CN104972422B - 一种用于竖式基板的夹持机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种用于竖式基板的夹持机构，包括固定板、固定轴、伸缩气缸、活动轴支架和活动轴；所述固定板竖直安装，且设置有水平的所述固定轴；所述活动轴支架竖直安装，且设置有水平的所述活动轴，所述活动轴支架与所述活动轴同步移动；所述固定轴与所述活动轴相互平行；所述伸缩气缸包括气缸体和伸缩杆，所述活动轴支架包括固定端和活动端，所述气缸体和所述固定端均铰接在所述固定板上，所述伸缩杆与所述活动端铰接；所述伸缩气缸用于推动所述活动端绕所述固定端摆动。本发明的夹持机构，减小了设备体积，实现了对基板进行垂直方向除尘，无需翻转基板即可一次性双面清洁，节约了大量的空间及人工成本。

Description

一种用于竖式基板的夹持机构

技术领域

本发明涉及粘尘机技术领域，尤其涉及一种用于竖式基板的夹持机构。

背景技术

半自动曝光、半自动印刷等半自动设备的粘尘方式通常为手动滚轮式，或者使用传统的水平自动滚轮式清洁机。而传统的水平自动滚轮式清洁机的基板均为水平放置。

在实际的操作过程中，手动滚轮清洁粘尘方式对于基板表面不能全部清洁到位，不管将基板水平放置还是竖直放置，对于基板的粘尘处理都需要进行双面清洁，即清洁一面后翻转基板对另一面再进行清洁。该过程使得已经被清洁的第一面需要与其他的承接物接触，对基板造成了二次污染。由此可见，由于不能两面同时粘尘清洁而造成耗时过长，增加了电能、材料和时间成本。而且人工粘尘清洁的效率过低、除尘效果差、容易出现漏清洁甚至为了产量而不清洁的情况，从而影响了基板的粘尘清洁合格率。

而传统的水平自动滚轮式清洁机占地面积大，在同等车间面积内可设置的设备数量少，空间利用率低。上述的缺陷使得基板水平放置的传统的水平自动滚轮式清洁机对企业的资源利用率降低，加大了资金的投入。

综上所述，如何减小清洁设备占用的空间、提高清洁设备的粘尘清洁效率、降低清洁设备的成本是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于竖式基板的夹持机构，以解决现有技术的粘尘机中基板的夹持清洁机构存在的基板需要两面依次清洁、效率低下的问题，以及由于基板放置导致整体设备占用空间过大、资源利用率低的问题。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

本发明提供的一种用于竖式基板的夹持机构，包括固定板、固定轴、伸缩气缸、活动轴支架和活动轴；所述固定板竖直安装，且设置有水平的所述固定轴；所述活动轴支架竖直安装，且设置有水平的所述活动轴，所述活动轴支架与所述活动轴同步移动；所述固定轴与所述活动轴相互平行；所述伸缩气缸包括气缸体和伸缩杆，所述活动轴支架包括固定端和活动端，所述气缸体和所述固定端均铰接在所述固定板上，所述伸缩杆与所述活动端铰接；所述伸缩气缸用于推动所述活动端绕所述固定端摆动。

优选地，所述固定轴包括第一固定轴和第二固定轴，所述第一固定轴和所述第二固定轴上下分布；所述伸缩气缸包括第一伸缩气缸和第二伸缩气缸，所述第一伸缩气缸和所述第二伸缩气缸上下分布；所述活动轴支架包括第一活动轴支架和第二活动轴支架，所述第一活动轴支架和所述第二活动轴支架上下分布；所述第一活动轴支架的所述活动端与所述第一伸缩气缸的所述伸缩杆铰接；所述第二活动轴支架的所述活动端与所述第二伸缩气缸的所述伸缩杆铰接；所述活动轴包括第一活动轴和第二活动轴，所述第一活动轴和所述第二活动轴分别设置在所述第一活动轴支架和所述第二活动轴支架上。该技术方案的技术效果在于：两组夹持部件，包括两个伸缩气缸、两个活动轴支架、两个固定轴和两个活动轴，不仅增强了夹持力度、保证了基板夹持的垂直效果，同时对基板表面进行了两次清洁，并且可以将其中一组夹持部件作为备件，增加了设备的使用寿命并保障了设备的利用率。

进一步，在所述固定板垂直方向的中部设置有铰链孔，所述第一活动轴支架和所述第二活动轴支架的所述固定端分别与所述铰链孔铰接，使所述第一活动轴支架和所述第二活动轴支架相对于所述铰链孔所在水平面对称。该技术方案的技术效果在于：铰链孔将第一活动轴支架和第二活动轴支架对称地安装在上下两侧，从而实现上侧一组的第一固定轴和第一活动轴的夹持和分开动作与下侧一组的第二固定轴和第二活动轴的夹持和分开动作通过第一伸缩气缸和第二伸缩气缸分别进行控制，保障了基板夹持的平稳性。

进一步，所述固定端通过润滑机构铰接于所述固定板，所述活动端通过润滑机构铰接于所述伸缩杆。该技术方案的技术效果在于：润滑机构的作用就在于加强铰接结构的灵活性，减少铰链的两个部件之间的磨损。同时，铰接形式保证固定端及活动端也可以进行微量旋转。

优选地，所述润滑机构为自润滑轴承。该技术方案的技术效果在于：自润滑轴承利用自身材料的润滑特性，避免两个铰链的部件使用润滑油进行润滑，减少了油污的可能。

进一步，用于竖式基板的夹持机构还包括伸缩杆套，所述伸缩杆通过所述伸缩杆套铰接所述活动端。该技术方案的技术效果在于：伸缩杆套一方面在复杂的结构中保护伸缩杆持续的伸缩推拉动作，另一方面便于利用伸缩杆套的套环形状与活动轴支架的活动端相互铰接。

进一步，用于竖式基板的夹持机构还包括气缸连接块，所述气缸体通过所述气缸连接块铰接于所述固定板。该技术方案的技术效果在于：由于伸缩气缸的气缸体没有相关的连接槽孔，设置气缸连接块，一方面便于将伸缩气缸与固定板连接，另一方面通过气缸连接块的铰接形式有助于伸缩气缸随着伸缩杆的摆动而作细微的旋转。

进一步，用于竖式基板的夹持机构还包括驱动机构，所述驱动机构驱动所述固定轴旋转。该技术方案的技术效果在于：夹持机构的功用在于夹持与清洁，故需要在其固定轴和活动轴上连接清洁滚轮，且使用驱动机构驱使旋转来进行清洁；并且由于活动轴不便于引入外来的转矩，所以，驱动机构用于驱动固定轴旋转。

进一步，所述固定轴的侧壁与所述活动轴的侧壁均设置有环形凹槽，用于连接夹持滚轮。该技术方案的技术效果在于：环形凹槽用于固定轴、活动轴与清洁滚轮的配合连接，将驱动机构的转矩传输给清洁滚轮，提供为基板清洁的功能。

进一步，用于竖式基板的夹持机构还包括铰链销，多个所述铰链销分别用以定位所述固定端与所述固定板的铰接、所述活动端与所述伸缩杆的铰接、所述气缸体与所述固定板的铰接。该技术方案的技术效果在于：在清洁滚轮清洁基板的过程中，以及伸缩气缸带动活动轴支架摆动、进而牵引活动轴对基板进行夹持的过程中，多个铰接的部件频繁动作，设置了铰链销，能保证配合部件的定位，延长其使用寿命，并实现动作中的微量旋转。

本发明的有益效果是：对基板进行垂直方向除尘，实现了无需翻转基板即可一次性双面清洁，提高了粘尘机的除尘清洁效率；同时，使清洁设备占用较少的车间水平面积，提高了空间利用率；并且节约了清洁设备及人工成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式的技术方案，下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例一提供的用于竖式基板的夹持机构的结构分解示意图；

图2为本发明实施例一提供的用于竖式基板的夹持机构的结构组装示意图；

图3为本发明实施例二提供的用于竖式基板的夹持机构的结构组装示意图；

图4为本发明实施例二提供的用于竖式基板的夹持机构的右视图。

附图标记：

1-固定板； 2-固定轴；

21-第一固定轴； 22-第二固定轴；

3-伸缩气缸； 31-第一伸缩气缸；

32-第二伸缩气缸； 301-气缸体；

302-伸缩杆； 303-气缸连接块；

304-伸缩杆套； 4-活动轴支架；

41-第一活动轴支架； 42-第二活动轴支架；

401-活动端； 402-固定端；

5-活动轴； 51-第一活动轴；

52-第二活动轴； 6-铰链孔；

7-环形凹槽。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，出现的方位性质名词仅仅基于附图实施例的描述，而本身并不指定本发明必须按指定方位安装。例如，本发明可以是竖直安装形式，也可以是水平安装，也可以是歪斜安装等。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例一：

本实施例提供了一种用于竖式基板的夹持机构，其中：图1为本发明实施例一提供的用于竖式基板的夹持机构的结构分解示意图；图2为本发明实施例一提供的用于竖式基板的夹持机构的结构组装示意图。如图1、2所示，用于竖式基板的夹持机构，包括固定在设备机架上的固定板1、一个活动轴支架4和一个伸缩气缸3。活动轴支架4两端分别为固定端402和活动端401，伸缩气缸3包括气缸体301和伸缩杆302。其中，固定端402、气缸体301分别和固定板1铰接，活动端401与伸缩杆302铰接。并且，固定板1竖直安装，在固定板1上，连接有轴向水平设置的固定轴2；活动轴支架4也竖直安装，在活动轴支架4中部，连接有轴向水平设置的活动轴5。在水平方向上，固定轴2与活动轴5的轴线相互平行。本实施例的技术方案，在于通过伸缩气缸3内气压的变化，推出和拉回伸缩杆302，可实现活动轴支架4的活动端401绕固定端402摆动。此时，相互平行的固定轴2与活动轴5随着活动端401相对固定端402的摆动，两者的轴线距离可变。由上述的动作情况可知，固定轴2和活动轴5即可实现夹持竖式基板的功能。进一步，在固定轴2和活动轴5上连接清洁滚轮，则本实施例提供的夹持机构，不仅可夹持竖式基板，同时可以对基板进行双面同时清洁。

特别需要说明的是，需要将两个如图2所示的用于竖式基板的夹持机构互相平行地设置，两个活动轴5相对应地连接一根清洁滚轮，且同时下压才能达到夹紧基板的效果，由于两个用于竖式基板的夹持机构的结构和样式一致，故本实施例只描述其中的一个。

实施例二：

本实施例所提供的一种用于竖式基板的夹持机构，是在实施例一的基础上的进一步改进而成。具体是将实施例一所描述的夹持清洁部件作数量上的调整，加强夹持机构的夹持效果，并且补充相应的技术特征，实施例一已经描述的技术方案不再重复描述。如图3、4所示，图3为本发明实施例二提供的用于竖式基板的夹持机构的结构组装示意图；图4为本发明实施例二提供的用于竖式基板的夹持机构的右视图。

如图3、4所示，具体而言，本实施例提供的用于竖式基板的夹持机构在实施例一的基础上，设置为上下两组夹持结构。固定轴2包括第一固定轴21和第二固定轴22，第一固定轴21和第二固定轴22在固定板1上上下分布；伸缩气缸包括第一伸缩气缸31和第二伸缩气缸32，第一伸缩气缸31和所述第二伸缩气缸32上下分布，分别通过气缸体301与固定板1铰接；活动轴支架包括第一活动轴支架41和第二活动轴支架42，第一活动轴支架41和第二活动轴支架42上下分布，分别通过固定端402与固定板1铰接；对应地，活动轴包括第一活动轴51和第二活动轴52，分别连接在第一活动轴支架41和第二活动轴支架42上。并且，第一活动轴支架41的活动端401与第一伸缩气缸31的伸缩杆302铰接，第二活动轴支架42的活动端401与第二伸缩气缸32的伸缩杆302铰接。使用如上所述的两组夹持部件，基板同时被上下两组部件夹持，实现了垂直放置，其中，上侧一组夹持部件为第一固定轴21和第一活动轴51，下侧一组夹持部件为第二固定轴22和第二活动轴52。可选地，也可以将其中一组夹持部件作为备件，只使用一组夹持部件操作，提高整体设备的利用率。

同样需要说明的是，需要将两个如图4所示的用于竖式基板的夹持机构互相平行地设置，才能达到夹紧基板的效果，由于两个用于竖式基板的夹持机构的结构和样式一致，故本实施例只描述其中的一个。

在本实施例的可选方案中，如图3、4所示，进一步地，在固定板1垂直方向的中部，设置有铰链孔6，第一活动轴支架41和第二活动轴支架42的固定端402分别通过对称铰链与固定板1铰接，使第一活动轴支架41和第二活动轴支架42相对于铰链孔6所在的水平面对称。其中，铰链孔6也可以在不同的位置设置为两个，分别与第一活动轴支架41的固定端402和第二活动轴支架42的固定端402连接，能实现第一伸缩气缸31推拉第一活动轴支架41的活动端401、第二伸缩气缸32推拉第二活动轴支架42的活动端401即可。本实施例中，将铰链孔6设计为一个，既简化了结构，使得第一活动轴支架41和第二活动轴支架42与固定板1连接的结构紧凑，还可以提高第一活动轴支架41和第二活动轴支架42摆动角度的一致性，保证上下两组夹持部件对基板的夹持作用效果相同。

在本实施例的可选方案中，如图3、4所示，进一步地，固定端402通过润滑机构铰接于固定板1，活动端401通过润滑机构铰接于伸缩杆302。润滑机构的作用在于加强铰接结构的灵活性，减少铰链的两个部件之间的磨损，延长设备的使用寿命。

在本实施例的可选方案中，如图3、4所示，优选地，润滑机构为自润滑轴承。自润滑轴承由于自身材料的润滑特性，具有无油润滑或少油润滑的特点，适用于无法加油或很难加油的场所，可在使用时不保养或少保养。故自润滑轴承避免了两个铰链的部件使用润滑油进行润滑，减少了油污的可能。

在本实施例的可选方案中，如图3、4所示，进一步地，还设置有伸缩杆套304，伸缩杆套304套接在伸缩杆302的末端，伸缩杆302通过伸缩杆套304铰接第一活动轴支架41和第二活动轴支架42的活动端401。伸缩杆套304一方面在复杂的运动结构中保护伸缩杆302持续的伸缩推拉动作，另一方面便于利用伸缩杆套304的套环形状与第一活动轴支架41和第二活动轴支架42的活动端401相互铰接。

在本实施例的可选方案中，如图3、4所示，进一步地，第一伸缩气缸31和第二伸缩气缸32均包括气缸连接块303，气缸连接块303连接在第一伸缩气缸31和第二伸缩气缸32的底端，气缸体301通过气缸连接块303与固定板1铰接。由于常见的伸缩气缸气缸体301没有合适的连接槽孔，设置气缸连接块303，一方面便于将第一伸缩气缸31、第二伸缩气缸32与固定板1连接，另一方面通过气缸连接块303的铰接作用，有助于第一伸缩气缸31、第二伸缩气缸32随着伸缩杆302的摆动而作细微的旋转。

在本实施例的可选方案中，如图3、4所示，进一步地，用于竖式基板的夹持机构还包括驱动机构，驱动机构用于驱动第二固定轴22旋转。驱动机构可以通过皮带轮或者齿轮等结构连接第二固定轴22。本夹持机构的功用在于夹持基板，而要清洁基板则需要在第一固定轴21、第二固定轴22、第一活动轴51和第二活动轴52上连接清洁滚轮，且使用驱动机构提供旋转动力进行清洁。本实施例中，由于第一活动轴51和第二活动轴52不断进行摆动的动作，不便于引入外来的转矩，所以，使用位于下侧的第二固定轴22来引入驱动机构的动力，而上侧的第一固定轴21，只进行被动旋转。

在本实施例的可选方案中，如图3、4所示，进一步地，第一固定轴21、第二固定轴22的侧壁与第一活动轴51、第二活动轴52的侧壁均设置有环形凹槽7，环形凹槽7用于连接夹持滚轮。利用环形凹槽7，第一固定轴21、第二固定轴22与第一活动轴51、第二活动轴52可以连接不同的清洁滚轮，将驱动机构的转矩传输给清洁滚轮，使夹持机构具有不同的对基板清洁的功能。

在本实施例的可选方案中，如图3、4所示，进一步地，夹持机构还包括铰链销，铰链销用于将各个铰接部件定位。其中，固定端402与固定板1的铰接、活动端401与伸缩杆302的铰接、气缸体301与固定板1的铰接，都设置有铰链销。铰链销的设置，保证了动作频繁的铰链配合部件的定位，延长其使用寿命。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种用于竖式基板的夹持机构，其特征在于，包括固定板、固定轴、伸缩气缸、活动轴支架和活动轴；

所述固定板竖直安装，且设置有水平的所述固定轴；

所述活动轴支架竖直安装，且设置有水平的所述活动轴，所述活动轴支架与所述活动轴同步移动；

所述固定轴与所述活动轴相互平行；

所述伸缩气缸包括气缸体和伸缩杆，所述活动轴支架包括固定端和活动端，所述气缸体和所述固定端均铰接在所述固定板上，所述伸缩杆与所述活动端铰接；

所述伸缩气缸用于推动所述活动端绕所述固定端摆动。

2.根据权利要求1所述的用于竖式基板的夹持机构，其特征在于，所述固定轴包括第一固定轴和第二固定轴，所述第一固定轴和所述第二固定轴上下分布；

所述伸缩气缸包括第一伸缩气缸和第二伸缩气缸，所述第一伸缩气缸和所述第二伸缩气缸上下分布；

所述活动轴支架包括第一活动轴支架和第二活动轴支架，所述第一活动轴支架和所述第二活动轴支架上下分布；

所述第一活动轴支架的所述活动端与所述第一伸缩气缸的所述伸缩杆铰接；所述第二活动轴支架的所述活动端与所述第二伸缩气缸的所述伸缩杆铰接；

所述活动轴包括第一活动轴和第二活动轴，所述第一活动轴和所述第二活动轴分别设置在所述第一活动轴支架和所述第二活动轴支架上。

3.根据权利要求2所述的用于竖式基板的夹持机构，其特征在于，在所述固定板垂直方向的中部设置有铰链孔，所述第一活动轴支架和所述第二活动轴支架的所述固定端分别与所述铰链孔铰接，使所述第一活动轴支架和所述第二活动轴支架相对于所述铰链孔所在水平面对称。

4.根据权利要求1-3任一项所述的用于竖式基板的夹持机构，其特征在于，所述固定端通过润滑机构铰接于所述固定板，所述活动端通过润滑机构铰接于所述伸缩杆。

5.根据权利要求4所述的用于竖式基板的夹持机构，其特征在于，所述润滑机构为自润滑轴承。

6.根据权利要求4所述的用于竖式基板的夹持机构，其特征在于，包括伸缩杆套，所述伸缩杆通过所述伸缩杆套铰接所述活动端。

7.根据权利要求2所述的用于竖式基板的夹持机构，其特征在于，包括气缸连接块，所述气缸体通过所述气缸连接块铰接于所述固定板。

8.根据权利要求2所述的用于竖式基板的夹持机构，其特征在于，包括驱动机构，所述驱动机构驱动所述固定轴旋转。

9.根据权利要求2所述的用于竖式基板的夹持机构，其特征在于，所述固定轴的侧壁与所述活动轴的侧壁均设置有环形凹槽，用于连接夹持滚轮。

10.根据权利要求2所述的用于竖式基板的夹持机构，其特征在于，包括铰链销，多个所述铰链销分别用以定位所述固定端与所述固定板的铰接、所述活动端与所述伸缩杆的铰接、所述气缸体与所述固定板的铰接。