CN105137722A - 一种边缘曝光装置及曝光方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种边缘曝光装置及曝光方法，涉及光刻技术领域，用于缩短边缘曝光装置对位于非显示区域的所有光阻层进行曝光的时间，提高制作显示基板的产能。该边缘曝光装置包括基板载台和位于所述基板载台上方的光源，所述光源包括至少两个相互平行的第一条形光源，每个所述第一条形光源的形状均与放置于所述基板载台上的基板的非显示区域的光阻层中、沿所述基板的长度方向延伸的条形区域的形状相匹配。本发明用于曝光基板上非显示区域的光阻层。

Description

一种边缘曝光装置及曝光方法

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，尤其涉及一种边缘曝光装置及曝光方法。

背景技术

目前，在显示基板的制作过程中，包括对显示基板上的光阻层进行曝光的工艺。具体地，使用主曝光装置对基板上的显示区域的光阻层进行曝光，使用边缘曝光装置对基板上的非显示区域的光阻层进行曝光。其中，上述非显示区域的光阻层由多个条形区域组成，例如，当在一块基板上制作四块显示区域时，非显示区域的光阻层由呈田字型排布的六个条形区域组成。

现有技术中，边缘曝光装置通常包括多个点光源和基板载台，每个点光源照射在对应的条形区域上均产生一个正方形光斑。然而，本申请的发明人发现，在使用上述边缘曝光装置对对应的光阻层进行曝光的过程中，由于每个正方形光斑一次性只能覆盖对应的条形区域的一小部分，即每个点光源一次性只能对对应的条形区域的一小部分进行曝光，因此，需要通过机械的方式移动每个点光源或者基板载台，以使每个点光源完成对对应的条形区域的所有部分的曝光。而每个点光源或者基板载台的移动需要一定的时间，从而使得边缘曝光装置对位于非显示区域的所有光阻层进行曝光的时间较长，影响了制作显示基板的产能。

发明内容

本发明的目的在于提供一种边缘曝光装置及曝光方法，用于缩短边缘曝光装置对位于非显示区域的所有光阻层进行曝光的时间，提高制作显示基板的产能。

为达到上述目的，本发明提供的边缘曝光装置采用如下技术方案：

一种边缘曝光装置，该边缘曝光装置包括基板载台和位于所述基板载台上方的光源，所述光源包括至少两个相互平行的第一条形光源，每个所述第一条形光源的形状均与放置于所述基板载台上的基板的非显示区域的光阻层中、沿所述基板的长度方向延伸的条形区域的形状相匹配。

在本发明所提供的边缘曝光装置中，由于该边缘曝光装置中的光源包括至少两个相互平行的第一条形光源，且每个第一条形光源的形状均与对应的光阻层中沿基板的长度方向延伸的条形区域的形状相匹配，从而使得在使用该边缘曝光装置对对应的光阻层进行曝光的过程中，每个第一条形光源照射在对应的条形区域上所产生的光斑均能一次性覆盖该条形区域的所有部分，即每个第一条形光源均能一次性对对应的条形区域的所有部分进行曝光，因此，与现有技术相比，节约了现有技术中的点光源或者基板载台移动以使其产生的正方形光斑覆盖对应的条形区域的所有部分的时间，进而能够缩短边缘曝光装置对位于非显示区域的所有光阻层进行曝光的时间，提高了制作显示基板的产能。

本发明进一步提供了一种曝光方法，该曝光方法包括：

将基板放置在基板载台上；

使用位于所述基板载台上方的光源对所述基板的非显示区域的光阻层进行曝光；

其中，所述光源包括至少两个相互平行的第一条形光源，每个所述第一条形光源的形状均与放置于所述基板载台上的基板的非显示区域的光阻层中、沿所述基板的长度方向延伸的条形区域的形状相匹配。

在本发明所提供的曝光方法中，由于该曝光方法包括将基板放置在基板载台上，然后使用位于基板载台上方的光源对基板的非显示区域的光阻层进行曝光，其中，上述光源包括至少两个相互平行的第一条形光源，且每个第一条形光源的形状均与放置于基板载台上的基板的非显示区域的光阻层中、沿基板的长度方向延伸的条形区域的形状相匹配，因此，在使用该曝光方法对对应的光阻层进行曝光的过程中，每个第一条形光源照射在对应的条形区域上所产生的光斑均能一次性覆盖该条形区域的所有部分，即每个第一条形光源均能一次性对对应的条形区域的所有部分进行曝光，因此，与现有技术相比，节约了现有技术中的点光源或者基板载台移动以使其产生的正方形光斑覆盖对应的条形区域的所有部分的时间，进而能够缩短使用该曝光方法对位于非显示区域的所有光阻层进行曝光的时间，提高了制作显示基板的产能。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例中的第一种边缘曝光装置的结构示意图；

图2为本发明实施例中的第一种基板的结构示意图；

图3为本发明实施例中的第二种基板的结构示意图；

图4为本发明实施例中的第三种基板的结构示意图；

图5为本发明实施例中的第二种边缘曝光装置的结构示意图；

图6为本发明实施例中的第三种边缘曝光装置的结构示意图；

图7为本发明实施例中的第四种边缘曝光装置的结构示意图；

图8为本发明实施例中的第五种边缘曝光装置的结构示意图；

图9为本发明实施例中的第六种边缘曝光装置的结构示意图；

图10为本发明实施例中的第七种边缘曝光装置的结构示意图；

图11为本发明实施例中的第八种边缘曝光装置的结构示意图；

图12为本发明实施例中的第一种光斑宽度调整机构的结构示意图；

图13为本发明实施例中的第二种光斑宽度调整机构的结构示意图；

图14为本发明实施例中的第三种光斑宽度调整机构的结构示意图；

图15为本发明实施例中的第九种边缘曝光装置的结构示意图；

图16为本发明实施例中的第十种边缘曝光装置的结构示意图；

图17为本发明实施例中的第十一种边缘曝光装置的结构示意图；

图18为本发明实施例中的闭环控制系统的模块示意图。

附图标记说明：

1—基板载台；2—第一条形光源；3—条形区域；

4—第二条形光源；5—光斑宽度调整机构；6—挡板；

7—开口；8—光源支架；9—缓冲垫；

10—透镜组；11—蝇眼透镜；12—聚光镜；

13—滤光片；14—照度计；15—可编程逻辑控制器；

16—条形灯源控制箱。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一

本发明实施例提供了一种边缘曝光装置，如图1所示，该边缘曝光装置包括基板载台1和位于基板载台1上方的光源，光源包括至少两个相互平行的第一条形光源2，每个第一条形光源1的形状均与放置于基板载台1上的基板的非显示区域的光阻层中、沿基板的长度方向延伸的条形区域3的形状相匹配。

具体地，非显示区域的光阻层中条形区域3排布的形状包括但不限于以下几种：如图2所示，当在一个基板上仅制作一个显示区域时，非显示区域的光阻层位于基板的边缘，光阻层包括呈口字型排布的四个条形区域3；如图3所示，当在一个基板上制作两个显示区域时，非显示区域的光阻层位于基板的边缘和两个显示区域之间的位置，光阻层包括呈日字型排布的五个条形区域3；如图4所示，当在一个基板上制作四个显示区域时，非显示区域的光阻层位于基板的边缘和四个显示区域之间的位置，光阻层包括呈田字型排布的六个条形区域3。

进一步地，由于发光二极管(LightEmittingDiode，简称LED)可以频繁地开启和关闭，且具有很长的寿命(大于20000小时)，因此，本发明实施例中优选，第一条形光源2为发光二极管，从而使得边缘曝光装置中的第一条形光源2使用方便，且寿命长，进而使得边缘曝光装置不需要频繁地更换第一条形光源2，能够有效减少边缘曝光装置的维护成本。进一步地，由于通常光阻层中的光阻材料的感光波长范围为300纳米～450纳米，因此，本发明实施例中优选，第一条形光源2的波长范围为300纳米～450纳米。另外，当第一条形光源2的照度越大时，非显示区域的光阻层所需的曝光时间就越短，因此，本发明实施例中优选，第一条形光源2的照度大于500mW/cm²。另外，第一条形光源2的照度均一性越好，对光阻层进行曝光的效果越好，其中，第一条形光源2的照度的最大值与照度的最小值之差除以照度的最大值与照度的最小值之和所得的商越小，第一条形光源2的照度均一性越好，因此，本发明实施例中优选，第一条形光源2的照度的最大值与照度的最小值之差除以照度的最大值与照度的最小值之和所得的商小于0.2。类似地，后续提及的第二条形光源4也可参照上述内容进行选择。

在本发明实施例所提供的边缘曝光装置中，由于该边缘曝光装置中的光源包括至少两个相互平行的第一条形光源，且每个第一条形光源的形状均与对应的光阻层中沿基板的长度方向延伸的条形区域的形状相匹配，从而使得在使用该边缘曝光装置对对应的光阻层进行曝光的过程中，每个第一条形光源照射在对应的条形区域上所产生的光斑均能一次性覆盖该条形区域的所有部分，即每个第一条形光源均能一次性对对应的条形区域的所有部分进行曝光，因此，与现有技术相比，节约了现有技术中的点光源或者基板载台移动以使其产生的正方形光斑覆盖对应的条形区域的所有部分的时间，进而能够缩短边缘曝光装置对位于非显示区域的所有光阻层进行曝光的时间，提高了制作显示基板的产能。

下面结合边缘曝光装置对非显示区域的光阻层进行曝光的曝光过程对边缘曝光装置的结构进行进一步的说明。本发明实施例中以非显示区域的光阻层包括呈田字型排布的六个条形区域3为例，如图4所示，上述六个条形区域3由两组条形区域组成，其中一组条形区域3包括沿基板的长度方向延伸的三个条形区域3，另外一组条形区域3包括沿基板的宽度方向延伸的三个条形区域3。边缘曝光装置对具有其他结构的非显示区域的光阻层进行曝光时的曝光过程，本领域技术人员可以结合以下内容获得，本发明实施例不再进行赘述。

具体地，边缘曝光装置可以对上述六个条形区域3一起进行曝光，也可以分次进行曝光。

示例性地，当边缘曝光装置对六个条形区域3一起曝光时，光源包括六个个条形光源，六个条形光源拼接而成的图案与光阻层的图案相同。

示例性地，当边缘曝光装置对六个条形区域3分次曝光时，可以先对沿基板的长度方向延伸的三个条形区域3进行曝光，然后对沿基板的宽度方向延伸的三个条形区域3进行曝光。需要说明的是，上述两组条形区域3的曝光顺序可以反过来。

下面结合边缘曝光装置对沿基板的长度方向延伸的三个条形区域3进行曝光的曝光过程对边缘曝光装置的光源的两种具体实施方式进行描述：

实施方式一，如图5所示，光源包括两个第一条形光源2，每个第一条形光源2可沿其宽度方向移动。当边缘曝光装置对沿基板的长度方向延伸的三个条形区域3进行曝光时，可以使上述两个第一条形光源2先对两个条形区域3进行曝光，然后，其中一个第一条形光源2沿其宽度方向移动，从而使其对未被曝光的条形区域3进行曝光。例如，当基板尺寸为1500毫米×1850毫米时，第一条形光源2的可移动范围为0毫米～1100毫米，以使第一条形光源2能够移动至未被曝光的条形区域3上方，并对其进行曝光。示例性地，可以通过直驱伺服马达带动第一条形光源2的移动。

实施方式二，如图6所示，光源包括三个第一条形光源2，上述三个第一条形光源2可以一次性对对应的三个条形区域3进行曝光。其中，上述三个第一条形光源2均可以沿各自的宽度方向移动，以调整每个第一条形光源2的位置，使其位于对应的条形区域3的上方。例如，当基板尺寸为1500毫米×1850毫米时，每个第一条形光源2的可移动范围均为0毫米～100毫米，以使每个第一条形光源2能够移动至对应的条形区域3上方，并对其进行曝光。示例性地，可以通过直驱伺服马达带动第一条形光源2的移动。

当边缘曝光装置完成对沿基板的长度方向延伸的三个条形区域3的曝光后，接着需要对沿基板的宽度方向延伸的三个条形区域3进行曝光，示例性地，对沿基板的宽度方向延伸的三个条形区域3进行曝光的具体实施方式包括以下两种：

实施方式一，如图7所示，基板载台1可以沿顺时针方向或者逆时针方向进行旋转，其中，基板载台1旋转的角度范围为0°～270°。当边缘曝光装置完成对沿基板的长度方向延伸的三个条形区域3的曝光后，旋转基板载台1以使置于基板载台1上的基板沿顺时针或者逆时针方向旋转90°，从而使得第一条形光源2可以对上述沿基板的宽度方向延伸的三个条形区域3进行曝光，此时，可以根据实际情况对三个第一条形光源3的位置进行适当调整，以使其位于沿基板的宽度方向延伸的三个条形区域3的上方。在该实施方式中，边缘曝光装置是通过旋转基板载台1的方式来对沿基板的宽度方向延伸的三个条形区域3进行曝光，从而节约了传送带的位置，进而使得该边缘曝光装置的整体尺寸较为紧凑，方便安装于对空间要求较高的区域中。例如，当基板尺寸为1500毫米×1850毫米时，边缘曝光装置的尺寸为3200毫米×2800毫米。需要说明的是，当光源包括两个第一条形光源2或者三个第一条形光源3时，在基板载台1旋转后对沿基板的宽度方向延伸的三个条形区域3的进行曝光时的操作方式，与对沿基板的长度方向延伸的三个条形区域3的进行曝光时的操作方式相同，本发明实施例不再进行赘述。

实施方式二，如图8所示，光源还包括至少两个相互平行的第二条形光源4，第二条形光源4的长度方向与第一条形光源2的长度方向垂直，每个第二条形光源4的形状均与光阻层中沿基板的宽度方向延伸的条形区域3的形状相匹配。当边缘曝光装置完成对三个沿基板的长度方向延伸的条形区域3的曝光后，将基板传送至第二条形光源4所在区域，通过第二条形光源4对上述沿基板的宽度方向延伸的三个条形区域3进行曝光。在该实施方式中，可以方便地将该边缘曝光装置改装成后续工艺所要使用的打码机，节约了设备的成本。其中，该实施方式中的边缘曝光装置的光源的具体结构包括以下两种情况：

情况一，如图9所示，光源包括两个第一条形光源2，光源还包括两个第二条形光源4，第一条形光源2和第二条形光源4分别位于沿基板载台1移动方向依次排布的两个区域内，每个第一条形光源2可沿其宽度方向移动，每个第二条形光源4可沿其宽度方向移动。

情况二，如图10所示，光源包括三个第一条形光源2，光源还包括三个第二条形光源4，第一条形光源2和第二条形光源4分别位于沿基板载台1移动方向依次排布的两个区域内。

使用包括以上两种具体结构的光源的边缘曝光装置对光阻层进行曝光的过程中，均是先使用两个或三个第一条形光源2对沿基板的长度方向延伸的三个条形区域3进行曝光，然后移动基板载台1以将基板传送至第二条形光源4所在区域，使两个或三个第二条形光源4对沿基板的宽度方向延伸的三个条形区域3进行曝光。示例性地，基板载台1的移动速度范围为5～25米/分钟。

其中，两个或三个第一条形光源2对沿基板的长度方向延伸的三个条形区域3进行曝光的操作方式之前已经进行相关描述，两个或三个第二条形光源4对沿基板的宽度方向延伸的三个条形区域3进行曝光的操作方式与之类似，此处不再进行赘述。

需要说明的是，为了清楚的呈现图中的每个结构，图7、图8、图9和图10中的第一条形光源2和第二条形光源4的位置与对应的条形区域3的位置有错位，实际上，上述第一条形光源2和第二条形光源4均应位于对应的条形区域3的上方。

还需要补充的是，为了使上述第一条形光源2和第二条形光源4发出的光线能够覆盖住对应的条形区域3，第一条形光源2的长度最好大于基板的长度，且第二条形光源4的长度最好大于基板的宽度，例如，当基板尺寸为1500毫米×1850毫米时，第一条形光源2的长度可以大于1900毫米，第二条形光源4的长度可以大于1550毫米。

此外，如图11所示，本发明实施例中的边缘曝光装置还可以包括多个与条形光源一一对应的光斑宽度调整机构5，每个光斑宽度调整机构5设置于基板载台1和对应的条形光源之间，每个光斑宽度调整机构5用于控制条形光源照射在对应的条形区域3上所产生的光斑的宽度。其中，当边缘曝光装置中的光源仅包括第一条形光源2时，条形光源为第一条形光源2；当边缘曝光装置中的光源包括第一条形光源2和第二条形光源4时，条形光源包括第一条形光源2和第二条形光源4。因此，当边缘曝光装置需要对宽度不同的条形区域3进行曝光时，可以通过光斑宽度调整机构5来控制条形光源照射在对应的条形区域3上所产生的光斑的宽度，即可使得光斑能够覆盖条形区域3的所有部分，从而使得条形光源3对非显示区域的光阻层进行曝光，进而使得该边缘曝光装置具有较大的灵活性。进一步地，光斑宽度调整机构5的具体实施方式包括如下两种：

实施方式一，如图12所示，每个光斑宽度调整机构5包括沿条形光源的宽度方向设置的一个挡板6。其中，挡板6的长度不小于对应的条形光源的长度，挡板6的宽度不小于对应的条形光源的宽度。当不需要对条形区域3进行曝光时，光斑宽度调整机构5可以完全遮挡对应的条形光源发出的光线照射至条形区域3上。当需要对条形区域3进行曝光时，挡板6可沿条形光源的宽度方向移动以露出条形区域3，并通过挡板6移动的距离来控制露出的条形区域3的宽度。当挡板6移动了设定距离，对应的条形光源发出的光线能够照射至条形区域3上以产生能够覆盖条形区域3的所有部分的光斑。

实施方式二，如图13和图14所示，每个光斑宽度调整机构5包括沿对应的条形光源的宽度方向依次设置的多个挡板6。其中，多个挡板6的个数不少于两个，且每个挡板6的长度不小于对应的条形光源的长度，每个光斑宽度调整机构5包括的所有挡板6的宽度总和不小于对应的条形光源的宽度。当不需要对条形区域3进行曝光时，光斑宽度调整机构5可以完全遮挡对应的条形光源发出的光线照射至条形区域3上。当需要对条形区域3进行曝光时，多个挡板6中的至少一个挡板6可移动以形成沿对应的条形光源的长度方向延伸的开口7。当挡板6移动了设定距离，光斑宽度调整机构5对应的条形光源发出的光线通过上述开口7照射至条形区域3上，从而产生能够覆盖条形区域3的所有部分的光斑。

示例性地，如图13所示，每个光斑宽度调整机构5包括两个挡板6，其中至少一个挡板6可沿对应的条形光源的宽度方向移动以形成开口7，并可以通过两个挡板6之间相对移动的距离来控制开口7的宽度。如图14所示，每个光斑宽度调整机构5包括三个挡板6，其中至少一个挡板可沿对应的条形光源的长度方向移动，以形成开口7，并可以通过所移动的挡板6的数量和/或挡板6的宽度来控制开口7的宽度。其中，由于图13所示的包括两个挡板6的光斑宽度调整机构5的结构简单，且开口7的宽度控制精确，从而可以精确控制光斑的宽度，进而使得条形区域6的曝光精度较高，因此，本发明实施例中优选图13所示的包括两个挡板6的光斑宽度调整机构5。

需要说明的是，挡板6的个数不局限于一个、两个和三个，挡板6的移动方式也不局限于以上几种，本领域技术人员可以根据实际需要进行选择。

此外，如图15所示，本发明实施例所提供的边缘曝光装置还可以包括光源支架8和多个与条形光源一一对应的缓冲垫9，光源支架8用于固定光源和带动光源移动，缓冲垫9设置于光源支架8的底部，用于防止光源支架8与基板的接触，进而避免对基板的损伤。此外，缓冲垫9还能起到防止光线照射至显示区域的光敏感元件上的作用。

此外，如图16所述，本发明实施例中的边缘曝光装置还可以包括多个与条形光源一一对应的透镜组10，每个透镜组10设置于对应的条形光源与基板载台1之间，且每个透镜组10包括远离条形光源方向依次设置的两个蝇眼透镜11和一个聚光镜12，该透镜组10用于将条形光源发出的光线调节成均匀的平行的光线，照射至对应的条形区域3上。

此外，如图17所示，本发明实施例中的边缘曝光装置还可以包括多个与条形光源一一对应的滤光片13，每个滤光片13设置于对应的条形光源与基板载台1之间，滤光片13用于对对应的条形光源发出的光线进行过滤，因此，当非曝光区域的光阻层的材料不同而需要改变曝光波长时，只需要更换相应的滤光片13即可，从而使得本发明实施例所提供的边缘曝光装置具有很大的灵活性。示例性地，上述滤光片13可以为使g线(波长为436纳米)或者h线(波长为405纳米)或者l线(波长为365纳米)的光线通过的滤光片。

此外，如图18所示，本发明实施例所提供的边缘曝光装置还可以包括闭环控制系统，闭环控制系统包括设置于条形光源与条形区域之间的照度计14、与照度计14连接的可编程逻辑控制器15、与可编程逻辑控制器15连接的条形光源控制箱16，其中，条形光源控制箱16与条形光源连接。具体地，照度计14测量条形光源发出的光线照射至对应的条形区域3上的所形成的光斑的照度，并将该照度传输至可编程逻辑控制器15，可编程逻辑控制器15对照度进行判断，以确定该照度与目标照度之间的大小关系，然后根据该大小关系输出逻辑信号至条形光源控制箱16，条形光源控制箱16根据逻辑信号输出电压控制信号，以对条形光源进行调节，以使上述光斑的照度为目标照度。因此，本发明实施例所提供的边缘曝光装置可以实时测量条形光源发出的光线照射至对应的条形区域3上的所形成的光斑的照度，进而可以精确控制条形区域的曝光量。

综上所述可知，本发明实施例所提供的边缘曝光装置除了能够缩短使用该边缘曝光装置对位于非显示区域的所有光阻层进行曝光的时间，提高制作显示基板的产能，还具有如下有益效果：不需要移动条形光源以完成对对应的条形区域3的所有部分的曝光，从而避免了现有技术中点光源的机械移动而导致的精度损失，并且避免了现有技术中点光源的机械移动而导致颗粒掉落在基板上的问题。另外，现有技术中点光源更换后需要对其进行焦距对位，从而导致点光源的调整时间较长(大于两小时)，而条形光源更换后的调整方式较为简单。另外，本发明实施例所提供的边缘曝光装置的结构简单，相比于现有技术，设备价格可以降低30％～50％。

实施例二

本发明实施例提供了一种曝光方法，该曝光方法包括将基板放置在基板载台1上，然后使用位于基板载台1上方的光源对基板的非显示区域的光阻层进行曝光。其中，光源包括至少两个相互平行的第一条形光源2，每个第一条形光源2的形状均与放置于基板载台上的基板的非显示区域的光阻层中、沿基板的长度方向延伸的条形区域3的形状相匹配。

在本发明实施例所提供的曝光方法中，由于该曝光方法包括将基板放置在基板载台1上，然后使用位于基板载台1上方的光源对基板的非显示区域的光阻层进行曝光，其中，上述光源包括至少两个相互平行的第一条形光源2，且每个第一条形光源2的形状均与放置于基板载台上的基板的非显示区域的光阻层中、沿基板的长度方向延伸的条形区域3的形状相匹配，因此，在使用该曝光方法对对应的光阻层进行曝光的过程中，每个第一条形光源照射在对应的条形区域上所产生的光斑均能一次性覆盖该条形区域的所有部分，即每个第一条形光源均能一次性对对应的条形区域的所有部分进行曝光，因此，与现有技术相比，节约了现有技术中的点光源或者基板载台移动以使其产生的正方形光斑覆盖对应的条形区域的所有部分的时间，进而能够缩短使用该曝光方法对位于非显示区域的所有光阻层进行曝光的时间，提高了制作显示基板的产能。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于方法实施例而言，由于其基本相似于装置实施例，所以描述得比较简单，相关之处参见装置实施例的部分说明即可。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种边缘曝光装置，其特征在于，包括基板载台和位于所述基板载台上方的光源，所述光源包括至少两个相互平行的第一条形光源，每个所述第一条形光源的形状均与放置于所述基板载台上的基板的非显示区域的光阻层中、沿所述基板的长度方向延伸的条形区域的形状相匹配。

2.根据权利要求1所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述光源包括两个所述第一条形光源，每个所述第一条形光源可沿其宽度方向移动。

3.根据权利要求1所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述光源还包括至少两个相互平行的第二条形光源，所述第二条形光源的长度方向与所述第一条形光源的长度方向垂直，每个所述第二条形光源的形状均与所述光阻层中沿所述基板的宽度方向延伸的条形区域的形状相匹配。

4.根据权利要求3所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述光源包括两个所述第一条形光源，所述光源还包括两个所述第二条形光源，所述第一条形光源和所述第二条形光源分别位于沿所述基板载台移动方向依次排布的两个区域内，每个所述第一条形光源可沿其宽度方向移动，每个所述第二条形光源可沿其宽度方向移动。

5.根据权利要求1～4任一项所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述边缘曝光装置还包括多个与条形光源一一对应的光斑宽度调整机构，每个所述光斑宽度调整机构设置于所述基板载台和对应的所述条形光源之间，每个所述光斑宽度调整机构用于控制所述条形光源照射在所述条形区域上所产生的光斑的宽度，其中，所述条形光源为第一条形光源，或者，所述条形光源包括第一条形光源和第二条形光源。

6.根据权利要求5所述的边缘曝光装置，其特征在于，每个所述光斑宽度调整机构包括沿所述条形光源的宽度方向设置的一个挡板；其中，所述挡板的长度不小于对应的所述条形光源的长度，所述挡板的宽度不小于对应的所述条形光源的宽度，所述挡板可移动以露出所述条形区域。

7.根据权利要求5所述的边缘曝光装置，其特征在于，每个所述光斑宽度调整机构包括沿对应的所述条形光源的宽度方向依次设置的多个挡板；其中，每个所述挡板的长度不小于对应的所述条形光源的长度，每个所述光斑宽度调整机构包括的所有挡板的宽度总和不小于对应的所述条形光源的宽度，多个所述挡板中的至少一个挡板可移动以形成沿对应的所述条形光源的长度方向延伸的开口，所述光斑宽度调整机构对应的条形光源发出的光线通过所述开口照射至所述条形区域上。

8.根据权利要求7所述的边缘曝光装置，其特征在于，每个所述光斑宽度调整机构包括两个所述挡板，其中至少一个所述挡板可沿对应的所述条形光源的宽度方向移动以形成所述开口。

9.根据权利要求1～4任一项所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述边缘曝光装置还包括光源支架和多个与条形光源一一对应的缓冲垫，所述缓冲垫设置于所述光源支架底部，其中，所述条形光源为第一条形光源，或者，所述条形光源包括第一条形光源和第二条形光源。

10.一种曝光方法，其特征在于，包括：

将基板放置在基板载台上；

使用位于所述基板载台上方的光源对所述基板的非显示区域的光阻层进行曝光；

其中，所述光源包括至少两个相互平行的第一条形光源，每个所述第一条形光源的形状均与放置于所述基板载台上的基板的非显示区域的光阻层中、沿所述基板的长度方向延伸的条形区域的形状相匹配。