，驱动结构与第一旋转元件通过第一转向模块而第二旋转元件通过第二转向模块分别与驱动结构耦合。第一转向模块和第二转向模块尤其设置用于，使由驱动结构引起的驱动力沿着驱动方向如此偏转，使得两个旋转元件分别以所描述的方式进行旋转振动或者驱动振动。

本发明的另一主题涉及一种转速传感器装置，所述转速传感器装置具有至少两个转速传感器，其中所述转速传感器装置设置用于探测围绕至少两个不同的旋转轴线的至少两个转速，其中至少两个转速传感器中的每一个转速传感器分别具有一个驱动结构，其中至少两个转速传感器的驱动结构尤其刚性地彼此耦合。由此有利地能够实现，探测多个旋转轴线，尤其提供具有相对于第一、第二或者第三旋转轴线的探测灵敏度的转速传感器装置并且同时提供具有一个唯一的驱动结构或者借助多个彼此耦合的驱动结构的一个唯一的驱动运动的转速传感器装置。通过驱动结构的耦合或者通过一个唯一的驱动结构的提供来提供简化的转速传感器装置并且减少弹簧的数量并且因此减少干扰模式的数量和大小。根据一个替代的实施方式，两个转速传感器的驱动结构可以被驱动成相反相位的驱动振动地布置。

根据本发明的方法的一个优选的扩展方案，为了产生第一旋转振动与第二旋转振动的相反相位的驱动模式，使驱动结构沿着驱动方向线性地运动。由此能够实现，通过驱动结构与第一旋转元件和第二旋转元件的耦合产生相应的旋转元件的旋转振动或者驱动振动。由此，节省耦合弹簧并且同时减少干扰模式的数量。

根据一个优选的扩展方案，在第一旋转元件上在第一旋转中心的区域中布置用于与转速传感器的衬底固定的凹部，其中在第二旋转元件上在第二旋转中心的区域中布置用于与转速传感器的衬底固定的凹部。由此有利地能够实现，在相应的旋转中心处提供与衬底固定的旋转元件，从而尤其可以驱动旋转元件的相反相位的驱动振动。同时，可以由此节省弹簧并且抑制干扰模式。

根据一个优选的扩展方案，第一旋转元件和第二旋转元件通过摆动结构彼此耦合，其中摆动结构的摆动旋转轴线平行于旋转轴线布置，其中借助摆动结构产生第一旋转元件的第一探测振动与第二旋转元件的第二探测振动的相反相位的探测模式。由此有利地能够实现抑制其他干扰模式。特别有利地，通过第一旋转元件和第二旋转元件通过摆动结构的耦合抑制相同相位的探测模式。此外，通过摆动结构使干扰的相同相位的探测模式移位至较高的频率处。

根据一个优选的扩展方案，第一旋转元件和第二旋转元件仅仅通过转速传感器的衬底、驱动结构和/或摆动结构彼此耦合。由此有利地能够实现，第一和第二旋转元件的驱动运动或者驱动振动、即第一旋转振动和第二旋转振动仅仅通过驱动结构或者外部驱动框彼此耦合。由此，与现有技术相比减少弹簧的数量并且因此减少干扰模式的数量。此外，通过第一旋转元件和第二旋转元件通过摆动结构的耦合抑制相同相位的探测模式。此外，通过摆动结构使干扰的相同相位的探测模式移位至较高的频率处。

本发明的实施例在附图中示出并且在随后的描述中详细阐述。

附图说明

附图示出：

图1至4示意性示出根据本发明的转速传感器的有利的实施方式。

具体实施方式

在不同的附图中，相同的部件始终设置有相同的参考标记并且因此通常也分别仅仅命名或提及一次。

图1示意性地示例性地示出根据本发明的转速传感器1的一种实施方式。转速传感器1设置用于探测转速传感器1围绕旋转轴线300的旋转运动，其中旋转轴线300在转速传感器1的驱动平面100内延伸。转速传感器尤其具有衬底，所述衬底具有平行于所述驱动平面(100)布置的主延伸平面(100)。转速传感器1具有第一旋转元件10、第二旋转元件10’和可以平行于所述驱动平面100运动的驱动结构20。

第一旋转元件10可以围绕第一旋转中心13被驱动成平行于所述驱动平面100的第一旋转振动，而第二旋转元件10’可以围绕第二旋转中心13’被驱动成平行于所述驱动平面100的第二旋转振动。优选地，第一旋转振动是第一旋转元件10围绕垂直于驱动平面100延伸的第一轴线的旋转运动，所述第一旋转轴线延伸经过第一旋转中心13。特别地，第二旋转轴线相应地平行于第一旋转轴线延伸经过第二旋转元件10’的第二旋转中心13’。特别地，第一旋转元件13在第一旋转中心13的区域中与转速传感器1的衬底如此连接和/或固定，使得第一旋转元件10可以被驱动成围绕第一旋转轴线的第一旋转振动。特别地，第二旋转元件10’在第二旋转中心13’的区域中与衬底连接和/或固定并且可以围绕第二旋转轴线被驱动。在此，两个旋转元件10、10’分别板状地构造并且在其旋转中心的区域中分别具有第一或第二凹部，所述旋转中心尤其是相应的质量重心。在此，在第一旋转元件10的第一凹部中布置与衬底位置固定地耦合的固定元件13，所述固定元件通过至少一个复位元件12、尤其两个复位元件12在固定元件13的相对置的侧上与第一旋转元件10弹性地耦合。特别地，两个复位元件12分别构造为耦合弹簧。在此，第二旋转元件10’在形状和质量分布方面同样地构造并且在旋转轴线300方面相对于第一旋转元件10镜像对称地构造和/或布置在衬底上。

优选地，驱动结构20是可以沿着驱动方向201线性运动的驱动框20，所述驱动框完全地或者至少部分地包围第一旋转元件10和第二旋转元件10’。在此，驱动框20构造为包围两个旋转元件10、10’的基本上平行于驱动平面100延伸的矩形的驱动框20。在一种替代的实施方式中，驱动框20方形地构造。优选地，驱动结构在第一连接位置处通过第一耦合元件11与第一旋转元件10连接和/或耦合，和/或在第二连接位置处通过第二耦合元件11’与第二旋转元件连接和/或耦合。在此，两个连接位置沿着垂直于旋转轴线300的方向布置在两个旋转元件10、10’的相对置的端部上。特别地，第一和第二耦合元件11、11’分别构造为弹性的弹簧元件。在此，驱动结构20通过复位元件21与转速传感器的衬底的固定元件22耦合，以便驱动结构20可以沿着驱动方向201被驱动成线性振动。驱动结构20例如借助叉指结构(Interdigitalstrukturen)静电地驱动(在此平行于Y方向101)并且例如通过固定元件22与衬底连接。驱动结构20的直线的称作线性振动的驱动振动通过第一耦合元件11和第二耦合元件11’传递到两个旋转元件10、10’上。因为两个旋转元件10、10’沿着垂直于旋转轴线300的X方向102在相对置的侧上或者在外部连接位置处与驱动结构20耦合并且同时分别在位于内部的另一点上(所述另一点尤其是相应的旋转中心13或13’)借助复位元件12或12’通过固定元件13或13’与衬底连接，所以他们进行相反相位的旋转的驱动运动。在此，相应的旋转元件10、10’的驱动振动或者旋转振动的第一或第二旋转轴线平行于Z方向延伸。在此，驱动振动或者旋转振动通过箭头201、201’示出。

如果驱动结构20沿着驱动方向210借助驱动装置23、23’、23”(例如在图4中示出)被驱动为线性振动，则第一旋转元件10和第二旋转元件10’由于与驱动结构20的耦合如此共同运动，使得两个旋转元件10、10’分别进行围绕第一或第二旋转中心13、13’的第一或第二旋转振动。在此，通过驱动结构20沿着驱动方向201的线性振动产生第一旋转振动和第二旋转振动的相反相位的驱动模式。第一旋转振动或者第二旋转振动尤其是平行于驱动平面100布置的第一驱动振动或者第二驱动振动。在驱动结构20以通过箭头210示出的驱动方向210运动时，第一旋转元件10以相反相位的驱动模式进行围绕旋转中心13的第一旋转运动，其中第一旋转运动是通过箭头202示出的驱动运动202。同样，第二旋转元件10’进行围绕第二旋转中心13’的第二旋转运动，其中第二旋转运动是通过箭头202’示出的驱动运动202’并且反向于第一旋转运动202。由于驱动结构20朝驱动方向201以Y方向101的运动，所以第一旋转元件10的从旋转中心13在Y方向101上布置的前端部以X方向102运动，而第一旋转元件10的沿着Y方向101相对置地布置的后端部反向于X方向102运动。在此，驱动平面100通过X方向102和Y方向101撑开，其中旋转轴线300在此垂直于X方向102布置。如果转速传感器1在Y方向101上施加有围绕旋转轴线300的转速、即以Y方向101以顺时针方向施加有转速传感器1的转速，则第一和第二旋转元件10、10’的相反相位的驱动振动例如引起第一旋转元件以垂直于驱动平面100的Z方向的偏转。特别地，在通过箭头202或202’示出的驱动模式的情形中，第一旋转元件10的前端部向上、即以Z方向，而下端部的偏转向下、即以反向于Z方向的方向。在此，由于第一旋转元件10的第一驱动振动，产生第一旋转元件10围绕平行于X方向102的第三旋转轴线的第一探测振动。相应地，第二旋转元件10’被驱动成反向于第一探测振动的第二探测振动。如果存在围绕Y方向101的转速，则在质量块、尤其旋转元件10、10’以正的X方向102、即在示图平面中向右的运动时这导致以正的Z方向103、即从示图平面出来的科里奥利力。与此相反地，质量块、尤其以负的X方向102运动的旋转元件10、10’经受以负的Z方向103的科里奥利力。在旋转元件10、10’的第一或第二旋转运动的情形中，这在存在围绕Y方向102的转速时导致旋转元件10、10’的一侧向上、即以正的Z方向103的偏转并且导致旋转元件10、10’的另一侧向下、即以负的Z方向的偏转。所述运动尤其称作探测运动，其中所述探测运动是围绕平行于X方向102的探测轴线的另一第一或第二旋转振动。第一旋转元件10的探测轴线和/或第一旋转轴线的位置通过固定元件13相对于衬底的位置来确定。同样的相应适于第二旋转元件10’。

此外，转速传感器1尤其具有摆动结构30和另一摆动结构30’，其中摆动结构如此设置，使得抑制第一探测振动和第二探测振动的相同相位的探测模式。例如，可以通过转速传感器1的干扰振动激励第一和第二探测振动的所述相同相位的探测模式。

图2示意性地示例性地示出根据本发明的转速传感器1的一个实施方式的摆动结构。第一旋转元件和第二旋转元件通过摆动结构30和另一摆动结构30’彼此耦合。摆动结构30或30’尤其由质量块组成，其中摆动结构30或者另一摆动结构30’尤其分别具有摆动旋转轴线或者另一摆动旋转轴线。优选地，摆动旋转轴线和另一摆动旋转轴线沿着旋转轴线300相继地布置。在此，梯形地示出摆动结构30。此外，摆动结构30沿着摆动旋转轴线在一侧上通过扭转元件34或者盘曲杆34与衬底的固定元件33连接。在沿着与一侧相对置的另一侧的摆动旋转轴线上，摆动结构30通过另一扭转元件36或者另一盘曲杆36与衬底的另一固定元件35耦合。在此，摆动结构30此外通过第一摆动耦合元件31、尤其U形弹簧31与第一旋转元件10连接，而通过第二摆动耦合元件32、尤其另一U形弹簧32与第二旋转元件10’耦合。在此，通过摆动结构30与两个旋转元件10、10’的耦合实现两个旋转元件10、10’平行于Z方向103的运动、例如探测振动。这例如意味着，左侧的第一旋转元件10向下、即以Z方向102或者从示图平面100出来的运动通过摆动结构30引起第二旋转元件10’向下、即反向于Z方向102或者朝示图平面100内的运动。因为两个旋转元件10、10’在驱动运动中相反相位地振动，所以探测运动也是相反相位的。通过两个旋转元件10、10’通过在此两个与衬底连接的摆动结构30、30’的耦合确保，仅仅可以进行所述相反相位的探测运动。因此，旋转元件10、10’尤其仅仅通过固定元件13、13’并且因此通过衬底、驱动框20和摆动结构30、30’彼此耦合。特别地，两个旋转元件10、10’没有直接彼此耦合，即没有直接通过仅仅一个部件、例如弹簧。

优选地，探测、尤其容性地检测第一旋转元件10的第一探测振动并且借助分析处理电子器件产生第一转速信号。此外，探测、尤其容性地检测第二旋转元件10’的第二探测振动并且借助分析处理电子器件产生第二转速信号。随后，通过分析处理电子器件产生两个转速信号的差信号。由此有利地，通过所述差信号过滤出不期望的或者干扰的线性加速度和/或转速加速度，所述线性加速度和/或转速加速度不导致旋转元件10、10’的相反相位的运动。

图3示意性地示例性地示出根据本发明的转速传感器1的一种实施方式。在此，转速传感器1的旋转轴线300不平行于驱动结构20的驱动方向201，而是以与驱动结构20的驱动方向201成尤其45度角的对顶角地布置。驱动结构20的通过线性振动引起的第一驱动力沿着驱动方向201布置并且通过转向模块14或14’转向到平行于旋转轴线300的第二驱动力上。借助第二驱动力将两个旋转元件10、10’尤其彼此反向地驱动成第一或第二旋转振动。因此，根据本发明的具有旋转的部分振动器10、10’或者旋转元件10、10’的用于探测围绕以与驱动平面100内的Y方向101成对顶角布置的Y’方向101’的第一转速的转速传感器可以与用于探测围绕第二旋转轴线300”(参见图4)的第二转速的第二转速传感器1”联合、即提供转速传感器装置，所述转速传感器装置设置用于探测围绕多个旋转轴线300、300”的多个转速。

图4示意性地示例性地示出根据本发明的转速传感器1的一种实施方式的转速传感器装置。在此，示出三通道的转速传感器装置，其具有第一转速传感器1、第二转速传感器1’和尤其第三转速传感器1”。第一转速传感器1设置用于探测围绕平行于另一第一Y’方向101’的旋转轴线300的第一转速，其中Y’方向101’从Y方向101出发以逆时针方向围成45度的对顶角。第二转速传感器1”设置用于探测围绕平行于另一第二Y’方向102’的旋转轴线300”的第二转速，其中X’方向102’从X方向102出发以逆时针方向围成45度的对顶角。特别地，第三转速传感器1’设置用于探测围绕平行于Z方向103的旋转轴线300’的第三转速。特别地，三个转速传感器1、1’、1”中的每一个转速传感器1、1’、1”分别具有驱动结构20、20’、20”。特别地，第一转速传感器1和第二转速传感器1”的驱动结构20、20”可运动地布置并且可以被驱动用于进行驱动运动或者沿着同一驱动方向201的线性振动，其中第一转速传感器1的驱动结构20与第二转速传感器1”的驱动结构20”耦合。在一个替代的实施方式中，第一转速传感器1的驱动结构20与第二转速传感器1”的驱动结构20”刚性地耦合(未示出)。替代地，一个唯一的驱动结构20、20’设置用于驱动第一和第二转速传感器1、1’。在此，驱动结构通过驱动装置23、23’、23”驱动成线性振动。此外，在此第三转速传感器1’的驱动结构20’借助传递元件24与第一转速传感器1的驱动结构20耦合并且借助另一传递元件24’与第二转速传感器1”的驱动结构20”耦合。

Claims (12)

1.一种转速传感器(1，1”)，其用于探测所述转速传感器(1，1’)围绕旋转轴线(300，300”)的旋转运动，其中，所述旋转轴线(300，300”)在所述转速传感器(1，1”)的驱动平面(100)内延伸，其中，所述转速传感器(1，1”)具有第一旋转元件(10)、第二旋转元件(10’)和能够平行于所述驱动平面(100)运动的驱动结构(20，20”)，其中，所述第一旋转元件(10)能够围绕第一旋转中心(13)被驱动成平行于所述驱动平面(100)的第一旋转振动，其中，所述第二旋转元件(10’)能够围绕第二旋转中心(13’)被驱动成平行于所述驱动平面(100)的第二旋转振动，其特征在于，所述驱动结构(20，20”)与所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(10’)耦合，其中，所述驱动结构(20，20”)配置用于产生所述第一旋转振动和所述第二旋转振动的相反相位的驱动模式。

2.根据权利要求1所述的转速传感器(1，1”)，其特征在于，所述驱动结构(20，20”)能够沿着驱动方向(201)线性运动地布置，其中，所述驱动结构(20，20”)尤其构造为完全地或者至少部分地包围所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(10’)的驱动框(20，20”)，其中，所述驱动结构(20，20”)尤其如此与所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(10’)耦合，使得借助所述驱动结构(20，20”)沿着所述驱动方向(201)的线性运动彼此反向地驱动所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(10’)。

3.根据以上权利要求中任一项所述的转速传感器(1，1’，1”)，其特征在于，所述第一旋转元件(10)与所述衬底的第一固定元件(13)、尤其通过第一复位元件(12)耦合，而所述第二旋转元件(10’)与所述衬底的第二固定元件(13’)、尤其通过第二复位元件(12’)耦合，其中，所述驱动结构(20，20”)通过第一耦合元件(11，14)与所述第一旋转元件(10)耦合，其中，所述驱动结构(20，20”)通过第二耦合元件(11’，14’)与所述第二旋转元件(10’)耦合，其中，特别地所述第一旋转元件(13)在所述第一旋转中心(13)的区域中具有完全地或者部分地包围所述第一固定元件(13)的第一凹部，其中，特别地所述第二旋转元件(13)在所述第二旋转中心(13)的区域中具有完全地或者部分地包围所述第二固定元件(13)的第二凹部。

4.根据以上权利要求中任一项所述的转速传感器(1，1”)，其特征在于，所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(10’)通过摆动结构(30，30’)彼此耦合，其中，所述摆动结构(30，30’)尤其具有摆动旋转轴线，其中，所述摆动旋转轴线尤其平行于所述旋转轴线(300，300”)布置。

5.根据以上权利要求中任一项所述的转速传感器(1，1”)，其特征在于，所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(10’)仅仅通过所述转速传感器(1，1”)的衬底、所述驱动结构(20，20”)和/或所述摆动结构(30，30’)彼此耦合。

6.根据以上权利要求中任一项所述的转速传感器(1，1”)，其特征在于，所述驱动结构(20，20”)的驱动方向(201)平行于所述旋转轴线(300，300”)地布置，或者所述驱动方向(201)与所述旋转轴线(300，300”)围成对顶角，其中，所述对顶角从所述旋转轴线(300，300”)出发朝向所述驱动方向(201)优选为0度和90度之间、特别优选地为30度和60度之间、完全特别优选地为45度。

7.一种转速传感器装置，其具有至少两个根据以上权利要求中任一项所述的转速传感器(1，1”)，其特征在于，所述转速传感器装置设置用于探测围绕至少两个不同的旋转轴线(300，300”)的至少两个转速，其中，所述至少两个转速传感器(1，1”)中的每一个转速传感器分别具有一个驱动结构(20，20”)，其中，所述至少两个转速传感器(1，1”)的驱动结构(20，20”)彼此耦合。

8.一种用于运行用于探测所述转速传感器(1，1”)围绕旋转轴线(300，300”)的旋转运动的方法，其中，所述旋转轴线(300，300”)布置在所述转速传感器(1，1”)的驱动平面(100)内，其中，使驱动结构(20，20”)平行于所述驱动平面(100)运动，其中，将第一旋转元件(10)围绕第一旋转中心(13)驱动成平行于所述驱动平面(100)的第一旋转振动，其中，将第二旋转元件(10’)围绕第二旋转中心(13’)驱动成平行于所述驱动平面(100)的第二旋转振动，其特征在于，所述驱动结构(20，20”)与所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(10’)耦合，其中，借助所述驱动结构(20，20”)产生所述第一旋转振动和所述第二旋转振动的相反相位的驱动模式。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，使所述驱动结构(20，20”)沿着驱动方向(201)线性运动，以便产生所述第一旋转振动和所述第二旋转振动的相反相位的驱动模式。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于，在所述第一旋转元件(10)上在所述第一旋转中心(13)的区域中布置用于与所述转速传感器(1，1”)的衬底固定的凹部，其中，在所述第二旋转元件(10’)上在所述第二旋转中心(13’)的区域中布置用于与所述转速传感器(1，1”)的衬底固定的凹部。

11.根据权利要求8至10中任一项所述的方法，其特征在于，使所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(10’)通过摆动结构(30，30’)彼此耦合，其中，所述摆动结构(30，30’)的摆动旋转轴线平行于所述旋转轴线(300，300”)布置，其中，借助所述摆动结构(30，30’)产生所述第一旋转元件(10)的第一探测振动与所述第二旋转元件(10’)的第二探测振动的相反相位的探测模式。

12.根据权利要求8至11中任一项所述的方法，其特征在于，使所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(10’)仅仅通过所述转速传感器(1，1”)的衬底、所述驱动结构(20，20”)和/或所述摆动结构(30，30’)彼此耦合。