CN105058367B - 一种四自由度压电微夹钳的制作工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种四自由度压电微夹钳的制作工艺，优点是通过该方法制作得到的四自由度压电微夹钳其压电晶片及其表面电极具有较高的形状与尺寸精度，且上下晶片及其电极之间具有较高的相对位置精度，使得四自由度压电微夹钳具有良好的输出特性，如：输出位移和输出力重复性好、响应速度快、固有频率高，而且由于制作得到的四自由度压电微夹钳可使每个钳指都可实现夹持方向和垂直于夹持方向的动作，即每个钳指具有两个方向的自由度，整个压电微夹钳具有四个自由度，从而可省掉微装配与微操作系统的部分前端执行机构，降低了系统的设计难度与复杂度，减小了系统的质量和体积，也降低了系统的成本。
Description
技术领域
本发明涉及微/纳米定位技术领域，属于微零件装配、细胞微操作等微/纳米定位系统中的末端执行器，尤其涉及一种四自由度压电微夹钳的制作工艺。
背景技术
微夹钳是能够产生微米或纳米级运动精度与运动分辨率的末端执行器，它可应用于MEMS、生物工程等前沿技术领域中。在MEMS中，微夹钳可对微轴、微齿轮等微零件以及微马达、微泵等微部件进行拾取、搬运等操作；在生物工程中，微夹钳用于捕捉和释放细胞，还可同微冲击探针相结合，实现向细胞内注入或从细胞中提取某一成分。
目前的微夹钳每个钳指仅具有一个夹持方向的自由度，整个微夹钳仅具有两个自由度，仅能实现夹持方向的动作，其它方向的动作必须通过其前端的执行机构来实现，这就使得整个微装配与微操作系统的复杂度和设计难度加大，成本提高。而且目前压电微夹钳的制作工艺都是针对两自由度压电微夹钳，即先制作出相应尺寸的全电极压电陶瓷晶片，然后将两晶片粘结成钳指，再通过相应的机械连接结构将两钳指结合成微夹钳。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种可加工出具有四自由度的压电微夹钳，且可使四自由度压电微夹钳的压电晶片及其表面电极具有较高的形状与尺寸精度，且上下晶片及其电极之间具有较高的相对位置精度的四自由度压电微夹钳的制作工艺。
本发明解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种四自由度压电微夹钳的制作工艺，包括以下具体步骤：
(1)、取两块压电陶瓷单晶片，其中一块作为上晶片，另一块作为下晶片，并在上晶片的一端通过紫外线激光切割加工出一个方形的缺口；
(2)、将上晶片和下晶片电极化，并将电极化后的上晶片的粘结面上的电极通过光刻法全部去除，可避免上晶片的粘结面与下晶片的粘结面在粘结时因电极不对齐而引起钳指在夹持方向与垂直于夹持方向上的输出位移的相互耦合；
(3)、在电极化后的下晶片的非粘结面上光刻出相互独立且并排设置的第一左下电极、第二左下电极、第三左下电极、第一右下电极、第二右下电极、第三右下电极以及分别与其一一对应一体连接的第一左下电极引出脚、第二左下电极引出脚、第三左下电极引出脚、第一右下电极引出脚、第二右下电极引出脚、第三右下电极引出脚，并在下晶片的非粘结面上做出两个十字定位基准点，然后以下晶片非粘结面上的两个十字定位基准点作为定位基准，在下晶片的粘结面上光刻出相互独立的第四左下电极、第四右下电极以及分别与其一一对应一体连接的第四左下电极引出脚、第四右下电极引出脚，第四左下电极与第二左下电极上下对齐，第四右下电极与第二右下电极上下对齐；
(4)、将上晶片的粘结面与下晶片的粘结面用绝缘胶进行粘结固定得到压电陶瓷双晶片，且上晶片上的缺口与下晶片上的第四左下电极引出脚的端部、第四右下电极引出脚的端部相对齐；
(5)、以下晶片非粘结面上的两个十字定位基准点作为定位基准，在上晶片的非粘结面上光刻出相互独立且并排设置的第一左上电极、第二左上电极、第三左上电极、第一右上电极、第二右上电极、第三右上电极以及分别与其一一对应一体连接的第一左上电极引出脚、第二左上电极引出脚、第三左上电极引出脚、第一右上电极引出脚、第二右上电极引出脚、第三右上电极引出脚，且第一左上电极与第一左下电极、第二左上电极与第二左下电极、第三左上电极与第三左下电极、第一右上电极与第一右下电极、第二右上电极与第二右下电极、第三右上电极与第三右下电极分别上下对齐；
(6)、对压电陶瓷双晶片进行紫外线激光切割，加工出一体连接的支撑部、左钳指部、右钳指部以及一体连接在左钳指部自由端和右钳指部自由端的扩展部，得到具有四自由度的压电微夹钳；其中：支撑部由上下对齐的上支撑部与下支撑部组成，左钳指部由上下对齐的左上钳指部与左下钳指部组成，右钳指部由上下对齐的右上钳指部和右下钳指部组成，扩展部由上下对齐的上扩展部与下扩展部组成，上支撑部、左上钳指部、右上钳指部和上扩展部一体连接，左上钳指部和右上钳指部沿上支撑部的中心线对称，第一左上电极、第二左上电极和第三左上电极位于左上钳指部的非粘结面上，第一右上电极、第二右上电极和第三右上电极位于右上钳指部的非粘结面上，第一左上电极引出脚、第二左上电极引出脚、第三左上电极引出脚、第一右上电极引出脚、第二右上电极引出脚和第三右上电极引出脚位于上支撑部的非粘结面上，下支撑部、左下钳指部、右下钳指部和下扩展部一体连接，左下钳指部和右下钳指部沿下支撑部的中心线对称，第一左下电极、第二左下电极和第三左下电极位于左下钳指部的非粘结面上，第一右下电极、第二右下电极和第三右下电极位于右下钳指部的非粘结面上，第一左下电极引出脚、第二左下电极引出脚、第三左下电极引出脚、第一右下电极引出脚、第二右下电极引出脚和第三右下电极引出脚位于下支撑部的非粘结面上，第四左下电极位于左下钳指部的粘结面上，第四右下电极位于右下钳指部的粘结面上，第四左下电极引出脚和第四右下电极引出脚位于下支撑部的粘结面上。
所述的第一左上电极引出脚与所述的第一左下电极引出脚、所述的第二左上电极引出脚与所述的第二左下电极引出脚、所述的第三左上电极引出脚与所述的第三左下电极引出脚、所述的第一右上电极引出脚与所述的第一右下电极引出脚、所述的第二右上电极引出脚与所述的第二右下电极引出脚、所述的第三右上电极引出脚与所述的第三右下电极引出脚分别上下对齐。
与现有技术相比，本发明的优点是通过该方法制作得到的四自由度压电微夹钳其压电晶片及其表面电极具有较高的形状与尺寸精度，且上下晶片及其电极之间具有较高的相对位置精度，使得四自由度压电微夹钳具有良好的输出特性，如：输出位移和输出力重复性好、响应速度快、固有频率高，而且由于制作得到的四自由度压电微夹钳可使每个钳指都可实现夹持方向和垂直于夹持方向的动作，即每个钳指具有两个方向的自由度，整个压电微夹钳具有四个自由度，从而可省掉微装配与微操作系统的部分前端执行机构，降低了系统的设计难度与复杂度，减小了系统的质量和体积，也降低了系统的成本；此外，在制作过程中，切割加工上晶片或下晶片时，采用紫外线激光切割(即激光冷加工)，其以打断材料分子化学键的方式去除材料，不会导致压电晶片的变性，并能保证切割后所形成的表面光滑且无残渣；而上晶片粘结面上的电极通过光刻法全部去除，可避免上晶片的粘结面与下晶片的粘结面在粘结时因电极不对齐而引起钳指在夹持方向与垂直于夹持方向上的输出位移的相互耦合，可提高压电微夹钳的输出特性，且上晶片的粘结面与下晶片的粘结面通过绝缘胶进行粘结固定，可减少驱动电源的数量。
附图说明
图1(a)～(g)分别为本发明制作过程的状态图；
图2为本发明加工得到的四自由度压电微夹钳的俯视图；
图3为本发明加工得到的四自由度压电微夹钳的仰视图；
图4为图2中左钳指部的A-A剖视图；
图5为图2中右钳指部的A-A剖视图；
图6为本发明的压电微夹钳上半部分的非粘结面的结构示意图；
图7为本发明的压电微夹钳上半部分的粘结面的结构示意图；
图8为本发明的压电微夹钳下半部分的非粘结面的结构示意图；
图9为本发明的压电微夹钳下半部分的粘结面的结构示意图；
图10(Ⅰ)、(Ⅱ)、(Ⅲ)分别为本发明加工得到的压电微夹钳的钳指实现不同动作的原理说明图。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本发明作进一步详细描述。
如图所示，一种四自由度压电微夹钳的制作工艺，包括以下具体步骤：
(1)、取两块压电陶瓷单晶片，其中一块作为上晶片1，另一块作为下晶片2(如图1(a)所示)，并在上晶片1的一端通过紫外线激光切割加工出一个方形的缺口15(如图1(b)所示)；
(2)、将上晶片1和下晶片2电极化，并将电极化后的上晶片1的粘结面上的电极通过光刻法全部去除(如图1(c)所示)；
(3)、在电极化后的下晶片2的非粘结面上光刻出相互独立且并排设置的第一左下电极22-1、第二左下电极22-2、第三左下电极22-3、第一右下电极23-1、第二右下电极23-2、第三右下电极23-3以及分别与其一一对应一体连接的第一左下电极引出脚22-1-1、第二左下电极引出脚22-2-1、第三左下电极引出脚22-3-1、第一右下电极引出脚23-1-1、第二右下电极引出脚23-2-1、第三右下电极引出脚23-3-1，并在下晶片2的非粘结面上做出两个十字定位基准点25(如图1(d)所示)，然后以下晶片2非粘结面上的两个十字定位基准点25作为定位基准，在下晶片2的粘结面上光刻出相互独立的第四左下电极22-4、第四右下电极23-4以及分别与其一一对应一体连接的第四左下电极引出脚22-4-1、第四右下电极引出脚23-4-1(如图1(e)所示)，第四左下电极22-4与第二左下电极22-2上下对齐，第四右下电极23-4与第二右下电极23-2上下对齐；
(4)、将上晶片1的粘结面与下晶片2的粘结面用绝缘胶3进行粘结固定得到压电陶瓷双晶片，且上晶片1上的缺口15与下晶片2上的第四左下电极引出脚22-4-1的端部、第四右下电极引出脚23-4-1的端部相对齐(如图1(f)所示)；
(5)、以下晶片2非粘结面上的两个十字定位基准点25作为定位基准，在上晶片1的非粘结面上光刻出相互独立且并排设置的第一左上电极12-1、第二左上电极12-2、第三左上电极12-3、第一右上电极13-1、第二右上电极13-2、第三右上电极13-3以及分别与其一一对应一体连接的第一左上电极引出脚12-1-1、第二左上电极引出脚12-2-1、第三左上电极引出脚12-3-1、第一右上电极引出脚13-1-1、第二右上电极引出脚13-2-1、第三右上电极引出脚13-3-1(如图1(g)所示)，且第一左上电极12-1与第一左下电极22-1、第二左上电极12-2与第二左下电极22-2、第三左上电极12-3与第三左下电极22-3、第一右上电极13-1与第一右下电极23-1、第二右上电极13-2与第二右下电极23-2、第三右上电极13-3与第三右下电极23-3分别上下对齐，第一左上电极引出脚12-1-1与第一左下电极引出脚22-1-1、第二左上电极引出脚12-2-1与第二左下电极引出脚22-2-1、第三左上电极引出脚12-3-1与第三左下电极引出脚22-3-1、第一右上电极引出脚13-1-1与第一右下电极引出脚23-1-1、第二右上电极引出脚13-2-1与第二右下电极引出脚23-2-1、第三右上电极引出脚13-3-1与第三右下电极引出脚23-3-1分别上下对齐；
(6)、对压电陶瓷双晶片进行紫外线激光切割，加工出一体连接的支撑部、左钳指部、右钳指部以及一体连接在左钳指部自由端和右钳指部自由端的扩展部，扩展部上可安装不同形状的夹持头，得到具有四自由度的压电微夹钳(如图2所示)；其中：支撑部由上下对齐的上支撑部11与下支撑部21组成，左钳指部由上下对齐的左上钳指部12与左下钳指部22组成，右钳指部由上下对齐的右上钳指部13和右下钳指部23组成，扩展部由上下对齐的上扩展部14与下扩展部24组成，上支撑部11、左上钳指部12、右上钳指部13和上扩展部14一体连接，左上钳指部12和右上钳指部13沿上支撑部11的中心线对称，第一左上电极12-1、第二左上电极12-2和第三左上电极12-3位于左上钳指部12的非粘结面上，第一右上电极13-1、第二右上电极13-2和第三右上电极13-3位于右上钳指部13的非粘结面上，第一左上电极引出脚12-1-1、第二左上电极引出脚12-2-1、第三左上电极引出脚12-3-1、第一右上电极引出脚13-1-1、第二右上电极引出脚13-2-1和第三右上电极引出脚13-3-1位于上支撑部11的非粘结面上，下支撑部21、左下钳指部22、右下钳指部23和下扩展部24一体连接，左下钳指部22和右下钳指部23沿下支撑部21的中心线对称，第一左下电极22-1、第二左下电极22-2和第三左下电极22-3位于左下钳指部22的非粘结面上，第一右下电极23-1、第二右下电极23-2和第三右下电极23-3位于右下钳指部23的非粘结面上，第一左下电极引出脚22-1-1、第二左下电极引出脚22-2-1、第三左下电极引出脚22-3-1、第一右下电极引出脚23-1-1、第二右下电极引出脚23-2-1和第三右下电极引出脚23-3-1位于下支撑部21的非粘结面上，第四左下电极22-4位于左下钳指部22的粘结面上，第四右下电极23-4位于右下钳指部23的粘结面上，第四左下电极引出脚22-4-1和第四右下电极引出脚23-4-1位于下支撑部21的粘结面上。
通过上述工艺制作得到的四自由度压电微夹钳在使用时，要先将：第一左上电极引出脚12-1-1与第三左下电极引出脚22-3-1电连接，第二左上电极引出脚12-2-1与第二左下电极引出脚22-2-1电连接，第三左上电极引出脚12-3-1与第一左下电极引出脚22-1-1电连接，第一右上电极引出脚13-1-1与第三右下电极引出脚23-3-1电连接，第二右上电极引出脚13-2-1与第二右下电极引出脚23-2-1电连接，第三右上电极引出脚13-3-1与第一右下电极引出脚23-1-1电连接。
以下以本发明的压电微夹钳的其中一个钳指为例，对其实现不同动作的原理进行具体说明：
图10中，表示垂直于纸面且指向纸面外部的方向，即x正向；表示垂直于纸面且指向纸面内部的方向，即x负向。
如图10(Ⅰ)所示，通过一组逆压电效应使钳指产生夹持方向的动作的原理为：在所给定的晶片电极化(电极化强度P表示)方向下，当大小为Uy的驱动电压同时作用于钳指的左、右两侧(图10(Ⅰ)中虚线框所示)时，由于钳指左侧的电场(电场强度Ey表示)方向和电极化方向相反，该部分沿x正向伸长；而由于钳指右侧的电场方向和电极化方向相同，该部分则沿x负向缩短，于是整个钳指便沿y轴正向产生弯曲微位移，即产生夹持方向的动作。
如图10(Ⅱ)所示，通过另一组逆压电效应使钳指产生垂直于夹持方向的动作的原理为：在同样的晶片电极化方向下，当大小为Uz的驱动电压同时作用于钳指中间部分的上下晶片(图10(Ⅱ)中虚线框所示)时，由于上晶片的电场(电场强度Ez表示)方向和电极化方向相反，该部分晶片沿x正向伸长；而由于下晶片的电场方向和电极化方向相同，该部分晶片则沿x负向缩短，于是整个钳指便沿z轴负向产生弯曲微位移，即产生垂直于夹持方向的动作。
如图10(Ⅲ)所示，通过两组空间垂直交叉的逆压电效应使钳指具有两个自由度的原理为：当驱动电压Uy、Uz同时作用于钳指上时，整个钳指便同时沿y轴正向和z轴负向产生二维微位移。
Claims (2)
1.一种四自由度压电微夹钳的制作工艺，其特征在于包括以下具体步骤：
（1）、取两块压电陶瓷单晶片，其中一块作为上晶片，另一块作为下晶片，并在上晶片的一端通过紫外线激光切割加工出一个方形的缺口；
（2）、将上晶片和下晶片电极化，并将电极化后的上晶片的粘结面上的电极通过光刻法全部去除；
（3）、在电极化后的下晶片的非粘结面上光刻出相互独立且并排设置的第一左下电极、第二左下电极、第三左下电极、第一右下电极、第二右下电极、第三右下电极以及分别与其一一对应一体连接的第一左下电极引出脚、第二左下电极引出脚、第三左下电极引出脚、第一右下电极引出脚、第二右下电极引出脚、第三右下电极引出脚，并在下晶片的非粘结面上做出两个十字定位基准点，然后以下晶片非粘结面上的两个十字定位基准点作为定位基准，在下晶片的粘结面上光刻出相互独立的第四左下电极、第四右下电极以及分别与其一一对应一体连接的第四左下电极引出脚、第四右下电极引出脚，第四左下电极与第二左下电极上下对齐，第四右下电极与第二右下电极上下对齐；
（4）、将上晶片的粘结面与下晶片的粘结面用绝缘胶进行粘结固定得到压电陶瓷双晶片，且上晶片上的缺口与下晶片上的第四左下电极引出脚的端部、第四右下电极引出脚的端部相对齐；
（5）、以下晶片非粘结面上的两个十字定位基准点作为定位基准，在上晶片的非粘结面上光刻出相互独立且并排设置的第一左上电极、第二左上电极、第三左上电极、第一右上电极、第二右上电极、第三右上电极以及分别与其一一对应一体连接的第一左上电极引出脚、第二左上电极引出脚、第三左上电极引出脚、第一右上电极引出脚、第二右上电极引出脚、第三右上电极引出脚，且第一左上电极与第一左下电极、第二左上电极与第二左下电极、第三左上电极与第三左下电极、第一右上电极与第一右下电极、第二右上电极与第二右下电极、第三右上电极与第三右下电极分别上下对齐；
（6）、对压电陶瓷双晶片进行紫外线激光切割，加工出一体连接的支撑部、左钳指部、右钳指部以及一体连接在左钳指部自由端和右钳指部自由端的扩展部，得到具有四自由度的压电微夹钳；其中：支撑部由上下对齐的上支撑部与下支撑部组成，左钳指部由上下对齐的左上钳指部与左下钳指部组成，右钳指部由上下对齐的右上钳指部和右下钳指部组成，扩展部由上下对齐的上扩展部与下扩展部组成，上支撑部、左上钳指部、右上钳指部和上扩展部一体连接，左上钳指部和右上钳指部沿上支撑部的中心线对称，第一左上电极、第二左上电极和第三左上电极位于左上钳指部的非粘结面上，第一右上电极、第二右上电极和第三右上电极位于右上钳指部的非粘结面上，第一左上电极引出脚、第二左上电极引出脚、第三左上电极引出脚、第一右上电极引出脚、第二右上电极引出脚和第三右上电极引出脚位于上支撑部的非粘结面上，下支撑部、左下钳指部、右下钳指部和下扩展部一体连接，左下钳指部和右下钳指部沿下支撑部的中心线对称，第一左下电极、第二左下电极和第三左下电极位于左下钳指部的非粘结面上，第一右下电极、第二右下电极和第三右下电极位于右下钳指部的非粘结面上，第一左下电极引出脚、第二左下电极引出脚、第三左下电极引出脚、第一右下电极引出脚、第二右下电极引出脚和第三右下电极引出脚位于下支撑部的非粘结面上，第四左下电极位于左下钳指部的粘结面上，第四右下电极位于右下钳指部的粘结面上，第四左下电极引出脚和第四右下电极引出脚位于下支撑部的粘结面上。
2.如权利要求1所述的一种四自由度压电微夹钳的制作工艺，其特征在于所述的第一左上电极引出脚与所述的第一左下电极引出脚、所述的第二左上电极引出脚与所述的第二左下电极引出脚、所述的第三左上电极引出脚与所述的第三左下电极引出脚、所述的第一右上电极引出脚与所述的第一右下电极引出脚、所述的第二右上电极引出脚与所述的第二右下电极引出脚、所述的第三右上电极引出脚与所述的第三右下电极引出脚分别上下对齐。
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| Publication Number | Publication Date |
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ID=54487991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105058367B (zh) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1591190A1 (fr) * | 2004-04-29 | 2005-11-02 | Vai Clecim | Procédé de soudure de deux tôles métalliques |
| JP3893016B2 (ja) * | 2000-07-26 | 2007-03-14 | 独立行政法人科学技術振興機構 | マイクロマシンおよびマイクロマシンシステム |
| CN103264385A (zh) * | 2013-05-08 | 2013-08-28 | 袁庆丹 | 自动微操作装置 |
| CN103576242A (zh) * | 2013-10-25 | 2014-02-12 | 中国科学院半导体研究所 | 一种挡光式微机电可变光衰减器的制作方法 |
-
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3893016B2 (ja) * | 2000-07-26 | 2007-03-14 | 独立行政法人科学技術振興機構 | マイクロマシンおよびマイクロマシンシステム |
| EP1591190A1 (fr) * | 2004-04-29 | 2005-11-02 | Vai Clecim | Procédé de soudure de deux tôles métalliques |
| CN103264385A (zh) * | 2013-05-08 | 2013-08-28 | 袁庆丹 | 自动微操作装置 |
| CN103576242A (zh) * | 2013-10-25 | 2014-02-12 | 中国科学院半导体研究所 | 一种挡光式微机电可变光衰减器的制作方法 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 《四自由度压电微夹钳的研究》;邬亮恩;《中国优秀硕士学位论文全文数据库 工业科技II辑》;20150315;第7-10页、第36-39页，附图2-1~2 * |
| 一种压电致动微夹钳及其开环位移特性;王代华等;《纳米技术与精密工程》;20100131;第8卷(第1期);第47-53页 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN105058367A (zh) | 2015-11-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20170301 Termination date: 20190820 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |