CN104634338A - 振动稳健的转速传感器 - Google Patents

振动稳健的转速传感器 Download PDF

Info

Publication number
CN104634338A
CN104634338A CN201410642263.2A CN201410642263A CN104634338A CN 104634338 A CN104634338 A CN 104634338A CN 201410642263 A CN201410642263 A CN 201410642263A CN 104634338 A CN104634338 A CN 104634338A
Authority
CN
China
Prior art keywords
oscillating mass
speed probe
acceleration
driving
detectable signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201410642263.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104634338B (zh
Inventor
R·努尔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of CN104634338A publication Critical patent/CN104634338A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104634338B publication Critical patent/CN104634338B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
    • G01C19/5733—Structural details or topology
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
    • G01C19/5726—Signal processing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
    • G01C19/5733—Structural details or topology
    • G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion

Abstract

本发明提出一种转速传感器，其具有一个衬底和多个振动质量，所述衬底具有主延伸平面，其中，对于所述多个振动质量中的每一个振动质量有：所述振动质量能够被驱动进行驱动振动，其中，所述驱动振动沿着与所述主延伸平面平行地设置的驱动方向实现；所述振动质量是能够沿着两个不同的偏转方向偏转的，其中，所述两个不同的偏转方向垂直于所述驱动方向地设置；其中，所述转速传感器配置用于根据所述多个振动质量的多个所探测的偏转产生多个探测信号，其中，所述多个振动质量的每个偏转方向分配有所述多个探测信号中的一个探测信号，其中，所述转速传感器如此配置，使得所述转速传感器的直线加速度、旋转加速度和离心加速度关于所述转速传感器的至少一个旋转轴线通过所述多个探测信号中的分别两个对应的探测信号的补偿来均衡。

Description

振动稳健的转速传感器
技术领域
本发明从一种根据权利要求1的前序部分的转速传感器出发。
背景技术
这样的转速传感器众所周知。然而已知的转速传感器具有相对于外部干扰相对较高的敏感性，其中，在转速传感器中产生影响转速传感器功能的干扰信号。这样的干扰例如是转速传感器的加速度。
发明内容
因此本发明的任务在于，提供一种具有改善的振动稳健性的转速传感器，从而在外部干扰的影响下也确保转速传感器的更可靠的运行。
根据并列的权利要求的根据本发明的转速传感器和根据本发明的用于运行转速传感器的方法相对于现有技术具有的优点在于，提供一种具有改善的振动稳健性的转速传感器，其中，该转速传感器在相对较强烈突出的外部干扰加速度——例如直线加速度和/或旋转加速度的影响下也以确定的频谱部分或振动较可靠地运行。根据本发明的转速传感器相对于这样的干扰加速度相对较不敏感，因为转速传感器能够在测量期间均衡外部的直线加速度和/或旋转加速度，从而尤其改善测量精度。在此，转速传感器的振动质量(Seismische Masse)如此设置或构造和/或如此处于振动中，使得对外部干扰——在此尤其是直线加速度和/或旋转加速度——的敏感性或灵敏性最小化。优选地，转速传感器是三轴线转速传感器，其中，三轴线转速传感器配置用于分别探测关于绕第一、第二和第三旋转轴线的转动运动的转速。
优选地，每个振动质量根据加速度沿着其相应的偏转方向中的一个或两个偏转，其中，所述加速度具有科里奥利加速度、直线加速度、旋转加速度、离心加速度和/或所述部分加速度的和，其中，根据所述偏转产生相应的探测信号。在此，尤其科里奥利加速度是用于转速的度量。优选地，转速传感器具有探测装置，其中，借助于该探测装置产生多个探测信号，其中，尤其给每个振动质量的每个偏转方向分配了所述探测装置的一个探测元件。探测装置为了探测偏转尤其具有梳状电极结构、板状电极结构、压电结构、压阻结构、电磁结构、磁致伸缩结构和/或光学结构。分析处理装置尤其配置用于借助电子信号处理和/或数字信号处理来确定第一、第二和/或第三转速。
优选地，转速传感器的转动运动由绕第一旋转轴线的第一转动运动、绕第二旋转轴线的第二转动运动以及绕第三旋转轴线的第三转动运动组成。对于旋转加速度和离心加速度这一点相应地适用，其中，相应的分量相应地称为第一、第二和第三旋转加速度或第一、第二和第三离心加速度。优选地，振动质量能够相互无关地被驱动进行相应的驱动振动。
本发明的有利的构型和扩展方案可以由从属权利要求、以及参照附图的说明书得知。
根据一个优选的扩展方案设定，转速传感器如此配置，使得转速传感器的直线加速度、旋转加速度和离心加速度关于转速传感器的三个不同旋转轴线根据多个探测信号进行均衡。
由此有利地可能的是，在外部干扰作用对所有三个旋转轴线或灵敏轴线产生影响的情况下也确保转速传感器的更可靠运行，其中，关于每个旋转轴线均衡直线加速度、旋转加速度和/或离心加速度。
根据另一优选的扩展方案，转速传感器如此配置，使得直线加速度、旋转加速度和离心加速度通过多个探测信号的求和和/或求差进行均衡。
由此有利地可能的是，通过特别有效和简单的方式实现外部干扰的改善的补偿和转速传感器的更可靠的运行。
根据另一优选扩展方案，转速传感器具有分析处理装置，其中，所述多个振动质量如此设置并且能够被驱动进行所述驱动振动，使得通过分析处理装置借助于对应的探测信号的补偿能够关于三个旋转轴线中的每一个均衡直线加速度、旋转加速度和离心加速度。
由此有利地可能的是，多个振动质量如此设置，使得均衡关于绕第一旋转轴线的第一转动运动的第一旋转加速度、关于绕第二旋转轴线的第二转动运动的第二旋转加速度和关于绕第三旋转轴线的第三转动运动的第三旋转加速度并且此外均衡沿着第一、第二或第三旋转轴线的第一、第二和第三直线加速度。由此可以以更高的测量精度探测转速，其中，根据振动质量的设置使转速传感器关于外部干扰——如直线加速度和旋转加速度——的敏感性最小化。
根据另一优选扩展方案设定，所述多个振动质量如此弹簧弹性地相互连接并且与衬底连接，使得所述多个振动质量能够如此被驱动进行驱动振动，使得直线加速度、旋转加速度和离心加速度是能够关于三个旋转轴线均衡的。
由此有利地可能的是，除直线加速度和旋转加速度以外，附加地也均衡或补偿离心加速度，由此还进一步改善转速传感器的关于不期望的干扰加速度的敏感性或灵敏性。优选地，均衡转速传感器沿第一、第二和/或第三旋转轴线的直线加速度，绕第一、第二或第三旋转轴线的第一、第二和/或第三转动运动的旋转加速度以及绕第一、第二或第三旋转轴线的第一、第二和/或第三转动运动的离心加速度。
根据另一优选的扩展方案设定，所述多个振动质量包括至少四个振动质量，其中，所述至少四个振动质量主要沿与衬底的主延伸平面平行地设置的驱动层延伸，其中，分配给所述至少四个振动质量的驱动方向沿所述驱动层延伸，其中，尤其所述至少四个振动质量是恰恰四个振动质量。
根据另一优选的扩展方案设定，所述多个振动质量包括至少四个另外的振动质量，其中，所述至少四个另外的振动质量主要沿与衬底的主延伸平面平行地设置的另一驱动层延伸，其中，所述分配给至少四个另外的振动质量的驱动方向沿所述另一驱动层延伸，其中，尤其所述多个振动质量是恰恰八个振动质量。
由此有利地可能的是，通过应用八个振动质量提供一种紧凑的转速传感器，该转速传感器可以探测绕三个不同空间轴线的转速并且仍然可以通过振动质量的特别的设置和驱动的方式关于所有旋转轴线补偿所有干扰项——直线加速度、旋转加速度和离心加速度。因此提供一种改善的转速传感器，该转速传感器实现了转速的特别精确的探测。
根据另一优选的扩展方案设定，所述驱动层和所述另一驱动层沿与衬底的主延伸平面垂直的法线方向相叠地并且相互间隔开地设置或者设置在相同的层中。
由此有利地可能的是，通过第一至第四振动质量与第五至第八振动质量的重叠设置以简单的方式减小了转速传感器的空间需求。尤其在使用具有多个功能层或具备功能的层的制造技术的情况下沿着与Z方向平行的投影方向相叠地并且至少部分重叠或者完全重叠地设置分别两个振动质量。第一振动质量与第五振动质量、第二振动质量与第七振动质量、第三振动质量与第六振动质量并且第四振动质量与第八振动质量尤其以给定的方式重叠。特别优选地，通过振动质量的对称设置还在空间需求和相对于外部干扰的不敏感性方面进一步改善转速传感器。
本发明的实施例在附图中示出并且在以下描述中进一步阐明。
附图说明
其中示出：
图1：参考模型的示意图；
图2至7：根据本发明的一个实施方式的转速传感器的俯视图；
图8至13：根据本发明的一个实施方式的转速传感器的分解图；
图14至19：根据本发明的一个实施方式的转速传感器的俯视图；
图20：根据本发明的一个实施方式的转速传感器的示意图。
在不同的附图中相同的部分总是设有相同的参考标记并且因此通常也分别仅仅一次地命名或提及。
具体实施方式
在图1中示出了参考模型的示意图。在此示出了在参考系统(参考标记201)中在振动质量(参考标记202)的系统中振动质量的相对运动的基本关系，应该关于惯性系统200测量参考系统的运动。示出的是在参考系统201(坐标x1、y2、z1)中振动质量与本体固定的系统202(坐标x2、y2、z2)的相对运动，该参考系统又任意地在惯性系统200(坐标x0、y0、z0)中运动。
振动质量的加速度由科里奥利加速度、直线加速度、旋转加速度和离心加速度组成。已经确定，直线加速度部分和旋转加速度部分相比于离心加速度部分对相应的测量信号具有主导作用。因此，根据本发明有利地以最高的优先级补偿直线加速度部分和旋转加速度部分。
图2至9示出了根据本发明的不同实施方式的转速传感器1的俯视图。所有示出的转速传感器1具有多个与衬底连接的振动质量10、20、30、40、50、60、70、80，它们尤其借助于柔性弹簧结构弹簧弹性地相互连接并且与衬底连接。振动质量10、20、30、40、50、60、70、80尤其如此配置，使得能够实现驱动振动(驱动运动)和/或偏转运动，其也称作探测运动。优选地，所有驱动振动是周期性的、特别优选正弦形的驱动振动。
转速传感器1的在图2中示出的实施方式具有八个振动质量10、20、30、40、50、60、70、80，它们如此设置并且被驱动进行相应的驱动振动，使得如此分别均衡直线加速度的沿着X方向101、Y方向102和Z方向103的分量，使得分别均衡离心加速度的关于转速传感器1绕第一旋转轴线101'的第一转动运动、绕第二旋转轴线102'的第二转动运动以及绕第三旋转轴线103'的第三转动运动的分量并且使得分别均衡旋转加速度的关于第二转动运动和第三转动运动的分量。
均衡不期望的加速度的原理在此示例性地根据在图2中示出的实施方式描述，其中，该原理类似地适用于其他实施方式的分别对应的振动质量以及相应的偏转方向12、12'、…82、82'。在此，例如通过以下方式均衡直线加速度的第一分量或X分量：相互反相地沿第一和第二驱动方向11、21——在此平行于Y方向102——驱动第一和第二振动质量10、20并且——根据绕第三旋转轴线103'的第三转速——使其反相地沿第一和第二偏转方向12、22——在此平行于X方向101——偏转。该均衡例如借助于第一探测信号112与第二探测信号的差来实施，该第一探测信号分配给第一偏转方向12，而第二探测信号分配给第二偏转方向22。借助在图2中示出的设置(左侧)不能够均衡旋转加速度的关于绕第三旋转轴线的第三转动运动的第三分量，因为第一、第二、第三和第四振动质量10、20、30、40沿着与主延伸平面100平行的绕第三旋转轴线103'的旋转(Umlauf)同向地沿第一、第二、第三或第四偏转方向12、22、32、42偏转。同样的相应地适用于第五、第六、第七和第八振动质量50、60、70、80。相反，借助在图2中示出的设置(中间)可以均衡旋转加速度的关于绕第一或第二旋转轴线101'、102'的第一或第二转动运动的第一和第二分量。例如通过以下方式实现相对于旋转加速度的关于绕第一旋转轴线101'的第一转动运动的不敏感性：另外的第一、另外的第二、另外的第五和另外的第六偏转方向12'、22'、52'、62'基本上与旋转加速度的相应方向垂直地朝相应的振动质量10、20、50、60定向。相应地这也适用于离心加速度。
在图3中示出的实施方式基本上相应于在图2中描述的实施方式，其中，转速传感器1在此具有八个振动质量10、20、30、40、50、60、70、80，它们如此设置并且被驱动进行相应的驱动振动，使得分别均衡直线加速度的沿着X方向101、Y方向102和Z方向103的分量，使得分别均衡离心加速度的关于第一转动运动、第二转动运动或第三转动运动的第一、第二和第三分量以及使得仅仅均衡旋转加速度的关于第三转动运动的第三分量。
在图4中示出的实施方式基本上相应于已经描述的实施方式，其中，转速传感器1在此具有八个振动质量10、20、30、40、50、60、70、80，它们如此设置并且被驱动进行相应的驱动振动，使得分别均衡直线加速度的所有三个分量、离心加速度的所有三个分量以及旋转加速度的所有三个分量。
在图5中示出的实施方式基本上相应于已经描述的实施方式，其中，转速传感器1在此具有八个振动质量10、20、30、40、50、60、70、80，它们如此设置并且被驱动进行相应的驱动振动，使得分别均衡直线加速度的所有三个分量、仅仅均衡旋转加速度的关于绕第三旋转轴线103'的第三转动运动的第三分量以及仅仅均衡离心加速度的关于绕第一或第二旋转轴线101'、102'的第一和第二转动运动的第一和第二分量。
在图6中示出的实施方式基本上相应于已经描述的实施方式，其中，转速传感器1在此具有八个振动质量10、20、30、40、50、60、70、80，它们如此设置并且被驱动进行相应的驱动振动，使得分别均衡直线加速度的所有三个分量、仅仅均衡旋转加速度的关于绕第三旋转轴线103'的第三转动运动的第三分量以及离心加速度的所有三个分量。
在图7中示出的实施方式基本上相应于已经描述的实施方式，其中，转速传感器1在此具有八个振动质量10、20、30、40、50、60、70、80，它们如此设置并且被驱动进行相应的驱动振动，使得分别均衡直线加速度的所有三个分量、离心加速度的所有三个分量以及旋转加速度的所有三个分量。
在图8至13中示出了根据本发明的一个实施方式的转速传感器的分解图。在此，第一、第二、第三和第四驱动方向12、22、32、42沿着与主延伸平面100基本上平行的第一平面延伸，而第五、第六、第七和第八驱动方向52、62、72、82沿着与主延伸平面100基本上平行的第二平面延伸，其中，第一和第二平面沿着Z方向103相互间隔开。
在图8至13中示出的实施方式基本上相应于在图2至7中描述的实施方式，其中，所述实施方式通过以下方式相互区别：在图8至13中示出的实施方式中第一至第四振动质量10、20、30、40如此设置在第一平面中、而第五至第八振动质量50、60、70、80如此设置在第二平面中，使得总是基本上分别均衡直线加速度的所有三个分量、离心加速度的所有三个分量以及旋转加速度的所有三个分量。例如在图8示出的实施方式中(参见左侧)第一与第五振动质量10、50，第二与第六振动质量20、60，第三与第七振动质量30、70以及第四与第八振动质量40、80沿着一个与Z方向103平行的投影方向分别完全重叠地设置。由此，通过这样的设置有利地可能的是：例如与在图2中所述的实施方式不同，也关于绕第三旋转轴线103'的第三转动运动均衡旋转加速度。
在图14至19中示出了根据本发明的一个实施方式的转速传感器1的俯视图。在此所示的实施方式基本上相应于已经描述的实施方式，其中，转速传感器在此具有四个振动质量10、20、30、40。由此不能够分别均衡直线加速度、旋转加速度和离心加速度的所有三个分量。例如在图18中示出的转速传感器1具有四个振动质量10、20、30、40，它们如此设置并且被驱动进行相应的驱动振动，使得分别均衡直线加速度的所有三个分量，仅仅均衡旋转加速度的关于绕第三旋转轴线103'的第三转动运动的第三分量并且仅仅均衡离心加速度的关于绕第三旋转轴线103'的第三转动运动的第三分量。
在图20中示出了根据本发明的一个实施方式的转速传感器1的示意图。转速传感器1在此具有八个振动质量10、…、80并且配置用于根据转速传感器1的加速度产生多个——在此为十六个——探测信号112、112'、…182、182'。多个探测信号112、112'、…182、182'中的每一个探测信号分别分配给第一、另外的第一、第二、另外的第二、第三、另外的第三、第四、另外的第四、第五、另外的第五、第六、另外的第六、第七、另外的第七、第八或另外的第八偏转方向12、12'、…82、82'，其中，分析处理装置90如此配置用于确定第一、第二和第三转速，使得根据多个探测信号112、112'、…182、182'的至少两个对应的探测信号的补偿来均衡直线加速度的所有三个分量、旋转加速度的所有三个分量和/或离心加速度的所有三个分量。在此，转速传感器的加速度尤其包括直线加速度、旋转加速度和/或离心加速度。确定的第一、第二和/或第三转速尤其借助于产生的第一、第二和/或第三转速信号90'传输到转速传感器1的信号输出端上。

Claims (9)

1.一种转速传感器(1)，其具有一个衬底和多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)，所述衬底具有主延伸平面(100)，其中，对于所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)中的每一个振动质量(10)：
所述振动质量能够被驱动进行驱动振动，其中，所述驱动振动沿着与所述主延伸平面(100)平行地设置的驱动方向(11)实现；
所述振动质量(10)是能够沿着两个不同的偏转方向(12、12')偏转的，其中，所述两个不同的偏转方向(12、12')垂直于所述驱动方向(11)地设置；
其中，所述转速传感器(1)配置用于根据所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)的多个所探测的偏转产生多个探测信号(112、112'、…、182、182')，其中，所述多个振动质量(10)的每个偏转方向(12、12')分配有所述多个探测信号(112、112'、…、182、182')中的一个探测信号(112、112')，其特征在于，所述转速传感器(1)如此配置，使得所述转速传感器(1)的直线加速度、旋转加速度和离心加速度关于所述转速传感器(1)的至少一个旋转轴线(101'、102'、103')通过所述多个探测信号(112、112'、…、182、182')中的分别两个对应的探测信号的补偿来均衡。
2.根据权利要求1所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)如此配置，使得所述转速传感器(1)的直线加速度、旋转加速度和离心加速度关于所述转速传感器(1)的三个不同旋转轴线(101'、102'、103')根据所述多个探测信号(112、112'、…、182、182')进行均衡。
3.根据以上权利要求中任一项所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)如此配置，使得所述直线加速度、所述旋转加速度和所述离心加速度通过所述多个探测信号(112、112'、…、182、182')的求和和/或求差进行均衡。
4.根据以上权利要求中任一项所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)具有分析处理装置(90)，其中，所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)如此设置并且能够被驱动进行所述驱动振动，使得通过所述分析处理装置(90)借助于对应的探测信号(112、112'、…、182、182')的补偿能够关于所述三个旋转轴线(101'、102'、103')中的每一个均衡所述直线加速度、所述旋转加速度和所述离心加速度。
5.根据以上权利要求中任一项所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)如此弹簧弹性地相互连接并且与所述衬底连接，使得所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)能够如此被驱动进行所述驱动振动，使得所述直线加速度、所述旋转加速度和所述离心加速度是能够关于三个旋转轴线(101'、102'、103')均衡的。
6.根据以上权利要求中任一项所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)包括至少四个振动质量(10、20、30、40)，其中，所述至少四个振动质量(10、20、30、40)主要沿与所述衬底的主延伸平面(100)平行地设置的驱动层延伸，其中，分配给所述至少四个振动质量(10、20、30、40)的驱动方向(11、21、31、41)沿所述驱动层延伸，其中，尤其所述至少四个振动质量(10、20、30、40)是恰恰四个振动质量(10、20、30、40)。
7.根据权利要求6所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)包括至少四个另外的振动质量(50、60、70、80)，其中，所述至少四个另外的振动质量(50、60、70、80)主要沿与所述衬底的主延伸平面(100)平行地设置的另一驱动层延伸，其中，所述分配给至少四个另外的振动质量(50、60、70、80)的驱动方向(51、61、71、81)沿所述另一驱动层延伸，其中，尤其所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)是恰恰八个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)。
8.根据权利要求7所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述驱动层和所述另一驱动层沿与所述衬底的主延伸平面(100)垂直的法线方向(103)相叠地并且相互间隔开地设置或者设置在相同的层中。
9.一种用于运行根据以上权利要求中任一项所述的转速传感器(1)的方法，其特征在于，在第一运行步骤中以绕所述转速传感器(1)的第一旋转轴线(101')的第一转速、以绕所述转速传感器(1)的第二旋转轴线(102')的第二转速和/或以绕所述转速传感器(1)的第三旋转轴线(103')的第三转速加载所述转速传感器(1)，其中，以直线加速度、旋转加速度和离心加速度加载所述转速传感器(1)，其中，在第二运行步骤中驱动所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)进行沿所分配的驱动方向(11、21、31、41、51、61、71、81)的驱动振动，其中，在第三运行步骤中根据所述第一、第二和/或第三转速使所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)偏转，其中，在第四运行步骤中根据所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)的偏转产生所述多个探测信号(112、112'、…、182、182')，其中，在第五运行步骤中通过所述转速传感器(1)确定所述第一、第二和/或第三转速，其中，通过所述多个探测信号(112、112'、…、182、182')中的分别两个对应的探测信号的补偿来均衡所述直线加速度、旋转加速度和离心加速度。
CN201410642263.2A 2013-11-14 2014-11-11 振动稳健的转速传感器 Active CN104634338B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102013223227.6A DE102013223227A1 (de) 2013-11-14 2013-11-14 Vibrationsrobuster Drehratensensor
DE102013223227.6 2013-11-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104634338A true CN104634338A (zh) 2015-05-20
CN104634338B CN104634338B (zh) 2020-03-27

Family

ID=53042503

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410642263.2A Active CN104634338B (zh) 2013-11-14 2014-11-11 振动稳健的转速传感器

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9863770B2 (zh)
KR (1) KR102160688B1 (zh)
CN (1) CN104634338B (zh)
DE (1) DE102013223227A1 (zh)
TW (1) TWI652448B (zh)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015213450A1 (de) * 2015-07-17 2017-01-19 Robert Bosch Gmbh MEMS Drehratensensor mit kombiniertem Antrieb und Detektion
DE102015213469A1 (de) * 2015-07-17 2017-01-19 Robert Bosch Gmbh Drehratensensor mit mehrfacher Auswertung über Betrieb bei mehreren Frequenzen
DE102015216460A1 (de) * 2015-08-28 2017-03-02 Robert Bosch Gmbh Zweiachsiger ultrarobuster Drehratensensor für Automotive Anwendungen
EP3671118B1 (en) 2018-12-19 2021-08-25 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibration-robust multiaxis gyroscope
EP3671116B1 (en) 2018-12-19 2021-11-17 Murata Manufacturing Co., Ltd. Synchronized multi-axis gyroscope
JP6897806B2 (ja) * 2019-02-15 2021-07-07 株式会社村田製作所 バランス型多軸ジャイロスコープ
EP3696503B1 (en) 2019-02-15 2022-10-26 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibration-robust multiaxis gyroscope
EP3971522B1 (en) * 2020-05-25 2023-06-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multiaxis gyroscope with supplementary masses
EP3916353B1 (en) * 2020-05-25 2023-05-17 Murata Manufacturing Co., Ltd. Gyroscope with mass pairs

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101529204A (zh) * 2006-10-23 2009-09-09 罗伯特·博世有限公司 具有正交补偿结构的旋转速率传感器
CN101799479A (zh) * 2009-02-10 2010-08-11 罗伯特·博世有限公司 用于转速传感器的振动补偿
CN102183246A (zh) * 2009-12-24 2011-09-14 意法半导体股份有限公司 具有改进的驱动结构的集成微机电陀螺仪

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4414237A1 (de) * 1994-04-23 1995-10-26 Bosch Gmbh Robert Mikromechanischer Schwinger eines Schwingungsgyrometers
DE102009001248B4 (de) * 2009-02-27 2020-12-17 Hanking Electronics, Ltd. MEMS-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um eine x-, y- oder z-Achse
DE102010028005A1 (de) * 2010-04-20 2011-10-20 Sensordynamics Ag Mikro-Gyroskop zur Ermittlung von Bewegungen
KR20120062390A (ko) * 2010-12-06 2012-06-14 삼성전기주식회사 관성센서
US9194704B2 (en) * 2013-03-13 2015-11-24 Freescale Semiconductor, Inc. Angular rate sensor having multiple axis sensing capability

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101529204A (zh) * 2006-10-23 2009-09-09 罗伯特·博世有限公司 具有正交补偿结构的旋转速率传感器
CN101799479A (zh) * 2009-02-10 2010-08-11 罗伯特·博世有限公司 用于转速传感器的振动补偿
CN102183246A (zh) * 2009-12-24 2011-09-14 意法半导体股份有限公司 具有改进的驱动结构的集成微机电陀螺仪

Also Published As

Publication number Publication date
US9863770B2 (en) 2018-01-09
CN104634338B (zh) 2020-03-27
US20150128700A1 (en) 2015-05-14
DE102013223227A1 (de) 2015-05-21
KR20150056050A (ko) 2015-05-22
TWI652448B (zh) 2019-03-01
TW201522912A (zh) 2015-06-16
KR102160688B1 (ko) 2020-09-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104634338A (zh) 振动稳健的转速传感器
US9995583B2 (en) Systems and methods for MEMS gyroscope shock robustness
JP6328823B2 (ja) 加速度センサー構造体およびその用途
US20210116244A1 (en) Drive and sense balanced, semi-coupled 3-axis gyroscope
EP2977722B1 (en) Vibrating-mass gyroscope systems and method
CN103630127B (zh) 转速传感器
KR101812971B1 (ko) 운동을 감지하기 위한 마이크로 자이로스코프
US9038460B2 (en) Inertial unit with several detection axes
CN101443629B (zh) 具有联接梁的转速传感器
US8783105B2 (en) Yaw-rate sensor and method for operating a yaw-rate sensor
US20070034007A1 (en) Multi-axis micromachined accelerometer
CN103226017A (zh) 耐振动的x轴环形陀螺仪换能器
KR20120069712A (ko) 선형 및 회전형 진동 부재를 포함하는 이중축 내충격 회전 속도 센서
WO2008127849A2 (en) Multi-axis micromachined accelerometer and rate sensor
CN112739982A (zh) 驱动和感测平衡、全耦合3轴陀螺仪
TWI711803B (zh) 用於自動化應用的雙軸超堅固轉速感應器
CN103776437A (zh) 微机械结构
CN103512571B (zh) 转速传感器
TW201339082A (zh) 振動容限的加速感測器結構
CN104280565A (zh) 具有三个敏感轴的转速传感器以及制造转速传感器的方法
KR20080113048A (ko) 정밀 기계식 회전 속도 센서
US20110088469A1 (en) Rotation-rate sensor having two sensitive axes
CN110998232B (zh) 单轴和双轴的转速传感器
US6895819B1 (en) Acceleration sensor
CN111316062B (zh) 带着具有主延伸平面的衬底的转速传感器，用于转速传感器的制造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant