CN105003801A - 一种可加热衬底的承载装置 - Google Patents
一种可加热衬底的承载装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105003801A CN105003801A CN201510412846.0A CN201510412846A CN105003801A CN 105003801 A CN105003801 A CN 105003801A CN 201510412846 A CN201510412846 A CN 201510412846A CN 105003801 A CN105003801 A CN 105003801A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- bearing device
- shaped support
- bolts
- type support
- bolt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Mounting Of Bearings Or Others (AREA)
Abstract
一种可加热衬底的承载装置，包括L型支架，螺栓，顶丝和锁紧螺栓。螺栓和顶丝设置在L型支架上端。锁紧螺栓固定在L型支架上。本发明结构紧凑合理，加热盘及PIN机构通过螺栓安装在L型支架上，L型支架安装腔体下方。在进行设备调试时可以先松开锁紧螺栓，调整顶丝保证加热盘及升降支撑机构处于水平,然后锁紧螺栓以满足使用要求。
Description
技术领域
本发明涉及一种承载装置，尤其是一种可加热衬底的承载装置。
背景技术
半导体设备在装调时，需要加热盘保持水平及升降支撑机构的水平。以往主要依靠调整加热盘下方的三个螺栓来保持加热盘的水平，升降支撑机构没有水平调整功能，在调试时很难保证以上机构水平，最后导致生产的产品不合格。
发明内容
针对上述现有技术的不足，本发明提供了一种可加热衬底的承载装置。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种可加热衬底的承载装置，包括L型支架，螺栓，顶丝和锁紧螺栓。螺栓和顶丝设置在L型支架上端。锁紧螺栓固定在L型支架上。
本发明的有益效果及特点：结构紧凑合理，加热盘及PIN机构通过螺栓安装在L型支架上，L型支架安装腔体下方。在进行设备调试时可以先松开锁紧螺栓，调整顶丝保证加热盘及升降支撑机构处于水平,然后锁紧螺栓以满足使用要求。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例
如图1所示：一种可加热衬底的承载装置，包括L型支架1，螺栓2，顶丝3和锁紧螺栓4。螺栓2和顶丝3设置在L型支架1上端。锁紧螺栓4固定在L型支架1上。
使用时，将加热盘及PIN机构通过螺栓2安装在L型支架1上，L型支架1安装腔体下方。顶丝3、锁紧螺栓4安装在L型支架1上。将水平仪放在加热盘及升降支撑机构上，在进行设备调试时可以先松开锁紧螺栓4，调整顶丝3保证加热盘及PIN机构处于水平,然后锁紧螺栓4，以满足使用要求。
Claims (1)
1.一种可加热衬底的承载装置，其特征在于：包括L型支架，螺栓，顶丝和锁紧螺栓；螺栓和顶丝设置在L型支架上端，锁紧螺栓固定在L型支架上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510412846.0A CN105003801A (zh) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | 一种可加热衬底的承载装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510412846.0A CN105003801A (zh) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | 一种可加热衬底的承载装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105003801A true CN105003801A (zh) | 2015-10-28 |
Family
ID=54376583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510412846.0A Pending CN105003801A (zh) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | 一种可加热衬底的承载装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105003801A (zh) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN203292781U (zh) * | 2012-11-14 | 2013-11-20 | 大连纳思达汽车设备有限公司 | 汽车车门拆装小车 |
| CN103470930A (zh) * | 2013-09-24 | 2013-12-25 | 北京交通大学 | 一种折叠变形平台 |
| CN204135580U (zh) * | 2014-09-26 | 2015-02-04 | 北京德尔机电设备有限公司 | 焊接机器人清枪工作站 |
| CN204374500U (zh) * | 2014-12-23 | 2015-06-03 | 鞍钢股份有限公司 | 一种光栅镜头万向固定支架 |
-
2015
- 2015-07-14 CN CN201510412846.0A patent/CN105003801A/zh active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN203292781U (zh) * | 2012-11-14 | 2013-11-20 | 大连纳思达汽车设备有限公司 | 汽车车门拆装小车 |
| CN103470930A (zh) * | 2013-09-24 | 2013-12-25 | 北京交通大学 | 一种折叠变形平台 |
| CN204135580U (zh) * | 2014-09-26 | 2015-02-04 | 北京德尔机电设备有限公司 | 焊接机器人清枪工作站 |
| CN204374500U (zh) * | 2014-12-23 | 2015-06-03 | 鞍钢股份有限公司 | 一种光栅镜头万向固定支架 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103878569B (zh) | 煤化工用大型气化炉安装破渣机全方位可调式快速对接装置的对接方法 | |
| CN203900965U (zh) | 不规则工件专用夹具 | |
| CN201137799Y (zh) | 一种可调试移动和定位装置 | |
| CN201165461Y (zh) | 三维定位车 | |
| CN202899731U (zh) | 输电线路铁塔倾斜调整提升装置 | |
| CN203298678U (zh) | 一种石墨柱高度快速检测装置 | |
| CN105003801A (zh) | 一种可加热衬底的承载装置 | |
| CN204135932U (zh) | 一种万向多功能电控板夹具 | |
| CN205020971U (zh) | 一种大型内齿圈定位夹具 | |
| CN205138790U (zh) | 发动机六姿态摆放器 | |
| CN102313648A (zh) | 发动机试验台架x-y轴向微调装置 | |
| CN203855333U (zh) | 一种新型履带起重机配重自装卸机构 | |
| CN105023875A (zh) | 一种晶圆升降机构 | |
| CN203800743U (zh) | 抽油机电机皮带轮快换装置 | |
| CN104384998A (zh) | 一种风电底座一次性加工设备及其加工方法 | |
| CN103287963B (zh) | 一种行星进入器起吊辅助装置 | |
| CN207310298U (zh) | 芯样切割固定器 | |
| CN204369417U (zh) | 核电站用大口径闸阀阀板吊装工具 | |
| CN208575627U (zh) | 一种拉梁端面磨削系统 | |
| CN103991826A (zh) | 吊杆提升装置 | |
| CN203599900U (zh) | 一种挖掘机连杆的镗孔工装 | |
| CN206417767U (zh) | 一种电梯曳引机顶升装置 | |
| CN104261310A (zh) | 一种举升机可调旋转支撑臂 | |
| CN209325300U (zh) | 大型燃机模块透平端支撑装置 | |
| CN105350568A (zh) | 一种大型球磨机主底板的安装方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20151028 |