CN104977304A - 具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置及方法，该装置包括：伺服系统，用于装载/卸载空间光调制器SLM，并对所述SLM的位置和姿态进行调整；采集系统，用于采集SLM显示的一系列图案；处理系统，用于从采集系统拍摄图像中分割出SLM显示的图像区域，并对SLM显示的图像区域进行亮度补偿，计算亮度补偿后的SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值，并根据多个像素点的像素均值和方差的均值判断SLM是否存在缺陷点。该装置具有操作简单、检测速度快、精度高、综合成本低等优点。

Description

具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置及方法

技术领域

本发明涉及空间光调制器缺陷计算机视觉检测技术领域，特别涉及一种具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置。

背景技术

空间光调制器(Spatial Light Modulators，SLM)是一种对光的空间分布进行调制的器件，是构成实时光学信息处理、光计算等系统的基本构造单元和关键的主动器件。SLM由许多在空间上排列为一维或二维阵列的独立单元构成，每个单元可以各自接受光信号或电信号的控制，利用各种物理效应(如光折变效应、半导体的自电光效应、磁光效应、声光效应等)改变自身的光学特性，从而对光波进行调制。典型的空间光调制器如，LCD、LED、OLED等。

空间光调制器使用子像素结构来显示彩色。子像素是组成像素单元的更基本的结构，每一个子像素表示完整像素的一个颜色通道，最终人们看到的是各个子像素颜色通道组合而成的颜色。TFT-LCD就是一种最常见的具有子像素结构的空间光调制器，这类SLM通过控制各个子像素通道的分别进行调制，从而获得想要的显示效果。

然而随着SLM向着大屏幕、高分辨率、小间距、轻薄化等方向发展，其生产工艺中可能带来的显示缺陷的几率也随之增大。SLM的缺陷种类繁多，包括由内部电路短路、断路造成的电气缺陷，以及由于装配过程中划伤、异物、气泡造成的非电气缺陷。缺陷会造成SLM显示上的异常，根据缺陷种类的不同，人们可能会看到点状、线状、块状的常亮、常暗、色彩异常的缺陷点，严重影响观看效果。

传统SLM缺陷检测方法主要依赖于人肉眼观看，但人眼观看检测存在几个严重的问题：检测结果受人的主观因素影响大、缺乏统一的判定标准；检测效率低，往往需要投入大量工人同时检测才能达到SLM装配的流水线速度，且长期的肉眼观看会对人眼造成很大的伤害；检测精度不高，随着SLM屏幕分辨率的不断提高，普通人眼能够检测出的缺陷精度已经无法达到要求。基于视觉和图像处理方法的缺陷检测方法也不断发展，然后已有的这类方法往往需要很高分辨率的相机才能达到理想的检测效果，代价昂贵，不适合工业化生产。

发明内容

本发明的目的旨在至少解决上述的技术缺陷之一。

为此，本发明的一个目的在于提出一种具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置。该装置具有操作简单、检测速度快、精度高、综合成本低等优点。

本发明的另一个目的在于提出一种具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的方法。

为了实现上述目的，本发明的第一方面的实施例公开了一种具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置，包括：伺服系统，所述伺服系统用于装载/卸载空间光调制器SLM，并对所述SLM的位置和姿态进行调整；采集系统，所述采集系统位于所述SLM上方，用于采集所述SLM显示的一系列图案；处理系统，所述处理系统分别与所述伺服系统和所述采集系统相连，用于对所述伺服系统和所述采集系统进行控制，并从所述采集系统拍摄图像中分割出SLM显示的图像区域，并对所述SLM显示的图像区域进行亮度补偿，以及计算亮度补偿后的所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值，并根据所述多个像素点的像素均值和方差的均值判断所述SLM是否存在缺陷点。

根据本发明实施例的装置解决了通过传统人眼检测方法中存在的效率低、损伤大、受主观因素和环境影响等问题，具有操作简单、检测速度快、精度高、综合成本低等优点。

另外，根据本发明上述实施例的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置还可以具有如下附加的技术特征：

在一些示例中，所述伺服系统包括：自动装卸单元，所述自动装卸单元用于装载/卸载所述SLM，并对所述SLM的位置和姿态进行调整；显示控制单元，所述显示控制单元用于控制SLM屏幕的工作状态和显示内容。

在一些示例中，所述采集系统包括：成像单元，所述成像单元包括摄像头，所述摄像头用于拍摄所述SLM显示的一系列图案；采集控制单元，所述采集控制单元用于调整所述成像单元的位置和参数，并对所述成像单元进行拍摄控制。

在一些示例中，所述处理系统对所述SLM显示的图像区域进行亮度补偿，进一步包括：从没有缺陷的SLM中提取亮度补偿参数；根据所述亮度补偿参数对所述SLM显示的图像区域中每个像素点进行亮度补偿。

在一些示例中，所述处理系统通过如下公式计算亮度补偿后的所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值，其中，所述公式为：

其中，所述(m，s)为所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值。

本发明第二方面的实施例公开了一种具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的方法，包括：采集所述SLM显示的一系列图案以得到拍摄图像；从所述拍摄图像中分割出SLM显示的图像区域；对所述SLM显示的图像区域进行亮度补偿；计算亮度补偿后的所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值，并根据所述多个像素点的像素均值和方差的均值判断所述SLM是否存在缺陷点。

根据本发明实施例的方法解决了通过传统人眼检测方法中存在的效率低、损伤大、受主观因素和环境影响等问题，具有操作简单、检测速度快、精度高、综合成本低等优点。

另外，根据本发明上述实施例的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的方法还可以具有如下附加的技术特征：

在一些示例中，所述从所述拍摄图像中分割出SLM显示的图像区域，具体包括：分割出所述拍摄图像中的SLM屏幕所在区域作为所述SLM显示的图像区域，划定相应的图像ROI。

在一些示例中，如果所述拍摄图像中包括多个SLM屏幕，则检测出每个SLM在拍摄图像中的区域，以划定多个图像ROI。

在一些示例中，所述对所述SLM显示的图像区域进行亮度补偿，具体包括：从没有缺陷的SLM中提取亮度补偿参数；根据所述亮度补偿参数对所述SLM显示的图像区域中每个像素点进行亮度补偿。

在一些示例中，所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值，其中，所述公式为：

其中，所述为所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中，

图1是根据本发明一个实施例的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置的结构框图；

图2是根据本发明一个实施例的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的方法的流程图；以及

图3是根据本发明另一个实施例的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的方法的流程图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

以下结合附图描述根据本发明实施例的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置及方法。

图1是根据本发明一个实施例的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置的结构框图。如图1所示，根据本发明一个实施例的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置，包括：伺服系统110、采集系统120和处理系统130。

其中，伺服系统110用于装载/卸载空间光调制器SLM，并对SLM的位置和姿态进行调整。采集系统120位于SLM上方，用于采集SLM显示的一系列图案。处理系统130分别与伺服系统110和采集系统120相连，用于对伺服系统110和采集系统120进行控制，并从采集系统120拍摄图像中分割出SLM显示的图像区域，并对SLM显示的图像区域进行亮度补偿，以及计算亮度补偿后的SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值，并根据多个像素点的像素均值和方差的均值判断所述SLM是否存在缺陷点。

其中，伺服系统110包括：自动装卸单元，所述自动装卸单元用于装载/卸载所述SLM，并对所述SLM的位置和姿态进行调整；显示控制单元，所述显示控制单元用于控制SLM屏幕的工作状态和显示内容。

采集系统120包括：成像单元，所述成像单元包括摄像头，所述摄像头用于拍摄所述SLM显示的一系列图案；采集控制单元，所述采集控制单元用于调整所述成像单元的位置和参数，并对所述成像单元进行拍摄控制。

处理系统对SLM显示的图像区域进行亮度补偿，进一步包括：从没有缺陷的SLM中提取亮度补偿参数；根据所述亮度补偿参数对所述SLM显示的图像区域中每个像素点进行亮度补偿。

处理系统通过如下公式计算亮度补偿后的所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值，其中，所述公式为：

其中，所述为所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值。

具体地说，结合图1所示，该装置由伺服系统、采集系统和算法处理系统(即处理系统)三大部分组成。该装置能够实现SLM缺陷检测的自动化流程，只需要简单的操作，可以快速有效的识别出SLM中可能存在的缺陷，且不受操作人员的主观因素的影响。该检测装置对工作环境的要求较低，只需要置于在没有外界光直接照射的低照度环境，并且整个装置能够固定稳定，不会因为伺服系统的工作而产生明显的振动即可。

其中，伺服系统由自动装卸单元和显示控制单元构成，负责待检测SLM的自动化装卸和控制。装载SLM的工作台是一个多自由度移动平台，可以将装载好的SLM在多个方向和角度上进行移动和微调，按照检测算法需求，能够精确地控制待检测SLM的位置和姿态。

自动装卸单元是实现待检测SLM的自动装载、固定和卸载的系统，该单元所执行的操作包括从待检测区域抓取一个或者多个SLM，分别装载到工作台上预先设定的相应位置，微调SLM的位置和角度后固定，然后将其置于工作状态。在采集和处理模块相应的检测流程完成后，首先SLM处于关闭状态，然后根据检测结果将无缺陷SLM和有缺陷SLM分别卸载到相应的位置供后续使用。自动装卸单元的所有操作均根据装置结构和系统参数要求，预先设定动作自动执行，不需要手工调节。

显示控制单元负责控制SLM屏幕的工作状态和显示内容。根据缺陷检测算法的流程，该单元控制待检测SLM显示一系列特定的图像，能够实时自动刷新其显示内容，从而保证了检测过程中数据采集部分的效率。

采集系统由采集控制单元和成像单元构成，本发明中使用灰度相机进行拍摄，不同于其他一些能够精确检测缺陷的方法，本发明使用的相机不需要很高的分辨率，所拍摄图像的分辨率只需要超过待检测SLM屏幕的分辨率即可。

相机安装在待检测的SLM屏幕的上方，并且由一个多自由度的机械臂控制，可以根据需要调整其位置、高度和角度。在选择相机参数和确定相机拍摄位置和参数时，调整相机和SLM的相对位置，使得相机位于SLM屏幕的垂直正上方，并且拍摄图像中的像素与SLM的屏幕中的像素一一对应，从而可以利用本发明所提出的缺陷检测方法，检测到SLM上子像素级的缺陷，不仅检测精度大大超过现有的方法，检测装置的成本也相对较低。

算法处理系统则根据采集系统所拍摄的数据，实现缺陷检测算法，其实现方法包含但不限定于计算机软件算法、嵌入式算法处理硬件等。首先，算法处理系统需要与伺服系统和采集系统之间进行通信，传输相应的控制指令，接受采集系统拍摄的图像数据进行处理，使用检测算法判断所检测的SLM是否含有缺陷。

本发明提出的装置可以同时进行多个SLM的检测，伺服系统会同时将多个待检测的SLM分别装载到工作台的相应位置，在设计时确保所有需要同时检测的SLM都能完整的处于采集系统的视场范围内，可以同时被相机拍摄。后续的算法处理系统也使用并行化计算流程，互不干扰，大大提高了整个系统的检测效率。

根据本发明实施例的装置解决了通过传统人眼检测方法中存在的效率低、损伤大、受主观因素和环境影响等问题，具有操作简单、检测速度快、精度高、综合成本低等优点。

如图2所示，并结合图3，本发明的实施例公开了一种具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的方法，包括：

S201：采集SLM显示的一系列图案以得到拍摄图像。首先，可以利用上述实施例的装置，在没有外界光干扰的低照度环境下，由处理系统发出控制指令，由伺服系统将待检测的SLM装载到工作台上固定并使其处于工作状态。然后由处理系统发出控制指令，使待检测的SLM显示一系列图案，由采集系统利用SLM上方的灰度相机逐一对SLM屏幕显示的图像进行拍摄。

S202：从拍摄图像中分割出SLM显示的图像区域。具体地，分割出所述拍摄图像中的SLM屏幕所在区域作为所述SLM显示的图像区域，划定相应的图像ROI。如果所述拍摄图像中包括多个SLM屏幕，则检测出每个SLM在拍摄图像中的区域，以划定多个图像ROI。

更为具体地，分割出拍摄图像中的SLM屏幕所在区域作为有效图像区域，划定相应的图像ROI。如果是多个SLM同时检测，则分别检测出各个SLM在拍摄图像中的所在区域，划定多个图像ROI，分别由算法处理系统进行并行化的缺陷检测计算。

在进行一次装调的操作之后，相机拍摄的场景都会比SLM所在区域更大，还会包括SLM的边框、接线、部分工作台等，如果不去除这些无效图像部分会对检测算法造成影响，因此首先需要确定SLM屏幕在拍摄图像中的区域。在提取图像ROI之后，每次拍摄SLM之后只需要将ROI区域的图像传输给算法处理系统，进行后续的计算。

将SLM固定在工作台上预先设定的位置，利用其上方的灰度相机拍摄SLM屏幕全部点亮后的图像，利用图像角点提取算法，提取出图像中SLM屏幕的四角，从而划定SLM屏幕所在的矩阵图像区域作为ROI区域，去除工作台、屏幕边框部分。

其次，对于具有子像素结构的SLM，通过控制其各个子像素通道的亮暗，使其能够分别显示各个子像素通道全点亮、单独点亮和全不点亮等几种状态，由采集系统自动切换这些预先设定的图像，并同步地使用灰度相机分别对SLM所显示的图像进行拍摄。对于具有N个子像素结构的SLM，本方法需要拍摄N+2张图像。

为了消除拍摄过程中随机噪声的影响，对同一幅图案进行多次连续曝光拍摄，然后将拍摄的图像序列进行时域均值滤波处理。此外，考虑到像感器对于SLM各个子像素通道的响应强度可能会存在一定的差异，在拍摄不同子像素通道时，通过调节曝光时间使其响应强度尽量一致。

S203：对SLM显示的图像区域进行亮度补偿。例如：从没有缺陷的SLM中提取亮度补偿参数；根据所述亮度补偿参数对所述SLM显示的图像区域中每个像素点进行亮度补偿。

具体而言，对拍摄到的图像进行亮度补偿，并且生成SLM表面掩膜，表示到补偿后的图像进行后续分析。由于相机对于SLM显示全亮图像时的响应实际不完全一致，会对缺陷检测算法造成较大的影响，因此需要进行亮度补偿。首先，利用一个没有任何缺陷的SLM，使其显示所有子通道都点亮的图像，然后利用灰度相机进行连续多次拍摄并求取图像均值，该图像记为BL。

计算图像BL中所有像素的最大灰度值Vmax，然后对于图像中所有像素求取亮度补偿系数：若像素点的灰度值值为V，则计算其补偿系数f＝Vmax/V。对于拍摄的图像进行亮度补偿时，将每个像素点都乘以相应的补偿系数，如果补偿后的像素值超过255，则将其像素值置为255

S204：计算亮度补偿后的SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值，并根据多个像素点的像素均值和方差的均值判断SLM是否存在缺陷点。例如：

SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值，其中，所述公式为：

其中，所述为所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值。

具体而言，利用前述步骤拍摄的一组图像数据进行缺陷检测计算，将这些图像分别标记为所由子像素通道全亮图W、全不亮图K以及各个子像素通道单独点亮图S1、S2、S3……对于SLM屏幕上的每一个像素点V_i，计算其在这些图像中的像素值的均值m_i和方差s_i。然后对于所有像素点，通过上述公式求取上述求取的像素均值和方差的均值。

考虑到SLM可能出现的缺陷类型，对于常暗点，即所有子像素均不亮，其在所有图像中均呈现为接近于零的低灰度值，因此其均值和方差均接近于零。相反，对于常亮点，即所有子像素均始终保持点亮状态，其在所有图像中均呈现出全部子像素通道全亮的高灰度值，因此其均值明显偏高，而方差则很小，接近于零。对于色异点，即至少有一个子像素通道的响应不正确，造成最终显示上的色差；或者由表面灰尘等因素造成的半透明点，即各个子像素通道的响应均比正常值偏低，其均值和方差与正常像素点的均值和方差由明显差异，因此以正常点像素均值和方差的平均值作为中心，距离此中心较远的像素点则将其判定为缺陷点。

【实施例】

本实施例使用屏幕分辨率为800x600的TFT-LCD，缺陷检测的流程如下：

1.将检测装置安放于没有外部光源直射的环境中，为了进一步提高检测精度，应当使得检测环境的照度尽可能低。

2.将LCD装载在具有均匀背光的测试台上，装载和卸载的操作用由固定在工作台上的可编程机械手控制，该机械手可以三自由度控制，能够从事先设定的待检测LCD放置区域中抓取LCD屏幕，然后移动到测试台正上方，将LCD放置在测试台上，使测试台与LCD屏幕吸合并打开LCD背光。待LCD检测完成后，测试台与LCD分离，机械手从测试台上抓取LCD，根据检测结果是否含有缺陷，将该LCD分别放置到不同位置。如此便完成了一个LCD的完整检测过程，机械手抓取下一个待检测LCD进行检测。

3.在LCD测试台的上方安装有一个130万像素的可变焦工业级CCD相机，相机安装在可以六自由度控制的平台上，通过控制相机的水平、垂直方向位置，以及相机的角度，使得相机位于待检测LCD屏幕的垂直正常方。首先使得LCD处于相机视角的中央，然后调节相机的工作距离和焦距，使得拍摄图像中的像素和LCD屏幕上的像素一一对应并且清晰成像。

4.第一次检测LCD时需要提取图像ROI，从拍摄到的完整图像中分割出屏幕所在区域，在测试台和相机的位置没有改变的情况下，检测其他LCD则可以直接使用此步所提取的ROI，从拍摄图像中分割出有效数据做后续分析。提取ROI时，使LCD显示全亮的图像进行拍摄，对拍摄的灰度图像进行二值化，然后使用Harris角点提取算法，提取二值图像中的角点，从而确定屏幕所在矩形区域作为ROI区域。

5.首先，测试台上不放置LCD，打开背光，使用相机拍摄。利用本发明所使用的亮度补偿方法求取两部亮度补偿系数，以减小背光不均匀、成像光晕等因素造成的图像不同区域之间的亮度差异。

6.使LCD分别显示白色、黑色、红色、绿币、蓝色五张图像，分别对应于LCD的R、G、B三个子通道全亮、全暗和分别点亮的状态，在第一次进行拍摄时，需要调节相机对于各个图像拍摄时的曝光参数，使其对于R、G、B三个通道的响应强度接近，并且确保在白色图像拍摄时不会产生过曝。在确定参数后，检测其他LCD屏幕时使用相同的曝光参数。

7.拍摄LCD显示白(W)、黑(K)、红(R)、绿(G)、蓝(B)图像时，各自连续拍摄10次，然后求取相应的时域平均图像，分割出ROI区域并且进行相应的亮度补偿之后，作为最终拍摄的一组共五张图像，后续算法处理系统使用该图像数据进行分析。

8.对于W、K、R、G、B五张图像中的每一个像素点V_i，计算其在各图像中的像素值的均值和方差：

m_i＝(W_i+K_i+R_i+G_i+Bi)/5，S_i＝((W_i-m_i)²+(K_i-m_i)²+(R_i-m_i)²+(G_i-m_i)²+(Bi-m_i)²)/5

然后对于所有像素点，求取上述求取的像素均值和方差的均值：

对于每一个像素，计算其均值方差(m_i，S_i)与中心(m，s)的距离：

所求得距离大于一定阈值的像素点则认为是缺陷点，在本实施例中，阈值设定为1000。

根据本发明实施例的方法，解决了通过传统人眼检测方法中存在的效率低、损伤大、受主观因素和环境影响等问题，具有操作简单、检测速度快、精度高、综合成本低等优点。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置，其特征在于，包括：

伺服系统，所述伺服系统用于装载/卸载空间光调制器SLM，并对所述SLM的位置和姿态进行调整；

采集系统，所述采集系统位于所述SLM上方，用于采集所述SLM显示的一系列图案；

处理系统，所述处理系统分别与所述伺服系统和所述采集系统相连，用于对所述伺服系统和所述采集系统进行控制，并从所述采集系统拍摄图像中分割出SLM显示的图像区域，并对所述SLM显示的图像区域进行亮度补偿，以及计算亮度补偿后的所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值，并根据所述多个像素点的像素均值和方差的均值判断所述SLM是否存在缺陷点。

2.根据权利要求1所述的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置，其特征在于，所述伺服系统包括：

自动装卸单元，所述自动装卸单元用于装载/卸载所述SLM，并对所述SLM的位置和姿态进行调整；

显示控制单元，所述显示控制单元用于控制SLM屏幕的工作状态和显示内容。

3.根据权利要求1所述的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置，其特征在于，所述采集系统包括：

成像单元，所述成像单元包括摄像头，所述摄像头用于拍摄所述SLM显示的一系列图案；

采集控制单元，所述采集控制单元用于调整所述成像单元的位置和参数，并对所述成像单元进行拍摄控制。

4.根据权利要求1所述的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置，其特征在于，所述处理系统对所述SLM显示的图像区域进行亮度补偿，进一步包括：

从没有缺陷的SLM中提取亮度补偿参数；

根据所述亮度补偿参数对所述SLM显示的图像区域中每个像素点进行亮度补偿。

5.根据权利要求1所述的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置，其特征在于，所述处理系统通过如下公式计算亮度补偿后的所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值，其中，所述公式为：

$\stackrel{\‾}{m}=\frac{1}{N}\underset{t}{\Σ}{m}_t,$

$\stackrel{\‾}{s}=\frac{1}{N}\underset{t}{\Σ}{s}_i;$

其中，所述(m，s)为所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值。

6.一种具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的方法，其特征在于，包括：

采集所述SLM显示的一系列图案以得到拍摄图像；

从所述拍摄图像中分割出SLM显示的图像区域；

对所述SLM显示的图像区域进行亮度补偿；

计算亮度补偿后的所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值，并根据所述多个像素点的像素均值和方差的均值判断所述SLM是否存在缺陷点。

7.根据权利要求6所述的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的方法，其特征在于，所述从所述拍摄图像中分割出SLM显示的图像区域，具体包括：

分割出所述拍摄图像中的SLM屏幕所在区域作为所述SLM显示的图像区域，划定相应的图像ROI。

8.根据权利要求7所述的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的方法，其特征在于，如果所述拍摄图像中包括多个SLM屏幕，则检测出每个SLM在拍摄图像中的区域，以划定多个图像ROI。

9.根据权利要求6所述的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的方法，其特征在于，所述对所述SLM显示的图像区域进行亮度补偿，具体包括：

从没有缺陷的SLM中提取亮度补偿参数；

根据所述亮度补偿参数对所述SLM显示的图像区域中每个像素点进行亮度补偿。

10.根据权利要求6所述的具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的方法，其特征在于，所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值，其中，所述公式为：

$\stackrel{\‾}{m}=\frac{1}{N}\underset{t}{\Σ}{m}_t;$

$\stackrel{\‾}{s}=\frac{1}{N}\underset{t}{\Σ}{S}_t;$

其中，所述(m，s)为所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值。