CN105121109A - 实现提升摆动的线锯 - Google Patents

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Abstract

揭示摆动晶锭I并进行切断的线锯1。这种线锯1包括：第1驱动块100、第2驱动块110及锭架120。第1驱动块100移动时，第2驱动块110向与第1驱动块100的移动方向垂直的方向移动，与此同时锭架120摆动。而且，升降块73向晶锭的切断方向(Z轴方向)移送锭架120时，则与第1驱动块100或第2驱动块(1110)相互独立地移动。由此，不仅可以使晶锭I与升降块73独立地摆动，而且还可以抑制晶锭I向左右移动，而且只靠一个第1驱动块100来控制，由此控制简易结构简单。

Description

实现提升摆动的线锯
技术领域
本发明涉及用于切断陶瓷或单结晶晶锭(ingot)的线锯，更具体的，本发明涉及在行进的锯丝上摆动晶锭，切断成多个薄晶片的线锯。
背景技术
通常作为将GaAs、GaP、InP、Quartz、Sapphire、其它陶瓷或单结晶晶锭切断成多个薄晶片的设备，广泛地使用每单位时间内生产收率高的线锯。线锯是基本上以直径1㎜以下，较好是200μm左右的钢琴钢丝或不锈钢钢丝的锯丝作为媒介通过与像金刚石一样的研磨剂的相互作用来切断晶锭的设备。在利用线锯的晶锭切断中，限制锯丝偏移在最小程度内，并且在晶锭切断工序中，需要可以使锯丝与晶锭接触的长度(ContactLengh)(以下称为“接触长度”)最小化的工序条件，尤其是对应用于节省半导体工序费用的晶锭大型化的趋势及像蓝宝石一样的高硬度晶锭，需要高速精密切断技术。
与上述的晶锭切断功能提高及高速精密切断技术相关，美国专利第4,646,710号揭示，在两个导轮配置金刚石切割锯丝，以高速往复行进锯丝，同时锭架上固定晶锭的状态下摆动晶锭切断成薄晶片的线锯(以下简称“现有技术1”)。如现有技术1揭示，据悉接触长度减小时，晶锭和金刚石之间的作用压力变大而改善切割力，且锯丝偏移程度小而左右摇动减小，可以进行高速精密切断。
通常锯丝的接触长度是根据锯丝偏移、锯丝支撑点之间的距离、切入负载、锯丝行进速度或晶锭的移送速度、及金刚石的形态或大小等各个条件而不同。然而，在现有技术1中可以看出，摆动晶锭时，由于根据摆动条件可以形成晶锭切割剖面的曲率半径的变化及接触长度的变化，因此摆动晶锭切断的工序作为可以减小接触长度并提高切割性的有用方案。
而且，根据现有技术1，锯丝偏移(Deflection)、晶锭切割剖面(CutProfile)的曲率半径及接触长度之间的关系由下述数学式1表示。
[数学式1]
B≒2Rtan-1(D/L)/57.296
在此，B是接触长度，R是晶锭切割剖面的曲率半径，D是锯丝偏移，以及L是支撑锯丝的两个导轮之间的1/2距离。从所述数学式1中，已知接触长度时，曲率半径(R)是28.648B/tan-1(D/L)，但实际的曲率半径应该是其以下的值。
另一方面，摆动晶锭时，切割剖面的曲率半径是根据摆动中心轴和切割点之间的距离而不同。例如，对于晶锭切断面的宽度为c的四角形晶锭，以小于90°的锐角摆动晶锭，并以半径R的曲率切割时，接于晶锭上端部的半径R的曲率与晶锭侧线交叉的点至晶锭上端部的垂直距离为h时，曲率半径R是在几何关系上如同下述数学式2。
[数学式2]
R＝(c2+4h2)/8h
如此，在晶锭的中心以大角度摆动，使接触长度变得最小，非常值得，但具有固定晶锭的锭架与锯丝及/或导轮接触或干涉，或者需要确保锭架摆动空间的问题，因此在晶锭中心的摆动角度只能被限制。然而，为了以接近点接触的接触长度切割晶锭，并形成圆弧状的切割剖面，晶锭切割点(晶锭和锯丝接触而被切割的地点)必须在以摆动角度表示的摆动范围内。若晶锭切割点脱离摆动角度范围时，锯丝与晶锭线接触形成直线上的切割剖面，则切断抵抗变大，切割性降低，不值得采取。因此，为了在晶锭的切断面整个区域具有接近点接触的接触长度，并形成圆弧状的切割剖面，晶锭切割点必须在以摆动角度表示的摆动角度范围内存在才行。所以，在晶锭摆动机构中，晶锭摆动角度虽然只能受限制，但尽量使其越大越好。
另一方面，锯丝偏移(D)是在确保锭架的摆动空间或是在与晶锭摆动轴和晶锭摆动角度的关系中将导轮之间的距离变大的情况下，即使以相同的锯丝及一定的切入负载切割晶锭，锯丝偏移(D)还是变大，随着锯丝偏移(D)的增加接触长度也变大，切割性就降低。因此，需要与晶锭的摆动一起使导轮之间的距离最小化的方案，与其相关的例子，在日本专利第3,539,773号(称为“现有技术2”)及美国专利第6,886,550号(称为“现有技术3”)揭示可以减小晶锭的摆动和导轮干涉的方案。现有技术1是组合向左右往复的两个并进机构，使得晶锭切割点相对于导轮始终位于一定的位置，为此通过两个并进机构必须形成作为摆动中心的固定点(以下称为“振动点”)。若没有形成一个振动点时，切割点相对于导轮不能位于固定的位置。如此，现有技术1与现有技术2比较时，很明显的，并进机构和旋转机构只是有旋转手段上的差异，两个结构是相互相同。因此，在现有技术1和现有技术2的晶锭摆动单位9以α角度摆动时，升降块是以(1-cosα)移动，摆动1次时，升降块反复上升和下降2次。即，在现有技术1和现有技术2揭示的摆动单位是并进机构、旋转机构及升降机构相互组合的构成。而且，现有技术1和现有技术2的摆动单位，在晶锭的中心上有振动点时，由于没有晶锭的左右移动，由此可以减小对于摆动空间的限制，并可以缩小导轮之间的距离，是个最理想的情形。
然而，通常在线锯，具有与晶锭的切入深度成比例，必须以一定的比率移送升降块的问题。升降块重达1吨(ton)以上，在升降块的上升及下降循环期间，由于滞后(hysteresis)特性移送负载改变，因此按切入深度以一定比率下降升降块较好，而且尽量避免采用上升升降块的方式较好。可是，在根据现有技术2和现有技术3的线锯中，因为摆动单位不仅包括升降块的上升模式，而且还包括上升及下降循环，具有控制困难，精密度降低且工序时间变长的问题。而且，不能大幅移动升降块，因此随着其移动量(1-cosα)的变小，不能把摆动角度α变大，所以锭架的旋转半径变大，具有整个设备非效率的成大型化的问题。还有，为了摆动需要控制的机构多，控制变数也多，控制变得复杂，并且构成部件多，结构也复杂，具有设备费用变大的问题。
发明内容
本发明是为了解决如上所述的问题而提出，其目的是提供，在线锯中，可以使导轮之间的距离最小化，并摆动晶锭以提高切割晶锭性能的方案。
为了完成如上所述的目的，根据本发明的线锯，包括：第1驱动块和第2驱动块，向相互垂直的方向移动；锭架，连接于所述第1驱动块及第2驱动块，以便可以随着第1驱动块和第2驱动块中至少一个的移动而摆动；以及升降块，向平行晶锭的切断方向移送所述锭架。
在根据本发明的线锯中，所述锭架可以配置在第1驱动块和第2驱动块之间，所述第1驱动块与锯丝行进方向平行地移动，而且所述第2驱动块与晶锭的切断方向平行地移动较好。
在根据本发明的线锯中，所述锭架可以与第1驱动块及第2驱动块中的至少一个以枢轴轴来连接。
在根据本发明的线锯中，所述锭架是通过第1枢轴轴与第1驱动块连接，通过第2枢轴轴与第2驱动块连接，而且所述第1枢轴轴和第2枢轴轴之间的距离在晶锭摆动中保持一定较好。
尤其是，在根据本发明的线锯中，所述第1枢轴轴和第2枢轴轴中的任一个在所述锭架的摆动中向相互垂直的方向移动较好。
而且，在根据本发明的线锯中，所述第1驱动块及第2驱动块中的任一个部件向平行锯丝行进的方向移动的距离符合下述数学式较好。
<数学式3>
在此，Sy是移动的距离，是所述第1枢轴轴和所述第2枢轴轴的中心距离，以及α是锭架摆动的角度。
根据本发明另一观点的线锯可以包括：第1驱动块，向平行锯丝行进的方向移动；锭架，与所述第1驱动块以枢轴轴连接；以及第2驱动块，随着所述第1驱动块的移动与晶锭的切断方向平行地移动，同时设置在所述锭架上以便锭架以枢轴轴为中心摆动。
根据本发明又一观点的线锯可以包括：锭架，保持晶锭；以及第1枢轴轴和第2枢轴轴，设置在锭架上，以便所述锭架具有第1旋转中心线和第2旋转中心线而旋转，而且所述第1枢轴轴和第2枢轴轴以相互垂直的方向移动，由此使所述锭架摆动。
还有，根据本发明又一观点的线锯可以包括：至少2个导轮，设置在框架上用于向导向单方向或双方向行进的锯丝；升降块，设置在框架上以便与晶锭的切断方向平行地升降；第1驱动块，设置在升降块以便与锯丝的行进方向平行地移动；第2驱动块，设置在框架或升降块，以便与晶锭的切断方向平行地移动；以及锭架，与第1驱动块及第2驱动块结合，以便随着第1驱动块和第2驱动块中的任一第1部件移动而摆动。
进而，根据本发明的线锯可以包括：第1轨道，与锯丝的行进方向平行地设置在所述升降块；第2轨道，与晶锭的切断方向平行地设置在所述框架或升降块；第1滑动导向，安装在所述第1驱动块，以便随着所述第1轨道移动；以及第2滑动导向，安装在所述第2驱动块，以便随着所述第2轨道移动。在此，在所述第1轨道及第2轨道上形成突出或槽沟，以便向导第1滑动导向及第2滑动导向移动较好。
根据这种构成，与升降块的移动毫无关系的，在锯丝的行进方向上晶锭不需左右并进移动而可以摆动，而且通过一个驱动块可以避免晶锭摆动及左右并进移动，由此结构及控制变得简易。
附图说明
图1是采用根据本发明的晶锭摆动单位的线锯整体构成的示意正视图。
图2是采用根据本发明的摆动单位的线锯的详细正视图。
图3是采用根据本发明的摆动单位的线锯侧面图。
图4是采用根据本发明的摆动单位的线锯部分截面图。
图5是采用根据本发明的摆动单位的线锯平面图。
图6是可以采用根据本发明的摆动单位的一例，显示滑动导向的斜视图。
图7是可以采用根据本发明的摆动单位的一例，显示锭架的部分分离斜视图。
图8是切开图4的A-A线显示的根据本发明的线锯截面图。
图9是在根据本发明的线锯中，用于说明晶锭摆动的图面，图9的(a)是晶锭沿着锯丝向右侧摆动的状态截面图，图(b)是晶锭位于中央的状态截面图，以及图(c)是晶锭沿着锯丝向左侧摆动的状态截面图。
图10是通过根据本发明的第1驱动块的定速控制，对于摆动角度显示角速度变化的图形。
图11是根据晶锭切割点的变化，用于说明负载变化的概念图。
图12是根据在锯丝接触的晶锭切割点的变化，显示负载变化的图形。
[附图标记说明]
I：晶锭R1，R2：导轮
1：线锯3：框架
5：晶锭切断单位7：晶锭升降单位
9：晶锭摆动单位31：基座框架
33：支柱35：升降导轨
37：移送螺丝39：移送马达
51：锯丝53：锯丝移送机构
71：滑块73：升降块
80：摆动框架82：第1轨道
85：侧台面86：第2轨道
100：第1驱动块103：第1滑动导向
110：第2驱动块113：第2滑动导向
120：锭架121：晶锭安装器
123：旋转臂124：第1枢轴轴
125：第2枢轴轴140：摆动马达
144：小齿轮146：齿条
160：晶锭固定单位161：工作板
163：虚拟梁
具体实施方式
在采用根据本发明的摆动单位的线锯中，对术语的意义进行说明。在根据本发明的摆动单位的说明中使用的“切断平面”是指，由锯丝切断晶锭的平面，与晶锭的切断方向平行，并垂直于锯丝行进方向的平面。而且关于根据本发明的摆动单位的说明及显示，晶锭切断方向是Z轴方向，锯丝行进方向是Y轴方向，以及垂直切断平面的方向是X轴方向，而且左边或左侧、或者右边或右侧是指在Y轴方向上的左边或左侧、或者右边或右侧，上面或上侧、或者下面或下侧是指在Z轴方向上的上面或上侧、或者下面或下侧，前方或前面、或者后方或后面是指在X轴方向上前方或前面、或者后方或后面。
以下结合附图，以根据本发明的较佳实施例，对线锯进行详细的说明。
图1是采用根据本发明的晶锭摆动单位的线锯整体构成的示意正视图。
参照图1，线锯1包括在框架3上设置的切断单位5、升降单位7及摆动单位9。在此，除了所述摆动单位9和升降单位7以外，与公知的现有线锯相互相同。
所述切断单位5包括导轮R1、R2，锯丝51及锯丝移送机构53。所述导轮R1、R2是由2个形成一对相互平行的设置在框架3上，并由马达驱动。优选地，在其外周面形成导沟(未图示)时，锯丝51被圆滑地导向切断区域。
所述锯丝移送机构53包括送出卷筒11、导向滑轮13、张力滑轮15及卷取卷筒17。如公知所示，在送出卷筒11卷绕长50～100km的锯丝51，通过马达11-1从送出卷筒11解下锯丝51经过多个导向滑轮13，经过张力滑轮15，经过附着有张力测定用称重传感器19的导向滑轮，依序卷挂在导轮R1、R2的导沟上形成锯丝列，在经过多个导向滑轮13，通过附着有称重传感器19的导向滑轮，经过张力滑轮15'，锯丝51卷绕在借马达17-1旋转的卷取卷筒17上。而且，内置张力臂21及编码器的马达20、20'振动张力滑轮15、15'，由此锯丝51以一定的张力卷绕在导轮R1、R2上。这种锯丝移送机构53是由控制单位(未图示)控制，用于切割晶锭I的锯丝51在导轮R1、R2之间具有一定的张力以300～1200m/min的速度向单方向或向双方向往复行进，接着向行进的锯丝51移送晶锭I，由此按相当于锯丝之间间隔的厚度被切断制作成晶片。
所述锯丝51可以使用碳含量0.8～0.9质量％、直径80～180μm的钢琴钢丝。而且，在所述锯丝51上，可以电镀像金刚石一样的研磨剂直接附着在锯丝51，或与冷却用切割加工液一起以泥浆形态提供给锯丝51。此时，所述切割加工液可以将水作为主成分，或是可以混合其它本发明领域中公知的切割剂，且通过泵(未图示)经过具有电磁阀的管道(未图示)及喷嘴23提供给锯丝51。
图2是采用根据本发明的摆动单位的线锯的详细正视图，而且图3是采用根据本发明的摆动单位的线锯侧面图。
参照图2和图3，框架3具备安装导轮R1、R2的基座框架31，和从所述基座框架31以向上突出的形状配置的支柱33。
在所述基座框架31上，导轮R1、R2的主轴53是由轴承55承轴。而且，在所述支柱33上，向Z轴方向(晶锭的切断方向)配置2个升降轨道35以便升降单位7移动，并为了向移送螺丝37(参照图4)传达动力，设置与减速器38连接的升降马达39。在所述减速器38的轴端安装有驱动滑轮38a，并在移送螺丝37(参照图4)的轴端安装有从动滑轮37a，而且作为传动手段在所述驱动滑轮38a和从动滑轮37a上围绕着同步带34。
所述升降单位7包括滑动导向71、升降块73及摆动框架80。为使所述滑动导向71在升降轨道35上下移动，以4个为一组一体设置在升降块73上，而且，为使升降块73向Z方向移动，移送螺丝37设置在升降块73上。在此，所述滑动导向71可以夹在燕尾(dovetail)槽而具有在升降轨道35上滑动的结构，或是具有滚动轴承在升降轨道35上作为无粘滑现象(stickslide)地移动的轴承导向(参照图6)，亦可以由本发明的技术领域中其它已公知使用的多种形状、结构或其组合构成。
所述摆动框架80是根据本发明的一较佳实施例，是用于说明并显示摆动单位9，显然根据摆动单位9的构成及结构其形状及结构也可以采取多种变形，只是作为实施根据本发明的摆动单位9的较佳实施例，摆动框架80在其下侧设置摆动单位9，并开放以便形成摆动空间，而且包括基本台面81和侧台面85，整体上形成“┐”截面形状。
所述基本台面81是从升降块73向前方曲折突出的形状，在其底面向Y轴方向设置两个第1轨道82。而且，在所述基本台面设置与减速器142连接的摆动马达140，并在所述减速器142的输出端设置有小齿轮144。
所述侧台面85是从升降块73向下侧突出延长的形状，在其正面向Z轴方向设置第2轨道86。如此在摆动框架80安装摆动单位9，由控制单位(未图示)驱动升降马达39时，通过移送螺丝37的旋转及升降单位7的上下移动，摆动单位9也一起移动。
图4是采用根据本发明的摆动单位的线锯部分截面图。
参照图3及图4，根据本发明观点的摆动单位9包括：第1驱动块110和第2驱动块110，向相互垂直的方向移动；锭架120，连接于所述第1驱动块100及第2驱动块110，以便可以随着第1驱动块100和第2驱动块110中至少一个的移动而摆动。而且，根据本发明另一观点的摆动单位9可以包括：第1驱动块100，向平行锯丝51行进的方向移动；锭架120，与所述第1驱动块100以枢轴轴124连接；以及第2驱动块110，随着所述第1驱动块100的移动与晶锭I的切断方向平行地移动，同时设置在所述锭架120上以便锭架120摆动。尤其是，根据本发明又一观点的线锯1包括：锭架120，保持晶锭I；以及第1枢轴轴124和第2枢轴轴125，设置在锭架120上，以便所述锭架120具有第1旋转中心线H1和第2旋转中心线H2而旋转，而且所述第1枢轴轴124和第2枢轴轴125以相互垂直的方向移动，由此可以使所述锭架摆动。如此，根据本发明的摆动单位可以实施为多种实施例及变形例，只是作为一较佳实施例，以下进行更具体更详细的说明，为了便于说明及理解，将摆动框架80或摆动单位9区分为单位部件或部分，边命名或标示，边图示并说明。
参照图3及图4，所述第1驱动块100具有本体块100a和叶片块100b，整体上形成在两端向下面曲折的“┏┓”截面形状。
图5是采用根据本发明的摆动单位的线锯平面图。
参照图4及图5，在所述本体块100a的上面设置夹在第1轨道82可向Y轴方向移动的4个第1滑动导向103。而且，在所述本体块100a的上部中央设置与小齿轮144联动可以向Y轴方向移动的齿条146。由此，驱动摆动马达140时，与小齿轮144结合的齿条146向Y轴方向移动，因此第1滑动导向103可以沿着第1轨道82移动，第1驱动块100在基本台面81向Y轴方向移动。在此，图中的一例所示的是通过齿条146和小齿轮144的相互联动，第1驱动块100可以向锯丝行进方向(Y轴方向)移动，所述第1驱动块100可以采取更多的结构，例如，参照图4的说明一样，用于移动升降块73的同步带34传动及移送螺丝37的构成，对本发明具有通常知识的技术人员而言，显然亦可以采取本发明技术领域中其它公知的多种形状或结构以及其组合。
图6是可以采用根据本发明的摆动单位的一例，显示滑动导向的斜视图。
参照图4和图6，在第2驱动块110上以一体固定第2滑动导向113，在第2滑动导向113上可旋转地安装以轴承(未图示)承轴的3个滚轮114。各个滚轮114是滑轮形状，其轴心在Z轴上偏心距离e而相互错开地配置。
而且，在第2轨道86上设置槽86a收容滚轮114，以便滚轮114向Z轴方向移动，在第2轨道86的内部两侧以Z轴方向固定设置圆筒状的侧轨87。根据这种构成，滚轮114在侧轨87上进行滚动运动，则第2滑动导向113及第2驱动块110可向Z轴方向移动。在此，参照图6的说明显示，第2滑动导向113和第2轨道86可以使第2驱动块向Z轴方向移动的一例，而且，如上所述一样，所述第2滑动导向113是夹在燕尾(dovetail)槽而在第2轨道86上滑动，或是具有其它滚动轴承在第2轨道86上作为无粘滑现象(stickslide)地移动的轴承导向，如此，可由本发明技术领域中公知或实施的多种形状及结构构成。另外，在其变形例中，对具有本发明通常知识的技术人员而言，显然变更与第2驱动块110以一体形成的第2滑动导向113的形状，可以是无滚轮114的收容在第2轨道86的槽86a中向Z轴方向移动的构成。
图7是可以采用根据本发明的摆动单位的一例，显示锭架的部分分离斜视图。
参照图4和图7，锭架120包括晶锭安装器121和旋转臂123，整体上形成“┐”截面形状。此时，锭架120是以两个旋转中心线H1、H2为基准进行旋转。在此，旋转中心线H1、H2是连接旋转中心点的虚拟线，两个旋转中心线H1、H2垂直于切断平面，相互平行，并位于相互间保持一定距离的位置。而且，在各个旋转中心线H1、H2具备枢轴轴124、125时，锭架120可以以旋转中心线H1、H2或枢轴轴124、125为中心旋转。根据图示的一例，锭架120配置在第1驱动块100和第2驱动块110之间，所述第1枢轴轴124以一体附着在晶锭安装器的两端并以轴承106为媒介设置在第1驱动块100，即叶片块100b上，而且所述第2枢轴轴125以一体附着在旋转臂123并以轴承116为媒介设置在第2驱动块110上。
图8是切开图4的A-A线显示的根据本发明的线锯截面图。
参照图4和图8，第1驱动块100移动时，第2驱动块110上下移动，同时锭架120进行摆动。即，锭架120与第1枢轴轴124及第2枢轴轴125以一体附着，当第1驱动块100移动时，第1枢轴轴124以第1旋转中心线H1为基准进行旋转运动，同时与第1驱动块100一起向Y轴方向进行并进运动，而且，第2枢轴轴125以第2旋转中心线H2为基准进行旋转运动，同时与第2驱动块110一起向Y轴方向进行并进运动。由此，锭架120是以第1枢轴轴124为摆动中心轴，并以第1枢轴轴124和锯丝51之间的距离为摆动半径而摆动晶锭I。此时，第2枢轴轴125只向Z轴方向进行并进移动，并在第2枢轴轴125的中心形成只向Z轴方向进行并进运动的一个枢轴点，当所述枢轴点位于晶锭I的中心时，在切断平面上可以形成无左右移动只进行上下移动的晶锭I摆动。在此，作为第1驱动块100和第2驱动块110中至少一个在移动，从而锭架120进行摆动的一例，列举第1驱动块100移动的一例，及与锭架120结合的2个枢轴轴124、125进行旋转运动和并进运动，从而锭架120摆动的一例。显然对具有本发明通常知识的技术人员而言，其它可以是枢轴轴124、125以一体附着在驱动块100、110，并以轴承为媒介与锭架120结合，或是2个枢轴轴124、125中只任何一个在锭架120成一体，另一个在驱动块100、110中的任何一个成一体，并以轴承为媒介驱动块100、110和锭架120相互连接的多种结构，而且在本发明相关领域中亦可以采取更多公知的形状及结构。另外，作为所述锭架120的一例，说明了以“┐”形状形成的锭架120，但是对本发明技术领域中具有通常知识的技术人员而言，显然根据本发明通过向相互垂直的方向移动的驱动块100、110，或是枢轴轴124、125可以摆动锭架120的形状及结构不能限定在某种一定的形状及结构，在本发明的技术领域中不仅可以采取公知的多种形状及结构，而且还可以形成其多种变形例。
优选地，所述锭架120是在晶锭I的切断工序中固定保持晶锭I，相对于锯丝51作为更坚固地保持晶锭I的方案，再具备晶锭固定单位160。
参照图7和图8，晶锭固定单位160可以使用工作板161和虚拟梁163。所述工作板161是将附着在虚拟梁163的晶锭I固定在晶锭安装器121，虚拟梁163是用于保持晶锭I被切断后分割成单张的薄晶片。如公知所示，所述虚拟梁163可由玻璃、碳、合成树脂或陶瓷等的材料组成，并以蜡或环氧树脂(Epoxy)系列的粘着剂附着在工作板161和晶锭I。而且，所述工作板161固定在晶锭安装器121上，图示的一例如公知所示，其显示工作板161上形成的燕尾(DOVETAIL)和晶锭安装器121上形成的燕尾槽相互成对夹住，并以螺栓165对燕尾施压固定在燕尾槽，亦可由其它公知的液压装置将工作板161结合在晶锭安装器121上。
以下，以电镀金刚石锯丝为一例，根据本发明的一较佳实施例，对具有摆动单位的线锯相关的晶锭切断工序进行简单的说明。
参照图3和图4，首先，为了切断晶锭I，锭架120上配置晶锭I，在导轮R1、R2之间以适度张力和速度行进锯丝51，并启动升降单位7。所述升降单位7的升降马达39是根据软件由控制单位(未图示)驱动，当所述升降马达39驱动时，通过相互连接的减速器38及移送螺丝37，升降块73及晶锭I向Z方向下降接近锯丝51，则附着在锯丝51的金刚石与晶锭I相互作用，按一定的切入深度切割晶锭I。以1次切入深度切割晶锭I后，由控制单位将升降块73按切入深度再下降后启动摆动单位9。所述摆动单位9的摆动马达140是根据软件由控制单位驱动，当所述升降马达39驱动时，通过相互连接的减速器142、小齿轮144及齿条146，第1驱动块100向Y轴方向(参照图5)移动，根据第1驱动块100在Y轴方向上(参照图5)向左右移动1次，锭架120及晶锭I进行摆动由金刚石按切入深度切割晶锭I。之后，通过升降单位7和摆动单位9的反复动作，晶锭I被切断成多个薄晶片，完成晶锭切断工序后，将升降块73向上提升，从晶锭安装器121拆卸固定单位160后，如公知所示通过现有的方式从虚拟梁163(参照图7)分离单张晶片，然后进行后续工序，如晶片倒角工序、抛光工序或镜面工序等工作。
接着，对根据本发明的摆动单位9的动作进行更详细的说明。在此，为了便于说明及理解，对电镀金刚石锯丝，圆形截面晶锭及根据本发明的摆动单位9，以第2枢轴轴125位于晶锭I中心的线锯1为例进行说明，同样的，亦可以采用其它公知如金刚石一样的研磨剂以泥浆的形态供应给锯丝51，或是角形或其它多种形状晶锭的情形。
图9是如图8所示，在根据本发明的线锯中，用于说明晶锭摆动的图面，图9的(a)是晶锭沿着锯丝向右侧摆动的状态截面图，图(b)是晶锭位于中央的状态截面图，以及图(c)是晶锭沿着锯丝向左侧摆动的状态截面图。
参照图9的(a)，第1驱动块100从中央向左侧移动时，第2驱动块110(参照图4)向上移动，第1枢轴轴124以旋转中心O1为基准进行旋转运动，并与第1驱动块100一起向左侧进行并进运动，而且第2枢轴轴125也以旋转中心O2为基准进行旋转运动，并与第2驱动块110(参照图4)一起向上进行并进运动。此时，由于第1枢轴轴124和第2枢轴轴125之间的距离保持一定，按相当于第1枢轴轴124并进运动距离的角度α，锭架120以第1枢轴轴124为摆动中心轴向逆时针方向摆动。而且，根据锭架120的摆动，晶锭I也向逆时针方向摆动，则根据晶锭I的摆动，边改变晶锭I和锯丝51的切割点C1，边进行晶锭I的切割。此时，如上所述，因为在晶锭I的摆动中没有Z方向上的升降块73(参照图4)移动，第1枢轴轴124和第2枢轴轴125之间的距离保持一定，且第1枢轴轴124和锯丝51之间的距离Zо保持一定，因此在1次摆动中，从第1枢轴轴124到晶锭切割点的距离Zо作为摆动半径，在晶锭I形成圆弧状的切割剖面P。而且，晶锭I的切割点C1向与第1驱动块100的移动方向，或第1枢轴轴124的并进运动方向相同的方向，即向左侧移动。
另外，第1驱动块100从左侧向中央移动时，与上述的说明相反的进行动作。即，第2驱动块110(参照图)向下移动，第1枢轴轴124进行旋转运动，并与第1驱动块100一起从左侧到中央向右侧进行并进运动，而且第2枢轴轴125也进行旋转运动，并与第2驱动块110(参照图4)一起向下进行并进运动。而且，按相当于第1枢轴轴124并进运动距离的角度，锭架120以第1枢轴轴124为摆动中心轴向顺时针方向摆动。而且，根据锭架120的摆动，晶锭I也向顺时针方向摆动，则根据晶锭I的摆动，边改变晶锭I和锯丝51的切割点，边进行晶锭I的切割。而且，在1次摆动中，从第1枢轴轴124到晶锭I切割点的距离Zо作为摆动半径，在晶锭I形成圆弧状的切割剖面P，且晶锭I的切割点向与第1驱动块100或第1枢轴轴124的并进方向相同的方向，即向右侧移动。
参照图9的(b)，第1枢轴轴124和第2枢轴轴125分别位于Z轴方向的其延长线上的位置，晶锭I的切割点Cо也位于晶锭切割剖面的中央部。
参照图9的(c)，第1驱动块100从中央部向右侧移动时，第2驱动块110(参照图4)向上移动，第1枢轴轴124进行旋转运动，并与第1驱动块100一起从中央部向右侧进行并进运动，而且第2枢轴轴125也进行旋转运动，并与第2驱动块110(参照图4)一起向上进行并进运动。而且，按相当于第1枢轴轴124并进运动距离的角度α，锭架120以第1枢轴轴124为摆动中心轴向顺时针放心摆动。而且，根据锭架120的摆动，晶锭I也向顺时针方向摆动，则根据晶锭I的摆动，边改变晶锭I和锯丝51的切割点C2，边进行晶锭I的切割。而且，在1次摆动中，从第1枢轴轴124到晶锭I切割点C2的距离Zо作为摆动半径，在晶锭I形成圆弧状的切割剖面P，且晶锭I的切割点C2向与第1驱动块100或第1枢轴轴124的并进运动方向相同的方向，即向右侧移动。
而且，第1驱动块100从右侧向中央部移动时，第2驱动块110(参照图4)向下移动，第1枢轴轴124进行旋转运动，并与第1驱动块100一起从右侧向中央部进行并进运动，而且第2枢轴轴125也进行旋转运动，并与第2驱动块110(参照图4)一起向下进行并进运动。而且，按相当于第1枢轴轴124并进运动距离的角度，锭架120以第1枢轴轴124为摆动中心轴向逆时针方向摆动。而且，根据锭架120的摆动，晶锭I也向逆时针方向摆动，则根据晶锭I的摆动，边改变晶锭I和锯丝51的接触点，边进行晶锭I的切割。而且，在1次摆动中，从第1枢轴轴124到晶锭I切割点的距离作为摆动半径，在晶锭I形成圆弧状的切割剖面P，且晶锭I的切割点向与第1驱动块100或第1枢轴轴124的并进运动方向相同的方向移动。
如参照图1至图9的说明，在根据本发明的较佳实施例中，摆动单位9是，锭架120配置在第1驱动块100和第2驱动块110之间，第1驱动块100和第2驱动块110向相互垂直的方向移动，以第1枢轴轴124和第2枢轴轴125为媒介锭架120与驱动块100、110连接，并根据第1枢轴轴124和第2枢轴轴125的旋转运动及并进运动，锭架120可以摆动，只移动一个第1驱动块100，即通过第1驱动块100的摆动马达140一个的控制，可以摆动晶锭I，同时在锯丝51行进方向上减小晶锭I的并进移动，尤其是，第2枢轴轴125位于晶锭I的中心时，在锯丝51行进方向上可以消除晶锭I的并进移动。
如上所述，根据本发明的摆动单位9为例，与在锯丝51行进方向上使晶锭I单纯地向左右进行振子运动的现有摆动不同，在锯丝的行进方向(Y轴方向)上减小晶锭I的左右移动，并允许上下移动来实现以接近点接触的接触长度可以切割晶锭I的摆动(以下称为“提升摆动(LIFT-UPswing)”)。由根据本发明的摆动单位9实现的提升摆动是，根据晶锭I切割点上的角速度变化及作用负载变化，减小晶锭I的移动，同时对晶锭I的切割优化更有利，以下结合附图，进行更详细的说明。
参照图9，第1驱动块100的移动距离是Sy，第2驱动块110的移动距离是Sz，摆动角度是α以及第1枢轴轴和第2枢轴轴125中心之间的距离是时，第1驱动块100移动的距离如同下述数学式3。
[数学式3]
而且，第1驱动块100移动时，第2驱动块110所移动的距离Sz是
如上述美国专利第4,646,710号的揭示，利用数学式2，可以确定以接近点接触的切割剖面用于切割晶锭I的最大曲率半径，而且已知晶锭I的大小时，在所述数学式3中，可以确定第1枢轴轴和第2枢轴轴125中心之间的距离进而确定摆动角度时，可以确定第1驱动块100需要移动的距离。
另一方面，第1驱动块100的移动速度是V，晶锭I的旋转速度，即摆动角速度为ω时，第1驱动块100的速度如同数学式4。
[数学式4]
在所述数学式4中，第1驱动块100以一定的速度V移动时，晶锭I的旋转速度，即摆动角速度ω是
图10是通过根据本发明的第1驱动块的定速控制，对于摆动角度显示角速度变化的图形。在图10显示的图形是在数学式4中，第1驱动块100的速度V是10㎜/sec及第1枢轴轴124和第2枢轴轴125中心之间的距离是400㎜时，显示晶锭的摆动角速度ω分布。
参照图10，在所述数学式4可以看出，第1驱动块100以一定的速度V移动时，晶锭I的旋转速度，即摆动角速度ω跟余弦值成反比而变大。因此，根据本发明的摆动单位9为例，将第1驱动块100的速度V以数学式4的余弦值控制时，可将晶锭I的旋转速度，即摆动角速度ω保持一定。而且，考虑通过摆动马达140(参照图4)的第1驱动块100的控制时，自然地增加或减小第1驱动块100的速度V较好。根据本发明的摆动单位9为例，根据余弦值可将第1驱动块100的速度V自然地增加或减小较好，尤其第1驱动块100在Y轴方向上随着往复移动改变方向时，即在Y轴方向上在其左侧末端或由右侧末端能自然地摆动晶锭I较好。
另一方面，如图9所示，通过根据本发明的摆动单位切割晶锭时，晶锭和锯丝的切割点C1、Cо、C2(参照图9)向第1驱动块100移动的方向移动，并且从所述数学式4可以看出，第1驱动块100具有从中央越靠左侧或右侧，其摆动角速度ω变大的速度剖面，因此根据这种切割点的变化及速度剖面的晶锭切断工序，对于晶锭I切割环境或工序条件变化，更积极地有利于晶锭切断工序的优化，以下结合图11和图12进行说明。
图11是根据晶锭切割点的位置，用于说明负载变化的概念图，根据本发明切割晶锭时，对于晶锭的切割点从中央向左侧移动的状态，图9的(a)及(b)相互相同，在图9的(a)及(b)使用了相同意义的相同参照符号，只是为了便于说明及理解只显示了其代表性部件，如图9(a)的晶锭用实线来表示，如图9(b)的晶锭用虚线来表示。
参照图11，锯丝51是由两个导轮R1、R2向导，并在其间以高速行进，通过升降单位7(参照图4)晶锭I接近锯丝时，锯丝产生偏移D，晶锭I被切割，而且通过根据本发明的摆动单位9(参照图9)摆动晶锭I时，晶锭的切割点C1随着第1驱动块100(参照图9)改变。在此，导轮R1、R2之间的距离是L，相对于晶锭I切割点C1的偏移角是θ1、θ2，在导轮R1、R2的两端到切割点C1的锯丝51长度分别是L1、L2，锯丝51的张力是T时，作用负载F如同下述数学式5。
[数学式5]
F＝T·(sinθ1+sinθ2)＝T·D((1/√(L1 2+D2)+1/√(L2 2+D2))
在所述数学式5中，在导轮R1、R2之间的中央施加作用力时，L1＝L2＝L/2，力F是T·D((1/√(L2+D2))。
在上述美国专利第4,646,710号揭示的数学式1中可以看出，对于一定的移送负载，根据导轮R1、R2之间距离及切割剖面曲率半径的几何学关系中，锯丝偏移D是一定的。然而，在所述数学式5中可以看出，即使锯丝51的偏移D一定，晶锭I在锯丝51接触的切割点C1、Cо、C2(参照图9)不同，则作用负载F也改变。
下述表1是对于导轮R1、R2之间的距离为470mm的锯丝51，偏移是10mm及张力是40N时，根据切割点位置显示负载变化。
[表1]
L1(mm) L2(mm) F(N)
125 345 4.3
135 335 4.1
145 325 4.0
155 315 3.8
165 305 3.7
175 295 3.6
185 285 3.6
195 275 3.5
205 265 3.5
215 255 3.4
225 245 3.4
235 235 3.4
245 225 3.4
255 215 3.4
265 205 3.5
275 195 3.5
285 185 3.6
295 175 3.6
305 165 3.7
315 155 3.8
325 145 4.0
335 135 4.1
345 125 4.3
图12是根据表1的切割点位置，显示负载变化的图形。
参照图12和表1，从导轮R1、R2在中央位置235mm处3.4N的负载作用在切割点，越向左右移动负载越大。这样，对于切割剖面的曲率半径、接触长度及偏移，切割点位置改变时，负载产生变化，且负载变大时，会使晶锭I的作用压力，即金刚石与晶锭I的相互作用变大，便提高晶锭I切割性能。然而，通过根据本发明的摆动单位9摆动晶锭I进行切割时，晶锭I的切割点向第1驱动块100的移动方向移动，且作用负载F也变大。尤其是，如参照现有技术1的说明，切割点不在最大摆动角度范围时，在切割剖面的外侧接触长度变长而降低切割性，但是采用根据本发明的线锯1的摆动单位9时，越向切割剖面的外侧，作用负载F越大，则金刚石的作用压力变大而提高切割晶锭I的性能。相反的，即使不是以最大摆动角度来摆动晶锭I，也可以改进切割性。因此，如图所示，可将旋转臂123(参照图4)变短，有利于实现小型高强性线锯1。
而且，利用根据本发明的摆动单位9时，考虑根据所述数学式4的晶锭I的摆动角速度ω及数学式5的作用负载F，由此可以简易完成晶锭的均匀切割。即，虽然在晶锭I切割剖面P(参照图9)的外侧部分，作用负载F大，切割量多，但晶锭I的角速度ω大。而且，虽然在切割剖面P(参照图9)的中央部分切割量少，但晶锭I的角速度小。如此，根据本发明的摆动单位9为例，因为形成互补的条件，在切割剖面的外侧部减小速度，在中央部增加速度时，可以容易完成均匀切割。这样，利用根据本发明的摆动单位9，在所述数学式3至数学式5可以求得用于以最佳方式切断晶锭I的各个工序条件，即移动距离、摆动角速度ω及作用负载F，而且只靠第1驱动块100一个的控制，可以完成所述工序条件，因此控制变得简单，可以精密控制，并制作高强性结构的摆动单位9，其结构变得更简单，由此非常有利于设备的小型化。
如上所述，对根据本发明的线锯1通过附图更详细更具体的进行了图示及说明，显然对本发明技术领域中具有通常知识的技术人员应该理解，可以存在多个变更例以改变位置或配置，或是以同等的结果执行相同功能的多种结构。例如，第1驱动块100及第2驱动块110中的一个部件移动锭架120，另一部件以垂直的方向以手动移动；或是，第1驱动块100垂直第2驱动块110而移动，第2驱动块110向切断平面或晶锭切断方向移动；或是，设置相互垂直的方向移动的第1驱动块100和第2驱动块110，同时分别或一起移动；或是，锭架120及/或第2驱动块110和枢轴轴124、125之间以轴承106、116为媒介相互结合；或是，为使升降块73或驱动块100、110移动，轨道82、86和滑动导向103、113相互突出或凹陷形成槽形状86a；或是，亦可以形成更多的形状及结构。因此，本发明技术领域中具有通常知识的技术人员应该理解，根据本发明的摆动单位9可以实施多种变更及变形，而且本发明的技术范围不应限定在根据本发明例示并说明的实施例来解释，显然应该根据记载的权利要求书来定义。

Claims (13)

1.一种线锯，其特征在于，包括：
第1驱动块和第2驱动块，向相互垂直的方向移动；
锭架，连接于所述第1驱动块及第2驱动块，以便可以随着第1驱动块和第2驱动块中至少一个的移动而摆动；以及
升降块，向平行晶锭的切断方向移送所述锭架。
2.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，
所述锭架配置在所述第1驱动块和第2驱动块之间。
3.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，
所述第1驱动块与锯丝行进方向平行地移动；而且
所述第2驱动块与晶锭的切断方向平行地移动。
4.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，
所述锭架与所述第1驱动块及第2驱动块中的至少一个以枢轴轴来连接。
5.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，
所述锭架是通过第1枢轴轴与第1驱动块连接，通过第2枢轴轴与第2驱动块连接；而且
所述第1枢轴轴和第2枢轴轴之间的距离在晶锭摆动中保持一定。
6.根据权利要求5所述的线锯，其特征在于，
所述第1枢轴轴和第2枢轴轴是在所述锭架的摆动中向相互垂直的方向并进移动。
7.根据权利要求5所述的线锯，其特征在于，
所述第1驱动块及第2驱动块中的任一个部件向平行锯丝行进的方向移动的距离符合下述数学式3，
<数学式3>
Sy＝l·sinα
在此，Sy是移动的距离，l是所述第1枢轴轴和第2枢轴轴的中心距离，以及α是锭架摆动的角度。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的线锯，其特征在于，还包括：至少2个导轮，用于向导向单方向或双方向行进的锯丝；和
框架，在其上设置所述导论，并设置升降块以便与晶锭切断方向平行地升降，而且，
所述第1驱动块设置在升降块，且所述第2驱动块设置在框架或升降块上。
9.一种线锯，其特征在于，包括：
锭架，保持晶锭；以及
第1枢轴轴和第2枢轴轴，设置在锭架上，以便所述锭架具有第1旋转中心线和第2旋转中心线而旋转，而且，
所述第1枢轴轴和第2枢轴轴以相互垂直的方向移动，由此使所述锭架摆动。
10.一种线锯，其特征在于，包括：
第1驱动块，向平行锯丝行进的方向移动；
锭架，与所述第1驱动块以枢轴轴连接；以及
第2驱动块，随着所述第1驱动块的移动与晶锭的切断方向平行地移动，同时设置在所述锭架上以便锭架以枢轴轴为中心摆动。
11.一种线锯，其特征在于，包括：
至少2个导轮，设置在框架上用于向导向单方向或双方向行进的锯丝；
升降块，设置在框架上以便与晶锭的切断方向平行地升降；
第1驱动块，设置在升降块以便与锯丝的行进方向平行地移动；
第2驱动块，设置在框架或升降块，以便与晶锭的切断方向平行地移动；
以及
锭架，与第1驱动块及第2驱动块结合，以便随着第1驱动块和第2驱动块中的任一第1部件移动而摆动。
12.根据权利要求11所述的线锯，其特征在于，包括：
第1轨道，与锯丝的行进方向平行地设置在所述升降块；
第2轨道，与晶锭的切断方向平行地设置在所述框架或升降块；
第1滑动导向，安装在所述第1驱动块，以便随着所述第1轨道移动；以及
第2滑动导向，安装在所述第2驱动块，以便随着所述第2轨道移动。
13.根据权利要求12所述的线锯，其特征在于，
在所述第1轨道及第2轨道上形成突出或槽沟，以便向导所述第1滑动导向及第2滑动导向移动。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105382951A (zh) * 2015-12-16 2016-03-09 哈尔滨秋冠光电科技有限公司 一种蓝宝石的曲面多线切割方法及其装置
CN106239747A (zh) * 2016-08-26 2016-12-21 浙江顺联智能设备有限公司 金刚线截断机
CN107030893A (zh) * 2017-05-05 2017-08-11 曹爱苗 一种立式多层石材线切割机
CN112549337A (zh) * 2021-01-05 2021-03-26 深圳晶至新材料科技有限公司 一种蓝宝石金刚线切割机的切割装置

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6272801B2 (ja) * 2015-07-27 2018-01-31 信越半導体株式会社 ワークホルダー及びワークの切断方法
KR101841551B1 (ko) * 2016-11-23 2018-03-23 에스케이실트론 주식회사 잉곳 가압 장치 및 이를 포함하는 잉곳 절단 장치
TWI713832B (zh) * 2017-04-28 2020-12-21 友達晶材股份有限公司 晶圓切片機及其收放線裝置與晶圓切片的方法
CN107457922B (zh) * 2017-08-29 2023-06-27 浙江昊能光电股份有限公司 一种高效切片机
CN107553755A (zh) * 2017-10-11 2018-01-09 东莞市德承精密数控设备有限公司 一种玉石线切割设备及其切割方法
CN108406951B (zh) * 2018-03-04 2021-04-30 长乐智睿恒创节能科技有限责任公司 一种建筑用板材切断装置
KR102228800B1 (ko) * 2019-07-05 2021-03-17 에스앤씨 주식회사 신뢰성이 향상된 와이어 커팅 장치
CN115041995B (zh) * 2022-06-27 2023-11-17 青岛高测科技股份有限公司 进给装置及切割设备

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5735258A (en) * 1995-09-22 1998-04-07 Memc Electronic Materials, Inc. Cutting machine
US6135103A (en) * 1997-12-08 2000-10-24 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Wire saw for slicing brittle materials with an ingot loading and unloading mechanism
JP2004268508A (ja) * 2003-03-11 2004-09-30 Hitachi Cable Ltd ワイヤソーによる単結晶インゴット切断方法
US6886550B2 (en) * 2000-09-28 2005-05-03 Hct Shaping Systems Sa Wire saw with means for producing a relative reciprocating motion between the workpiece to be sawn and the wire
CN102189612A (zh) * 2011-04-25 2011-09-21 唐山晶玉科技有限公司 一种蓝宝石专用多线切割机
CN101602232B (zh) * 2009-07-15 2013-03-20 北京京联发数控科技有限公司 线切方机床

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3272195A (en) * 1964-03-23 1966-09-13 Hughes Aircraft Co Device for slicing crystalline material
US3539773A (en) 1967-08-07 1970-11-10 William Edward Wilson Electrical appliances for heating liquids
US4646710A (en) 1982-09-22 1987-03-03 Crystal Systems, Inc. Multi-wafer slicing with a fixed abrasive
CH690845A5 (de) * 1994-05-19 2001-02-15 Tokyo Seimitsu Co Ltd Verfahren zum Positionieren eines Werkstücks und Vorrichtung hierfür.
JP3539773B2 (ja) 1994-09-19 2004-07-07 信越化学工業株式会社 ワイヤソーおよびワイヤソーによる切断方法
TW355151B (en) 1995-07-07 1999-04-01 Tokyo Seimitsu Co Ltd A method for cutting single chip material by the steel saw
JPH09300342A (ja) 1996-05-17 1997-11-25 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソーのチルチング装置
WO1998000273A1 (en) * 1996-06-28 1998-01-08 Crystal Systems, Inc. Method and apparatus to produce a radial cut profile
JPH10249700A (ja) * 1997-03-17 1998-09-22 Super Silicon Kenkyusho:Kk ワイヤソーによるインゴットの切断方法及び装置
DE10128630A1 (de) * 2001-06-13 2003-01-02 Freiberger Compound Mat Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Orientierung einer kristallografischen Ebene relativ zu einer Kristalloberfläche sowie Vorrichtung und Verfahren zum Trennen eines Einkristalls in einer Trennmaschine
CN1203966C (zh) * 2001-10-17 2005-06-01 株式会社新王磁材 使用线状锯的切断方法和线状锯装置以及稀土类磁体的制造方法
CH696431A5 (fr) * 2003-04-01 2007-06-15 Hct Shaping Systems Sa Procédé et dispositif de sciage par fil.
JP4525353B2 (ja) * 2005-01-07 2010-08-18 住友電気工業株式会社 Ｉｉｉ族窒化物基板の製造方法
KR100993642B1 (ko) * 2008-05-14 2010-11-10 강지호 석재 절단장치
JP5381183B2 (ja) 2009-03-11 2014-01-08 株式会社Ｓｕｍｃｏ 半導体インゴットのスライス方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5735258A (en) * 1995-09-22 1998-04-07 Memc Electronic Materials, Inc. Cutting machine
US6135103A (en) * 1997-12-08 2000-10-24 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Wire saw for slicing brittle materials with an ingot loading and unloading mechanism
US6886550B2 (en) * 2000-09-28 2005-05-03 Hct Shaping Systems Sa Wire saw with means for producing a relative reciprocating motion between the workpiece to be sawn and the wire
JP2004268508A (ja) * 2003-03-11 2004-09-30 Hitachi Cable Ltd ワイヤソーによる単結晶インゴット切断方法
CN101602232B (zh) * 2009-07-15 2013-03-20 北京京联发数控科技有限公司 线切方机床
CN102189612A (zh) * 2011-04-25 2011-09-21 唐山晶玉科技有限公司 一种蓝宝石专用多线切割机

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105382951A (zh) * 2015-12-16 2016-03-09 哈尔滨秋冠光电科技有限公司 一种蓝宝石的曲面多线切割方法及其装置
CN106239747A (zh) * 2016-08-26 2016-12-21 浙江顺联智能设备有限公司 金刚线截断机
CN107030893A (zh) * 2017-05-05 2017-08-11 曹爱苗 一种立式多层石材线切割机
CN112549337A (zh) * 2021-01-05 2021-03-26 深圳晶至新材料科技有限公司 一种蓝宝石金刚线切割机的切割装置

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Publication number Publication date
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