CN109696165A - 微机电装置 - Google Patents

Abstract

一种微机电装置，包含：一基板；至少两个驱动元件，设置于基板上；两个可移动结构，分别连接于至少两个驱动元件；以及至少两个内部质量结构或至少一个内部质量结构与至少两个外部质量结构，内部质量结构连接于两个可移动结构之间，外部质量结构连接于两个可移动结构外侧。响应于微机电装置的运动，内部质量结构产生旋转运动，而外部质量结构产生反向位移。各质量结构间不直接以挠性结构连接，以降低耦合效应。

Description

微机电装置

技术领域

本发明涉及一种微机电装置，特别是通过两个可移动结构，以驱动内部质量结构旋转的微机电装置。

背景技术

陀螺仪是一种常用的微机电装置，通过驱动元件使质量结构产生振动，以感测微机电装置的角速度旋转运动。现有技术的微机电装置，其中一种安排方式是使用多组驱动元件，提供不同方向的振动，以对角速度旋转运动的各方向分量进行感测。或者，另一种安排方式是以数量较少的驱动元件，驱动多个质量结构，以对角速度旋转运动的各方向分量进行感测。前者的缺点是结构庞大，后者的缺点是多个质量结构之间，需有连杆(或其他将多个质量结构彼此连接的挠性结构)以传递振动予不同质量结构，虽达到降低驱动元件数量的效果，却也造成不同质量结构间感测的相互感扰，造成感测信号的稳定度下降。

参照图1，其显示根据美国专利号2014/0373628的一已知微机电装置10，其中已知微机电装置10包含可移动结构23与内部质量结构24。可移动结构23用以驱动内部质量结构24，以产生感测运动。内部质量结构24间具有多个连杆以彼此相连，可提供不同方式的运动组合，以对应不同方向的感测需求。虽内部质量结构24间可有不同方式的运动组合，但也造成不同内部质量结构24间相互影响，特别为内部质量结构24间具有连杆相接，造成内部质量结构24间运动会相互影响，降低感测精确程度。例如，当内部质量结构24间为旋转运动组合时，内部质量结构24的旋转运动会干扰位移运动的感测，可能造成误感测。

此外，相关的现有技术有美国专利案号US 8459110、US 8833162、US 9170107、US20150211853、US 9400180、US 9278845等，也有类似美国专利号2014/0373628的不同方向间运动感测相互干扰的缺点。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足与缺陷，提出一种微机电装置，其能克服不同质量结构间感测的相互感扰，提高感测信号的稳定度，避免造成误感测。

为了实现上述发明目的，就其中一个观点言，本发明提供了一种微机电装置，其包含：一基板；至少两个驱动元件，设置于该基板上；两个可移动结构，分别连接于该至少两个驱动元件；以及至少两个内部质量结构，分别连接于该两个可移动结构之间、或分别连接于至少一个该可移动结构与一锚点之间，其中该锚点连接于该基板；其中，该至少两个驱动元件提供该两个可移动结构于一第一方向上的反向运动，由此使该至少两个内部质量结构分别产生内部旋转运动；且其中该至少两个内部质量结构间，由至少一个该可移动结构相隔、及/或该至少两个内部质量结构间，经由该锚点而连接于该基板，由此，使该至少两个内部质量结构间的耦合效应，与该至少两个内部质量结构间以连杆或挠性结构相连接的结构相较，得以降低。

一实施例中，任该两个内部质量结构之间，不直接以挠性结构连接。

一实施例中，微机电装置还包含至少一个出平面感测单元，该出平面感测单元包含上下电极，分别设置于该内部质量结构中、以及该基板上对应于该些内部质量结构的位置，以感测该些内部质量结构的科氏力旋转。

一实施例中，对应于各内部质量结构，微机电装置中设置至少两个出平面感测单元，以构成差分感测结构。

一实施例中，该两个内部质量结构分别通过对应的驱动链接部而与对应的可移动结构连接；其中，延伸方向与该第一方向同向的驱动链接部，其延伸方向间偏移设置，而延伸方向与第一方向不同的驱动链接部，其延伸方向为同一轴线。

一实施例中，该至少两个内部质量结构分别连接于该至少一个可移动结构与该锚点之间，且该两个内部质量结构分别通过对应的驱动链接部而与对应的可移动结构连接，还通过对应的固定连结部而与对应的锚点连接；其中，延伸方向与该第一方向同向的驱动链接部及固定连接部，其延伸方向间偏移设置，而延伸方向与第一方向不同的驱动链接部及固定连接部，其延伸方向为同一轴线。

一实施例中，该两个可移动结构之间还通过两个弹性连接体以彼此连接。

一实施例中，各该弹性连接体具有一连接点，其中该两个弹性连接体的该两个连接点间，通过锚点、压缩弹簧、或该锚点与该压缩弹簧的组合，以彼此连接该两个弹性连接体。

一实施例中，该两个连接点之间通过压缩弹簧、或锚点与该压缩弹簧的组合，以彼此连接该两个弹性连接体，当该两个可移动结构具有该第一方向上的反向运动，该两个连接点具有一第二方向上的反向运动，其中该第二方向垂直于该第一方向。

一实施例中，该至少一个连接点连接于该至少两个内部质量结构，当该两个可移动结构呈该第一方向上的反向运动，该至少一个连接点驱动该至少两个内部质量结构，以产生该至少两个内部旋转运动。

一实施例中，当该微机电装置具有一角速度旋转运动，且该至少两个内部质量结构具有两个内部旋转运动时，该至少两个内部质量结构感测该角速度旋转运动所产生的至少两个科氏力旋转，该至少两个科氏力旋转的轴向彼此不平行。

就另一个观点言，本发明提供了一种微机电装置，其包含：一基板；至少两个驱动元件，设置于该基板上；两个可移动结构，分别连接于该至少两个驱动元件；以及至少一个内部质量结构以及至少两个外部质量结构，该至少一个内部质量结构连接于该两个可移动结构之间，该至少两个外部质量结构分别连接于该两个可移动结构的外侧；其中，该至少两个驱动元件提供该两个可移动结构于一第一方向上的反向运动，由此使该至少一个内部质量结构产生一旋转运动以及由此使该至少两个外部质量结构分别产生反向的外部位移运动。

一实施例中，该至少两个外部质量结构所分别产生的外部位移运动的方向大致垂直于该第一方向。另一实施例中，微机电装置可还包含至少一个内部平移质量结构，该内部平移质量结构可具有大致垂直于该第一方向的位移运动。

一实施例中，该至少一个内部质量结构通过至少一个驱动连接部而与至少一个该可移动结构分别连接，且各驱动连接部不直接连接于该至少两个外部质量结构。

一实施例中，该基板具有至少一个锚点，该内部质量结构于该驱动连接部的相对侧，还具有一固定连接部，各该内部质量结构的该相对侧通过该固定连接部，连接于该锚点。

一实施例中，微机电装置包含至少两个内部质量结构，其中该至少两个内部质量结构间，由至少一个该可移动结构相隔、及/或该至少两个内部质量结构间，经由该锚点而连接于该基板，由此，使该至少两个内部质量结构间的耦合效应，与该至少两个内部质量结构间以连杆或挠性结构相连接的结构相较，得以降低。

一实施例中，当该微机电装置具有一角速度旋转运动，且该至少两个内部质量结构具有两个内部旋转运动时，该至少两个内部质量结构感测该角速度旋转运动所产生的至少两个科氏力旋转，该至少两个科氏力旋转的轴向彼此不平行。

一实施例中，微机电装置还包含至少一个出平面感测单元与至少两个位移感测单元，其中各该出平面感测单元包含上下两个电极，分别设置于该内部质量结构中、以及该基板上对应于该至少一个内部质量结构的位置，以感测该内部质量结构的科氏力旋转，并且，其中各该位移感测单元包含一活动电极与一固定电极，分别设置于对应的该外部质量结构中、以及该基板上对应于该外部质量结构的位置，以感测该些外部质量结构对应于科氏力而产生的外部位移运动。

附图说明

图1显示一已知微机电装置的示意图；

图2、图3、图4、图5、图6、图6A和图7显示根据本发明一实施例的微机电装置的示意图；

图8和图9显示根据本发明一实施例的微机电装置中质量结构的静止状态与运动状态示意图。

图中符号说明

10已知微机电装置

11连杆

20、30、40、50、60、60A、70微机电装置

21基板

211锚点

22驱动元件

23可移动结构

24内部质量结构

241驱动连接部

242固定连接部

24A内部平移质量结构

25出平面感测单元

26外部质量结构

27弹性连接体

271连接点

28压缩弹簧

29位移感测单元

具体实施方式

本发明的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图的一较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附图的方向。本发明中的附图均属示意，主要意在表示各装置以及各元件之间的功能作用关系，至于形状、厚度与宽度则并未依照比例绘制。

图2显示根据本发明一实施例的微机电装置20，其包含：一基板21；至少两个驱动元件22，设置于基板21上；两个可移动结构23，分别连接于该至少两个驱动元件22；以及至少两个内部质量结构24(图2仅显示两个内部质量结构24，但数目仅为举例并非限制；本发明的其他实施例中，例如图3，其显示四个内部质量结构)，至少两个内部质量结构24连接于两个可移动结构23之间。各内部质量结构24经由至少一个驱动连接部241而与其他部分连接(图2显示各内部质量结构24连接于两个驱动连接部241，图3显示各内部质量结构24连接于一驱动连接部241以及一固定连接部242)。各内部质量结构24通过各驱动连接部241连接于对应的可移动结构23。驱动连接部241及/或固定连接部242，可以与内部质量结构24为一体性结构(即驱动连接部241及/或固定连接部242为驱动连接部241及/或固定连接部242的一部分)，或，驱动连接部241及/或固定连接部242与内部质量结构24为不同的结构。驱动元件22提供两个可移动结构23于一第一方向上的反向运动(附图中实线与虚线所示方向)，并驱动链接于两个可移动结构23的两个内部质量结构24，以分别产生至少两个内部旋转运动(附图中实线与虚线所示方向)。

一实施例中，驱动连接部241及固定连接部242，可为桡性元件，用以弹性连接于可移动结构23与锚点211之间(图3、5、6、8的实施例)、或可移动结构23与弹性连接体27之间(图6、8的实施例)。然而，根据本发明，固定连接部242为可选择性的元件，例如图2、4、7的实施例，可不包含固定连接部242的设计。因此，根据本发明，驱动连接部241或固定连接部242的连接方式，可依需要而选择不同的设计。

前述的实施例中，两个可移动结构23的反向运动，分别为于第一方向上的向外移动(实线)、或于第一方向上的向内移动(虚线)。两个内部质量结构24的两个内部旋转运动，对应地为两个不同方向的内部旋转运动(实线、虚线)。此外，各内部质量结构24的内部旋转运动的方向虽为同向，但为各自独立的旋转运动。依据本发明，内部质量结构24的内部旋转运动，其方向也可为逆向，例如图4的微机电装置40中，两个内部质量结构24的内部旋转运动，其旋转方向互为逆向。

图3的实施例中，基板21具有至少一个锚点211，内部质量结构24于驱动连接部241的相对侧，还具有一固定连接部242，各内部质量结构24的此相对侧通过固定连接部242，以连接于锚点211。此固定连接部242连接于锚点211，或与基板21、锚点211相连的固定结构，可提供内部质量结构24的一旋转支点或一摆动支点。例如，图3中两个可移动结构23的反向运动(实线与虚线)，驱动内部质量结构24的内部旋转运动(实线与虚线)。

根据图2、3所示，微机电装置20、30中，其中任两个内部质量结构24之间，不直接以连杆或其他挠性结构连接，而是各自分别受可移动结构23驱动。从另一角度来描述，图2可视为微机电装置20的各内部质量结构24之间，为可移动结构23所相隔。图3可视为微机电装置30的内部质量结构24之间，为可移动结构23、及/或锚点211(或与锚点211相连的延伸结构，此延伸结构可视为锚点211的一部分)所相隔。相较于现有技术的内部质量结构以连杆相连的设计，本发明的各内部质量结构24的内部旋转运动，不会耦合传递至其他内部质量结构24，可解决现有技术中感测准确程度降低的问题。

继续参照图2、3，一实施例中，微机电装置20、30，还包含多个出平面感测单元25。每一出平面感测单元25包含上下两个电极，其中之一设置于内部质量结构24，另一可设置于内部质量结构24的上方或下方对应位置，例如但不限于可设置于内部质量结构24的下方基板上的对应位置。通过出平面感测单元25出平面方向的运动，可感测各内部质量结构24的科氏力旋转。其中，各内部质量结构24中，连接于驱动连接部241间的内部质量结构本体(或连接于驱动连接部241与固定连接部242间的内部质量结构本体)，其本质可为一体性结构。一体性结构可视为当内部质量结构24运动时，各内部质量结构24中各部分，具有相同的位移方向，或者内部质量结构本体的变形所产生的感测误差为极小而可忽略不计。

前述的科氏力旋转，以图2的右侧内部质量结构24为例，当两个可移动结构23于第一方向反向运动时，此内部质量结构24随之产生如图示的内部旋转运动。例如，当微机电装置20具有图2所示以第一方向为旋转轴向的一角速度旋转运动，则右侧内部质量结构24会产生如图标的科氏力旋转。微机电装置20可通过出平面感测单元25感测此科氏力旋转，以决定微机电装置20的角速度旋转运动。

根据本发明，各内部质量结构24对应的出平面感测单元25，仅用于感测对应轴向的微机电装置的角速度旋转运动。如此，各内部质量结构24的科氏力旋转感测结果，不会互相影响，即各内部质量结构24的科氏力旋转的感测结果，不会相互耦合以降低感测的准确程度。根据图2，显示一实施例中，各内部质量结构24所感测的科氏力旋转方向不平行，即，根据本发明，各内部质量结构24的感测角速度旋转运动的轴向可不平行。

继续参照图2、3，在一实施例中，对应于每一内部质量结构24可设置两个出平面感测单元25，相对于出平面旋转轴而呈对称或对称，由此使两个出平面感测单元25构成差分感测(Differential sensing)的效果，以增加感测信号的精确度。

一实施例中，各可移动结构23为一体性结构。依动力学观点，一体性结构可视为当可移动结构23运动时，各可移动结构23的各部分，具有相同的位移方向。因各可移动结构23为一体性结构，故当可移动结构23具有第一方向上的反向运动时，各可移动结构的各部分，具有相同的位移方向，且连接于两个可移动结构23间的内部质量结构24，其内部旋转运动为同步的内部旋转运动。可移动结构23为一体性结构，可精确控制内部质量结构24的内部旋转运动。

图2的实施例中，通过两个驱动链接部241连接于各内部质量结构24的相对侧，与两个可移动结构23相连，以驱动各内部质量结构24以产生内部旋转运动。

参阅图2，右方的内部质量结构24，其两个驱动链接部241在同一轴在线，而左方的内部质量结构24，其两个驱动链接部241不在同一轴在线而有相对偏移。即，在一实施例中，为使内部质量结构24产生旋转，延伸方向与可移动结构23反向运动的方向(第一方向)同向的驱动链接部241，其延伸方向间需要偏移设置，而延伸方向与可移动结构23反向运动的方向(第一方向)不同的驱动链接部241，其延伸方向可以同一轴线。参阅图3，驱动链接部241与固定连接部242之间的同轴或偏移关系，也类似。

根据图2的实施例中，微机电装置20中具有两种不同科氏力旋转的方向，即可进行二维角速度的感测，微机电装置20可为一具二维感测方向的陀螺仪装置。然而，根据本发明，微机电装置可不限于二维感测方向的陀螺仪装置，也可为三维感测方向的陀螺仪装置，例如图3的微机电装置20，其中除了用于二维感测方向的内部质量结构24，也包含两个外部质量结构26，以用于另一维感测方向的科氏力旋转，其详细实施内容例请参阅后续的相关说明。

参照图3，其中两个可移动结构23之间还通过两个弹性连接体27以彼此连接，以连接可较佳地控制两个可移动结构23间于一第一方向上的反向运动，其详述如后。

参照图3，各弹性连接体27具有一连接点271，其中两个弹性连接体27的两个连接点271间，可通过锚点211以彼此连接两个弹性连接体27。根据本发明，两个弹性连接体27的两个连接点271间，还可以通过锚点211与压缩弹簧28(微机电装置50，图5)、或通过压缩弹簧28(微机电装置60，图6)，以彼此连接两个弹性连接体27。因此，本发明的两个连接点271间的连接方式，可视需要而定。此外，两个可移动结构23间通过两个弹性连接体27以彼此连接，无论连接点271连于锚点211、压缩弹簧28、或锚点211与压缩弹簧28的组合，都可以限制连接点271于第一方向上的移动，也就是连接点271具有维持两个可移动结构23间于第一方向上的中点位置不移动的效果。故弹性连接体27具有控制两个可移动结构23间反向运动的效果。

弹性连接体27的连接点271虽具第一方向上位置不移动的特征，但于其他方向上可依需要而移动。参照图5、6，两个连接点271之间通过压缩弹簧28、或锚点211与压缩弹簧28的组合，以彼此连接两个弹性连接体27。当两个可移动结构23间呈第一方向上的反向运动时，两个连接点271呈一第二方向上的反向运动，其中第二方向大致垂直于第一方向(“大致垂直”表示：容许制造与操作上所产生的误差，下同)。

参照图6，一实施例中，至少一个连接点271连接于至少两个内部质量结构24，当两个可移动结构23具有第一方向上的反向运动，至少一个连接点271(右侧弹性连接体27的连接点271)驱动至少两个内部质量结构24，以产生至少两个内部旋转运动(实线、虚线)。图6中，左侧弹性连接体27的连接点271则未直接连接于内部质量结构24，左侧内部质量结构24连接于可移动结构23与弹性连接体27之间，以产生内部旋转运动(实线、虚线)。

参照图7，就其中一个观点言，本发明提供了一种微机电装置70，包含：一基板21；至少两个驱动元件22，设置于基板21上；两个可移动结构23，分别连接于至少两个驱动元件22；以及至少一个内部质量结构24以及至少两个外部质量结构26，至少一个内部质量结构24连接于两个可移动结构23之间，其中各内部质量结构24通过驱动连接部241以连接于对应的可移动结构23，至少两个外部质量结构26分别连接于两个可移动结构23的外侧；其中，至少两个驱动元件22提供两个可移动结构23于一第一方向上的反向运动(实线、虚线)，并驱动链接于两个可移动结构23的至少一个内部质量结构24以及至少两个外部质量结构26，以分别产生至少一个内部旋转运动(实线、虚线)以及至少两个外部位移运动。其中，当微机电装置70具有一出平面角速度旋转运动，两个外部质量结构26受科氏力的影响，会产生于第二方向上的外部位移运动(实线)，此第二方向大致垂直于第一方向。因两个可移动结构23于一第一方向上的反向运动，两个外部质量结构26的外部位移运动互为反向。例如当上侧的外部质量结构26向左位移时，下侧的外部质量结构26向右位移。又例如当上侧的外部质量结构26向右位移时，下侧的外部质量结构26向左位移。

参照图6A，其显示根据本发明的一实施例的微机电装置60A，可还包含至少一个内部平移质量结构24A(附图中以两个内部平移质量结构24A为例)。此内部平移质量结构24A可包含方向大致垂直于该第一方向的位移运动。其内部平移质量结构24A的运动方式，使用者可参照外部质量结构26的运动方式，类推其位移运动。

参照图6，微机电装置60可具有多个内部质量结构24与多个外部质量结构26。内部质量结构24提供二维感测方向(入平面轴向的角速度旋转运动)的陀螺仪功能，而外部质量结构26提供感测角速度旋转运动的陀螺仪功能。因此，微机电装置60一具有三维感测方向的陀螺仪装置。

根据图7，连接至少一个内部质量结构24的驱动连接部241，不直接连接于至少两个外部质量结构26。如此，各内部质量结构24的内部旋转运动，不会直接影响其外部质量结构26的外部位移运动，以避免内部质量结构24与外部质量结构26间的运动耦合效应，造成感测的准确程度降低。

根据图5、6，一实施例中，基板21具有至少一个锚点211，内部质量结构24于连接驱动连接部241的相对侧，还具有一固定连接部242，此固定连接部242连接于锚点211。

参照图6、7，微机电装置60、70，还包含多个出平面感测单元25与多个位移感测单元29。每一出平面感测单元25的两个电极分别设置于内部质量结构24、以及基板21上对应于内部质量结构24的位置。每一位移感测单元29的两个电极分别设置于外部质量结构26、以及设置于基板21上对应于外部质量结构26的位置，其可分别为设置于外部质量结构26的活动电极、以及基板21设置于基板21上的固定电极。对应于每一内部质量结构24与每一外部质量结构26，可设置多个出平面感测单元25及/或位移感测单元29，以增进感测准确度。

参照图7，一实施例中，两个可移动结构23分别通过两个驱动链接部241连接于各内部质量结构24的相对侧，以驱动各内部质量结构24产生内部旋转运动。

图8、9显示类似于图6的微机电装置60的一实施例，用以举例说明内部质量结构24的内部旋转运动与外部质量结构26的外部位移运动。图8显示可移动结构23未具有位移运动的状态，内部质量结构24与外部质量结构26皆无旋转与移动。而图9显示当可移动结构23具有第一方向上的运动时(虚线)，内部质量结构24具有内部旋转运动(虚线)。此外，当可移动结构23具有第一方向上的运动、且微机电装置具有角速度旋转运动(例如出平面角速度旋转运动)时，可移动结构23具有如图所示的位移运动。根据外部质量结构26的位移运动，可决定出平面角速度旋转运动的感测值。

前述的实施例中，内部质量结构24或外部质量结构26的数量，可依需要而定，而非仅限于附图中质量结构的数量。图3、5、8、9中的基板，为使附图整洁，被省略而未绘制于其中，其中的锚点于实施时为设置于基板上。

以上已针对较佳实施例来说明本发明，但以上所述，仅为使本领域技术人员易于了解本发明的内容，并非用来限定本发明的权利范围。在本发明的相同精神下，本领域技术人员可以想到各种等效变化。各实施例中图标直接连接的两个结构间，可插置不影响主要功能的其他结构，仅需对应修改相关结构的意义即可。凡此种种，都可根据本发明的说明类推而得，因此，本发明的范围应涵盖上述及其他所有等效变化。前述的各个实施例，并不限于单独应用，也可以组合应用。

Claims (18)

1.一种微机电装置，其特征在于，包含：

一基板；

至少两个驱动元件，设置于该基板上；

两个可移动结构，分别连接于该至少两个驱动元件；以及

至少两个内部质量结构，分别连接于该两个可移动结构之间、或分别连接于至少一个该可移动结构与一锚点之间，其中该锚点连接于该基板；

其中，该至少两个驱动元件提供该两个可移动结构于一第一方向上的反向运动，由此使该至少两个内部质量结构分别产生内部旋转运动；且

其中该至少两个内部质量结构间，由至少一个该可移动结构相隔、及/或该至少两个内部质量结构间，经由该锚点而连接于该基板，由此，使该至少两个内部质量结构间的耦合效应，与该至少两个内部质量结构间以连杆或挠性结构相连接的结构相较，得以降低。

2.根据权利要求1所述的微机电装置，其中，任该两个内部质量结构之间，不直接以挠性结构连接。

3.根据权利要求1所述的微机电装置，其中，还包含至少一个出平面感测单元，该出平面感测单元包含上下电极，分别设置于该内部质量结构中、以及该基板上对应于该些内部质量结构的位置，以感测该些内部质量结构的科氏力旋转。

4.根据权利要求3所述的微机电装置，其中，对应于各内部质量结构，设置至少两个出平面感测单元，以构成差分感测结构。

5.根据权利要求1所述的微机电装置，其中，该两个内部质量结构分别通过对应的驱动链接部而与对应的可移动结构连接；其中，延伸方向与该第一方向同向的驱动链接部，其延伸方向间偏移设置，而延伸方向与第一方向不同的驱动链接部，其延伸方向为同一轴线。

6.根据权利要求1所述的微机电装置，其中，该至少两个内部质量结构分别连接于该至少一个可移动结构与该锚点之间，且该两个内部质量结构分别通过对应的驱动链接部而与对应的可移动结构连接，还通过对应的固定连结部而与对应的锚点连接；其中，延伸方向与该第一方向同向的驱动链接部及固定连接部，其延伸方向间偏移设置，而延伸方向与第一方向不同的驱动链接部及固定连接部，其延伸方向为同一轴线。

7.根据权利要求1所述的微机电装置，其中，该两个可移动结构之间还通过两个弹性连接体以彼此连接。

8.根据权利要求7所述的微机电装置，其中，各该弹性连接体具有一连接点，其中该两个弹性连接体的该两个连接点间，通过锚点、压缩弹簧、或该锚点与该压缩弹簧的组合，以彼此连接该两个弹性连接体。

9.根据权利要求7所述的微机电装置，其中，该两个连接点之间通过压缩弹簧、或锚点与该压缩弹簧的组合，以彼此连接该两个弹性连接体，当该两个可移动结构具有该第一方向上的反向运动，该两个连接点具有一第二方向上的反向运动，其中该第二方向垂直于该第一方向。

10.根据权利要求8所述的微机电装置，其中，该至少一个连接点连接于该至少两个内部质量结构，当该两个可移动结构呈该第一方向上的反向运动，该至少一个连接点驱动该至少两个内部质量结构，以产生该至少两个内部旋转运动。

11.根据权利要求1所述的微机电装置，其中，当该微机电装置具有一角速度旋转运动，且该至少两个内部质量结构具有两个内部旋转运动时，该至少两个内部质量结构感测该角速度旋转运动所产生的至少两个科氏力旋转，该至少两个科氏力旋转的轴向彼此不平行。

12.一种微机电装置，其特征在于，包含：

一基板；

至少两个驱动元件，设置于该基板上；

两个可移动结构，分别连接于该至少两个驱动元件；以及

至少一个内部质量结构以及至少两个外部质量结构，该至少一个内部质量结构连接于该两个可移动结构之间，该至少两个外部质量结构分别连接于该两个可移动结构的外侧；

其中，该至少两个驱动元件提供该两个可移动结构于一第一方向上的反向运动，由此使该至少一个内部质量结构产生一旋转运动以及由此使该至少两个外部质量结构分别产生反向的外部位移运动。

13.根据权利要求12所述的微机电装置，其中，该至少两个外部质量结构所分别产生的外部位移运动的方向大致垂直于该第一方向。

14.根据权利要求12所述的微机电装置，其中，该至少一个内部质量结构通过至少一个驱动连接部而与至少一个该可移动结构分别连接，且各驱动连接部不直接连接于该至少两个外部质量结构。

15.根据权利要求12所述的微机电装置，其中，该基板具有至少一个锚点，该内部质量结构于该驱动连接部的相对侧，还具有一固定连接部，各该内部质量结构的该相对侧通过该固定连接部，连接于该锚点。

16.根据权利要求12所述的微机电装置，其中，包含至少两个内部质量结构，其中该至少两个内部质量结构间，由至少一个该可移动结构相隔、及/或该至少两个内部质量结构间，经由该锚点而连接于该基板，由此，使该至少两个内部质量结构间的耦合效应，与该至少两个内部质量结构间以连杆或挠性结构相连接的结构相较，得以降低。

17.根据权利要求16所述的微机电装置，其中，当该微机电装置具有一角速度旋转运动，且该至少两个内部质量结构具有两个内部旋转运动时，该至少两个内部质量结构感测该角速度旋转运动所产生的至少两个科氏力旋转，该至少两个科氏力旋转的轴向彼此不平行。

18.根据权利要求12所述的微机电装置，其中，还包含至少一个出平面感测单元与至少两个位移感测单元，其中各该出平面感测单元包含上下两个电极，分别设置于该内部质量结构中、以及该基板上对应于该至少一个内部质量结构的位置，以感测该内部质量结构的科氏力旋转，并且其中各该位移感测单元包含一活动电极与一固定电极，分别设置于对应的该外部质量结构中、以及该基板上对应于该外部质量结构的位置，以感测该些外部质量结构对应于科氏力而产生的外部位移运动。