CN105080855A - 基板标记检测装置和基板标记检测方法 - Google Patents

基板标记检测装置和基板标记检测方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种基板标记检测装置及方法，该装置包括：检测模块，用于检测待检测的基板中每个标记嵌入基板的深度，根据每个深度判断基板是否有效；信息提取模块，在基板为有效的情况下，解析标记得到解析信息，查询标记对应的预存信息，判断解析信息与预存信息是否相符，若相符，则提取预存信息进行显示；分拣模块，在基板为无效，或解析信息与预存信息不相符的情况下，去除基板。通过对基板中的标记进行检测，根据标记嵌入基板的深度进行判断，可以方便且准确地对基板的有效性进行判定，避免后续工序中对无效基板的检测，提高基板的整体检测效率，还可以去除解析信息与预存信息不相符的基板，保证进入后续对盒工序中的基板能够准确进行对盒。

Description

基板标记检测装置和基板标记检测方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，具体而言，涉及一种基板标记检测装置和一种基板标记检测方法。
背景技术
通常制造玻璃基板时，会在基板上镀上Mark(标记)，Mark可以用于确认基板的ID，也可以用于对位，通常这些Mark都高于基板，在进行摩擦取向工艺时，由于Mark高度影响，对摩擦布的毛羽会造成损伤，容易引起摩擦线性不良，以及产生摩擦Mura等相关配向不良。现有的技术为了解决该问题，采用将Mark形成在基板内部的方法，但是对检测Mark造成了很大难度。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，准确检测形成在基板内部的Mark。
为此目的，本发明提出了一种基板标记检测装置，包括：
检测模块，用于检测待检测的基板中每个标记嵌入所述基板的深度，根据每个所述深度判断所述基板是否有效；
信息提取模块，在所述基板为有效的情况下，解析所述标记得到解析信息，查询所述标记对应的预存信息，判断所述解析信息与所述预存信息是否相符，若相符，则提取所述预存信息进行显示；
分拣模块，在所述基板为无效或所述解析信息与所述预存信息不相符的情况下，去除所述基板。
优选地，所述检测模块包括：
第一光收发单元，用于向所述基板的第一表面对应所述标记的位置发射检测光线，获取所述第一表面反射的第一光线，以及所述标记的上表面反射的第二光线；
计算单元，用于根据所述第一光线的第一传播距离和所述第二光线的第二传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度；
第一判断单元，用于判断每个所述标记嵌入所述基板的深度之间是否满足预设关系，若不满足，则判定所述基板为无效。
优选地，所述检测模块包括：
第一光收发单元，用于向所述基板的第一表面对应所述标记的位置发射检测光线，获取所述第一表面反射的第一光线，以及所述标记的上表面反射的第二光线；
计算单元，用于根据所述第一光线的第一传播距离和所述第二光线的第二传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度；
第一判断单元，用于判断每个所述深度是否处于预设深度范围内，若任一所述深度未处于所述预设深度范围内，则判定所述基板为无效，若每个所述深度都处于所述预设深度范围内，则判定所述基板为有效。
优选地，所述第一判断单元还用于根据所述第二光线的第二传播距离判断所述标记的上表面形状，
若判定所述标记的上表面为平面，则判定所述第二传播距离中包含的多个子距离相等，所述计算单元根据所述第二传播距离中任一子距离和所述第一传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度，
若判定所述标记的上表面为非平面，则判定所述第二传播距离中包含的多个子距离不相等，所述计算单元据所述第二传播距离中最大的子距离和所述第一传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度。
优选地，所述信息提取模块包括：
第二光收发单元，发出光线照射有效的基板，获取每个所述标记投影形成的点阵图像；
解析单元，用于对所述点阵图像进行解析，得到解析信息，其中，所述解析信息为点阵图像编码数据；
查询单元，用于查询所述标记对应的预存信息；
第二判断单元，用于判断所述解析信息与所述预存信息是否相符；
提取单元，在所述解析信息与所述预存信息相符的情况下，提取所述预存信息进行显示。
优选地，所述信息提取模块还包括：
滤光单元，设置于所述第二光收发单元与所述点阵图像之间，用于滤除非标记在所述第二光收发单元发出光线照射下产生的投影。
优选地，所述信息提取模块还包括：
曝光单元，用于对所述点阵图像进行曝光，使每个所述标记对应的点阵图像的灰阶处于预设灰阶范围以内，使非标记的点阵图像的灰阶处于预设灰阶范围以外，
其中，所述第二光收发单元获取处于所述预设灰阶范围以内的点阵图像。
优选地，所述提取单元用于获取所述点阵图像编码数据的头部信息，查询与所述头部信息对应的预存信息，判断所述预存信息与所述图像编码数据中的数据信息是否相同，若相同，则提取所述预存信息并进行显示，若不相同，则发出提示信息。
优选地，所述信息提取模块还用于解析被去除基板的备用标记得到备用信息，查询所述备用标记对应的备用预存信息，判断所述备用信息与备用预存信息是否相符，若相符，则提取备用预存信息进行显示。
本发明还提出了一种基板标记检测方法，包括：
检测待检测的基板中每个标记嵌入所述基板的深度，根据每个所述深度判断所述基板是否有效；
在所述基板为有效的情况下，解析所述标记得到解析信息，查询所述标记对应的预存信息，判断所述解析信息与所述预存信息是否相符，若相符，则提取所述预存信息进行显示；
在所述基板为无效或所述解析信息与所述预存信息不相符的情况下，去除所述基板。
优选地，所述检测待检测的基板中每个标记嵌入所述基板的深度，根据每个所述深度判断所述基板是否有效包括：
向所述基板的第一表面对应所述标记的位置发射检测光线，获取所述第一表面反射的第一光线，以及所述标记的上表面反射的第二光线；
根据所述第一光线的第一传播距离和所述第二光线的第二传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度；
判断每个所述标记嵌入所述基板的深度之间是否满足预设关系，若不满足，则判定所述基板为无效。
优选地，所述检测待检测的基板中每个标记嵌入所述基板的深度，根据每个所述深度判断所述基板是否有效包括：
向所述基板的第一表面对应所述标记的位置发射检测光线，获取所述第一表面反射的第一光线，以及所述标记的上表面反射的第二光线；
根据所述第一光线的第一传播距离和所述第二光线的第二传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度；
判断每个所述深度是否处于预设深度范围内，若任一所述深度未处于所述预设深度范围内，则判定所述基板为无效，若每个所述深度都处于所述预设深度范围内，则判定所述基板为有效。
优选地，所述根据所述第一光线的第一传播距离和所述第二光线的第二传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度包括：
根据所述第二光线的第二传播距离判断所述标记的上表面形状；
若判定所述标记的上表面为平面，则判定所述第二传播距离中包含的多个子距离相等，所述计算单元根据所述第二传播距离中任一子距离和所述第一传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度；
若判定所述标记的上表面为非平面，则判定所述第二传播距离中包含的多个子距离不相等，所述计算单元据所述第二传播距离中最大的子距离和所述第一传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度。
优选地，所述提取每个所述标记对应的信息进行显示包括：
发出光线照射有效的基板，获取每个所述标记投影形成的点阵图像；
对所述点阵图像进行解析，得到解析信息，其中，所述解析信息为点阵图像编码数据；
查询所述标记对应的预存信息；
判断所述解析信息与所述预存信息是否相符；
在所述解析信息与所述预存信息相符的情况下，提取所述预存进行显示。
优选地，所述获取每个所述标记投影形成的点阵图像包括：
滤除非标记在所述第二光收发单元发出光线照射下产生的投影。
优选地，所述获取每个所述标记投影形成的点阵图像包括：
对所述点阵图像进行曝光，使每个所述标记对应的点阵图像的灰阶处于预设灰阶范围以内，使非标记的点阵图像的灰阶处于预设灰阶范围以外，获取处于所述预设灰阶范围以内的点阵图像。
优选地，所述根据所述点阵图像编码数据提取相应的信息进行显示包括：
获取所述点阵图像编码数据的头部信息，查询与所述头部信息对应的预存信息，判断所述预存信息与所述图像编码数据中的数据信息是否相同，若相同，则提取所述预存信息并进行显示，若不相同，则发出提示信息。
优选地，还包括：
解析被去除基板的备用标记得到备用信息，查询所述备用标记对应的备用预存信息，判断所述备用信息与备用预存信息是否相符，若相符，则提取备用预存信息进行显示。
根据上述技术方案，通过对基板中的标记进行检测，根据标记嵌入基板的深度进行判断，可以方便且准确地对基板的有效性进行判定，从而避免后续工序中对无效基板的检测，提高基板的整体检测效率，还可以去除解析信息与预存信息不相符的基板，保证进入后续对盒工序中的基板能够准确进行对盒。
附图说明
通过参考附图会更加清楚的理解本发明的特征和优点，附图是示意性的而不应理解为对本发明进行任何限制，在附图中：
图1示出了根据本发明一个实施例的基板标记检测装置的示意框图；
图2示出了根据本发明又一个实施例基板标记检测装置的结构示意图；
图3示出了根据本发明一个实施例的信号流向示意图；
图4示出了根据本发明一个实施例的基板标记检测装置的示意流程图；
图5示出了根据本发明一个实施例的判断基板是否有效的示意流程图；
图6示出了根据本发明又一个实施例的判断基板是否有效的示意流程图；
图7示出了根据本发明一个实施例的计算标记嵌入基板的深度的示意流程图；
图8示出了根据本发明一个实施例的提取每个标记对应的信息进行显示的示意流程图。
具体实施方式
为了能够更清楚地理解本发明的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本发明进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是，本发明还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本发明的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
如图1所示，根据本发明一个实施例的基板标记检测装置10包括：
检测模块11，用于检测待检测的基板中每个标记嵌入基板的深度，根据每个深度判断基板是否有效；
信息提取模块12，在基板为有效的情况下，解析标记得到解析信息，查询标记对应的预存信息，判断解析信息与预存信息是否相符，若相符，则提取预存信息进行显示；
分拣模块13，在基板为无效或解析信息与预存信息不相符的情况下，去除基板。
在将标记嵌入基板内部的工艺中，一方面可以通过设置标记嵌入基板的深度来标记基板是否有效，例如在检测标记嵌入深度之前的工序中，检测到基板存在质量问题，不应进入后续对盒工序，那么可以将标记嵌入到基板的一定深度，使得检测模块11能够检测出该基板为无效基板，以便分拣模块13去除该基板。
另一方面可以通过设置标记的内容来标明基板的信息(例如身份信息和位置信息等)，例如基板并不存在质量问题，那么检测模块11不会判断其为无效，但是信息提取模块12根据其中的标记解析得到的解析信息中的位置信息与预存信息中的位置信息并不相符，说明该基板位置不够准确，在后续对盒工序中无法准确对盒，因此也由分拣模块13去除。
通过对基板中的标记进行检测，根据标记嵌入基板的深度进行判断，可以方便且准确地对基板的有效性进行判定，从而避免后续工序中对无效基板的检测，提高基板的整体检测效率，还可以去除解析信息与预存信息不相符的基板，保证进入后续对盒工序中的基板能够准确进行对盒。
优选地，检测模块11包括：
第一光收发单元111，用于向基板的第一表面对应标记的位置发射检测光线，获取第一表面反射的第一光线，以及标记的上表面反射的第二光线；
计算单元112，用于根据第一光线的第一传播距离和第二光线的第二传播距离计算标记嵌入基板的深度；
第一判断单元113，用于判断每个标记嵌入基板的深度之间是否满足预设关系，若不满足，则判定基板为无效。
通过光照方式可以准确且快速地检测基板内部标记嵌入基板的深度，从而准确且快速地判断基板是否有效。
例如在图2所示的结构中，第一光收发单元111可以是红外探测器，设置在横梁上，可以在横梁上沿着y轴运动，导轨在电缸的驱动下可以带动横梁沿着x轴运动，使得红外探测器可以扫描到所有的基板。
例如预设关系为标记之间嵌入基板的深度之差大于0.1mm为无效基板，那么在检测过程中，当在生产线的前序流程中检测出基板A存在缺陷，为无效基板，向基板A中的嵌入标记a1和a2，标记a1的上表面距离基板A的上表面0.5mm，标记a2的上表面距离基板A的上表面0.3mm，两者嵌入基板A的深度相差0.2mm，则第一判断单元113可以判断出0.2mm大于0.1mm，不符合预设关系，则判定基板为无效。
优选地，检测模块11包括：
第一光收发单元111，用于向基板的第一表面对应标记的位置发射检测光线，获取第一表面反射的第一光线，以及标记的上表面反射的第二光线；
计算单元112，用于根据第一光线的第一传播距离和第二光线的第二传播距离计算标记嵌入基板的深度；
第一判断单元113，判断每个深度是否处于预设深度范围内，若任一深度未处于预设深度范围内，则判定基板为无效，若每个深度都处于预设深度范围内，则判定基板为有效。
例如预设深度范围为0.2mm至0.4mm，那么在检测过程中，当在生产线的前序流程中检测出基板A存在缺陷，为无效基板，向基板A中的嵌入标记a1和a2，标记a1的上表面距离基板A的上表面0.5mm，标记a2的上表面距离基板A的上表面0.3mm，第一判断单元113可以判断出两者嵌入基板A的深度都不在预设深度范围内，判定基板为无效。
需要说明的是，上述预设关系和预设深度范围都可以根据需要进行具体设置。而且上述两种判定基板是否无效的方式可以分别单独使用，也可以在一个判定条件成立的基础上继续另一个判断，例如在判定每个标记嵌入基板的深度之间满足预设关系的基础上，可以进一步判断每个深度是否处于预设范围内，从而进一步保证准确地判定基板是否有效。
优选地，第一判断单元113还用于根据第二光线的第二传播距离判断标记的上表面形状，
若判定标记的上表面为平面，则判定第二传播距离中包含的多个子距离相等，计算单元112根据第二传播距离中任一子距离和第一传播距离计算标记嵌入基板的深度，
若判定标记的上表面为非平面，则判定第二传播距离中包含的多个子距离不相等，计算单元112据第二传播距离中最大的子距离和第一传播距离计算标记嵌入基板的深度。
由于标记在微观上具有一定的自身形状，其上表面形状可以分为平面、斜面和曲面等多种情况，照射在其上表面反射的第二光线也具有一定的面积，第一判断单元113可以根据接收到第二光线中每个区域的光程差的情况来确定标记的上表面性状。例如没有光程差，则说明书反射面是平面，即标记的上表面为平面，若存在光程差，且连续相邻区域的光程差相同，则说明反射面为均匀的斜面，即标记的上表面为斜面，连续相邻区域的光程差由负变正，则反射面为凹面，即标记的上表面为凹面。
其中，当标记上表面为曲面时，上表面中不同区域反射的第二光线的第二传播距离不同，因此计算得到的标记不同区域嵌入基板的深度也不同。通过统一选取第二传播距离中最大的子距离与第一传播距离计算标记嵌入基板的深度，可以保证在多个标记上表面不是平面时，对于多个标记嵌入深度的计算标准统一，以保证后续计算的准确性。
优选地，信息提取模块12包括：
第二光收发单元121，发出光线照射有效的基板，获取每个标记投影形成的点阵图像；
解析单元122，用于对点阵图像进行解析，得到解析信息，其中，解析信息为点阵图像编码数据；
查询单元123，用于查询标记对应的预存信息；
第二判断单元124，用于判断解析信息与预存信息是否相符；
提取单元125，在所述解析信息与所述预存信息相符的情况下，提取预存信息进行显示。
嵌入基板内部的标记，其中主要对应两种信息，一种信息用于标明基板的身份，根据该信息可以判断基板是否为预先设定的需要对盒的基板，另一种信息用于标明基板的位置信息，以便后续对盒过程中根据该位置信息进行准确地对盒。
由于标记的内容可能错误，或者标记的周边存在非标记点，因此需要将解析标记得到的解析信息与预存信息进行比较，例如可以根据点阵编码数据的头部信息在数据链表中查询相应的预存信息，若解析信息与预存信息相符(例如格式和/或内容相符)，说明解析信息准确有效，从而可以输出预存信息供后续工艺使用。
第二光收发单元121可以是红外光源发生元件，生成的红外光源可以由LED光头发出。并且第二光收发单元121只有在基板为有效时才会发出光线，若没有判定基板为有效而强制第二光收发单元121发出光线，则第二光收发单元121可以发出警报，进一步还可以清除解析点阵图像编码数据的程序，从而提高防伪效果。
优选地，信息提取模块12还包括：
滤光单元126，设置于第二光收发单元与点阵图像之间，用于滤除非标记在第二光收发单元121发出光线照射下产生的投影。
可以保证得到的点阵图像与标记真实信息相对应，避免污渍或非标记点产生的投影对点阵图像造成影响，进而保证准确地提取标记对应的信息。
优选地，信息提取模块还包括：
曝光单元127，用于对点阵图像进行曝光，使每个标记对应的点阵图像的灰阶处于预设灰阶范围以内，使非标记的点阵图像的灰阶处于预设灰阶范围以外，
其中，第二光收发单元121获取处于预设灰阶范围以内的点阵图像。
例如可以通过调节曝光的时间和图形的帧率来调整曝光后得到的灰阶值，而非标记点或污渍在曝光后的点阵图像灰阶值则在预设灰阶范围之外，从而可以保证获取到的点阵图像的准确性，进而保证准确地提取标记对应的信息。
优选地，提取单元125用于获取点阵图像编码数据的头部信息，查询与头部信息对应的预存信息，判断预存信息与图像编码数据中的数据信息是否相同，若相同，则提取预存信息并进行显示，若不相同，则发出提示信息。
其中的预存信息可以存储于数据链表中。而对提取的信息进行显示可以采用以下方式：
若对应的预存信息的文件类型为文本文件，则通过显示屏直接进行显示；
若对应的预存信息的文件类型为图片文件，则通过显示屏直接进行显示；
若对应的预存信息的文件类型为视频文件，则其图像部分通过显示屏直接进行显示，声音部分通过功放喇叭进行输出；
若对应的预存信息的文件类型为音频文件，则通过功放喇叭进行输出。
如图3所示，本实施例中的第一光收发单元111和第二光收发单元121可以是一个元件，即红外探测仪，红外探测仪上设置有微扫描镜，微扫描镜在微扫描驱动单元的驱动下工作，可以精确地扫描标记的上表面，从而得到准确的标记嵌入深度以及标记上表面性状。
多路高速数据采集元件可以获取红外探测仪对每个标记的扫描数据，并转发至红外信号预处理单元，红外信号预处理单元中可以由滤光单元126和/或曝光单元127等构成，用于对接收到的红外信号进行预处理，保证得到的点阵图像与标记相对应。
红外扫描图像重构单元可以对预处理之后的图像进行处理，得到点阵图像，并进一步根据点阵图像查询相应的预存信息，最终由合成单元将与标记相符的预存信息进行合成处理，例如音频和图像合成，然后输出。
优选地，信息提取模块12还用于解析被去除基板的备用标记得到备用信息，查询备用标记对应的备用预存信息，判断备用信息与备用预存信息是否相符，若相符，则提取备用预存信息进行显示。
基板上除了设置有标记，还可以设置有备用标记。被去除的基板虽然在前序工艺中被标记为无效，或者标记对应的解析信息与预存信息不相符，这意味着被去除的基板不适用于与预定的基板对盒，但是被去除的基板仍可能适用于与其他基板对盒，因此可以通过解析备用标记，并判断备用信息与备用预存信息是否相符，若相符，则说明被去除的基板可以根据备用预存信息与其他基板进行对盒。从而提高基板的利用率。
如图4所示，根据本发明一个实施例的基板标记检测方法，包括：
S1，检测待检测的基板中每个标记嵌入基板的深度，根据每个深度判断基板是否有效；
S2，在基板为有效的情况下，解析标记得到解析信息，查询标记对应的预存信息，判断解析信息与预存信息是否相符，若相符，则提取预存信息进行显示；
S3，在基板为无效或解析信息与预存信息不相符的情况下，去除基板。
如图5所示，优选地，检测待检测的基板中每个标记嵌入基板的深度，根据每个深度判断基板是否有效(即步骤S1)包括：
S11，向基板的第一表面对应标记的位置发射检测光线，获取第一表面反射的第一光线，以及标记的上表面反射的第二光线；
S12，根据第一光线的第一传播距离和第二光线的第二传播距离计算标记嵌入基板的深度；
S13，判断每个标记嵌入基板的深度之间是否满足预设关系，若不满足，则判定基板为无效。
如图6所示，优选地，检测待检测的基板中每个标记嵌入基板的深度，根据每个深度判断基板是否有效(即步骤S1)包括：
S11’，向基板的第一表面对应标记的位置发射检测光线，获取第一表面反射的第一光线，以及标记的上表面反射的第二光线；
S12’，根据第一光线的第一传播距离和第二光线的第二传播距离计算所述标记嵌入基板的深度；
S13’，判断每个深度是否处于预设深度范围内，若任一深度未处于预设深度范围内，则判定基板为无效，若每个深度都处于预设深度范围内，则判定基板为有效。
如图7所示，优选地，根据第一光线的第一传播距离和第二光线的第二传播距离计算标记嵌入基板的深度(即步骤S12)包括：
S121，根据第二光线的第二传播距离判断标记的上表面形状；
S122，若判定标记的上表面为平面，则判定第二传播距离中包含的多个子距离相等，计算单元根据第二传播距离中任一子距离和第一传播距离计算标记嵌入基板的深度；
S123，若判定标记的上表面为非平面，则判定第二传播距离中包含的多个子距离不相等，计算单元据第二传播距离中最大的子距离和第一传播距离计算标记嵌入基板的深度。
如图8所示，优选地，提取每个标记对应的信息进行显示(即步骤S2)包括：
S21，发出光线照射有效的基板，获取每个标记投影形成的点阵图像；
S22，对点阵图像进行解析，得到解析信息，其中，解析信息为点阵图像编码数据；
S23，查询标记对应的预存信息；
S24，判断解析信息与预存信息是否相符；
S25，在解析信息与预存信息相符的情况下，提取预存进行显示。
优选地，获取每个标记投影形成的点阵图像(即步骤S21)包括：
滤除非标记在第二光收发单元发出光线照射下产生的投影。
优选地，获取每个标记投影形成的点阵图像(即步骤S21)包括：
对点阵图像进行曝光，使每个标记对应的点阵图像的灰阶处于预设灰阶范围以内，使非标记的点阵图像的灰阶处于预设灰阶范围以外，获取处于预设灰阶范围以内的点阵图像。
优选地，根据点阵图像编码数据提取相应的信息进行显示(即步骤S23)包括：
获取点阵图像编码数据的头部信息，查询与头部信息对应的预存信息，判断预存信息与图像编码数据中的数据信息是否相同，若相同，则提取预存信息并进行显示，若不相同，则发出提示信息。
优选地，还包括：
解析被去除基板的备用标记得到备用信息，查询备用标记对应的备用预存信息，判断备用信息与备用预存信息是否相符，若相符，则提取备用预存信息进行显示。
以上结合附图详细说明了本发明的技术方案，考虑到相关技术中，无法对嵌入基板中的标记进行准确地检测。根据本发明的技术方案，通过对基板中的标记进行检测，根据标记嵌入基板的深度进行判断，可以方便且准确地对基板的有效性进行判定，从而避免后续工序中对无效基板的检测，提高基板的整体检测效率，并且可以仅输出有效基板中标记的信息，减少对无用信息的处理。
在本发明中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“多个”指两个或两个以上，除非另有明确的限定。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (18)

1.一种基板标记检测装置，其特征在于，包括：
检测模块，用于检测待检测的基板中每个标记嵌入所述基板的深度，根据每个所述深度判断所述基板是否有效；
信息提取模块，在所述基板为有效的情况下，解析所述标记得到解析信息，查询所述标记对应的预存信息，判断所述解析信息与所述预存信息是否相符，若相符，则提取所述预存信息进行显示；
分拣模块，在所述基板为无效或所述解析信息与所述预存信息不相符的情况下，去除所述基板。
2.根据权利要求1所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述检测模块包括：
第一光收发单元，用于向所述基板的第一表面对应所述标记的位置发射检测光线，获取所述第一表面反射的第一光线，以及所述标记的上表面反射的第二光线；
计算单元，用于根据所述第一光线的第一传播距离和所述第二光线的第二传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度；
第一判断单元，用于判断每个所述标记嵌入所述基板的深度之间是否满足预设关系，若不满足，则判定所述基板为无效。
3.根据权利要求1所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述检测模块包括：
第一光收发单元，用于向所述基板的第一表面对应所述标记的位置发射检测光线，获取所述第一表面反射的第一光线，以及所述标记的上表面反射的第二光线；
计算单元，用于根据所述第一光线的第一传播距离和所述第二光线的第二传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度；
第一判断单元，用于判断每个所述深度是否处于预设深度范围内，若任一所述深度未处于所述预设深度范围内，则判定所述基板为无效，若每个所述深度都处于所述预设深度范围内，则判定所述基板为有效。
4.根据权利要求2或3所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述第一判断单元还用于根据所述第二光线的第二传播距离判断所述标记的上表面形状，
若判定所述标记的上表面为平面，则判定所述第二传播距离中包含的多个子距离相等，所述计算单元根据所述第二传播距离中任一子距离和所述第一传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度，
若判定所述标记的上表面为非平面，则判定所述第二传播距离中包含的多个子距离不相等，所述计算单元据所述第二传播距离中最大的子距离和所述第一传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度。
5.根据权利要求1所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述信息提取模块包括：
第二光收发单元，发出光线照射有效的基板，获取每个所述标记投影形成的点阵图像；
解析单元，用于对所述点阵图像进行解析，得到解析信息，其中，所述解析信息为点阵图像编码数据；
查询单元，用于查询所述标记对应的预存信息；
第二判断单元，用于判断所述解析信息与所述预存信息是否相符；
提取单元，在所述解析信息与所述预存信息相符的情况下，提取所述预存信息进行显示。
6.根据权利要求5所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述信息提取模块还包括：
滤光单元，设置于所述第二光收发单元与所述点阵图像之间，用于滤除非标记在所述第二光收发单元发出光线照射下产生的投影。
7.根据权利要求5所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述信息提取模块还包括：
曝光单元，用于对所述点阵图像进行曝光，使每个所述标记对应的点阵图像的灰阶处于预设灰阶范围以内，使非标记的点阵图像的灰阶处于预设灰阶范围以外，
其中，所述第二光收发单元获取处于所述预设灰阶范围以内的点阵图像。
8.根据权利要求5所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述提取单元用于获取所述点阵图像编码数据的头部信息，查询与所述头部信息对应的预存信息，判断所述预存信息与所述图像编码数据中的数据信息是否相同，若相同，则提取所述预存信息并进行显示，若不相同，则发出提示信息。
9.根据权利要求1至3和5至8中任一项所述的基板标记检测装置，其特征在于，所述信息提取模块还用于解析被去除基板的备用标记得到备用信息，查询所述备用标记对应的备用预存信息，判断所述备用信息与备用预存信息是否相符，若相符，则提取备用预存信息进行显示。
10.一种基板标记检测方法，其特征在于，包括：
检测待检测的基板中每个标记嵌入所述基板的深度，根据每个所述深度判断所述基板是否有效；
在所述基板为有效的情况下，解析所述标记得到解析信息，查询所述标记对应的预存信息，判断所述解析信息与所述预存信息是否相符，若相符，则提取所述预存信息进行显示；
在所述基板为无效或所述解析信息与所述预存信息不相符的情况下，去除所述基板。
11.根据权利要求10所述的基板标记检测方法，其特征在于，所述检测待检测的基板中每个标记嵌入所述基板的深度，根据每个所述深度判断所述基板是否有效包括：
向所述基板的第一表面对应所述标记的位置发射检测光线，获取所述第一表面反射的第一光线，以及所述标记的上表面反射的第二光线；
根据所述第一光线的第一传播距离和所述第二光线的第二传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度；
判断每个所述标记嵌入所述基板的深度之间是否满足预设关系，若不满足，则判定所述基板为无效。
12.根据权利要求10所述的基板标记检测方法，其特征在于，所述检测待检测的基板中每个标记嵌入所述基板的深度，根据每个所述深度判断所述基板是否有效包括：
向所述基板的第一表面对应所述标记的位置发射检测光线，获取所述第一表面反射的第一光线，以及所述标记的上表面反射的第二光线；
根据所述第一光线的第一传播距离和所述第二光线的第二传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度；
判断每个所述深度是否处于预设深度范围内，若任一所述深度未处于所述预设深度范围内，则判定所述基板为无效，若每个所述深度都处于所述预设深度范围内，则判定所述基板为有效。
13.根据权利要求11或12所述的基板标记检测方法，其特征在于，所述根据所述第一光线的第一传播距离和所述第二光线的第二传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度包括：
根据所述第二光线的第二传播距离判断所述标记的上表面形状；
若判定所述标记的上表面为平面，则判定所述第二传播距离中包含的多个子距离相等，所述计算单元根据所述第二传播距离中任一子距离和所述第一传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度；
若判定所述标记的上表面为非平面，则判定所述第二传播距离中包含的多个子距离不相等，所述计算单元据所述第二传播距离中最大的子距离和所述第一传播距离计算所述标记嵌入所述基板的深度。
14.根据权利要求10所述的基板标记检测方法，其特征在于，所述提取每个所述标记对应的信息进行显示包括：
发出光线照射有效的基板，获取每个所述标记投影形成的点阵图像；
对所述点阵图像进行解析，得到解析信息，其中，所述解析信息为点阵图像编码数据；
查询所述标记对应的预存信息；
判断所述解析信息与所述预存信息是否相符；
在所述解析信息与所述预存信息相符的情况下，提取所述预存进行显示。
15.根据权利要求14所述的基板标记检测方法，其特征在于，所述获取每个所述标记投影形成的点阵图像包括：
滤除非标记在所述第二光收发单元发出光线照射下产生的投影。
16.根据权利要求14所述的基板标记检测方法，其特征在于，所述获取每个所述标记投影形成的点阵图像包括：
对所述点阵图像进行曝光，使每个所述标记对应的点阵图像的灰阶处于预设灰阶范围以内，使非标记的点阵图像的灰阶处于预设灰阶范围以外，获取处于所述预设灰阶范围以内的点阵图像。
17.根据权利要求14所述的基板标记检测方法，其特征在于，所述根据所述点阵图像编码数据提取相应的信息进行显示包括：
获取所述点阵图像编码数据的头部信息，查询与所述头部信息对应的预存信息，判断所述预存信息与所述图像编码数据中的数据信息是否相同，若相同，则提取所述预存信息并进行显示，若不相同，则发出提示信息。
18.根据权利要求10至12和14至17中任一项所述的基板标记检测装置，其特征在于，还包括：
解析被去除基板的备用标记得到备用信息，查询所述备用标记对应的备用预存信息，判断所述备用信息与备用预存信息是否相符，若相符，则提取备用预存信息进行显示。
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