CN105108723A - 一种存取分开式的坩埚自动存取柜及坩埚自动存取方法 - Google Patents
一种存取分开式的坩埚自动存取柜及坩埚自动存取方法 Download PDFInfo
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Abstract
本发明公开了一种存取分开式的坩埚自动存取柜及坩埚自动存取方法,包括柜体,柜体侧壁下部开设有坩埚存放口、且侧壁上部开设有坩埚取出口,柜体内从上至下依次设有用于吸附坩埚的吸附组件、用于存储坩埚的坩埚挂板组件和用于带动坩埚上下运动的升降组件,多个坩埚依次叠加且挂载于坩埚挂板组件上,升降组件靠近坩埚存放口设置用于将要存放的坩埚向上提升并挂载在坩埚挂板组件上,吸附组件靠近坩埚取出口设置且处于坩埚挂板组件的上方用于吸附经升降组件提升上来的坩埚。本发明具有坩埚存放多、柜体空间小、存取过程方便快捷、能连续存取的优点。
Description
技术领域
本发明主要涉及到物料样品的制样、分析设备领域,具体涉及一种存取分开式的坩埚自动存取柜及坩埚自动存取方法。
背景技术
对于物料(如矿石、煤料)的样品采制、分析工作,各个国家均有强制标准,必须遵照标准进行采制样和分析工作。样品采制、分析工作过程的准则是在不破坏样品代表性的前提下,把采集到的样品粒度逐渐减小,质量也逐步减少,直到符合实验室化验对样品的粒度和质量(重量)精度要求,然后对符合要求的样品进行相关的试验分析。这一过程中不能够有样本的损失,不能够令样本发生一些物理或化学变化,否则将会对最终的试验结果造成影响。
如以煤料分析为例,实际上是一种抽样分析的过程。煤炭是一种不均匀的物质(粒度、质量特性分布等),被抽样的母本一般比较大(几十吨到几万吨不等),最大限度地抽到能代表整个母本质量及特性的代表性样品的过程叫“采样”,目前有机械采样、人工采样、半机械采样等多种方式方法。按标准采到样品后,下一过程是制样,制样过程一般有空气干燥、破碎、缩分、磨粉等过程。样品制好后进开展下一步的样品试验分析。在煤炭的采制样和分析过程中,会使用到水分测试仪器以对煤样的水分含量进行试验分析。煤的水分是评价煤炭经济价值最基本的指标。因为煤中水分的变化会造成其它组分的含量变化和发热量的变化,对煤的检质、计量、验收、管理等产生一定的影响。因此,准确测定煤中水分对煤的生产管理及经营有重大的意义。当然,对于其他的物料,必要时也同样需要对水分含量进行试验分析。
在物料(如矿石、煤料)的样品采制样和分析过程中,会使用到坩埚。坩埚用于装载样品以进行相关的分析实验,坩埚存取柜则用于存放未使用的坩埚或者用于存放盛有样品的坩埚以进行下一步的分析实验。
现有的坩埚存取柜存在以下技术问题:
(1)柜内设计不合理,每个坩埚需占用一个单独的空间,若需要存放的坩埚较多时,则坩埚存取柜也须同步设计成大的柜体,导致坩埚存取柜占用的空间较大。
(2)存取坩埚时,夹取机械手需要精确定位到每个坩埚的具体位置点,对机械手的行程、控制要求高,存取坩埚不够方便、快捷。
(3)坩埚存取方式不合理,刚试验完的坩埚存放到存取柜中后,可能又被取用以开展下一批次的试验。如果刚试验完的坩埚未完全冷却,则可能影响下一批次的试验结果;而如果等坩埚冷却下来再取,坩埚冷却时间较长,耽误下一批次的试验,则不能实现连续试验,严重影响工作效率。
发明内容
本发明所解决的技术问题在于:针对现有技术存在的问题,提供一种坩埚存放多、柜体空间小、存取过程方便快捷、能连续存取的存取分开式的坩埚自动存取柜及坩埚自动存取方法。
为解决上述技术问题,本发明采用以下技术方案:
一种存取分开式的坩埚自动存取柜,包括柜体,所述柜体侧壁下部开设有坩埚存放口、且侧壁上部开设有坩埚取出口,所述柜体内从上至下依次设有用于吸附坩埚的吸附组件、用于存储坩埚的坩埚挂板组件和用于带动坩埚上下运动的升降组件,多个所述坩埚依次叠加且挂载于坩埚挂板组件上,所述升降组件靠近坩埚存放口设置用于将要存放的坩埚向上提升并挂载在坩埚挂板组件上,所述吸附组件靠近坩埚取出口设置且处于坩埚挂板组件的上方用于吸附经升降组件提升上来的坩埚。
作为本发明的进一步改进,所述坩埚挂板组件包括挂板固定座和两块以上对称设置于挂板固定座侧壁上的坩埚挂板,每块所述坩埚挂板与挂板固定座侧壁垂直连接,每个所述连接处设有用于使坩埚挂板向上翻转的挂板转轴,每个所述连接处还设有用于使向上翻转后的坩埚挂板向下复位至水平状的的复位扭簧。
作为本发明的进一步改进,所述坩埚呈圆盘式结构,所述坩埚的开口边沿处设有凸出部以使坩埚通过凸出部挂载于坩埚挂板上,所述坩埚的底部直径小于坩埚的开口直径以使上下两个坩埚间形成堆叠。
作为本发明的进一步改进,所述吸附组件包括一个以上的气吸式吸盘和用于检测坩埚吸附时位置信息的取坩埚检测模块,所述气吸式吸盘设于坩埚挂板组件上堆叠的坩埚的上方用于吸附经升降组件提升上来的坩埚。
作为本发明的进一步改进,所述吸附组件包括一个以上的磁吸式通电磁铁和用于检测坩埚吸附时位置信息的取坩埚检测模块,所述坩埚上设有用于与通电磁铁相磁吸配合的磁性部,所述通电磁铁设于坩埚挂板组件上堆叠的坩埚的上方用于吸附经升降组件提升上来的坩埚。
作为本发明的进一步改进,所述升降组件包括升降平台板、升降驱动电机和升降驱动丝杆,所述升降驱动电机驱动升降平台板沿升降驱动丝杆上下运动,所述升降平台板设于坩埚挂板组件的下方用于带动坩埚向上运动以挂载于坩埚挂板组件上或吸附于吸附组件上,所述升降组件的下方设有用于检测坩埚存放时位置信息的存坩埚检测模块。
本发明还提供一种基于上述存取分开式的坩埚自动存取柜的坩埚自动存取方法,所述坩埚自动存取方法中取坩埚的步骤如下:
A)升降组件上升,将挂载于坩埚挂板组件上的数个坩埚整体抬升至吸附组件处后,升降组件停止上升;
B)吸附组件工作,将位于最顶端的坩埚吸附;
C)升降组件下降,带动剩余的坩埚向下运动并最终重新挂载于坩埚挂板组件上;
D)机械手从坩埚取出口伸入并到达被吸附的坩埚位置,吸附组件关闭以停止吸附,坩埚落至机械手上并被取出。
作为本发明的进一步改进,步骤A)中,数个坩埚被抬升,当取坩埚检测模块检测到位于最顶端的坩埚已上升至吸附组件处时,升降组件停止上升。
作为本发明的进一步改进,所述坩埚自动存取方法中存坩埚的步骤如下:
E)机械手带动坩埚从坩埚存放口进入,并将坩埚送至升降组件上后,机械手退出;
F)升降组件向上运动,并带动坩埚一起向上升起,坩埚通过可单向旋转的坩埚挂板组件后继续上升,直至坩埚挂板组件与坩埚脱离后复位;
G)坩埚与坩埚挂板组件脱离后,升降组件向下运动,直至坩埚挂载于复位后的坩埚挂板组件上。
作为本发明的进一步改进,步骤E)中,当坩埚送至升降组件上时,存坩埚检测模块工作以检测坩埚是否运送到位。
与现有技术相比,本发明的优点在于:
(1)本发明的存取分开式的坩埚自动存取柜,通过优化设计,在柜内采用坩埚套坩埚叠加堆放的方式,大大节省了坩埚的存放空间,使得柜内存放坩埚数量多,且柜体占用空间小。
(2)本发明的存取分开式的坩埚自动存取柜,通过采用升降挂载和吸附相结合的方式,在柜体上只设有一个取坩埚位和一个存坩埚位,存取坩埚时仅需固定两个位置,降低了机械手的工作复杂度;并且存和取区分开来,消除了刚存放的坩埚又被马上取走使用的可能,不会影响下批次的试验精准,能实现联系存取坩埚。
(3)本发明的存取分开式的坩埚自动存取柜,不论是气吸式吸盘吸附坩埚还是通电磁铁磁吸坩埚的方式,都无需对坩埚的锅体本身形成很大的压力即可将坩埚吸附,不会对坩埚造成损坏,取坩埚效率大为提高。
(4)本发明的坩埚自动存取方法,基于上述的存取分开式的坩埚自动存取柜,存取坩埚方便、快捷,能实现联系存取坩埚,大大降低了工作复杂度,提高了工作效率。
附图说明
图1是本发明在实施例中设有气吸式吸盘时的正面结构原理示意图。
图2是本发明在另一实施例中设有通电磁铁时的正面结构原理示意图。
图3是本发明在实施例中坩埚挂板组件的侧面结构原理示意图。。
图4是本发明在实施例中升降组件的正面结构原理示意图。
图5是本发明在实施例中坩埚的正面结构原理示意图。
图例说明:
1、柜体;11、坩埚存放口;12、坩埚取出口;2、坩埚;3、吸附组件;31、气吸式吸盘;32、取坩埚检测模块;33、通电磁铁;4、坩埚挂板组件;41、挂板固定座;42、坩埚挂板;43、挂板转轴;44、复位扭簧;5、升降组件;51、升降平台板;52、升降驱动电机;53、升降驱动丝杆;54、存坩埚检测模块。
具体实施方式
以下结合具体实施例和附图对本发明作进一步详细说明。
如图1至图5所示,本发明提供一种存取分开式的坩埚自动存取柜,包括柜体1,柜体1侧壁下部开设有坩埚存放口11、且侧壁上部开设有坩埚取出口12,机械手从坩埚存放口11进出以完成坩埚2的存放,从坩埚取出口12进出以完成坩埚2的取出。柜体1内从上至下依次设有用于吸附坩埚2的吸附组件3、用于存储坩埚2的坩埚挂板组件4和用于带动坩埚2上下运动的升降组件5,多个坩埚2依次叠加且挂载于坩埚挂板组件4上;升降组件5靠近坩埚存放口11设置用于将要存放的坩埚2向上提升并挂载在坩埚挂板组件4上,实现坩埚2的存放;吸附组件3靠近坩埚取出口12设置且处于坩埚挂板组件4的上方用于吸附经升降组件5提升上来的坩埚2。
当需要存坩埚2时,机械手带动坩埚2从坩埚存放口11进入,并将坩埚2送至升降组件5上后,机械手退出;升降组件5向上运动,并带动坩埚2一起向上升起;此时,如果坩埚挂板组件4上没有挂载其他坩埚2,则升降组件5上的坩埚2通过可单向旋转的坩埚挂板组件4后继续上升,直至坩埚挂板组件4与坩埚2脱离后复位;当坩埚2与坩埚挂板组件4脱离后,升降组件5向下运动,直至坩埚2挂载于复位后的坩埚挂板组件4上,完成存放。当坩埚挂板组件4上已经挂载其他坩埚2时,升降组件5上的坩埚2向上运动并最终堆叠在坩埚挂板组件4上的坩埚2的下方后继续向上运动,使得所有的坩埚2一起向上运动,升降组件5上的坩埚2通过可单向旋转的坩埚挂板组件4后继续上升,直至坩埚挂板组件4与最底端的坩埚2脱离后复位;当最底端的坩埚2与坩埚挂板组件4脱离后,升降组件5向下运动,直至最底端的坩埚2挂载于复位后的坩埚挂板组件4上,完成存放。
当需要取坩埚2时,升降组件5上升,将挂载于坩埚挂板组件4上的坩埚2整体抬升至吸附组件3处后,升降组件5停止上升;吸附组件3工作,将位于最顶端的坩埚2吸附;升降组件5下降,带动剩余的坩埚2(如果此时坩埚挂板组件4上还存有其他的坩埚2)向下运动并最终重新挂载于坩埚挂板组件4上;机械手从坩埚取出口12伸入并到达被吸附的坩埚2位置,吸附组件3关闭以停止吸附,坩埚2落至机械手上并被取出。
通过这样的优化设计,在柜体1内采用坩埚套坩埚叠加堆放的方式,数个坩埚2依次堆叠在一起,每个坩埚2无需占用一个单独的空间,大大节省了坩埚2的存放空间,使得存取柜内存放的坩埚2数量多,且柜体1占用空间小。同于,通过采用升降挂载和吸附相结合的方式,在柜体1上只设有一个取坩埚位和一个存坩埚位,存取坩埚时仅需固定两个位置,降低了机械手的工作复杂度;并且存和取区分开来,消除了刚存放的坩埚又被马上取走使用的可能,不会影响下批次的试验精准,存取坩埚方便、快捷,能实现连续存取坩埚,大大降低了工作复杂度,提高了工作效率。
进一步,在较佳实施例中,坩埚挂板组件4包括挂板固定座41和两块以上对称设置于挂板固定座41侧壁上的坩埚挂板42,每块坩埚挂板42与挂板固定座41侧壁垂直连接,每个连接处设有用于使坩埚挂板42向上翻转的挂板转轴43,每个连接处还设有用于使向上翻转后的坩埚挂板42向下复位至水平状的的复位扭簧44。不动状态下,每块坩埚挂板42与挂板固定座41侧壁垂直,即保持水平状态,以使得坩埚2能挂载存放在坩埚挂板42上;当需要存取坩埚2时,坩埚挂板42又能沿挂板转轴43向上翻转以使得坩埚2能顺利向上通过坩埚挂板42,并且向上翻转后的坩埚挂板42又能在复位扭簧44的作用下向下运动复位至水平状。
进一步,在较佳实施例中,坩埚2呈圆盘式结构,坩埚2的开口边沿处设有凸出部以使坩埚2通过凸出部挂载于坩埚挂板42上,坩埚2的底部直径小于坩埚2的开口直径以使上下两个坩埚2间形成堆叠。通过这个的设计,坩埚2能稳固的挂载在坩埚挂板42上;并且当上下两个坩埚2间形成堆叠时,处于上方的坩埚2的底部正好嵌设在处于下方的坩埚2的锅体内。这样一是可以进一步压缩坩埚2堆积的高度和空间,使得存放的坩埚2数量更多;二是上下堆叠嵌设的方式,进一步保证了坩埚2的堆叠稳固性,坩埚2在存放和上下移动时稳定性会更好,不易发生倾倒。
进一步,在较佳实施例中,吸附组件3包括一个以上的气吸式吸盘31,气吸式吸盘31设于坩埚挂板组件4上堆叠的坩埚2的上方用于吸附经升降组件5提升上来的坩埚2,吸附组件3上还设有用于检测坩埚2吸附时位置信息的取坩埚检测模块32。气吸式吸盘31外接真空抽取装置,当坩埚2接触气吸式吸盘31时,真空抽取装置抽气,使得坩埚2被气吸式吸盘31牢牢的吸附住。当升降组件5带动坩埚2抬升至吸附组件3处,取坩埚检测模块32可检测位于首个的坩埚2是否精准的靠近气吸式吸盘31,以使气吸式吸盘31工作将首个坩埚2吸附住。
如图2所示,关于吸附组件3,在本发明的另一个实施例中,吸附组件3包括一个以上的磁吸式通电磁铁33和用于检测坩埚2吸附时位置信息的取坩埚检测模块32,并且坩埚2上设有用于与通电磁铁33相磁吸配合的磁性部,通电磁铁33设于坩埚挂板组件4上堆叠的坩埚2的上方用于吸附经升降组件5提升上来的坩埚2。通电磁铁又名电磁铁,其不通电的时候是没有磁性的,通电的时候才有磁性,且磁吸效果好。当坩埚2接触通电磁铁33时,通电磁铁33通电以产生磁性,通电磁铁33与坩埚2上的磁性部磁吸配合,使得坩埚2被通电磁铁33牢牢的磁吸固定住。当升降组件5带动坩埚2抬升至吸附组件3处,取坩埚检测模块32可检测位于首个的坩埚2是否精准的靠近通电磁铁33,以使通电磁铁33工作将首个坩埚2吸附住。在本实施例中,坩埚2整体由可磁吸的金属如铁等制成。在其他实施例中,坩埚2的磁性部还可以为带有磁性的磁石,该磁石与通电磁铁33吸附配合。当然,坩埚2的磁性部还可以为不带磁性的可磁吸的金属,如铁等,只要其能够与带磁性的通电磁铁33磁吸配合即可。
不论是采取气吸式吸盘31吸附坩埚2还是采取通电磁铁33磁吸坩埚2的方式,都无需对坩埚2的锅体本身形成很大的压力即可将坩埚2吸附,不会对坩埚2造成损坏,取坩埚2效率大为提高。
进一步,在较佳实施例中,升降组件5包括升降平台板51、升降驱动电机52和升降驱动丝杆53,升降驱动电机52驱动升降平台板51沿升降驱动丝杆53上下运动,升降平台板51设于坩埚挂板组件4的下方用于带动坩埚2向上运动以挂载于坩埚挂板组件4上或吸附于吸附组件3上,升降组件5的下方设有用于检测坩埚2位置信息的存坩埚检测模块54。当需要存坩埚2时,机械手带动坩埚2从坩埚存放口11进入,并将坩埚2送至升降组件5上,存坩埚检测模块54工作以检测坩埚2是否摆放到位,摆放到位后,升降平台板51带动坩埚2一起上升并最终将坩埚2挂载在坩埚挂板42上;当需要取坩埚2时,升降平台板51上升,将挂载于坩埚挂板组件4上的坩埚2(或者叠加的数个坩埚2)整体抬升至吸附组件3处,并使得最顶端的坩埚2被吸附组件3吸附以完成取出。
本发明还提供一种基于上述存取分开式的坩埚自动存取柜的坩埚自动存取方法,坩埚自动存取方法中取坩埚2的步骤如下:
A)升降组件5上升,将挂载于坩埚挂板组件4上的数个坩埚2整体抬升至吸附组件3处后,升降组件5停止上升;
B)吸附组件3工作,将位于最顶端的坩埚2吸附;
C)升降组件5下降,带动剩余的坩埚2向下运动并最终重新挂载于坩埚挂板组件4上;
D)机械手从坩埚取出口12伸入并到达被吸附的坩埚2位置,吸附组件3关闭以停止吸附,坩埚2落至机械手上并被取出。
进一步,在较佳实施例中,步骤A)中,数个坩埚2被抬升,当取坩埚检测模块32检测到位于最顶端的坩埚2已上升至吸附组件3处时,发送检测信号以使升降组件5停止上升。通过这样的设置,位于首个的坩埚2能够精准的抵达吸附组件3处,一是便于精准的开展吸附作业,以牢牢的吸附住坩埚2;二是升降组件5不会继续上升,造成首个坩埚2或吸附组件3被压坏。
进一步,在较佳实施例中,坩埚自动存取方法中存坩埚2的步骤如下:
E)机械手带动坩埚2从坩埚存放口11进入,并将坩埚2送至升降组件5上后,机械手退出;
F)升降组件5向上运动,并带动坩埚2一起向上升起,坩埚2通过可单向旋转的坩埚挂板组件4后继续上升,直至坩埚挂板组件4与坩埚2脱离后复位;
G)坩埚2与坩埚挂板组件4脱离后,升降组件5向下运动,直至坩埚2挂载于复位后的坩埚挂板组件4上。
进一步,在较佳实施例中,步骤E)中,当坩埚2送至升降组件5上时,存坩埚检测模块54工作以检测坩埚2是否运送到位。
以上仅是本发明的优选实施方式,本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例,凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰,应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种存取分开式的坩埚自动存取柜,包括柜体(1),其特征在于,所述柜体(1)侧壁下部开设有坩埚存放口(11)、且侧壁上部开设有坩埚取出口(12),所述柜体(1)内从上至下依次设有用于吸附坩埚(2)的吸附组件(3)、用于存储坩埚(2)的坩埚挂板组件(4)和用于带动坩埚(2)上下运动的升降组件(5),多个所述坩埚(2)依次叠加且挂载于坩埚挂板组件(4)上,所述升降组件(5)靠近坩埚存放口(11)设置用于将要存放的坩埚(2)向上提升并挂载在坩埚挂板组件(4)上,所述吸附组件(3)靠近坩埚取出口(12)设置且处于坩埚挂板组件(4)的上方用于吸附经升降组件(5)提升上来的坩埚(2)。
2.根据权利要求1所述的存取分开式的坩埚自动存取柜,其特征在于,所述坩埚挂板组件(4)包括挂板固定座(41)和两块以上对称设置于挂板固定座(41)侧壁上的坩埚挂板(42),每块所述坩埚挂板(42)与挂板固定座(41)侧壁垂直连接,每个所述连接处设有用于使坩埚挂板(42)向上翻转的挂板转轴(43),每个所述连接处还设有用于使向上翻转后的坩埚挂板(42)向下复位至水平状的的复位扭簧(44)。
3.根据权利要求2所述的存取分开式的坩埚自动存取柜,其特征在于,所述坩埚(2)呈圆盘式结构,所述坩埚(2)的开口边沿处设有凸出部以使坩埚(2)通过凸出部挂载于坩埚挂板(42)上,所述坩埚(2)的底部直径小于坩埚(2)的开口直径以使上下两个坩埚(2)间形成堆叠。
4.根据权利要求1~3中任意一项所述的存取分开式的坩埚自动存取柜,其特征在于,所述吸附组件(3)包括一个以上的气吸式吸盘(31)和用于检测坩埚(2)吸附时位置信息的取坩埚检测模块(32),所述气吸式吸盘(31)设于坩埚挂板组件(4)上堆叠的坩埚(2)的上方用于吸附经升降组件(5)提升上来的坩埚(2)。
5.根据权利要求1~3中任意一项所述的存取分开式的坩埚自动存取柜,其特征在于,所述吸附组件(3)包括一个以上的磁吸式通电磁铁(33)和用于检测坩埚(2)吸附时位置信息的取坩埚检测模块(32),所述坩埚(2)上设有用于与通电磁铁(33)相磁吸配合的磁性部,所述通电磁铁(33)设于坩埚挂板组件(4)上堆叠的坩埚(2)的上方用于吸附经升降组件(5)提升上来的坩埚(2)。
6.根据权利要求1~3中任意一项所述的存取分开式的坩埚自动存取柜,其特征在于,所述升降组件(5)包括升降平台板(51)、升降驱动电机(52)和升降驱动丝杆(53),所述升降驱动电机(52)驱动升降平台板(51)沿升降驱动丝杆(53)上下运动,所述升降平台板(51)设于坩埚挂板组件(4)的下方用于带动坩埚(2)向上运动以挂载于坩埚挂板组件(4)上或吸附于吸附组件(3)上,所述升降组件(5)的下方设有用于检测坩埚(2)存放时位置信息的存坩埚检测模块(54)。
7.一种基于权利要求1~6中任意一项所述存取分开式的坩埚自动存取柜的坩埚自动存取方法,其特征在于,所述坩埚自动存取方法中取坩埚(2)的步骤如下:
A)升降组件(5)上升,将挂载于坩埚挂板组件(4)上的数个坩埚(2)整体抬升至吸附组件(3)处后,升降组件(5)停止上升;
B)吸附组件(3)工作,将位于最顶端的坩埚(2)吸附;
C)升降组件(5)下降,带动剩余的坩埚(2)向下运动并最终重新挂载于坩埚挂板组件(4)上;
D)机械手从坩埚取出口(12)伸入并到达被吸附的坩埚(2)位置,吸附组件(3)关闭以停止吸附,坩埚(2)落至机械手上并被取出。
8.根据权利要求7所述的坩埚自动存取方法,其特征在于,步骤A)中,数个坩埚(2)被抬升,当取坩埚检测模块(32)检测到位于最顶端的坩埚(2)已上升至吸附组件(3)处时,升降组件(5)停止上升。
9.根据权利要求7所述的坩埚自动存取方法,其特征在于,所述坩埚自动存取方法中存坩埚(2)的步骤如下:
E)机械手带动坩埚(2)从坩埚存放口(11)进入,并将坩埚(2)送至升降组件(5)上后,机械手退出;
F)升降组件(5)向上运动,并带动坩埚(2)一起向上升起,坩埚(2)通过可单向旋转的坩埚挂板组件(4)后继续上升,直至坩埚挂板组件(4)与坩埚(2)脱离后复位;
G)坩埚(2)与坩埚挂板组件(4)脱离后,升降组件(5)向下运动,直至坩埚(2)挂载于复位后的坩埚挂板组件(4)上。
10.根据权利要求9所述的坩埚自动存取方法,其特征在于,步骤E)中,当坩埚(2)送至升降组件(5)上时,存坩埚检测模块(54)工作以检测坩埚(2)是否运送到位。
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2015
- 2015-09-30 CN CN201510637975.XA patent/CN105108723B/zh active Active
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