CN105097391A - 一种教学用扫描电子显微镜 - Google Patents
一种教学用扫描电子显微镜 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105097391A CN105097391A CN201510498386.8A CN201510498386A CN105097391A CN 105097391 A CN105097391 A CN 105097391A CN 201510498386 A CN201510498386 A CN 201510498386A CN 105097391 A CN105097391 A CN 105097391A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- scanning electron
- sample stage
- teaching
- aberration compensator
- camera lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
本发明公开一种教学用扫描电子显微镜，包括壳体、电子枪、散光像差补偿器和样品台，所述电子枪设在壳体顶部，所述电子枪下方依次设置有阳极和会聚光圈，所述会聚光圈内依次设置有聚光镜头一和聚光镜头二，所述散光像差补偿器设在聚光镜头二下方，所述散光像差补偿器一侧设置有调节手柄，所述散光像差补偿器下方设置有偏转线圈，所述样品台上设置有聚光镜头三，所述聚光镜头三呈倾角设置，所述壳体底部设置有真空装置，所述真空装置与壳体无缝连接，该教学用扫描电子显微镜操作方便，显示效果好，方便维护，非常适合教学使用。
Description
技术领域
本发明涉及一种教学设备技术领域，特别是涉及一种教学用扫描电子显微镜。
背景技术
扫描电子显微镜是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射，二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。
扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，扫描电镜的优点是，①有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；②有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；③试样制备简单，目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。
扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息，通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察，当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射，同时可产生电子-空穴对、晶格振动（声子)、电子振荡（等离子体），目前现有的电子扫描电子显微镜结构复杂，操作不方便，不容易维护，不适合教学使用。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种操作方便，显示效果好，方便维护，非常适合教学使用的教学用扫描电子显微镜。
为解决上述问题，本发明采用如下技术方案：一种教学用扫描电子显微镜，包括壳体、电子枪、散光像差补偿器和样品台，所述电子枪设在壳体顶部，电子枪能够产生扫描电子束，作为信号的激发源，所述电子枪下方依次设置有阳极和会聚光圈，所述会聚光圈内依次设置有聚光镜头一和聚光镜头二，聚光镜一、聚光镜二和聚光镜三能够缩小束斑的直径，散光像差补偿器可以提升电子束的亮度，所述散光像差补偿器设在聚光镜头二下方，所述散光像差补偿器一侧设置有一侧设置有调节手柄，调节手柄保持调节操作方便，所述散光像差补偿器下方设置有偏转线圈，所述样品台上设置有聚光镜头三，所述聚光镜头三呈倾角设置，所述壳体底部设置有真空装置，真空装置防止样品污染，提供高的真空度，所述真空装置与壳体无缝连接，呈一体式设置，方便维护使用。
作为优选，所述聚光镜头三一侧设置有二次电子探测器，能够收集产生的物理信号，放大作为显像系统的调制信号。
作为优选，所述二次电子探测器与壳体固定连接，保持结构稳定可靠。
作为优选，所述样品台为电动样品台，方便进行操控。
作为优选，所述样品台与壳体固定连接，保持结构稳定可靠。
该技术方案具有操作方便，显示效果好，方便维护，非常适合教学使用的特点。
本发明的有益效果是：设置的电子枪能够产生扫描电子束，作为信号的激发源，聚光镜一、聚光镜二和聚光镜三能够缩小束斑的直径，散光像差补偿器可以提升电子束的亮度，调节手柄保持调节操作方便，真空装置防止样品污染，提供高的真空度，二次电子探测器能够收集产生的物理信号，放大作为显像系统的调制信号。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的一种教学用扫描电子显微镜的结构图。
具体实施方式
参阅图1所示，一种教学用扫描电子显微镜，包括壳体1、电子枪2、散光像差补偿器3和样品台4，所述电子枪2设在壳体1顶部，所述电子枪2下方依次设置有阳极5和会聚光圈6，所述会聚光圈6内依次设置有聚光镜头一7和聚光镜头二8，所述散光像差补偿器3设在聚光镜头二8下方，所述散光像差补偿器3一侧设置有一侧设置有调节手柄9，所述散光像差补偿器3下方设置有偏转线圈10，所述样品台4上设置有聚光镜头三11，所述聚光镜头三11呈倾角设置，所述壳体1底部设置有真空装置12，所述真空装置12与壳体1无缝连接。
所述聚光镜头三11一侧设置有二次电子探测器13，在使用时，能够收集产生的物理信号，放大作为显像系统的调制信号。
所述二次电子探测器13与壳体1固定连接，在使用时，保持结构稳定可靠。
所述样品台4为电动样品台，在使用时，方便进行操控。
所述样品台4与壳体1固定连接，在使用时，保持结构稳定可靠。
在使用时，将样品放置在样品台4上，启动电子枪2放射电子束，经过聚光镜头一7、聚光镜头二8和聚光镜头三11聚光，同时通过散光像差补偿器3进行补偿，电子束在样品上产生物理信号被二次电子探测器13检测，放大作为显像系统的调制信号，即可显示观测。
本发明的有益效果是：设置的电子枪能够产生扫描电子束，作为信号的激发源，聚光镜一、聚光镜二和聚光镜三能够缩小束斑的直径，散光像差补偿器可以提升电子束的亮度，调节手柄保持调节操作方便，真空装置防止样品污染，提供高的真空度，二次电子探测器能够收集产生的物理信号，放大作为显像系统的调制信号。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内，因此，本发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
Claims (5)
1.一种教学用扫描电子显微镜，其特征在于：包括壳体、电子枪、散光像差补偿器和样品台，所述电子枪设在壳体顶部，所述电子枪下方依次设置有阳极和会聚光圈，所述会聚光圈内依次设置有聚光镜头一和聚光镜头二，所述散光像差补偿器设在聚光镜头二下方，所述散光像差补偿器一侧设置有一侧设置有调节手柄，所述散光像差补偿器下方设置有偏转线圈，所述样品台上设置有聚光镜头三，所述聚光镜头三呈倾角设置，所述壳体底部设置有真空装置，所述真空装置与壳体无缝连接。
2.根据权利要求1所述的教学用扫描电子显微镜，其特征在于：所述聚光镜头三一侧设置有二次电子探测器。
3.根据权利要求1所述的教学用扫描电子显微镜，其特征在于：所述二次电子探测器与壳体固定连接。
4.根据权利要求1所述的教学用扫描电子显微镜，其特征在于：所述样品台为电动样品台。
5.根据权利要求1所述的教学用扫描电子显微镜，其特征在于：所述样品台与壳体固定连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510498386.8A CN105097391A (zh) | 2015-08-14 | 2015-08-14 | 一种教学用扫描电子显微镜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510498386.8A CN105097391A (zh) | 2015-08-14 | 2015-08-14 | 一种教学用扫描电子显微镜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105097391A true CN105097391A (zh) | 2015-11-25 |
Family
ID=54577579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510498386.8A Pending CN105097391A (zh) | 2015-08-14 | 2015-08-14 | 一种教学用扫描电子显微镜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105097391A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113406358A (zh) * | 2021-06-09 | 2021-09-17 | 北京科技大学 | 一种扫描电镜教学模型装置及其使用方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000208089A (ja) * | 1999-01-12 | 2000-07-28 | Canon Inc | 電子顕微鏡装置 |
| US20010010357A1 (en) * | 2000-01-25 | 2001-08-02 | Hitachi, Ltd. | Scanning electron microscope |
| CN203774245U (zh) * | 2014-03-21 | 2014-08-13 | 四川农业大学 | 扫描电子显微镜 |
| CN104040676A (zh) * | 2012-01-06 | 2014-09-10 | 株式会社日立高新技术 | 带电粒子线装置以及倾斜观察图像显示方法 |
| CN204905206U (zh) * | 2015-08-14 | 2015-12-23 | 河南理工大学万方科技学院 | 一种教学用扫描电子显微镜 |
-
2015
- 2015-08-14 CN CN201510498386.8A patent/CN105097391A/zh active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000208089A (ja) * | 1999-01-12 | 2000-07-28 | Canon Inc | 電子顕微鏡装置 |
| US20010010357A1 (en) * | 2000-01-25 | 2001-08-02 | Hitachi, Ltd. | Scanning electron microscope |
| CN104040676A (zh) * | 2012-01-06 | 2014-09-10 | 株式会社日立高新技术 | 带电粒子线装置以及倾斜观察图像显示方法 |
| CN203774245U (zh) * | 2014-03-21 | 2014-08-13 | 四川农业大学 | 扫描电子显微镜 |
| CN204905206U (zh) * | 2015-08-14 | 2015-12-23 | 河南理工大学万方科技学院 | 一种教学用扫描电子显微镜 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113406358A (zh) * | 2021-06-09 | 2021-09-17 | 北京科技大学 | 一种扫描电镜教学模型装置及其使用方法 |
| CN113406358B (zh) * | 2021-06-09 | 2022-06-24 | 北京科技大学 | 一种扫描电镜教学模型装置及其使用方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6929730B2 (ja) | 飛行時間型荷電粒子分光学 | |
| JP5317120B2 (ja) | Ｘ線顕微鏡用試料収容セル、ｘ線顕微鏡、およびｘ線顕微鏡像の観察方法 | |
| US11251011B2 (en) | Electron microscope | |
| KR20140109809A (ko) | X선 발생관, 그 x선 발생관을 구비한 x선 발생장치, 및 x선 촬영 시스템 | |
| Morishita et al. | Resolution improvement of low-voltage scanning electron microscope by bright and monochromatic electron gun using negative electron affinity photocathode | |
| CN108140525A (zh) | 具备电子能量损失谱仪的扫描透射型电子显微镜及其观察方法 | |
| JP2018190723A (ja) | 荷電粒子顕微鏡のガンレンズ設計 | |
| US20230343549A1 (en) | Charged Particle Beam Device and Specimen Observation Method | |
| WO2015015957A1 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| CN204905206U (zh) | 一种教学用扫描电子显微镜 | |
| CN105097391A (zh) | 一种教学用扫描电子显微镜 | |
| US9029768B2 (en) | Detector and charged particle beam instrument | |
| EP1155419B1 (en) | "x-ray microscope having an x-ray source for soft x-rays | |
| JP5280238B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
| CN204348678U (zh) | 一种具有测试功能的聚焦离子束机台 | |
| CN204809184U (zh) | 扫描电子显微镜 | |
| Brandes et al. | Demonstration of positron re-emission microscopy using an immersion objective | |
| JP5189058B2 (ja) | 走査形電子顕微鏡 | |
| CN218069774U (zh) | 扫描电镜用电磁透镜线圈冷却系统 | |
| CN109904053A (zh) | 具有改进eels/eftem模块的透射带电粒子显微镜 | |
| CN203967027U (zh) | 智能电子扫描镜 | |
| CN107655869B (zh) | 离子荧光超分辨成像方法 | |
| Brandão et al. | Development of an Imaging System for an Electron Spectrometer for laser-accelerated electrons | |
| JP2016213054A (ja) | 画像処理装置、電子顕微鏡、および画像処理方法 | |
| Oh et al. | The development of scanning electron microscopy |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20151125 |
|
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |