CN104950488A - 面板湿制程排气装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种面板湿制程排气装置，包括水洗单元、排气风机、排气主管以及第一排气支管，所述排气主管和所述第一排气支管相互连通形成排气管路，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元连接，所述排气主管的出气口与所述排气风机连接，所述第一排气支管的进气口固定在所述水洗单元的底面上，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元的内部空间相通，所述第一排气支管的进气口处设有第一防水盖板，以防止药液或水进入所述排气管路，在所述排气风机的作用下，所述水洗单元中的水汽经由所述排气管路排出。根据本发明可以有效节省排气管道的占用空间，而且布局更加紧凑美观。

Description

面板湿制程排气装置
技术领域
本发明涉及一种面板湿制程排气装置。
背景技术
在液晶显示面板制造过程中，湿制程设备经常会使用到大量的药液和水对玻璃基板进行喷淋冲刷，期间会产生大量的水汽，所以必须要用湿排气制程进行抽干，将水汽从排气管排出，同时为了防止药液和水进入排气管，一般将排气管设置在湿制程设备侧边，如图1所示，现有技术中面板湿制程排气装置将所述排气支管2设置在水洗单元1的侧边，由于排气主管3埋在地下，所以所述排气支管需要引到地下与所述排气主管3连通，这种设计的排气管设置在水洗单元外侧，因此占用的空间比较大，而且也不美观。
发明内容
本发明的目的在于提供一种面板湿制程排气装置，所述面板湿制程排气装置的排气管安装在水洗单元底部，并收容在水洗单元底面与地面的空间内，能有效减少排气管的占有空间。
为了实现上述目的，本发明实施方式提供如下技术方案：
一种面板湿制程排气装置，包括水洗单元、排气风机、排气主管以及第一排气支管，所述排气主管和所述第一排气支管相互连通形成排气管路，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元连接，所述排气主管的出气口与所述排气风机连接，其特征在于，所述第一排气支管的进气口固定在所述水洗单元的底面上，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元的内部空间相通，所述第一排气支管的进气口处设有第一防水盖板，以防止药液或水进入所述排气管路，在所述排气风机的作用下，所述水洗单元中的水汽经由所述排气管路排出。
优选的，所述第一排气支管的进气口高于所述水洗单元的底面至少5cm。
优选的，所述面板湿制程排气装置还包括水汽分离装置、第二排气支管和第二防水盖板，所述第一排气支管连接于所述水洗单元和所述水汽分离装置之间，所述第二排气支管连接于所述水汽分离装置与所述排气主管之间，所述第二防水盖板设置在所述第二排气支管的进气口处，所述第二排气支管的进气口与所述水汽分离装置底面连接，且所述第二排气支管进气口与所述水汽分离装 置的内部空间相通。
优选的，所述第一防水盖板与所述第一排气支管的进气口之间设有间隙，所述水洗单元中的水汽经由所述第一防水盖板与所述第一排气支管之间的间隙进入所述排气管路。
优选的，所述第一防水盖板完全封住所述第一排气支管进气口，所述第一排气支管的侧壁设有透气孔，所述水洗单元中的水汽经由所述透气孔进入所述排气管路。
优选的，所述第二防水盖板与所述第二排气支管进气口之间设有间隙，所述水汽分离装置中水汽经由所述第二防水盖板与所述第二排气支管之间的间隙进入所述排气管路。
优选的，所述第二防水盖板底部通过滤水层与所述第二排气支管之间密封连接，所述水汽分离装置中的水汽经由所述滤水层进入所述第二防水盖板与所述第二排气支管之间的间隙，从而进入所述第二排气支管。
优选的，所述第二防水盖板完全封住所述第二排气支管进气口，所述第二排气支管的侧壁设有透气孔，所述水汽分离装置中的水汽经由所述透气孔进入所述排气管路。
优选的，所述第二排气支管侧壁上设有滤水层，所述滤水层遮挡住所述透气孔，所述水汽分离装置中的水汽经通过所述滤水层后，经由所述透气孔，进入所述排气管路。
优选的，所述水汽分离装置底部设有排水口，通过所述水汽分离装置增大与水汽的接触面积，使水汽在所述水汽分离装置中冷凝，冷凝水经排水口排出。
本发明所产生的有益效果是：在所述的第一排气支管进口处设有第一防水盖板，防止药液和水进入排气管路，因此可以将第一排气支管安装在水洗单元底部，并且第一排气支管设于水洗单元底面与地面的空间内，能有效减少面板湿制程装置的占地空间。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例、描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明实施例的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有技术提供的面板湿制程排气装置剖面示意图；
图2为本发明第一种实施例提供的面板湿制程排气装置剖面示意图；
图3为本发明第二种实施例提供的面板湿制程排气装置剖面示意图；
图4为本发明第三种实施例提供的面板湿制程排气装置剖面示意图；
图5为本发明第四种实施例提供的面板湿制程排气装置剖面示意图。
具体实施方式
图2为本发明提供的第一种实施例，包括水洗单元1、第一防水盖板21、第一排气支管31、排气主管6、排气风机(图未示出)。
所述排气主管6出气口与所述排气风机连接，所述排气主管6和所述第一排气支管31相互连通形成排气管路，图2到图5中排气管路内的箭头方向为排气管路中气体流向。水洗单元1位于排气管路的上游，第一防水盖板21设于所述第一排气支管31进气口处，第一防水盖板21呈倒凹形，第一防水盖板21能防止药液或水进入所述排气管路中，所述第一防水盖板21与所述第一排气支管31进气口设有间隙，所述第一排气支管31进气口固定在所述水洗单元1的底面11上，所述第一排气支管31进气口与水洗单元1的内部空间相通，进一步而言，所述第一排气支管31进气口位置高于所述水洗单元1的底面11，优选的，所述第一排气支管31进气口高于所述水洗单元1的底面11至少5cm。
所述第一排气支管31与所述水洗单元1为密封连接，防止气体泄漏。第一排气支管31与所述排气主管6直接连通形成本实施例中的排气管路，所述水洗单元1中的水汽在排气风机作用下从所述第一排气支管31进气口与所述第一防水盖板21间的间隙进入排气管路排出。
通过在所述第一排气支管31进口处设置所述第一防水盖板21，便解决了水汽和药液会进入排气管路的问题，所述第一排气支管31设置在所述水洗单元1的底面11上，从而减少了排气管路占用的空间，布局更加紧凑。
显而易见的，本发明所述的所述排气主管6和所述第一排气支管31相互连通可以通过第一排气支管与排气主管直接连接，也可以在排气主管6和所述第一排气支管31之间设置其他元件，例如水汽分离装置等，使二者间接连通。
图3为所述本发明提供的第二种实施例，相对于第一种实施例的区别在于所述第一防水盖板21完全封住所述第一排气支管31的进气口，所述第一排气支管的侧壁设有透气孔30，所述水洗单元中的水汽经由所述透气孔30进入所述 排气管路。
图4为本发明提供的第三种实施例，包括水洗单元1、第一防水盖板21、第二防水盖板22、第一排气支管31、第二排气支管32、滤水层4、排水口5、排气主管6、水汽分离装置7、排气风机(图未示出)。
所述排气主管6和所述第一排气支管31、第二排气支管32相互连通形成排气管路，水洗单元1位于排气管路的上游，水汽分离装置7在排气管路中位于水洗单元1的下游。所述排气主管6出气口与所述排气风机连接，所述水洗单元1中的水汽在所述排气风机的作用下经由所述排气管路排出。
第一防水盖板21设置于所述第一排气支管31进气口处，第一防水盖板21呈倒凹形，第一防水盖板21能防止药液或水进入所述排气管路中，所述第一防水盖板21与所述第一排气支管31进气口设有间隙，所述水洗单元1中的水汽在排气风机作用下由所述第一防水盖板21与所述第一排气支管31进气口间的间隙进入所述第一排气支管31。所述第一排气支管31进气口固定在所述水洗单元1的底面11上，所述第一排气支管31进气口与所述水洗单元1的内部空间相通，所述第一排气支管31与所述水洗单元1之间密封连接，防止气体泄漏。
所述第二排气支管32进气口设有第二防水盖板22，第二防水盖板22呈倒凹形，所述第二防水盖板22与所述第二排气支管32进气口之间设有间隙。
本发明所述防水盖板(第一防水盖板21或第二防水盖板22)可以通过支架焊接到相应的排气支管(即第一排气支管31或第二排气支管32)上，在其他实施例中，还可以在所述防水盖板上设置螺丝孔，通过螺钉固定在所述排气支管上。
所述第一排气支管31连接所述水洗单元1和所述水汽分离装置7，所述第二排气支管32连接所述水汽分离装置7与所述排气主管6。所述第一排气支管31与所述水汽分离装置7之间密封连接，所述水汽分离装置7设置在所述水洗单元1底面与地面之间。因此也不会增大湿制程设备的占地空间，同时冷凝在第一排气支管中的液体也可以在重力作用下进入所述水汽分离装置7，进而从排水口5排出。所述第二排气支管32进气口与所述水汽分离装置7的底面连接且所述第二排气支管32进气口位置高于所述水汽分离装置7底面，所述第二排气支管32与所述水汽分离装置7之间亦为密封连接，防止气体泄漏。所述第二防水盖板22底部还设有滤水层4，所述滤水层4、所述第二防水盖板22和所述第二 排气支管32共同形成密封环境，所述水汽分离装置7中的水汽在排气风机作用下经由所述滤水层4进入所述第二防水盖板22与所述第二排气支管32间的间隙从而进入所述第二排气支管32。
本发明所述滤水层4可以为海绵等透气吸水的材料组成。
所述水汽分离装置7可以为空间相对较大的中空的立方壳体，通过所述大空间立方壳体增大了水汽分离装置7与所述水汽的接触面积，使水汽在所述立方壳体中冷凝，排水口5设置在所述水汽分离装置7底部，由于所述水汽分离装置7在所述排气分机的作用下，所述水汽分离装置7内部为负气压，因此气体不会从排水口5中泄漏，而冷凝水在重力作用下可以经排水口5排出，从而避免了过多液体进入所述排气管路。
可以理解的是，水汽分离装置7的形状在此不作具体限定，还可以是球形、多边形或其他异性结构，只要能确保有效增大与水汽的接触面积即可。
通过增设所述的水汽分离装置7，可以进一步过滤水汽中的水分，避免了过多液体进入排气主管中，从而增大了排气量，同时，通过所述排水口5将冷凝水排出可以避免排气管积液、漏液的现象。
如图5所示，在第四种实施例中，所述第一防水盖板21、第二防水盖板22分别完全封住所述第一排气支管31、第二排气支管32的进气口，所述第一排气支管31、第二排气支管32侧壁设有透气孔30，所述水洗单元1中的水汽经在排气风机作用下由所述第一排气支管31侧壁上的透气孔30，进入所述排气管路，所述第二排气支管32侧壁上还设有滤水层4，所述滤水层4遮挡住所述透气孔30，所述水汽分离装置中的水汽在排气风机作用下，穿过所述滤水层4后，由所述第二排气支管32上的透气孔30进入所述排气管路。
显而易见的，第三、第四实施例中设置的滤水层4仅为最佳实施例，在其他实施例中，没有所述的滤水层4也能达到滤水效果。
以上所揭露的仅为本发明实施例较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明实施例之权利范围，因此依本发明实施例权利要求所作的等同变化，仍属本发明实施例所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种面板湿制程排气装置，包括水洗单元、排气风机、排气主管以及第一排气支管，所述排气主管和所述第一排气支管相互连通形成排气管路，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元连接，所述排气主管的出气口与所述排气风机连接，其特征在于，所述第一排气支管的进气口固定在所述水洗单元的底面上，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元的内部空间相通，所述第一排气支管的进气口处设有第一防水盖板，以防止药液或水进入所述排气管路，在所述排气风机的作用下，所述水洗单元中的水汽经由所述排气管路排出。
2.如权利要求1所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，还包括水汽分离装置、第二排气支管和第二防水盖板，所述第一排气支管连接于所述水洗单元和所述水汽分离装置之间，所述第二排气支管连接于所述水汽分离装置与所述排气主管之间，所述第二防水盖板设置在所述第二排气支管的进气口处，所述第二排气支管的进气口与所述水汽分离装置底面连接，且所述第二排气支管进气口与所述水汽分离装置的内部空间相通。
3.如权利要求1或2所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述第一防水盖板与所述第一排气支管的进气口之间设有间隙，所述水洗单元中的水汽经由所述第一防水盖板与所述第一排气支管之间的间隙进入所述排气管路。
4.如权利要求1或2所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述第一防水盖板完全封住所述第一排气支管进气口，所述第一排气支管的侧壁设有透气孔，所述水洗单元中的水汽经由所述透气孔进入所述排气管路。
5.如权利要求2所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述第二防水盖板与所述第二排气支管进气口之间设有间隙，所述水汽分离装置中水汽经由所述第二防水盖板与所述第二排气支管之间的间隙进入所述排气管路。
6.如权利要求5所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述第二防水盖板底部通过滤水层与所述第二排气支管之间密封连接，所述水汽分离装置中的水汽经由所述滤水层进入所述第二防水盖板与所述第二排气支管之间的间隙，从而进入所述第二排气支管。
7.如权利要求2所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述第二防水盖板完全封住所述第二排气支管进气口，所述第二排气支管的侧壁设有透气孔，所述水汽分离装置中的水汽经由所述透气孔进入所述排气管路。
8.如权利要求7所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述第二排气支管侧壁上设有滤水层，所述滤水层遮挡住所述透气孔，所述水汽分离装置中的水汽通过所述滤水层后，经由所述透气孔，进入所述排气管路。
9.如权利要求2所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述水汽分离装置底部设有排水口，通过所述水汽分离装置增大与水汽的接触面积，使水汽在所述水汽分离装置中冷凝，冷凝水经排水口排出。
10.如权利要求1所述的面板湿制程排气装置，其特征在于，所述第一排气支管的进气口高于所述水洗单元的底面至少5cm。
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