CN105044130B - 一种光学膜的缺陷判别方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及光学膜的缺陷判别方法。本发明涉及光学膜的缺陷判别方法，根据具备：(S1)对在两面层叠有保护膜的光学膜进行检查并确认是否包括异物的阶段；(S2)剥离包括所述异物的光学膜两面的保护膜，并将所述异物分类为合格品性异物与缺陷的阶段；(S3)得到所述合格品性异物和缺陷的选自下式1的密度、下式2的厚度、以及面积之中的一个以上的值与强度的关系相关的信息，并获取将所述异物分类为合格品性异物与缺陷的基准的阶段；以及(S4)将根据所述得到的信息，光学膜的异物之中判别为合格品性异物的异物从缺陷中除外的阶段，从而根据正确地判定以往被判别为缺陷但实际上并不是缺陷等的物质，能够显著提升光学膜的制造收率，大幅减少制造成本。

Description

一种光学膜的缺陷判别方法

技术领域

本发明涉及光学膜的缺陷判别方法。更详细而言，涉及对于偏振片，能够减少合格品的不良判定的不良检测方法。

背景技术

最近，液晶显示器或有机发光显示器、场致发射显示器(FED)、等离子体显示面板(PDP)等各种图像显示装置得到广泛开发使用。

另一方面，由于图像显示装置在进入市场之前在制造过程中产生各种不良，因此会经过很多检查过程，其中，在图像显示装置中使用最多的一个部件是偏光膜、相位差膜等各种光学膜，因此，光学膜的缺陷成为图像显示装置的不良的一个主要原因。检测光学膜的缺陷，首先判别是否是缺陷并进行正确的判定，然后，判别是缺陷时，缺陷的修复(repair)或废弃、进而缺陷原因的去除等从制造工序的生产收率的侧面来看无疑是重要的部分。

光学膜的制造为了产业性的大量生产而通常使用生产线工序。因此，缺陷的检测包括在生产线的特定的位置连续拍摄光学膜并在拍摄的部分判别缺陷。

在缺陷判别中，以往重要的是不漏掉各种缺陷来进行检测。对此，韩国公开专利第2010-24753号公报记载了对包括异物的封闭曲线与异物的面积进行比较来判别线状的异物的方法。

但是，由于近年的光学膜的大型化倾向导致部件的成本上升，要求更正确的缺陷判别方法，因此，仍然要求能够正确地判别缺陷的方法。

现有技术文献

专利文献

【专利文献1】韩国公开专利第2010-24753号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明的目的在于提供一种正确地判别光学膜的缺陷及非缺陷的方法。

本发明的目的在于提供一种光学膜的缺陷判别方法，将以往被判别为缺陷等但实际上并不是缺陷的判别为不是缺陷。

本发明的目的在于提供一种光学膜的缺陷判别装置，将以往被判别为缺陷等但实际上并不是缺陷的判别为不是缺陷。

解决技术问题的技术手段

1.一种光学膜的缺陷判别方法，具备：

(S1)对在两面层叠有保护膜的光学膜进行检查并确认是否包括异物的阶段；

(S2)剥离包括所述异物的光学膜两面的保护膜，并将所述异物分类为合格品性异物与缺陷的阶段；

(S3)得到所述合格品性异物和缺陷的选自下式1的密度、下式2的厚度、以及面积之中的一个以上的值与强度的关系相关的信息，并获取将所述异物分类为合格品性异物与缺陷的基准的阶段；以及

(S4)根据所述得到的信息，将光学膜的异物之中判别为合格品性异物的异物从缺陷中除外的阶段，

【式1】

异物的密度＝异物的面积/以异物的长轴为直径的圆的面积

【式2】

异物的厚度＝异物的面积/异物的长轴的长度

2.光学膜的缺陷判别方法，在所述项目1中，所述阶段(S3)具备阶段(S3-1)，其中，获取根据各异物的强度与密度的关系对合格品性异物和缺陷进行分类的一次分类基准。

3.光学膜的缺陷判别方法，在所述项目2中，所述阶段(S3)进一步具备阶段(S3-2)，其中，获取根据各异物的强度与厚度的关系，对根据一次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的二次分类基准。

4.光学膜的缺陷判别方法，在所述项目3中，所述阶段(S3)进一步具备阶段(S3-3)，其中获取根据各异物的强度与面积的关系，对根据二次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的三次分类基准。

5.光学膜的缺陷判别方法，在所述项目4中，所述阶段(S3)进一步具备阶段(S3-4)，其中获取根据各异物的强度与面积的关系，对根据三次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的四次分类基准。

6.光学膜的缺陷判别方法，在所述项目5中，所述阶段(S3)进一步具备阶段(S3-5)，其中，获取根据各异物的强度与密度的关系，对根据所述一次、二次、三次和四次分类基准被分类为合格品性异物的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的五次分类基准。

7.光学膜的缺陷判别方法，在所述项目6中，所述阶段(S3)进一步具备阶段(S3-6)，其中，获取根据各异物的强度与密度的关系，对根据所述五次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的六次分类基准。

8.光学膜的缺陷判别方法，在所述项目7中，所述阶段(S3)进一步具备阶段(S3-7)，其中，获取根据各异物的纵长与横长的关系，对根据所述六次分类基准被分类为合格品性异物的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的七次分类基准。

9.光学膜的缺陷判别方法，在所述项目8中，所述阶段(S3)进一步具备阶段(S3-8)，其中，获取根据各异物的纵长与横长的关系，对根据所述七次分类基准被分类为合格品性异物的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的八次分类基准。

10.光学膜的缺陷判别方法，在所述项目9中，所述阶段(S3)进一步具备阶段(S3-9)，其中，获取在横长超过被预先确定为缺陷的横长值，纵长超过被预先确定为缺陷的纵长值时，将根据所述八次分类基准被分类为缺陷的异物分类为缺陷的九次分类基准。

11.光学膜的缺陷判别方法，在所述项目10中，所述阶段(S3-9)在横长超过被预先确定为缺陷的横长值，纵长超过被预先确定为缺陷的纵长值时，将根据六次和七次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为缺陷。

12.光学膜的缺陷判别方法，在所述项目1中，在所述阶段(S4)，合格品性异物为非团簇缺陷的异物，所述团簇缺陷为在以任意一个异物为中心半径5mm的圆内存在两个以上其他异物时，包括中心的异物的所述异物的集合。

13.光学膜的缺陷判别方法，在所述项目1中，在所述阶段(S4)，将由光透射检查和正交尼科耳棱镜检查均筛选出的异物之中满足下式3的异物从缺陷中除外，

【式3】

(由正交尼科耳棱镜检查筛选的面积/由光透射检查筛选的面积)≥8

14.一种光学膜的缺陷判别装置，具备：

光源，对在两面层叠有保护膜的光学膜的一面照射光；

拍摄设备，拍摄所述光学膜的光的照射部位；

异物筛选部，以所述拍摄设备拍摄的映像筛选异物；

保护膜剥离部，剥离所述光学膜两面的保护膜；

信息获取部，在保护膜剥离后，得到被去除的异物与保护膜剥离后仍残存的异物的选自下式1的密度、下式2的厚度、以及面积之中的一个以上的值与强度的关系相关的信息；以及

判定部，根据在所述信息获取部得到的信息，将在两面层叠有保护膜的光学膜的所述异物分类为合格品性异物与缺陷，

【式1】

异物的密度＝异物的面积/以异物的长轴为直径的圆的面积

【式2】

异物的厚度＝异物的面积/异物的长轴的长度

15.光学膜的缺陷判别装置，在所述项目14中，所述信息获取部获取根据各异物的强度与密度的关系对合格品性异物和缺陷进行分类的一次分类基准。

16.光学膜的缺陷判别装置，在所述项目15中，所述信息获取部进一步得到根据各异物的强度与厚度的关系，对根据一次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的二次分类基准。

17.光学膜的缺陷判别装置，在所述项目16中，所述信息获取部进一步得到根据各异物的强度与面积的关系，对根据二次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的三次分类基准。

18.光学膜的缺陷判别装置，在所述项目17中，所述信息获取部进一步得到根据各异物的强度与面积的关系，对根据三次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的四次分类基准。

19.光学膜的缺陷判别装置，在所述项目18中，所述信息获取部进一步得到根据各异物的强度与密度的关系，对根据所述一次、二次、三次和四次分类基准被分类为合格品性异物的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的五次分类基准。

20.光学膜的缺陷判别装置，在所述项目19中，所述信息获取部进一步得到根据各异物的强度与密度的关系，对根据所述五次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的六次分类基准。

21.光学膜的缺陷判别装置，在所述项目20中，所述信息获取部进一步得到根据各异物的纵长与横长的关系，对根据所述六次分类基准被分类为合格品性异物的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的七次分类基准。

22.光学膜的缺陷判别装置，在所述项目21中，所述信息获取部进一步得到根据各异物的纵长与横长的关系，对根据所述七次分类基准被分类为合格品性异物的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的八次分类基准。

23.光学膜的缺陷判别装置，在所述项目22中，所述信息获取部进一步得到在横长超过被预先确定为缺陷的横长值，纵长超过被预先确定为缺陷的纵长值时，将根据所述八次分类基准被分类为缺陷的异物分类为缺陷的九次分类基准。

24.光学膜的缺陷判别装置，在所述项目23中，所述信息获取部在横长超过被预先确定为缺陷的横长值，纵长超过被预先确定为缺陷的纵长值时，将根据六次和七次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为缺陷。

25.光学膜的缺陷判别装置，在所述项目14中，所述判定部在以任意一个异物为中心半径5mm的圆内存在两个以上其他异物时，将包括中心的异物的所述异物的集合分类为缺陷。

26.光学膜的缺陷判别装置，在所述项目14中，在所述光源与拍摄设备之间进一步具备配置为正交尼科耳棱镜状态的偏振滤光器，

所述判定部将由光透射检查和正交尼科耳棱镜检查均筛选出的异物之中满足下式3的异物从缺陷中除外，

【式3】

(由正交尼科耳棱镜检查筛选的面积/由光透射检查筛选的面积)≥8

发明的技术效果

本发明的光学膜的缺陷判别方法根据正确地判定以往被判别为缺陷等但实际上不是缺陷的，从而能够显著提升光学膜的制造收率。

另外，本发明的光学膜的缺陷判别方法能够大幅减少制造成本，还能够防止资源的浪费。

附图说明

图1是概略性地表示团簇缺陷的一例的图。

图2是概略性地表示亮点缺陷的一例的图。

图3是概略性地表示黑线缺陷的一例的图。

图4是概略性地表示对应合格品性异物的星状(star)异物的一例的图。

图5是概略性地表示对应合格品性异物的划痕(scratch)异物的一例的图。

图6是概略性地表示团簇缺陷的一例的图。

图7是本发明的一具体例的光学膜的缺陷判别方法的概略性的流程图。

具体实施方式

本发明涉及光学膜的缺陷判别方法，根据具备：(S1)对在两面层叠有保护膜的光学膜进行检查并确认是否包括异物的阶段；(S2)剥离包括所述异物的光学膜两面的保护膜，并将所述异物分类为合格品性异物与缺陷的阶段；(S3)得到所述合格品性异物和缺陷的选自下式1的密度、下式2的厚度、以及面积之中的一个以上的值与强度的关系相关的信息，并获取将所述异物分类为合格品性异物与缺陷的基准的阶段；以及(S4)根据所述得到的信息将光学膜的异物之中判别为合格品性异物的异物从缺陷中除外的阶段，从而根据正确地判定以往被判别为缺陷但实际上并不是缺陷等的物质，能够显著提升光学膜的制造收率，大幅减少制造成本。

下面，对本发明的一具体例的光学膜的缺陷判别方法进行详细说明。

首先，(S1)确认是否包括在两面层叠有保护膜的光学膜的异物。

本说明书中“异物”是指从光学膜的平均性的均匀性中脱离的部分。

是否包括所述异物的确认可根据在光学膜的上部拍摄光学膜并获取图像，在获取的图像使用图像处理软件等对包括脱离预先确定的光学膜的平均性的均匀性的部分(异物部分)的区域的图像进行确认从而执行。

在本实施例中，作为光学膜使用偏振片，检查映像为在将与作为检查对象样品的偏振片的偏光方向垂直的其他偏振片放置在检查对象膜的上部之后，在样品的下部放置光源并拍摄根据两偏振片的光从而得到的。如果检查对象的偏振片为合格品，则由于根据偏光方向相互垂直的两个偏振片的光消失，因此可得到黑色的映像，如果检查对象的偏振片存在异物，则由于在该部分偏光的方向改变，因此结果是光泄漏，可得到存在明亮部分(即，异物部分)的映像。

另外，检查映像还可以不另行设置偏振片而是在作为检查对象样品的光学膜的下部放置光源，拍摄根据样品的光从而得到的。在这种情况下，如果检查对象的光学膜为合格品，则光透射并可得到透明的映像，如果检查对象的光学膜存在异物，则可得到存在防止对应部分的光透射的黑暗部分(异物部分)的映像。

以后，(S2)剥离包括所述异物的光学膜两面的保护膜，并将所述异物分类为合格品性异物与缺陷。

产业性地制造光学膜时，为了便于光学膜的保管和运送，在光学膜的两侧面一起制造保护膜等，但是在缺陷判别过程中，由于对附着了保护膜的状态的光学膜进行检查，因此不仅是光学膜的异物，还会检测出保护膜的损伤、保护膜内部的异物或光学膜与保护膜之间的异物。但是，由于保护膜的损伤或其内部的异物或者光学膜与保护膜之间的异物在光学膜被导入图像显示装置时，会与保护膜一起被去除，因此并不是实质性的缺陷。

即，光学膜的异物对应缺陷，保护膜的异物和保护膜与光学膜之间的异物对应合格品性异物。

图1～3示出这种缺陷的例子，图4和5示出合格品性异物的例子。

图1为被称为团簇缺陷、图2为被称为亮点缺陷、图3为被称为黑线缺陷的缺陷，这些对应光学膜的缺陷。图4为被称为星状、图5为被称为划痕的异物，由于其为保护膜的异物或保护膜与光学膜之间的异物，因此为不对应缺陷的合格品性异物。

但是，以往由于没有导入能够另行判别这种与保护膜相关联的缺陷的方法，因此多将合格品错误判断为不合格品，为了确认这种情况，必须在剥离保护膜之后一一进行检查。这种问题成为制造成本上升的原因，特别是在最近的图像显示装置的大型化倾向导致光学膜也大型化的实际情况下，这种问题点更加严重。

这里，本发明能够仅对于部分异物剥离保护膜并对合格品性异物和缺陷进行分类，如后所述，得到它们的密度、厚度、面积等的值与强度的关系相关的信息，设定分类合格品性异物与缺陷的基准。

合格品性异物和缺陷的分类能够根据在剥离保护膜之后进一步经过所述异物筛选工序从而执行。具体而言，缺陷的情况下，在剥离保护膜之后也被原样地筛选为异物，但是合格品性异物的情况下，由于并不是光学膜本身的缺陷，而是因保护膜的异物或缺陷造成的，因此在剥离保护膜之后并不会被筛选为任何异物。

另外，还能够拍摄剥离的保护膜，将筛选出的异物分类为缺陷。

将异物分类为合格品性异物和缺陷时，(S3)得到合格品性异物和缺陷的选自下式1的密度、下式2的厚度、以及面积之中的一个以上的值与强度的关系相关的信息，并得到将所述异物分类为合格品性异物与缺陷的基准。

【式1】

异物的密度＝异物的面积/以异物的长轴为直径的圆的面积

【式2】

异物的厚度＝异物的面积/异物的长轴的长度

所述异物的面积作为在光学膜上对应异物的部位的面积，例如，如果由拍摄光学膜的图像判别异物时，其单位可为像素。

以异物的长轴为直径的圆的面积是指以画出异物上的两个点的最长的线段为直径的圆的面积，同样地，其单位可为像素。

下面，面积和长度的单位均可为像素，但并不限定于这些。

异物的强度是指与非异物的正常区域的亮度之差，亮度之差越大则强度越高。

根据更具体的一具体例，(S3-1)能够获取根据它们的强度与密度的关系对合格品性异物和缺陷进行分类的一次分类基准。

下面，在图表上示出获取合格品性异物和缺陷的分类基准的具体例，对在图表上画出区分合格品性异物与缺陷的直线的情况进行具体说明，但并不限定于此。

据此，在以x轴为下式1的密度、以y轴为强度的第1-1的图表上示出合格品性异物和缺陷，在所述第1-1的图表上能够画出区分合格品性异物群集和缺陷群集的第1直线。

在所述第1-1的图表上能够将强度值为同一x中的第1直线的y值以上的异物分类为缺陷，将强度值小于同一的第1直线的y值的异物分类为合格品性异物。

所述第1直线对应一次分类基准。获取所述一次分类基准时，对于以同一生产线制造的光学膜，以后不剥离保护膜，在以x轴为密度、以y轴为强度的第2-1的图表上示出筛选出的异物，在所述第2-1的图表上画出第1直线，能够将强度值为同一的x中的第1直线的y值以上的异物分类为缺陷，将除此以外的异物分类为合格品性异物。

本发明的光学膜的缺陷判别方法为了进一步提高可靠性，对于根据所述一次分类基准被分类为合格品性异物的异物，能够将它们再次分类为合格品性异物和缺陷，或者对于被分类为缺陷的异物，能够将它们再次分类为合格品性异物和缺陷。

具体而言，能够进一步具备阶段(S3-2)，获取根据各异物的强度与厚度的关系，对根据在所述阶段(S3-1)得到的一次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的二次分类基准。

据此，在以x轴为厚度、以y轴为强度的第1-2的图表上示出根据所述一次分类基准被分类为缺陷的异物。

虽然根据所述一次分类被分类为缺陷，但是由于它们之中还可以存在在所述阶段(S2)被分类为合格品性异物的异物，因此在所述第1-2的图表上可一起示出合格品性异物和缺陷。而且，在所述第1-2的图表上画出区分合格品性异物与缺陷的第2直线。

能够将在所述第1-2的图表上强度值为同一的x中的第2直线的y值以上的异物分类为缺陷，将除此以外的异物分类为合格品性异物。

所述第2直线作为二次分类基准，同样地，在以x轴为厚度、以y轴为强度的第2-2的图表上示出根据所述一次分类基准被分类为缺陷的异物，在所述第2-2的图表上画出第2直线，能够将强度值为同一的x中的第2直线的y值以上的异物分类为缺陷，将除此以外的异物分类为合格品性异物。

另外，能够进一步具备阶段(S3-3)，获取根据各异物的强度与面积的关系，将根据所述二次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的三次分类基准。

在以x轴为面积、以y轴为强度的第1-3的图表上示出根据所述二次分类基准被分类为缺陷的异物，在所述第1-3的图表上画出区分合格品性异物与缺陷的第3直线。

能够将在所述第1-3的图表上强度值为同一的x中的第3直线的y值以上的异物分类为缺陷，将除此以外的异物分类为合格品性异物。

所述第3直线作为三次分类基准，同样地，在以x轴为面积、以y轴为强度的第2-3的图表上示出根据所述二次分类基准被分类为缺陷的异物，在所述第2-3的图表上画出第3直线，能够将强度值为同一的x中的第3直线的y值以上的异物分类为缺陷，将除此以外的异物分类为合格品性异物。

另外，能够进一步包括阶段(S3-4)，其中，获取根据各异物的强度与面积的关系，将根据所述三次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的四次分类基准。

在以x轴为面积、以y轴为强度的第1-4的图表上示出根据所述三次分类基准被分类为缺陷的异物，在所述第1-4的图表上画出区分合格品性异物与缺陷的第4线。

能够将在所述第1-4的图表上强度值大于同一的x中的第4直线的y值的异物分类为缺陷，将除此以外的异物分类为合格品性异物。

所述第4直线作为四次分类基准，同样地，在以x轴为面积、以y轴为强度的第2-4的图表上示出根据所述三次分类基准被分类为缺陷的异物，在所述第2-4的图表上画出第4直线，能够将强度值大于同一的x中的第4直线的y值的异物分类为缺陷，将除此以外的异物分类为合格品性异物。

另外，能够进一步具备阶段(S3-5)，其中，获取根据各异物的强度与密度的关系，将根据所述一次、二次、三次和四次分类基准被分类为合格品性异物的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的五次分类基准。

由于根据所述一次至四次分类基准被分类为合格品性异物的异物之中还可以包含在阶段(S2)中被分类为缺陷的异物，因此根据具备所述阶段，从而能够减少不合格品被判定为合格品的情况。

在以x轴为密度、以y轴为强度的第1-5的图表上示出根据所述一次、二次、三次和四次分类基准被分类为合格品性异物的异物，在所述第1-5的图表上画出区分合格品性异物与缺陷的第5直线。

能够将在所述第1-5的图表上强度值为同一的x中的第5直线的y值以上的异物分类为缺陷，将除此以外的异物分类为合格品性异物。

所述第5直线作为五次分类基准，同样地，在以x轴为密度、以y轴为强度的第2-5的图表上示出根据所述一次至四次分类基准被分类为合格品性异物的异物，在所述第2-5的图表上画出第5直线，能够将强度值为同一的x中的第5直线的y值以上的异物分类为缺陷，将除此以外的异物分类为合格品性异物。

另外，能够进一步具备阶段(S3-6)，其中获取根据各异物的强度与密度的关系，将根据所述五次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的六次分类基准。

在以x轴为密度、以y轴为强度的第1-6的图表上示出根据所述五次分类基准被分类为缺陷的异物，在所述第1-6的图表上画出区分合格品性异物与缺陷的第6直线。

能够将在所述第1-6的图表上强度值为同一的x中的第6直线的y值以上的异物分类为缺陷，将除此以外的异物分类为合格品性异物。

所述第6直线作为六次分类基准，同样地，在以x轴为密度、以y轴为强度的第2-6的图表上示出根据所述五次分类基准被分类为缺陷的异物，在所述第2-6的图表上画出第6直线，能够将强度值为同一的x中的第6直线的y值以上的异物分类为缺陷，将除此以外的异物分类为合格品性异物。

另外，能够进一步具备阶段(S3-7)，获取根据各异物的纵长与横长的关系，将根据所述六次分类基准被分类为合格品性异物的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的七次分类基准。

在以x轴为异物的横长、以y轴为异物的纵长的第1-7的图表上示出根据所述六次分类基准被分类为合格品性异物的异物，在所述第1-7的图表上画出区分合格品性异物与缺陷的第7直线。

能够将在所述第1-7的图表上异物的纵长值大于同一的x中的第7直线的y值的异物分类为缺陷，将除此以外的异物分类为合格品性异物。

所述第7直线作为七次分类基准，同样地，在以x轴为异物的横长、以y轴为异物的纵长的第2-7的图表上示出根据所述六次分类基准被分类为合格品性异物的异物，在所述第2-7的图表上画出第7直线，能够将异物的纵长值大于同一的x中的第7直线的y值的异物分类为缺陷，将除此以外的异物分类为合格品性异物。

另外，能够进一步具备阶段(S3-8)，获取根据各异物的纵长与横长的关系，将根据所述七次分类基准被分类为合格品性异物的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的八次分类基准。

在以x轴为异物的横长、以y轴为异物的纵长的第1-8的图表上示出根据所述七次分类基准被分类为合格品性异物的异物，在所述第1-8的图表上画出区分合格品性异物与缺陷的第8直线。

能够将在所述第1-8的图表上异物的纵长大于同一的x中的第8直线的y值的异物分类为缺陷，将除此以外的异物分类为合格品性异物。

所述第8直线作为八次分类基准，同样地，在以x轴为异物的横长、以y轴为异物的纵长的第2-8的图表上示出根据所述七次分类基准被分类为合格品性异物的异物，在所述第2-8的图表上画出第8直线，能够将异物的纵长大于同一的x中的第8直线的y值的异物分类为合格品性异物，将除此以外的异物分类为缺陷。

另外，能够进一步具备阶段(S3-9)，获取在横长超过被预先确定为缺陷的横长值，纵长超过被预先确定为缺陷的纵长值时，将根据所述八次分类基准被分类为缺陷的异物分类为缺陷的九次分类基准。

根据所述八次分类基准被分类为缺陷的异物的情况下，合格品性异物和缺陷示出以特定的横长值和特定的纵长值为基准相互区分的分布。因此，能够以特定的横长值和纵长值为基准区分合格品性异物与缺陷。

被预先确定为所述缺陷的横长值和纵长值为区分合格品性异物与缺陷的横长值和纵长值，但并不特别限定于这些，能够根据是否以一定程度的可靠度检测缺陷而改变。例如，为了以最高水准的可靠度检测缺陷，能够将缺陷之中最小横长值设为被预先确定为缺陷的横长值。同样地，能够将缺陷之中最小纵长值设为被预先确定为缺陷的纵长值。

而且，能够在横长超过被预先确定为缺陷的横长值，纵长超过被预先确定为缺陷的纵长值时，将根据所述六次和七次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为缺陷。

根据所述六次和七次分类基准被分类为缺陷的异物也示出合格品性异物和缺陷以特定的横长值和特定的纵长值为基准相互区分的分布。

所述被预先确定为缺陷的横长值和纵长值为区分合格品性异物与缺陷的横长值和纵长值。

然后，(S4)将根据所述得到的信息，光学膜的异物之中判别为合格品性异物的异物从缺陷中除外。

如前所述，在阶段(S3)能够获对合格品性异物与缺陷进行分类的基准，据此不剥离由同一生产线生产的光学膜的保护膜，就能够将异物分类为合格品性异物和缺陷，据此，能够将被判别为合格品性异物的异物从缺陷中除外。

而且，所述合格品性异物为非团簇缺陷的异物，团簇缺陷能够分类为根据所述分类基准进行判断前预先对应缺陷的物质。

所述团簇缺陷在以任意一个异物为中心半径5mm的圆内存在两个以上其他异物时，称为包括中心的异物的所述异物的团簇。

图6示出团簇缺陷的一例。参考图6时，由于异物1、2、3存在于以异物2为中心预先确定的半径的圆内部，因此存在两个分别相邻的异物，属于团簇缺陷。

由于团簇缺陷成为不合格品的原因的可能性非常高，所以首先判别这个，不包含在作为合格品性异物判别阶段的对象中，从而能够提高合格品性异物的判别阶段的迅速性和可靠性。

另外，能够将由光透射检查和正交尼科耳棱镜检查均筛选出的异物之中满足下式3的异物从缺陷中除外。

【式3】

(由正交尼科耳棱镜检查筛选的面积/由光透射检查筛选的面积)≥8

由光透射检查和正交尼科耳棱镜检查均筛选出的异物不仅为由各自的检查检测出的位置完全相同的异物，例如，由光透射检查检测出的异物的像素和由正交尼科耳棱镜检查检测出的异物的像素之间的距离为20mm以内时，也被视为由光透射检查和正交尼科耳棱镜检查均筛选出的异物。

满足所述式3的异物时也同样成为不合格品的原因的可能性非常高，首先判别这个时，能够提高合格品性异物的判别阶段的迅速性和可靠性。

图7是全部包括所述各阶段的本发明的一具体例的光学膜的缺陷判别方法的概略性的流程图。

图7为作为示例示出在图表上示出合格品性异物和缺陷，在图表上画出区分合格品性异物与缺陷的直线并设定分类基准的情况，在图7中满足各阶段时对应“是”，否则对应“否”，根据下一箭头执行阶段，分各阶段示出任何情况下是否被判别为合格品性异物和缺陷。

在图7中A1～A8为由各阶段确定的分类基准直线的斜率，B1～B8为y轴截距，C1示出被预先确定为缺陷的横长值，C2示出被预先确定为缺陷的纵长值。

另外，本发明提供一种光学膜的缺陷判别装置。

下面，对本发明的一具体例的光学膜的缺陷判别装置进行详细说明。

光源，对两面层叠有保护膜的光学膜的一面照射光。

光源能够使用本领域通常使用的任何光源，例如可以举出发光二极管、金属卤化物灯、荧光灯、卤素灯等，但并不限定于这些。

拍摄设备拍摄所述光学膜的光的照射部位。

异物筛选部从所述拍摄设备拍摄的映像中筛选异物。

本发明的光学膜的缺陷判别装置根据需要能够在所述光源与拍摄设备之间进一步具备被配置为正交尼科耳棱镜状态的偏振滤光器，异物筛选部的具体的异物筛选方法能够根据与前述的缺陷判别方法相同的方法进行。

保护膜剥离部剥离光学膜两面的保护膜。

信息获取部在保护膜剥离后，得到被去除的异物和保护膜剥离后仍残存的异物的选自下式1的密度、下式2的厚度、以及面积之中的一个以上的值与强度的关系相关的信息。

据此，能够获取对合格品性异物和缺陷进行分类的分类基准，具体的分类基准的获取方法能够根据与前述的缺陷判别方法相同的方法进行。

判定部根据所述信息获取部得到的信息，将在两面层叠有保护膜的光学膜的所述异物分类为合格品性异物与缺陷。

如前所述，能够由信息获取部获取对合格品性异物与缺陷进行分类的基准，据此不剥离由同一生产线生产的光学膜的保护膜，就能够将异物分类为合格品性异物和缺陷，据此，能够将被判别为合格品性异物的异物从缺陷中除外。

所述判定部能够在将异物分类为合格品性异物与缺陷时，团簇缺陷根据所述分类基准进行判断之前预先对应缺陷从而进行分类。

另外，所述判定部能够将由光透射检查和正交尼科耳棱镜检查均筛选出的异物之中满足数式3的异物从缺陷中除外。

【式3】

(由正交尼科耳棱镜检查筛选的面积/由光透射检查筛选的面积)≥8

下面，为了有助于本发明的理解，示出优选的实施方式，这些实施方式仅示例本发明，并不用以限制附加的专利权利要求的范围，在本发明的范畴和技术思想的范围内能够对实施方式进行各种变更且修正，对本领域技术人员来说是显而易见的，这种变更和修正当然属于附加的专利权利要求的范围。

实施例

(1)分类基准设定

对于根据辊对辊工序制造的、在两面附着有保护膜的光学膜，检查下述表1记载的长度，总计筛选出18959个异物。

剥离光学膜两面的保护膜并对所述异物进行分类的结果如下述表1所示分类。

【表1】

得到所述异物的强度、厚度、密度、面积、横长、纵长信息，并得到将这些区分为合格品性异物与缺陷的下述的分类基准。

【表2】

区分	斜率	Y轴截距
			第1直线	-10000	380000
第2直线	142	-475
			第3直线	10000	-830000
第4直线	10000	-830000
			第5直线	0	21
第6直线	0	38.5
			第7直线	2	-17.01
第8直线	1	-10.99

【表3】

区分	值
		预先确定的横长	1
预先确定的纵长	1

根据所述分类基准进一步对所述18959个异物进行分类，并标记缺陷，下述表4示出其结果。

【表4】

以往，所述异物全部被标记为缺陷，但是根据所述分类基准再次分类的结果是对应合格品性异物的星状异物仅47.7％被标记为缺陷，划痕异物仅94.7％被标记为缺陷。

即，星状异物被标记为缺陷的情况减少50％以上，划痕异物被标记为缺陷的情况也减少5％以上。

(2)对由同一生产线制造的光学膜的适用

对根据辊对辊工序以与所述光学膜同一的生产线制造的光学膜1000米进行检查，筛选了8460个异物。

根据由实施例(1)得到的分类基准对所述异物进行分类的结果是6176个异物被标记为缺陷。

而且，为了确认异物根是否据所述分类基准被正确地分类，剥离光学膜两面的保护膜并将所述8460个异物分类为合格品性异物和缺陷。

【表5】

参照所述表5时，能够确认将由所述实施例(1)得到的分类基准适用于由同一的生产线制造的光学膜时，合格品性异物被标记为缺陷的情况以同等的水准减少。

Claims (22)

1.一种光学膜的缺陷判别方法，其特征在于，具备：S1对在两面层叠有保护膜的光学膜进行检查并确认是否包括异物的阶段；

S2：剥离包括所述异物的光学膜两面的保护膜，并将所述异物分类为合格品性异物与缺陷的阶段；

S3：得到所述合格品性异物和缺陷的选自下式1的密度、下式2的厚度、以及面积之中的一个以上的值与强度的关系相关的信息，并获取将所述异物分类为合格品性异物与缺陷的基准的阶段；

S4：根据所述得到的信息，将光学膜的异物之中判别为合格品性异物的异物从缺陷中除外的阶段，

【式1】

异物的密度＝异物的面积/以异物的长轴为直径的圆的面积

【式2】

异物的厚度＝异物的面积/异物的长轴的长度，

所述阶段S3具备阶段S3-1，其中获取根据各异物的强度与密度的关系对合格品性异物和缺陷进行分类的一次分类基准。

2.根据权利要求1所述的光学膜的缺陷判别方法，其特征在于，所述阶段S3进一步具备阶段S3-2，其中获取根据各异物的强度与厚度的关系，对根据一次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的二次分类基准。

3.根据权利要求2所述的光学膜的缺陷判别方法，其特征在于，所述阶段S3进一步具备阶段S3-3，其中获取根据各异物的强度与面积的关系，对根据二次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的三次分类基准。

4.根据权利要求3所述的光学膜的缺陷判别方法，其特征在于，所述阶段S3进一步具备阶段S3-4，其中获取根据各异物的强度与面积的关系，对根据三次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的四次分类基准。

5.根据权利要求4所述的光学膜的缺陷判别方法，其特征在于，所述阶段S3进一步具备阶段S3-5，其中获取根据各异物的强度与密度的关系，对根据所述一次、二次、三次和四次分类基准被分类为合格品性异物的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的五次分类基准。

6.根据权利要求5所述的光学膜的缺陷判别方法，其特征在于，所述阶段S3进一步具备阶段S3-6，其中获取根据各异物的强度与密度的关系，对根据所述五次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的六次分类基准。

7.根据权利要求6所述的光学膜的缺陷判别方法，其特征在于，所述阶段S3进一步具备阶段S3-7，其中获取根据各异物的纵长与横长的关系，对根据所述六次分类基准被分类为合格品性异物的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的七次分类基准。

8.根据权利要求7所述的光学膜的缺陷判别方法，其特征在于，所述阶段S3进一步具备阶段S3-8，其中获取根据各异物的纵长与横长的关系，对根据所述七次分类基准被分类为合格品性异物的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的八次分类基准。

9.根据权利要求8所述的光学膜的缺陷判别方法，其特征在于，所述阶段S3进一步具备阶段S3-9，其中获取在横长超过被预先确定为缺陷的横长值，纵长超过被预先确定为缺陷的纵长值时，将根据所述八次分类基准被分类为缺陷的异物分类为缺陷的九次分类基准。

10.根据权利要求9所述的光学膜的缺陷判别方法，其特征在于，所述阶段S3-9在横长超过被预先确定为缺陷的横长值，纵长超过被预先确定为缺陷的纵长值时，将根据六次和七次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为缺陷。

11.根据权利要求1所述的光学膜的缺陷判别方法，其特征在于，在所述阶段S4，将由光透射检查和正交尼科耳棱镜检查均筛选出的异物之中满足下式3的异物从缺陷中除外，

【式3】

(由正交尼科耳棱镜检查筛选的面积/由光透射检查筛选的面积)≥8。

12.一种光学膜的缺陷判别装置，其特征在于，具备：

光源，对在两面层叠有保护膜的光学膜的一面照射光；

拍摄设备，拍摄所述光学膜的光的照射部位；

异物筛选部，以所述拍摄设备拍摄的映像筛选异物；

保护膜剥离部，剥离所述光学膜两面的保护膜；

信息获取部，在保护膜剥离后，得到被去除的异物与保护膜剥离后仍残存的异物的选自下式1的密度、下式2的厚度、以及面积之中的一个以上的值与强度的关系相关的信息；以及

判定部，根据在所述信息获取部得到的信息，将在两面层叠有保护膜的光学膜的所述异物分类为合格品性异物与缺陷，

所述信息获取部获取根据各异物的强度与密度的关系对合格品性异物和缺陷进行分类的一次分类基准，

【式1】

异物的密度＝异物的面积/以异物的长轴为直径的圆的面积

【式2】

异物的厚度＝异物的面积/异物的长轴的长度。

13.根据权利要求12所述的光学膜的缺陷判别装置，其特征在于，所述信息获取部进一步得到根据各异物的强度与厚度的关系，对根据一次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的二次分类基准。

14.根据权利要求13所述的光学膜的缺陷判别装置，其特征在于，所述信息获取部进一步得到根据各异物的强度与面积的关系，对根据二次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的三次分类基准。

15.根据权利要求14所述的光学膜的缺陷判别装置，其特征在于，所述信息获取部进一步得到根据各异物的强度与面积的关系，对根据三次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的四次分类基准。

16.根据权利要求15所述的光学膜的缺陷判别装置，其特征在于，所述信息获取部进一步得到根据各异物的强度与密度的关系，对根据所述一次、二次、三次和四次分类基准被分类为合格品性异物的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的五次分类基准。

17.根据权利要求16所述的光学膜的缺陷判别装置，其特征在于，所述信息获取部进一步得到根据各异物的强度与密度的关系，对根据所述五次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的六次分类基准。

18.根据权利要求17所述的光学膜的缺陷判别装置，其特征在于，所述信息获取部进一步得到根据各异物的纵长与横长的关系，对根据所述六次分类基准被分类为合格品性异物的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的七次分类基准。

19.根据权利要求18所述的光学膜的缺陷判别装置，其特征在于，所述信息获取部进一步得到根据各异物的纵长与横长的关系，对根据所述七次分类基准被分类为合格品性异物的异物进一步分类为合格品性异物与缺陷的八次分类基准。

20.根据权利要求19所述的光学膜的缺陷判别装置，其特征在于，所述信息获取部进一步得到在横长超过被预先确定为缺陷的横长值，纵长超过被预先确定为缺陷的纵长值时，将根据所述八次分类基准被分类为缺陷的异物分类为缺陷的九次分类基准。

21.根据权利要求20所述的光学膜的缺陷判别装置，其特征在于，所述信息获取部在横长超过被预先确定为缺陷的横长值，纵长超过被预先确定为缺陷的纵长值时，将根据六次和七次分类基准被分类为缺陷的异物进一步分类为缺陷。

22.根据权利要求12所述的光学膜的缺陷判别装置，其特征在于，在所述光源与拍摄设备之间进一步具备配置为正交尼科耳棱镜状态的偏振滤光器，

所述判定部将由光透射检查和正交尼科耳棱镜检查均筛选出的异物之中满足下式3的异物从缺陷中除外，

【式3】

(由正交尼科耳棱镜检查筛选的面积/由光透射检查筛选的面积)≥8。