CN105086902B - 一种非流动环氧底部填充材料及其制备方法 - Google Patents
一种非流动环氧底部填充材料及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105086902B CN105086902B CN201510553114.3A CN201510553114A CN105086902B CN 105086902 B CN105086902 B CN 105086902B CN 201510553114 A CN201510553114 A CN 201510553114A CN 105086902 B CN105086902 B CN 105086902B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- parts
- stirred
- under vacuum
- added
- vacuum conditions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Abstract
本发明涉及一种非流动环氧底部填充材料及其制备方法,以液体环氧树脂20‑50份、活性稀释剂1‑10份、纳米球形填料1‑5份、球形硅微粉40‑70份、潜伏性固化剂1‑5份、偶联剂0.1‑1份、助焊剂0.1‑2份为原料,通过分别加入到搅拌容器中,在真空状态下搅拌均匀,出料即得产品,所制得的非流动底部填充材料具有较好的助焊作用,具有高模量、高可靠性、高玻璃化转变温度、低线膨胀系数,适用于芯片尺寸更大,锡球间距更小,锡球更小低k倒装芯片的封装。
Description
技术领域
本发明涉及一种非流动环氧环氧底部填充材料及其制备方法,属于电子用粘合剂领域。
背景技术
普通毛细管底部填充材料是在倒装芯片互联形成后使用,在毛细管作用下,树脂流进芯片与基板的间隙中,然后进行加热固化,将倒装芯片底部空隙大面积填满,从而减少焊点和芯片上的应力,并保护芯片和焊点,延长其使用寿命。随着半导体封装向低于0.1μm特征尺寸发展,对封装的需求也在提高,在倒装芯片锡球距离变窄、锡球尺寸更小、芯片尺寸更大的趋势下,普通毛细管底部填充材料的流动将面临巨大的挑战。
另外,随着IC制造朝着小尺寸和高密度方向发展,互联延迟成了主要矛盾,因此带来了对互联材料和层间介质材料的需求。人们成功采用低K(介电常数)倒装芯片来提升了电子元器件的工作速度并降低功耗。然而低k材料大多具有多孔、易碎及机械强度低等缺点,所以底部填充材料的选择尤为关键。因为它不仅通过应力再分布的方式保护焊点,而且还要为低k介质及其与硅的界面提供保护。
发明内容
本发明针对现有技术的不足,提供一种非流动环氧底部填充材料及其制备方法,该非流动底部填充材料在芯片贴装之前先在基板上施胶,然后将芯片对准放置到基板上,再把整个组件通过回流焊接。在回流炉中芯片与基板间通过焊料凸点焊接形成互联,同时底部填充材料得以固化。使用这种底部填充材料后,避免了使用普通底部填充材料的施放和清洗助焊剂的两个工艺步骤,且避免了毛细管流动,从而提高了底部填充材料工艺的生产效率。同时,所制得的非流动底部填充材料具有较好的助焊作用,具有高模量、高可靠性、高玻璃化转变温度、低线膨胀系数,适用于芯片尺寸更大,锡球间距更小,锡球更小低k倒装芯片的封装。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下:
一种非流动环氧底部填充材料及其制备方法,其特征在于,由以下质量份的原材料组成:液体环氧树脂20-50份、活性稀释剂1-10份、纳米球形填料1-5份、球形硅微粉40-70份、潜伏性固化剂1-5份、偶联剂0.1-1份、助焊剂0.1-2份。
进一步,所述环氧树脂为液体双酚A环氧树脂、双酚F环氧树脂、柔性环氧树脂、多官环氧树脂中的一种或任意几种的混合物。
进一步,所述活性稀释剂为新戊二醇二缩水甘油醚、对苯基叔丁基缩水甘油醚、间苯二酚二缩水甘油醚、1,6-己二醇二缩水甘油醚、三羟甲基丙烷三缩水甘油醚中的一种或任意几种的混合物。
进一步,所述的纳米球形填料为Admatechs公司的YA050C、YA010C、YC100C中的一种或任意几种的混合物。
进一步,使用纳米球形填料的有益效果是:球形纳米粒子增韧,使得固化后的底填材料不仅具有较好的韧性,而且使得底部填充材料在TCB固化过程中,球形填料含量在50-70%,长时间保持较低的粘度的情况下不会沉降,更好的保证了胶体固化后的一致性。
进一步,所述球形硅微粉为Admatechs公司的SC1030、SE1030、SC1050、SC1030中的一种或任意几种的混合物。
进一步,使用球形硅微粉的有益效果是:环氧体系中加入球形硅微粉,使得底部填充材料增稠小填充量大,同时又能大幅降低底部填充材料的膨胀系数以获得高可靠性。
进一步,所述硅烷偶联剂为γ-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷、γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷、γ-氨丙基三乙氧基硅烷中的一种或任意几种的混合物。
进一步,所述助焊剂为有机酸或芳香酸中的丁二酸、己二酸、庚二酸、壬二酸、癸二酸、富马酸、柠檬酸、衣康酸、邻羟基苯甲酸、苹果酸、对苯二甲酸、琥珀酸中的一种或几种的混合物。
进一步,使用助焊剂的有益效果是:通过引入助焊剂成分除去焊盘的氧化物和熔融焊料表面的氧化物,以达到良好焊接的作用。
进一步,所述液态潜伏性固化剂为TK-TOKA公司的7000、7001、7002及huntsman公司的Aradur5200、DY9577中的一种或任意几种的混合物。
进一步,使用液态潜伏性固化剂的有益效果是:液态的潜伏性固化剂,使得较小的缝隙也能有底部填充材料渗透进去,并得以完全固化,适用于较小间隙的的倒装芯片的封装。
一种非流动底部填充材料的制备方法,包括:先将液体环氧树脂、活性稀释剂加入到搅拌容器中,室温真空状态下搅拌20min,然后再加入纳米填料和球形硅微粉份混合均匀后在真空状态下搅拌1h,再进行三辊研磨3遍,再将研磨后的料加入到搅拌容器中,并在真空状态下高速搅拌2h,最后依次加入硅烷偶联剂、液体潜伏性固化剂及助焊剂搅拌均匀,再在真空状态下搅拌2h后出料即可。
本发明的有益效果是:本发明通过在环氧体系中加入球形硅微粉,使得底部填充材料增稠小填充量大,同时又能大幅降低底部填充材料的膨胀系数以获得高可靠性。球形纳米粒子增韧,使得固化后的底填材料不仅具有较好的韧性,而且使得底部填充材料在TCB固化过程中,球形填料含量在50-70%,长时间保持较低的粘度的情况下不会沉降,更好的保证了胶体固化后的一致性。通过引入硅烷偶联剂改善底部填充材料与芯片及基板的附着力。通过引入助焊剂成分除去焊盘的氧化物和熔融焊料表面的氧化物,以达到良好焊接的作用。同时,使用了液态的潜伏性固化剂,使得较小的缝隙也能有底部填充材料渗透进去,并得以完全固化。通过以上手段制得的非流动底部填充材料具有高模量、高可靠性、高玻璃化转变温度、低线膨胀系数,可更好的保护低k倒装芯片。可应用于芯片尺寸更大,锡球间距更小,芯片与基板间隙更小,普通底部填充材料无法通过毛细管流动的倒装芯片。
具体实施方式
以下对本发明的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。
实施例1
按照以下质量份称取原料
YL980 15份
YL983U 25份
对苯基叔丁基缩水甘油醚 5份
YA050C 5份
球形硅微粉SC1030 45份
γ-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷 0.3份
TK-TOKA7000 3份
助焊剂己二酸 0.8份
先将液体环氧树脂YL980、YL983U、对苯基叔丁基缩水甘油醚加入到搅拌容器中,室温真空状态下搅拌20min,然后再加入YA050C和球形硅微粉SC1030混合均匀后在真空状态下搅拌1h,再进行三辊研磨3遍,再将研磨后的料加入到搅拌容器中,并在真空状态下高速搅拌2h,最后依次加入硅烷偶联剂γ-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷、液体潜伏性固化剂7000及助焊剂己二酸搅拌均匀,再真空状态下搅拌2h后出料即可。
实施例2
按照以下质量份称取原料
SE-55A (SHIN-A T&C) 10份
SE-55F (SHIN-A T&C) 35份
1,6-己二醇二缩水甘油醚 5份
YA010C 3份
球形硅微粉SE1030 40份
γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷 0.1份
TK-TOKA 7001 5份
助焊剂对苯二甲酸 0.4份
助焊剂琥珀酸 1.5份
先将液体环氧树脂SE-55A (SHIN-A T&C)和 SE-55F (SHIN-A T&C)、活性稀释剂1,6-己二醇二缩水甘油醚加入到搅拌容器中,室温真空状态下搅拌20min,然后再加入纳米填料YA010C和球形硅微粉SE1030混合均匀后在真空状态下搅拌1h,再进行三辊研磨3遍,再将研磨后的料加入到搅拌容器中,并在真空状态下高速搅拌2h,最后依次加入硅烷偶联剂γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷、液体潜伏性固化剂7001及助焊剂对苯二甲酸和琥珀酸搅拌均匀,再真空状态下搅拌2h后出料即可。
实施例3
按照以下质量份称取原料
YL983U 20份
AFG90 10份
新戊二醇二缩水甘油醚 8份
YC100C 1份
球形硅微粉SC1030 58份
γ-氨丙基三乙氧基硅烷 0.8份
TK-TOKA 7002 1份
助焊剂衣康酸 1.2份
先将液体环氧树脂YL983U和AFG90、活性稀释剂新戊二醇二缩水甘油醚加入到搅拌容器中,室温真空状态下搅拌20min,然后再加入纳米填料YC100C和球形硅微粉SC1030混合均匀后在真空状态下搅拌1h,再进行三辊研磨3遍,再将研磨后的料加入到搅拌容器中,并在真空状态下高速搅拌2h,最后依次加入硅烷偶联剂γ-氨丙基三乙氧基硅烷、液体潜伏性固化剂7002及助焊剂衣康酸搅拌均匀,再真空状态下搅拌2h后出料即可。
实施例4
按照以下质量份称取原料
YL983U 35份
AG-80 10份
三羟甲基丙烷三缩水甘油醚 2份
YA010C 5份
球形硅微粉SE1030 50份
γ-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷 0.9份
Aradur5200 5份
助焊剂富马酸 0.1份
先将液体环氧树脂YL983U和AG-80、活性稀释剂三羟甲基丙烷三缩水甘油醚加入到搅拌容器中,室温真空状态下搅拌20min,然后再加入纳米填料YA010C和球形硅微粉SE1030混合均匀后在真空状态下搅拌1h,再进行三辊研磨3遍,再将研磨后的料加入到搅拌容器中,并在真空状态下高速搅拌2h,最后依次加入硅烷偶联剂γ-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷、液体潜伏性固化剂Aradur5200及助焊剂富马酸搅拌均匀,再真空状态下搅拌2h后出料即可。
实施例5
按照以下质量份称取原料
YL980 10份
SE-55F (SHIN-A T&C) 15份
间苯二酚二缩水甘油醚 10份
YA050C 1份
球形硅微粉SE1050 70份
γ-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷 0.5份
DY9577 3份
助焊剂柠檬酸 1.6份
先将液体环氧树脂YL980和SE-55F (SHIN-A T&C)、活性稀释剂间苯二酚二缩水甘油醚加入到搅拌容器中,室温真空状态下搅拌20min,然后再加入纳米填料YA050C和球形硅微粉SE1050混合均匀后在真空状态下搅拌1h,再进行三辊研磨3遍,再将研磨后的料加入到搅拌容器中,并在真空状态下高速搅拌2h,最后依次加入硅烷偶联剂γ-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷、液体潜伏性固化剂DY9577及助焊剂柠檬酸搅拌均匀,在真空状态下搅拌2h后出料即可。
表1 实施例与对比例测试结果
实施例1 | 实施例2 | 实施例3 | 实施例4 | 实施例5 | 普通底部填充材料 | |
模量(Gpa) | 5.2 | 4.7 | 4.3 | 6.2 | 5.0 | 3.0 |
Tg(℃) | 110 | 120 | 99 | 132 | 116 | 70 |
膨胀系数(ppm/℃) | 34 | 37 | 30 | 32 | 26 | 65 |
从表1可以看出,本发明所得的底部填充材料与普通底部填充材料相比具有高模量,高玻璃化转变温度,低膨胀系数等优点,可广泛应用于倒装芯片封装工艺中。
以上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种非流动环氧底部填充材料,其特征在于,制备方法包括:先将液体环氧树脂YL980 15份、YL983U 25份、对苯基叔丁基缩水甘油醚5份加入到搅拌容器中,室温真空状态下搅拌20min,然后再加入YA050C 5份和球形硅微粉SC1030 45份混合均匀后在真空状态下搅拌1h,再进行三辊研磨3遍,再将研磨后的料加入到搅拌容器中,并在真空状态下高速搅拌2h,最后依次加入硅烷偶联剂γ-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷0.3份、液体潜伏性固化剂TK-TOKA7000 3份及助焊剂己二酸0.8份搅拌均匀,在真空状态下搅拌2h后出料即可。
2.一种非流动环氧底部填充材料,其特征在于,制备方法包括:先将液体环氧树脂SE-55A:SHIN-A T&C 10份和 SE-55F:SHIN-A T&C 35份、活性稀释剂1,6-己二醇二缩水甘油醚5份加入到搅拌容器中,室温真空状态下搅拌20min,然后再加入纳米填料YA010C 3份和球形硅微粉SE1030 40份混合均匀后在真空状态下搅拌1h,再进行三辊研磨3遍,再将研磨后的料加入到搅拌容器中,并在真空状态下高速搅拌2h,最后依次加入硅烷偶联剂γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷0.1份、液体潜伏性固化剂TK-TOKA 7001 5份及助焊剂琥珀酸1.5份搅拌均匀,在真空状态下搅拌2h后出料即可。
3.一种非流动环氧底部填充材料,其特征在于,制备方法包括:先将液体环氧树脂YL983U 20份和AFG90 10份、活性稀释剂新戊二醇二缩水甘油醚8份加入到搅拌容器中,室温真空状态下搅拌20min,然后再加入纳米填料YC100C 1份和球形硅微粉SC1030 58份混合均匀后在真空状态下搅拌1h,再进行三辊研磨3遍,再将研磨后的料加入到搅拌容器中,并在真空状态下高速搅拌2h,最后依次加入硅烷偶联剂γ-氨丙基三乙氧基硅烷0.8份、液体潜伏性固化剂TK-TOKA 7002 1份及助焊剂衣康酸1.2份搅拌均匀,在真空状态下搅拌2h后出料即可。
4.一种非流动环氧底部填充材料,其特征在于,制备方法包括:先将液体环氧树脂YL983U 35份和AG-80 10份、活性稀释剂三羟甲基丙烷三缩水甘油醚2份加入到搅拌容器中,室温真空状态下搅拌20min,然后再加入纳米填料YA010C 5份和球形硅微粉SE1030 50份混合均匀后在真空状态下搅拌1h,再进行三辊研磨3遍,再将研磨后的料加入到搅拌容器中,并在真空状态下高速搅拌2h,最后依次加入硅烷偶联剂γ-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷0.9份、液体潜伏性固化剂Aradur5200 5份及助焊剂富马酸0.1份搅拌均匀,在真空状态下搅拌2h后出料即可。
5.一种非流动环氧底部填充材料,其特征在于,制备方法包括:先将液体环氧树脂YL980 10份和SE-55F:SHIN-A T&C 15份、活性稀释剂间苯二酚二缩水甘油醚10份加入到搅拌容器中,室温真空状态下搅拌20min,然后再加入纳米填料YA050C1份和球形硅微粉SE1050 70份混合均匀后在真空状态下搅拌1h,再进行三辊研磨3遍,再将研磨后的料加入到搅拌容器中,并在真空状态下高速搅拌2h,最后依次加入硅烷偶联剂γ-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷0.5份、液体潜伏性固化剂DY9577 3份及助焊剂柠檬酸1.6份搅拌均匀,在真空状态下搅拌2h后出料即可。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510553114.3A CN105086902B (zh) | 2015-09-01 | 2015-09-01 | 一种非流动环氧底部填充材料及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510553114.3A CN105086902B (zh) | 2015-09-01 | 2015-09-01 | 一种非流动环氧底部填充材料及其制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105086902A CN105086902A (zh) | 2015-11-25 |
CN105086902B true CN105086902B (zh) | 2017-10-03 |
Family
ID=54568257
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510553114.3A Expired - Fee Related CN105086902B (zh) | 2015-09-01 | 2015-09-01 | 一种非流动环氧底部填充材料及其制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN105086902B (zh) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105349080B (zh) * | 2015-12-14 | 2017-11-07 | 烟台德邦科技有限公司 | 一种汽车车身结构胶及其制备方法 |
CN105670542A (zh) * | 2016-01-22 | 2016-06-15 | 上海拜高高分子材料有限公司 | 一种低线膨胀系数的中低温固化的单组份环氧胶粘剂及制备方法 |
CN106281171B (zh) * | 2016-09-07 | 2019-08-06 | 深圳先进技术研究院 | 一种环氧树脂助焊剂、其制备方法及应用 |
CN111394053B (zh) * | 2020-03-03 | 2021-10-26 | 华南理工大学 | 一种带助焊功能非流动底部填充胶及其制备方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101580685A (zh) * | 2009-06-05 | 2009-11-18 | 烟台德邦科技有限公司 | 一种高可靠性、快速固化底部填充胶及其制备方法 |
CN103709983A (zh) * | 2013-12-23 | 2014-04-09 | 东莞市亚聚电子材料有限公司 | 一种耐高温底部填充胶及其制备方法 |
CN103725240A (zh) * | 2013-12-27 | 2014-04-16 | 烟台德邦科技有限公司 | 一种储存稳定快速流动的底部填充胶及其制备方法 |
CN103937433A (zh) * | 2014-04-01 | 2014-07-23 | 烟台德邦科技有限公司 | 一种高可靠性环保型底部填充材料及其制备方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5819026B1 (ja) * | 2014-02-24 | 2015-11-18 | 積水化学工業株式会社 | 接続構造体の製造方法 |
-
2015
- 2015-09-01 CN CN201510553114.3A patent/CN105086902B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101580685A (zh) * | 2009-06-05 | 2009-11-18 | 烟台德邦科技有限公司 | 一种高可靠性、快速固化底部填充胶及其制备方法 |
CN103709983A (zh) * | 2013-12-23 | 2014-04-09 | 东莞市亚聚电子材料有限公司 | 一种耐高温底部填充胶及其制备方法 |
CN103725240A (zh) * | 2013-12-27 | 2014-04-16 | 烟台德邦科技有限公司 | 一种储存稳定快速流动的底部填充胶及其制备方法 |
CN103937433A (zh) * | 2014-04-01 | 2014-07-23 | 烟台德邦科技有限公司 | 一种高可靠性环保型底部填充材料及其制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105086902A (zh) | 2015-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105295796B (zh) | 一种高可靠性环氧底部填充胶及其制备方法 | |
CN105086902B (zh) | 一种非流动环氧底部填充材料及其制备方法 | |
CN101864147B (zh) | 一种低粘度、低线膨胀系数的底部填充胶 | |
JP4892164B2 (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 | |
JP2006505675A (ja) | 強化エポキシ無水物ノーフロー・アンダーフィル封入剤 | |
KR101553102B1 (ko) | 열경화성 수지 조성물을 포함하는 반도체 장치의 신뢰성을 향상시키는 방법 | |
JP6233441B2 (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 | |
WO2021029259A1 (ja) | モールドアンダーフィル封止用の多層シート、モールドアンダーフィル封止方法、電子部品実装基板及び電子部品実装基板の製造方法 | |
JP2015193851A (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 | |
CN106633631B (zh) | 一种高密度封装用底部填充胶及其制备方法 | |
JP5388341B2 (ja) | アンダーフィル用液状樹脂組成物、フリップチップ実装体およびその製造方法 | |
JP4931079B2 (ja) | アンダーフィル用液状熱硬化性樹脂組成物とそれを用いた半導体装置 | |
CN105038129A (zh) | 一种倒装芯片封装的环氧树脂组合物 | |
EP1966306A1 (en) | Low exothermic thermosetting resin compositions useful as underfill sealants and having reworkability | |
JP5449860B2 (ja) | 表面処理シリカ粒子の製造方法、表面処理シリカ粒子、エポキシ樹脂組成物、及び半導体装置 | |
CN103436211B (zh) | 一种兼容性好的底部填充胶及其制备方法 | |
JP2006169395A (ja) | アンダーフィル樹脂組成物 | |
JP2009057575A (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 | |
CN104559882B (zh) | 一种液晶型环氧底部填充胶及其制备方法 | |
JP2010144144A (ja) | アンダーフィル用液状エポキシ樹脂組成物、及び半導体装置 | |
JP5708666B2 (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 | |
JP2004256646A (ja) | アンダーフィル用樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2016040393A (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 | |
JP4655501B2 (ja) | 液状封止樹脂組成物ならびに電子部品装置およびその製造方法 | |
JP2015180760A (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP02 | Change in the address of a patent holder |
Address after: 264006 Kaifeng Road, Yantai Development Zone, Shandong Province, No. 3-3 Patentee after: Yantai Darbond Technology Co., Ltd. Address before: 264006 Jinsha River Road, Yantai Development Zone, Shandong, No. 98 Patentee before: Yantai Darbond Technology Co., Ltd. |
|
CP02 | Change in the address of a patent holder | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20171003 Termination date: 20180901 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |