CN111316062B - 带着具有主延伸平面的衬底的转速传感器，用于转速传感器的制造方法 - Google Patents
带着具有主延伸平面的衬底的转速传感器，用于转速传感器的制造方法 Download PDFInfo
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Abstract
本发明请求保护一种转速传感器(1)，该转速传感器带着具有主延伸平面(100、200)的衬底，其中，所述转速传感器(1)包括旋转元件组件(10、20)，其中，所述旋转元件组件(10、20)构造成用于探测沿所述衬底的第一主延伸轴线(100)起作用的转速和沿所述衬底的垂直于所述第一主延伸轴线(100)的第二主延伸轴线(200)起作用的转速，其特征在于，所述转速传感器(1)具有传感器组件(40)，其中，所述传感器组件(40)构造成用于探测所述衬底的垂直于所述主延伸平面(100、200)起作用的转速，其中，所述传感器组件(40)和所述旋转元件组件(10、20)能够借助于驱动组件(30)被驱动，其中，所述驱动组件(30)构造成用于沿着所述第一主延伸轴线(100)驱动运动。
Description
技术领域
本发明涉及一种转速传感器。
背景技术
这种转速传感器是专门的微机电系统(MEMS)，通过该微机电系统可以测量转速。典型地，在基于硅的衬底上制造这种传感器。尤其地，在汽车应用中经常使用转速传感器，所述转速传感器典型地可以测量围绕仅一个轴的转速。由现有技术也已知用于汽车应用的双轴的转速传感器。然而由现有技术已知的传感器具有以下缺点：不能以高精度并且以高可靠性/稳固性实现会沿不同的方向起作用的转速的测量。
发明内容
本发明的任务是，提出一种转速传感器，该转速传感器允许围绕三个轴线的转速测量并且同时相对于外部的直线和/或旋转加速度是稳固的，以便尤其确保有利的可靠性/安全性。
根据本发明的转速传感器相对于现有技术具有以下优点：转速传感器具有传感器组件，其中，传感器组件构造成用于探测垂直于衬底的主延伸平面起作用的转速，其中，构造成用于探测沿衬底的第一主延伸轴线和衬底的垂直于第一主延伸轴线的第二主延伸轴线起作用的转速的传感器组件和旋转元件组件
可以借助于驱动组件被驱动，其中，驱动组件构造成用于沿着第一主延伸轴线驱动运动。根据本发明，由此以有利的方式能够实现，旋转元件组件和传感器组件可以借助于相同的驱动组件(例如相同的驱动框架)驱动。由此得到以下优点：在传感器芯中可以节省另外的驱动结构以及连接垫和配属的布线。通过共同的驱动装置也可以使相同的专用集成电路(ASIC)更紧凑地构造，尤其因为必须提供仅一个驱动调节电路。共同的驱动装置的优点尤其也在于，避免各个传感器芯的不同驱动频率。根据本发明，这样可以例如使通过驱动力的寄生串扰引起的相互影响最小化。此外可能的是，使封装更简单并且确定测量轴的通过整体传感器制造的公差引起的相对彼此的可能错位，由此能够相对于借助构造和连接技术实现的单核的布置呈数量级地减小这种错位。根据本发明的多轴传感器设计的另外的优点是避免干扰模式，所述干扰模式能够以不同的类型导致传感器的错误信号，例如在所述系统的机构或静电学中通过借助于外部力(振动)引起的(共振)激励或通过非线性串扰。根据本发明可能的是，可以实现转速传感器的特别有利的可靠性和安全性，这例如能够实现在汽车领域中的使用。
与此相对地，在使用由现有技术已知的、具有三个(相同的)单轴传感器(和分开的驱动结构)的系统中，所有的传感器具有相同的干扰模式，所述干扰模式由过程决定地在频率稍微不同的情况下存在，使得整体上在这种由现有技术已知的传感器中的干扰模式的数量在所观察的频率范围中不利地变为三倍。
在根据本发明的三轴传感器元件中可能的是，这样设计传感器元件，使得所述传感器元件具有小于三倍数量的干扰模式。当相同的探测结构分别敏感地设计用于超过仅一个测量轴时，尤其能够在这种三轴传感器元件中实现干扰模式的明显减小。
根据本发明，垂直于衬底的主延伸平面起作用的转速理解为，相关转速的旋转轴垂直于衬底的主延伸平面。相应的适用于沿衬底的第一或第二主延伸轴线起作用的转速。
旋转元件组件包括第一旋转元件和第二旋转元件，其中，第一旋转元件可以借助于驱动组件围绕第一旋转轴被驱动，其中，第二旋转元件可以借助于驱动组件围绕第二旋转轴被驱动，其中，第一旋转轴垂直于主延伸平面地布置，其中，第二旋转轴垂直于主延伸平面地布置，由此根据本发明的实施方式以有利的方式能够实现，外部的直线和旋转加速度不产生(或产生最小化的)差分信号。由此可能的是，可以实施围绕两个轴线(衬底的第一和第二主延伸轴线)的转速的针对振动稳固的测量。此外可能的是，由此仅减小地出现干扰模式。此外，根据本发明的实施方式可能的是，探测电极布置在第一和第二旋转元件下方，借助于所述探测电极可以测量旋转元件围绕第一和/或第二主延伸轴线的倾翻。
传感器组件包括第一质量、第二质量和第三质量，其中，第一和第二质量构造成至少部分地在驱动运动期间同向地运动，其中，第三质量构造成至少部分地在驱动运动期间相对于第一和第二质量的运动反向地运动，其中，第三质量尤其沿平行于衬底的第二主延伸轴线的方向布置在第一质量和第二质量之间，由此根据本发明的实施方式可能的是，可以实现具有三个质量的传感器组件的特别有利的构造方式。在此，同向的运动理解为，第一和第二质量同时在沿着第一主延伸轴线的(相同的)方向中运动。第三质量在上述运动期间与此反向地、即相反的方向运动。
原则上可能的是，第一、第二和第三质量分别完全地或分别仅部分地(例如各个质量的仅一个驱动框架部件)实施相应的驱动运动。
特别优选地，第三质量是第一和第二质量的各一个的基本上两倍重。
第一质量配属有驱动组件的第一驱动结构，其中，第一驱动结构与第一旋转元件机械连接，其中，第二质量配属有驱动组件的第二驱动结构，其中，第二驱动结构与第二旋转元件机械连接，由此根据本发明的实施方式可能的是，能够实现传感器组件和旋转元件组件的有利耦合。这允许两个旋转元件的特别有利的两侧驱动。在这里例如可能的是，第一质量借助于第一梁或接片(并且尤其附加地通过弹簧)耦合到第一旋转元件上并且第二质量借助于第二梁或接片(并且尤其附加地通过弹簧)耦合到第二旋转元件上。由此产生以下可能性，在驱动运动期间可以实现第一和第二质量沿着第一主延伸轴线的平行驱动运动并且所述质量的该运动延续到第一和第二旋转元件的旋转运动中并且尤其这样延续，第一和第二旋转元件相对彼此实现围绕第一或第二旋转轴的反向的旋转运动。
第一旋转元件和第二旋转元件借助于弹簧结构尤其这样连接，使得抑制第一和第二旋转元件围绕第一主延伸轴线的平行倾翻并且允许第一和第二旋转元件围绕第一主延伸轴线的反向平行倾翻，由此根据本发明的实施方式能够实现第一和第二旋转元件的特别有利的耦合。优选可能的是，弹簧结构与第三驱动结构的至少一个接片结构尤其这样连接，使得借助于弹簧结构和接片结构建立在第三质量和第一旋转元件以及第二旋转元件之间的机械连接。
第一旋转元件和第二旋转元件借助于耦合结构机械连接，其中，耦合结构尤其包括至少一个摆杆结构，其中，摆杆结构这样构造，使得抑制第一和第二旋转元件围绕第二主延伸轴线的平行倾翻并且允许第一和第二旋转元件围绕第二主延伸轴线的反向平行倾翻，由此根据本发明的实施方式可能的是，沿第二主延伸轴线的方向仅允许第一和第二旋转元件的反向平行倾翻，这以有利的方式允许两个旋转元件的纯反向平行的探测运动。
第一旋转元件和第二旋转元件借助于另外的耦合结构机械连接，其中，所述另外的耦合结构由第三驱动结构的至少一个接片结构交叉，其中，接片结构优选在交叉区域中布置在所述另外的耦合结构下方的附加层中，由此根据本发明的实施方式可能的是，第三驱动结构优选与第一和第二旋转元件尤其在第一和第二旋转元件之间(沿第二主延伸轴线的方向)的区域中连接。特别优选地，第三驱动结构与布置在第一和第二旋转元件之间的弹簧结构连接。
第一旋转元件借助于第一悬挂部与衬底连接，其中，第二旋转元件借助于第二悬挂部与衬底连接，其中，第一悬挂部尤其部分地布置在第一旋转元件中的中心缺口中，其中，第二悬挂部尤其部分地布置在第二旋转元件中的中心缺口中，由此根据本发明的实施方式可能的是，允许第一和第二旋转元件围绕第一或第二旋转轴的有利的旋转。尤其设置为，第一和第二悬挂部这样构造，第一和第二旋转元件可以分别围绕第一或第二旋转轴旋转并且同时可以围绕第一和第二主延伸轴线倾翻。
第一质量借助于第一弹簧组件与第三质量连接，其中，第二质量借助于第二弹簧组件与第三质量连接，由此根据本发明的实施方式可能的是，传感器组件以特别有利的方式构造成用于探测垂直于衬底的主延伸平面起作用的转速。在这里特别优选的是，第一和第二弹簧组件这样构造，使得所述第一和第二弹簧组件允许第一和第三质量以及第二和第三质量沿第二主延伸轴线的反向运动。尤其优选的是，第一驱动组件的由第一质量包围的部分区域(驱动框架的第一部分)与第三驱动组件的由第三质量包围的部分区域(驱动框架的第三部分)借助于第一弹簧组件连接。同样优选的是，第二驱动组件的由第二质量包围的部分区域(驱动框架的第二部分)与第三驱动组件的由第三质量包围的部分区域(驱动框架的第三部分)借助于第二弹簧组件连接。
根据本发明的、用于制造按照本发明的实施方式的转速传感器的方法相对于现有技术具有已经结合根据本发明的转速传感器或根据本发明的转速传感器的实施方式所述的优点。
附图说明
本发明的实施例在附图中示出并且在下面的说明书中详细阐释。
图1示出根据本发明的第一实施方式的转速传感器的示意性俯视图。
图2示出根据本发明的第二实施方式的转速传感器的示意性俯视图。
图3示出根据本发明的第三实施方式的转速传感器的示意性俯视图。
在图4、图5和图6中示出根据本发明的实施方式的第一悬挂部11或第二悬挂部21的示意性俯视图。
图7示出根据本发明的第四实施方式的转速传感器的示意性俯视图。
图8示意性示出根据本发明的实施方式的转速传感器的部分区域。
图9示意性示出根据本发明的第五实施方式的转速传感器的部分区域。
具体实施方式
在不同附图中，相同的部件总是设有相同的附图标记并且因此通常也分别仅命名或提到一次。
构造成用于探测沿衬底的第一主延伸轴线100起作用的转速和沿衬底的垂直于第一主延伸轴线100的第二主延伸轴线100起作用的转速的、示例性的旋转元件组件10、20在附图1、2、3和7中示出。
构造成用于探测垂直于衬底的主延伸平面100、200起作用的转速的、示例性的传感器组件40在附图1、2、3和7中示出。
在图1中示出根据本发明的第一实施方式的转速传感器1的示意性俯视图。转速传感器1包括用于探测沿衬底的第一主延伸轴线100和衬底的垂直于第一主延伸轴线100的第二主延伸轴线200起作用的转速的旋转元件组件10、20。旋转元件组件10、20包括第一旋转元件10和第二旋转元件20，其中，第一旋转元件10可以通过驱动组件30围绕第一旋转轴驱动并且第二旋转元件20可以通过驱动组件30围绕第二旋转轴驱动。第一和第二旋转元件10、20分别具有中心缺口。第一和第二旋转轴垂直地位于主延伸平面100、200上。在此，第一旋转元件10借助于第一悬挂部11与衬底连接并且第二旋转元件20借助于第二悬挂部21与衬底连接。第一悬挂部11(至少部分地)布置在第一旋转元件10中的中心缺口中并且第二悬挂部21(至少部分地)布置在第二旋转元件20的中心缺口中。在此，第一和第二旋转元件10、20的驱动运动反向地进行，如通过在旋转元件10、20中画出的箭头表明的那样。在旋转元件10、20下方和/或上方优选安装有未示出的探测电极。借助于这种探测电极可以探测旋转元件10、20的倾翻。此外，转速传感器1包括传感器组件40。传感器组件40构造成用于探测垂直于衬底的主延伸平面100、200起作用的转速。传感器组件40和旋转元件组件10、20可以借助于驱动组件30驱动。在此，驱动组件30构造成用于沿着第一主延伸轴线100驱动运动。驱动组件30包括第一驱动结构31、第二驱动结构32和第三驱动结构33。第一驱动结构31配属有传感器组件40的第一质量41。第一驱动结构31尤其包括梁。借助于梁(并且附加地借助于弹簧)使第一质量41与第一旋转元件10连接。第二驱动结构32配属有传感器组件40的第二质量42。第二驱动结构32尤其包括梁。借助于梁(并且附加地借助于弹簧)使第二质量42与第二旋转元件20连接。此外，传感器组件40包括第三质量43。第一和第二质量41、42构造成用于在驱动运动期间同向地运动。第三质量43构造成用于在驱动运动期间相对于第一和第二质量41、42的运动(关于第一主延伸轴线100)反向地运动。这通过在质量41、42、43上画出的箭头表明。第一、第二和第三质量41、42、43在示出的实施方式中基本上彼此并排地平行于第二主延伸轴线200地构造。在这里，第一质量41和第三质量43借助于第一弹簧组件37连接并且第三质量43和第二质量42借助于第二弹簧组件38连接。在此，第一和第二弹簧组件(或耦合结构)37、38这样构造，使得它们允许质量41、42、43的沿着第二主延伸轴线200的方向的反对称的运动、即第一和第二质量的同向运动和第三质量的与此反向的运动(通过画出的箭头表明)。在第一旋转元件10和第二旋转元件20之间布置有弹簧结构70，该弹簧结构使两个旋转元件10、20相互连接。弹簧结构70尤其这样构造，使得抑制第一和第二旋转元件10、20围绕第一主延伸轴线100的平行倾翻并且允许第一和第二旋转元件围绕第一主延伸轴线100的反向平行倾翻。弹簧结构70与驱动组件30的第三驱动结构33的接片结构45连接。接片结构45尤其包括两个梁，所述两个梁平行地沿第一主延伸轴线的方向延伸并且通过横杆与弹簧结构70连接。通过弹簧结构70和接片结构45建立在第三质量43和第一旋转元件10以及第二旋转元件20之间的机械连接。第一旋转元件10和第二旋转元件20还通过耦合结构60和另外的耦合结构63机械连接。耦合结构60包括摆杆结构61，该摆杆结构抑制第一和第二旋转元件10、20围绕第二主延伸轴线200的平行倾翻并且允许第一和第二旋转元件围绕第二主延伸轴线200的反向平行倾翻。允许的第一和第二旋转元件10、20沿平行于第二主延伸轴线200的方向和平行于第一主延伸轴线100的方向的反向平行倾翻通过垂直于俯视图(并且由此垂直于主延伸平面100、200)示出的箭头(即叉和点)在第一和第二旋转元件10、20中表明。所述另外的耦合结构63由接片结构45、尤其由接片结构45的两个梁无接触地交叉。这是可能的，因为接片结构45(或这两个梁)在该交叉区域81中构造在附加层中，该附加层位于所述另外的耦合结构63下方(即更靠近衬底)并且尤其也位于接片结构45在交叉区域81外部的其余区域下方。所述另外的耦合结构63包括另外的摆杆结构61，所述另外的摆杆结构抑制第一和第二旋转元件10、20围绕第二主延伸轴线200的平行倾翻并且允许第一和第二旋转元件围绕第二主延伸轴线200的反向平行倾翻。根据本发明可能的是，第一旋转元件10、第二旋转元件20以及传感器组件40可以借助于相同的驱动组件30驱动。这尤其意味着，借助于第一、第二和第三驱动结构31、32、33将第一、第二和第三质量41、42、43沿着第一主延伸轴线100的驱动运动传递到旋转元件10、20上并且旋转元件10、20由此可以围绕第一和第二旋转轴驱动。
在图2中示出根据本发明的第二实施方式的转速传感器1的示意性俯视图。在此，第二实施方式类似于在图1中示出的第一实施方式，区别在于，不存在另外的耦合结构63。由此可能的是，接片结构45(和尤其所述接片结构的梁)不布置在附加层中的交叉区域81中，而是布置在与其余元件相同的层中。
在图3中示出根据本发明的第三实施方式的转速传感器1的示意性俯视图。在此，第三实施方式类似于在图1中示出的第一实施方式，区别在于，不存在接片结构45。由此不建立在弹簧结构70和第三质量43之间的机械连接。
在图4、图5和图6中示出根据本发明的实施方式的第一旋转元件10的第一悬挂部11或第二旋转元件20的第二悬挂部21的示意性俯视图。在衬底上的第一和第二悬挂部11、21分别这样构型，使得第一或第二旋转元件10、20可以实现围绕垂直于衬底的主延伸面100、200的第一旋转轴或第二旋转轴的转动运动/旋转运动并且同时允许第一或第二旋转元件10、20围绕第一和第二主延伸轴线100、200(或围绕平行于这些主延伸轴线的轴线)的倾斜。
在图7中示出根据本发明的第四实施方式的转速传感器的示意性俯视图。在此，第四实施方式包括在图1中示意性示出的部件。此外，在第四实施方式中，传感器组件40包括可以沿探测方向运动的探测结构、可以沿驱动方向和探测方向运动的科里奥利结构和可以沿驱动方向运动的驱动结构。质量41、42和43中的每个质量分别包括探测结构、科里奥利结构和驱动结构的部分区域。对于第二质量42，科里奥利结构42’和探测结构42”的配属的部分区域设有参考标记。科里奥利结构与驱动结构通过弹簧连接。同样地，科里奥利结构与探测结构通过弹簧连接。在第三质量43中，科里奥利框架通过驱动框架分开。为了确保共同的探测模式，可以通过附加层建立连接部80。不同质量41、42、43的探测结构的部分区域分别通过耦合交叉部连接，该耦合交叉部允许两个相邻质量的反向运动并且抑制同向运动。驱动框架的各个部分区域通过耦合结构37、38(耦合摆杆)连接，所述耦合结构同样在驱动模式中允许相邻的质量41、42、43的反向运动并且抑制同向运动。驱动组件30包括第一、第二和第三质量41、42、43的驱动结构并且附加地构造为环绕旋转元件10、20和传感器组件40的科里奥利结构的框架(尤其具有小的中断部)并且也在旋转元件10、20之间借助于接片结构45、弹簧结构70和另外的接片结构连接。为了驱动组件30在耦合结构60或所述另外的耦合结构63下方或上方的贯穿引导(Durchführung)，使用附加层。根据本发明，附加层可以比布置有其他部件的层明显更薄地实施(如在图8中示出)，使得接片结构45或所述另外的接片结构可以作为用于从主延伸平面100、200出来的运动的弯曲弹簧使用。对于旋转元件10、20围绕第一主延伸轴线100倾翻的探测运动而言有利的是，驱动组件30(或驱动框架)在关于旋转元件10、20的接合部附近可以从平面中运动出来。这在该实施方式中通过在弹簧结构70附近并且在外部框架上的在附加层中的另外的结构实现。
在替代的构型中，传感器组件40也可以仅由两个框架组成。探测结构集成到科里奥利框架中并且在驱动运动中一起运动。
在图8中示意性示出根据本发明的实施方式的转速传感器1的部分区域。尤其通过立体角度可看出附加层。在该附加层中布置在交叉区域81中具有所述另外的耦合结构63的接片结构45。优选地，附加层构造得比在其中主要构造有转速传感器1的其他元件的层更薄。
在图9中示意性示出根据本发明的第五实施方式的转速传感器的部分区域。在该实施方式中，在所述另外的耦合结构63和接片结构45的交叉区域81中，所述另外的耦合结构63布置在附加层中(并且接片结构45并不布置在该附加层中)。在这里，所述另外的耦合结构63包括三个摆杆结构61。通过三重的摆杆结构能够实现旋转元件10、20的期望的探测运动，如通过伸入到平面中并且从平面中指出来的箭头示出。在该实施方式中有利的是，较薄的附加层在驱动运动中静止并且不受负载。耦合结构60具有与所述另外的耦合结构63相同的上述特征。
Claims (8)
1.转速传感器(1)，该转速传感器包括：
具有主延伸平面(100、200)的衬底；
具有第三驱动结构的驱动组件，所述第三驱动结构具有至少一个接片结构；
旋转元件组件(10、20)，所述旋转元件组件构造成用于探测沿所述衬底的第一主延伸轴线(100)起作用的转速和沿所述衬底的垂直于所述第一主延伸轴线(100)的第二主延伸轴线(200)起作用的转速，
其中，所述旋转元件组件(10、20)包括第一旋转元件(10)和第二旋转元件(20)，其中，所述第一旋转元件(10)能够借助于所述驱动组件(30)围绕第一旋转轴被驱动，其中，所述第二旋转元件(20)能够借助于所述驱动组件(30)围绕第二旋转轴被驱动，其中，所述第一旋转轴垂直于所述主延伸平面(100、200)地布置，其中，所述第二旋转轴垂直于所述主延伸平面(100、200)地布置；
弹簧结构；
横杆；和
传感器组件(40)，其中，所述传感器组件(40)包括第一质量(41)、第二质量(42)和第三质量(43)，并且所述传感器组件(40)构造成用于探测所述衬底的垂直于所述主延伸平面(100、200)起作用的转速，其中，所述传感器组件(40)和所述旋转元件组件(10、20)都能够借助于驱动组件(30)被驱动，其中，所述驱动组件(30)构造成用于沿着所述第一主延伸轴线(100)驱动运动，
其中，所述旋转元件组件和所述传感器组件都借助于相同的驱动组件驱动，
其中，所述第三质量(43)配属有所述驱动组件(30)的所述第三驱动结构，并且其中，所述弹簧结构(70)与所述第三驱动结构的至少一个接片结构(45)连接，使得借助于所述弹簧结构(70)和所述接片结构(45)建立在所述第三质量(43)和所述第一旋转元件(10)以及所述第二旋转元件(20)之间的机械连接，
其中，所述至少一个接片结构(45)包括两个梁，所述两个梁平行地沿所述第一主延伸轴线的方向延伸并且通过所述横杆与所述弹簧结构(70)连接，
其中，所述第一质量和所述第二质量构造成至少部分地在所述驱动运动期间同向地运动，其中，所述第三质量(43)构造成至少部分地在所述驱动运动期间相对于所述第一质量和所述第二质量的运动反向地运动，并且所述第三质量(43)沿平行于所述衬底的所述第二主延伸轴线(200)的方向布置在所述第一质量(41)和所述第二质量(42)之间。
2.根据权利要求1所述的转速传感器(1)，其中，所述第一质量(41)配属有所述驱动组件(30)的第一驱动结构(31)，其中，所述第一驱动结构(31)与所述第一旋转元件(10)机械连接，其中，所述第二质量(42)配属有所述驱动组件(30)的第二驱动结构(32)，其中，所述第二驱动结构(32)与所述第二旋转元件(20)机械连接。
3.根据权利要求1所述的转速传感器(1)，其中，所述弹簧结构(70)布置在所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(20)之间，其中，所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(20)借助于所述弹簧结构(70)连接，使得抑制所述第一旋转元件和第二旋转元件围绕所述第一主延伸轴线(100)的平行倾翻并且允许所述第一旋转元件和第二旋转元件围绕所述第一主延伸轴线(100)的反向平行倾翻。
4.根据权利要求1所述的转速传感器(1)，其中，所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(20)借助于耦合结构(60)机械连接，其中，所述耦合结构(60)包括至少一个摆杆结构(61)，其中，所述摆杆结构(61)构造成，使得抑制所述第一旋转元件和第二旋转元件围绕所述第二主延伸轴线(200)的平行倾翻并且允许所述第一旋转元件和第二旋转元件围绕所述第二主延伸轴线(200)的反向平行倾翻。
5.根据权利要求1所述的转速传感器(1)，其中，所述第一旋转元件(10)借助于第一悬挂部(11)与所述衬底连接，其中，所述第二旋转元件(20)借助于第二悬挂部(21)与所述衬底连接，其中，所述第一悬挂部(11)部分地布置在所述第一旋转元件(10)中的中心缺口中，其中，所述第二悬挂部(21)部分地布置在所述第二旋转元件(20)中的中心缺口中。
6.根据权利要求1所述的转速传感器(1)，其中，所述第一质量(41)借助于第一弹簧组件(37)与所述第三质量(43)连接，其中，所述第二质量(42)借助于第二弹簧组件(38)与所述第三质量(43)连接。
7.转速传感器(1)，该转速传感器包括：
具有主延伸平面(100、200)的衬底；
旋转元件组件(10、20)，所述旋转元件组件构造成用于探测沿所述衬底的第一主延伸轴线(100)起作用的转速和沿所述衬底的垂直于所述第一主延伸轴线(100)的第二主延伸轴线(200)起作用的转速；
传感器组件(40)，所述传感器组件构造成用于探测所述衬底的垂直于所述主延伸平面(100、200)起作用的转速，其中，所述传感器组件(40)和所述旋转元件组件(10、20)都能够借助于驱动组件(30)被驱动，其中，所述驱动组件(30)构造成用于沿着所述第一主延伸轴线(100)驱动运动，
其中，所述旋转元件组件(10、20)包括第一旋转元件(10)和第二旋转元件(20)，其中，所述第一旋转元件(10)能够借助于所述驱动组件(30)围绕第一旋转轴被驱动，其中，所述第二旋转元件(20)能够借助于所述驱动组件(30)围绕第二旋转轴被驱动，其中，所述第一旋转轴垂直于所述主延伸平面(100、200)地布置，其中，所述第二旋转轴垂直于所述主延伸平面(100、200)地布置，
其中，所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(20)借助于耦合结构(60)机械连接，其中，所述耦合结构(60)包括至少一个摆杆结构(61)，其中，所述摆杆结构(61)构造成，使得抑制所述第一旋转元件和第二旋转元件围绕所述第二主延伸轴线(200)的平行倾翻并且允许所述第一旋转元件和第二旋转元件围绕所述第二主延伸轴线(200)的反向平行倾翻，
其中，一质量配属有所述驱动组件(30)的驱动结构，其中，所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(20)借助于另外的耦合结构(63)机械连接，其中，所述另外的耦合结构(63)与所述驱动结构的至少一个接片结构(45)交叉，其中，所述接片结构(45)在交叉区域中布置在所述另外的耦合结构(63)下方的附加层中。
8.用于制造转速传感器(1)的方法，所述方法包括：
提供具有主延伸平面(100、200)的衬底；
提供具有驱动结构的驱动组件，所述驱动结构具有至少一个接片结构；
提供旋转元件组件(10、20)，所述旋转元件组件构造成用于探测沿所述衬底的第一主延伸轴线(100)起作用的转速和沿所述衬底的垂直于所述第一主延伸轴线(100)的第二主延伸轴线(200)起作用的转速，
其中，所述旋转元件组件(10、20)包括第一旋转元件(10)和第二旋转元件(20)，其中，所述第一旋转元件(10)能够借助于所述驱动组件(30)围绕第一旋转轴被驱动，其中，所述第二旋转元件(20)能够借助于所述驱动组件(30)围绕第二旋转轴被驱动，其中，所述第一旋转轴垂直于所述主延伸平面(100、200)地布置，其中，所述第二旋转轴垂直于所述主延伸平面(100、200)地布置；
提供弹簧结构；
提供横杆；和
提供传感器组件(40)，所述传感器组件包括第一质量(41)、第二质量(42)和第三质量(43)，并且所述传感器组件(40)构造成用于探测所述衬底的垂直于所述主延伸平面(100、200)起作用的转速，其中，所述传感器组件(40)和所述旋转元件组件(10、20)都能够借助于驱动组件(30)被驱动，其中，所述驱动组件(30)构造成用于沿着所述第一主延伸轴线(100)驱动运动，
其中，所述旋转元件组件和所述传感器组件都借助于相同的驱动组件驱动，
其中，所述第三质量(43)配属有所述驱动组件(30)的所述驱动结构，并且其中，所述弹簧结构(70)与所述驱动结构的至少一个接片结构(45)连接，使得借助于所述弹簧结构(70)和所述接片结构(45)建立在所述第三质量(43)和所述第一旋转元件(10)以及所述第二旋转元件(20)之间的机械连接，
其中，所述至少一个接片结构(45)包括两个梁，所述两个梁平行地沿所述第一主延伸轴线的方向延伸并且通过所述横杆与所述弹簧结构(70)连接，
其中，所述第一质量和所述第二质量构造成至少部分地在所述驱动运动期间同向地运动，其中，所述第三质量(43)构造成至少部分地在所述驱动运动期间相对于所述第一质量和所述第二质量的运动反向地运动，并且所述第三质量(43)沿平行于所述衬底的所述第二主延伸轴线(200)的方向布置在所述第一质量(41)和所述第二质量(42)之间。
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