CN105194949A - 一种用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器，包括密封的过滤筒体以及分设于过滤筒体两端的进气管和出气管，进气管的出气端与过滤筒体连通，出气管的进气端与过滤筒体连通，过滤筒体内填充有用于除酸的吸附剂，进气管的出气端设有多个同于进气管出气的通气小孔，出气管的进气端设有多个用于出气管进气的通气小孔，吸附剂的粒径大于通气小孔的孔径。本发明具有密封性好、防腐蚀性好、可有效除去减压扩散炉的尾气中的偏磷酸的优点。

Description

一种用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器

技术领域

本发明涉及减压扩散炉的尾气处理设备，尤其涉及一种用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器。

背景技术

目前减压扩散技术已经作为一种先进的技术手段应用在硅片的扩散工艺中，减压扩散由于其能显著地提高方块电阻，并在高方阻下仍具有很好的均匀性，提高气体的使用效率，提高产能，因而具有非常广阔的前景。由于减压扩散的炉体（即扩散炉，是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等）内处于负压状态，外界空气容易进入扩散反应炉污染硅片，因此减压扩散对装置的密封性提出很高的要求，同时，反应炉产生的尾气中含有偏磷酸，具有很强的腐蚀性，因此，减压扩散技术对尾气处理提出了很高的要求。而常压扩散中，尾气直接通过废气管排出，不需要经过真空泵，所以不需要除酸。现有技术中没有专门为除酸而设计的真空过滤器，现有的过滤器一般也不适合减压扩散尾气处理的要求，而一般的真空过滤器也因耐腐蚀能力不强而无法应用于减压扩散尾气处理技术中。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单且可除去尾气中偏磷酸的用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器，包括密封的过滤筒体以及分设于过滤筒体两端的进气管和出气管，所述进气管的出气端与过滤筒体连通，所述出气管的进气端与过滤筒体连通，所述过滤筒体内填充有用于除酸的吸附剂，所述进气管的出气端设有多个同于进气管出气的通气小孔，所述出气管的进气端设有多个用于出气管进气的通气小孔，所述吸附剂的粒径大于所述通气小孔的孔径。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述进气管的出气端延伸至所述过滤筒体内，所述进气管位于过滤筒体内的外圆周面上设有多个所述通气小孔，且所述出气端的端面密封设置，所述出气管的进气端延伸至所述过滤筒体内，所述出气管位于过滤筒体内的外圆周面上设有多个所述通气小孔，且所述进气端的端面密封设置。

所述进气管与过滤筒体之间螺纹连接，所述进气管上套设于有进气管法兰，所述进气管法兰与过滤筒体之间压设有氟橡胶密封圈。

所述出气管与过滤筒体之间螺纹连接，所述出气管上套设于有出气管法兰，所述出气管法兰与过滤筒体之间压设有氟橡胶密封圈。

所述吸附剂为氧化铝颗粒。

所述过滤筒体为一端开口的半封闭筒体结构，所述过滤筒体开口一端通过端盖密封连接，所述进气管位于端盖一侧。

所述进气管为聚四氟乙烯管，所述出气管为聚四氟乙烯管，所述过滤筒体为聚四氟乙烯筒体，所述端盖为聚四氟乙烯端盖。

所述端盖通过端盖螺栓与过滤筒体固定连接，且端盖与过滤筒体之间设有氟橡胶端盖密封圈。

与现有技术相比，本发明的优点在于：

（1）本发明的用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器，采用密封的且内部填充具有吸酸功能的吸附剂的过滤筒体，使减压扩散炉的尾气在进入真空泵排出之前通过该过滤筒体除酸，避免尾气中的偏磷酸对真空泵的腐蚀，结构简单，提高了真空泵的使用寿命。

（2）本发明的用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器，吸附剂为氧化铝颗粒，可以很好地吸收偏磷酸，比一般粉末状颗粒要更适合气体的流通。

（3）本发明的用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器，在位于过滤筒体内的进气管和出气管的管外壁上开设小孔，可以增加尾气在过滤筒体内的流动行程，加强了对尾气中偏磷酸的吸收。

（4）本发明的用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器，过滤筒体采用法兰加密封圈方式密封，能有效地防止气体泄露，可以确保该过滤器在真空下工作，过滤筒体、端盖采用聚四氟乙烯材料，可以有效地防止过滤器被尾气腐蚀，各密封圈采用氟橡胶材料，避免被尾气腐蚀。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明的过滤筒体内气体流向示意图。

图中各标号表示：

1、进气管；2、进气管法兰；3、氟橡胶密封圈；4、端盖螺栓；5、氟橡胶端盖密封圈；8、出气管；9、出气管法兰；10、通气小孔；11、吸附剂；13、过滤筒体；14、端盖。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。

如图1所示，本实施例的用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器，包括密封的过滤筒体13以及分设于过滤筒体13两端的进气管1和出气管8，进气管1的出气端与过滤筒体13连通，出气管8的进气端与过滤筒体13连通，过滤筒体13内填充有用于除酸的吸附剂11，进气管1的出气端设有多个同于进气管1出气的通气小孔10，出气管8的进气端设有多个用于出气管8进气的通气小孔10，吸附剂11的粒径大于通气小孔10的孔径，避免吸附剂11进入进气管1或者出气管8。减压扩散炉的尾气进入进气管1，经进气管1的通气小孔10进入过滤筒体13，经过吸附剂11除去尾气中的偏磷酸，净化后的气体经出气管8的通气小孔10进入出气管8，出气管8连通真空泵（图中未示出），净化后的无酸气体通过真空泵排出。减压扩散炉的尾气在进入真空泵排出之前通过本实施例的除酸过滤器净化除酸，避免尾气中的偏磷酸对真空泵的腐蚀，结构简单，提高了真空泵的使用寿命。

本实施例中，吸附剂11为氧化铝颗粒，可以很好地吸收偏磷酸，且氧化铝颗粒的直径大于通气小孔10，不仅能防止颗粒进入进气管1或者出气管8，而且比一般粉末状颗粒要更适合气体的流通。除本实施例外，也可以采用类似氧化铝颗粒的其他具有吸酸作用的颗粒代替。

本实施例中，进气管1的出气端延伸至过滤筒体13内，进气管1位于过滤筒体13内的外圆周面上设有多个通气小孔10，且出气端的端面密封设置，出气管8的进气端延伸至过滤筒体13内，出气管8位于过滤筒体13内的外圆周面上设有多个通气小孔10，且进气端的端面密封设置。如图2所示，在进气管1和出气管8的管外壁上开设小孔，可以增加尾气在过滤筒体13内的流动行程，加强了对偏磷酸的吸收。

本实施例中，进气管1与过滤筒体13之间螺纹连接，进气管1上套设于有进气管法兰2，进气管法兰2与过滤筒体13之间压设有氟橡胶密封圈3。出气管8与过滤筒体13之间螺纹连接，出气管8上套设于有出气管法兰9，出气管法兰9与过滤筒体13之间压设有氟橡胶密封圈3。过滤筒体13为一端开口的半封闭筒体结构，此开口便于将氧化铝颗粒装入过滤筒体13内，过滤筒体13开口一端通过端盖14密封连接，进气管1位于端盖14一侧。进气管1为聚四氟乙烯管，出气管8为聚四氟乙烯管，过滤筒体13为聚四氟乙烯筒体，端盖14为聚四氟乙烯端盖。端盖14通过端盖螺栓4与过滤筒体13固定连接，且端盖14与过滤筒体13之间设有氟橡胶端盖密封圈5。过滤筒体13采用法兰加密封圈方式密封，能有效地防止气体泄露，可以确保该过滤器在真空下工作。过滤筒体13、端盖14采用聚四氟乙烯材料，可以有效地防止过滤器被尾气腐蚀，各密封圈采用氟橡胶材料，避免被尾气腐蚀。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。

Claims (8)

1.一种用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器，包括密封的过滤筒体（13）以及分设于过滤筒体（13）两端的进气管（1）和出气管（8），所述进气管（1）的出气端与过滤筒体（13）连通，所述出气管（8）的进气端与过滤筒体（13）连通，其特征在于：所述过滤筒体（13）内填充有用于除酸的吸附剂（11），所述进气管（1）的出气端设有多个同于进气管（1）出气的通气小孔（10），所述出气管（8）的进气端设有多个用于出气管（8）进气的通气小孔（10），所述吸附剂（11）的粒径大于所述通气小孔（10）的孔径。

2.根据权利要求1所述的用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器，其特征在于：所述进气管（1）的出气端延伸至所述过滤筒体（13）内，所述进气管（1）位于过滤筒体（13）内的外圆周面上设有多个所述通气小孔（10），且所述出气端的端面密封设置，所述出气管（8）的进气端延伸至所述过滤筒体（13）内，所述出气管（8）位于过滤筒体（13）内的外圆周面上设有多个所述通气小孔（10），且所述进气端的端面密封设置。

3.根据权利要求2所述的用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器，其特征在于：所述进气管（1）与过滤筒体（13）之间螺纹连接，所述进气管（1）上套设于有进气管法兰（2），所述进气管法兰（2）与过滤筒体（13）之间压设有氟橡胶密封圈（3）。

4.根据权利要求2所述的用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器，其特征在于：所述出气管（8）与过滤筒体（13）之间螺纹连接，所述出气管（8）上套设于有出气管法兰（9），所述出气管法兰（9）与过滤筒体（13）之间压设有氟橡胶密封圈（3）。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器，其特征在于：所述吸附剂（11）为氧化铝颗粒。

6.根据权利要求1至4任意一项所述的用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器，其特征在于：所述过滤筒体（13）为一端开口的半封闭筒体结构，所述过滤筒体（13）开口一端通过端盖（14）密封连接，所述进气管（1）位于端盖（14）一侧。

7.根据权利要求6所述的用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器，其特征在于：所述进气管（1）为聚四氟乙烯管，所述出气管（8）为聚四氟乙烯管，所述过滤筒体（13）为聚四氟乙烯筒体，所述端盖（14）为聚四氟乙烯端盖。

8.根据权利要求6所述的用于减压扩散炉的尾气真空除酸过滤器，其特征在于：所述端盖（14）通过端盖螺栓（4）与过滤筒体（13）固定连接，且端盖（14）与过滤筒体（13）之间设有氟橡胶端盖密封圈（5）。