CN104947041A - 一种蒸镀坩埚以及oled材料的蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体以及加热装置，所述坩埚本体用于容纳蒸镀材料，所述加热装置用于对所述蒸镀材料进行加热，所述坩埚本体开口端设置有一坩埚盖子，所述坩埚盖子中设置有蒸镀孔；其中，所述坩埚本体中设置有一两端均为开口的中空结构件，所述中空结构件的一端穿过所述坩埚本体的底部并与坩埚本体的底部固定连接，另一端位于所述坩埚盖子下方并且正对于所述蒸镀孔；所述中空结构件中设置有一杆状件，所述杆状件在一动力装置的驱动下可在所述中空结构件中自由移动，并且，所述杆状件在所述动力装置的驱动下，至少部分可移动至所述蒸镀孔中。本发明还公开了包含该蒸镀坩埚的OLED材料的蒸镀装置。

Description

一种蒸镀坩埚以及OLED材料的蒸镀装置

技术领域

本发明涉及OLED显示技术领域，尤其是OLED显示器件制备工艺中的一种蒸镀坩埚以及包含该蒸镀坩埚的OLED材料的蒸镀装置。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Display，有机电致发光显示器件)作为新一代的固态自发光显示技术，相较于液晶显示具有超薄、响应度高、对比度高、功耗低等优势，近几年产业化速度突飞猛进。

请参阅图1，为现有的一种OLED显示器件的结构示意图，其包括：基板100、形成于基板100上的OLED器件200及与基板100贴合设置的封装盖板300，所述OLED器件200包括形成于基板100上的阳极201、形成于阳极201上的有机功能层202以及形成于有机功能层202上的阴极203，阳极201与阴极203激发有机功能层202以实现显示。其中，OLED器件的有机功能层202，一般由三个功能层构成，分别为空穴传输功能层(Hole Transport Layer，HTL)、发光功能层(Emissive Layer，EML)、电子传输功能层(Electron Transport Layer，ETL)。每个功能层可以是一层，或者一层以上，例如空穴传输功能层，有时可以细分为空穴注入层和空穴传输层；电子传输功能层，可以细分为电子传输层和电子注入层，但其功能相近，故统称为空穴传输功能层和电子传输功能层。

目前，制备OLED显示器件主流的方式是真空加热镀膜，即在真空腔体内使用坩埚加热OLED材料。请参阅图2，现有的用于OLED材料蒸镀的坩埚包括坩埚本体10及盖设于坩埚本体10开口端的坩埚盖子20，坩埚盖子20中设置有蒸镀孔21。其中坩埚本体10用于容纳OLED材料30，对OLED材料30加热，使其在一定温度下升华或者熔融汽化成蒸汽，透过蒸镀孔21沉积在基板上。

在OLED材料的蒸镀过程中，由于蒸镀出的有机物为蓬松结构，很容易在坩埚盖子20的蒸镀孔21部位集结，直至将蒸镀孔21完全堵住。但由于OLED显示器件制作工艺的特殊性，需要在持续的真空环境下，连续完成有机物的蒸镀，而一旦蒸镀孔21被堵，将使OLED材料无法蒸发，使蒸镀工艺无法继续进行，严重影响生产、实验进度。这种情况下，目前的做法只能把OLED材料降温至室温，再打开蒸镀设备腔体，处理完塞孔的蒸发源后，再关上蒸镀设备腔体，然后才能开始再次加热有机材料继续蒸镀工艺，通常这一流程需要耗费几十小时，对生产计划有严重的影响，影响产品质量。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种蒸镀坩埚，该蒸镀坩埚在蒸镀孔堵塞时，可自动疏通堵塞的蒸镀孔。

为了达到上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体以及加热装置，所述坩埚本体用于容纳蒸镀材料，所述加热装置用于对所述蒸镀材料进行加热，所述坩埚本体开口端设置有一坩埚盖子，所述坩埚盖子中设置有蒸镀孔；其中，所述坩埚本体中设置有一两端均为开口的中空结构件，所述中空结构件的一端穿过所述坩埚本体的底部并与坩埚本体的底部固定连接，另一端位于所述坩埚盖子下方并且正对于所述蒸镀孔；所述中空结构件中设置有一杆状件，所述杆状件在一动力装置的驱动下可在所述中空结构件中自由移动，并且，所述杆状件在所述动力装置的驱动下，至少部分可移动至所述蒸镀孔中。

其中，所述中空结构件凸起于所述坩埚本体底部的高度小于所述坩埚本体的高度，并且大于所述坩埚本体所容纳的蒸镀材料的最大高度。

其中，所述中空结构件凸起于所述坩埚本体底部的高度为所述坩埚本体的高度的以上。

其中，所述中空结构件的材料与所述坩埚本体的材料相同，所述中空结构件与所述坩埚本体为一体成型。

其中，所述加热装置包括电源以及环绕于所述坩埚本体外周的电热丝，所述电热丝与所述电源电性连接。

其中，所述杆状件由电热材料制备形成，所述杆状件与所述电源电性连接。

其中，所述动力装置为伺服电机。

本发明还提供了一种OLED材料的蒸镀装置，该装置包括工作平台以及多个蒸镀坩埚，所述工作平台的中央具有工作通孔，所述多个蒸镀坩埚设置于所述工作通孔中，其中，所述蒸镀坩埚为如上所述的蒸镀坩埚。

相比于现有技术，本发明实施例提供的蒸镀坩埚中，在坩埚本体中增加了中空结构件，并在中空结构件中设置可自由移动杆状件，在蒸镀孔发生堵塞时，可控制杆状件伸入到蒸镀孔中进行疏通，大大节省了疏通时间，提高了工作效率。另外，在疏通的过程中，不需要打开蒸镀设备腔体，可以保障产品的品质。进一步地，在一些优选的实施例中，杆状件由电热材料制备形成，连接电源后可以从坩埚本体中心对蒸镀材料进行加热，结合设置于坩埚本体外周的电热丝同时进行加热，有效解决了坩埚内材料边缘温度高而中心温度低的缺点，即解决了坩埚横向温差的问题。

附图说明

图1是现有的一种OLED显示器件的结构示意图。

图2是现有的一种蒸镀坩埚的结构示意图。

图3是本发明实施例提供的蒸镀坩埚的结构示意图。

图4a-4c是如图3所示的蒸镀坩埚对蒸镀孔进行疏通的过程图示。

图5是本发明实施例提供的OLED材料的蒸镀装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图以及具体实施例，对本发明实施例中的技术方案进行详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实例，而不是全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护范围。

在此，还需要说明的是，为了避免因不必要的细节而模糊了本发明，在附图中仅仅示出了与根据本发明的方案密切相关的结构和/或处理步骤，而省略了与本发明关系不大的其他细节。

图3是本发明实施例提供的蒸镀坩埚的结构示意图(图中位于坩埚本体10内部的结构采用了透视的效果图示)。参阅图3，该蒸镀坩埚2包括坩埚本体10以及加热装置40，所述坩埚本体10用于容纳蒸镀材料30，所述加热装置40用于对所述蒸镀材料30进行加热，所述坩埚本体10的开口端设置有一坩埚盖子20，所述坩埚盖子20中设置有蒸镀孔21。

其中，如图3所示的，所述坩埚本体10中设置有一两端均为开口的中空结构件50，所述中空结构件50的一端穿过所述坩埚本体10的底部并与坩埚本体10的底部固定连接，另一端位于所述坩埚盖子20下方并且正对于所述蒸镀孔21。所述中空结构件50中设置有一杆状件60，所述杆状件60在一动力装置70的驱动下可在所述中空结构件50中自由移动，并且，所述杆状件60在所述动力装置70的驱动下，至少部分可移动至所述蒸镀孔21中。其中，所述动力装置70可以选择为伺服电机。

其中，所述加热装置40包括电源41以及环绕于所述坩埚本体10外周的电热丝42，所述电热丝42与所述电源41电性连接。由电热丝42产生热量对蒸镀材料30加热，使蒸镀材料30升华或者熔融汽化成蒸汽，透过蒸镀孔21沉积在基板上。

具体地，所述中空结构件50凸起于所述坩埚本体10底部的高度d1小于所述坩埚本体10的高度d2，并且大于所述坩埚本体10所容纳的蒸镀材料30的最大高度d3。更为优选地，所述中空结构件50凸起于所述坩埚本体10底部的高度d1为所述坩埚本体10的高度d2的以上。

在本实施例中，所述中空结构件50的材料与所述坩埚本体10的材料相同，所述中空结构件50与所述坩埚本体10为一体成型。当然，在另外的实施例中，所述中空结构件50与所述坩埚本体10也可以是先分别制备，然后通过焊接等连接方式固定在一起。

如上实施例提供的蒸镀坩埚中，在坩埚本体10中增加了中空结构件50，并在中空结构件50中设置可自由移动杆状件60，在蒸镀孔21发生堵塞时，可控制杆状件60伸入到蒸镀孔21中进行疏通，大大节省了疏通时间，提高了工作效率。并且，在疏通的过程中，不需要打开蒸镀设备腔体，可以保障产品的品质。具体地，参阅图4a-4c((图4a-4c中，位于坩埚本体10内部的结构采用了透视的效果图示，并且图中省略了加热装置40)，该蒸镀坩埚实现对蒸镀孔进行疏通的过程具体如下：在刚开始进行蒸镀时，蒸镀孔21未发生堵塞，杆状件60位于所述中空结构件50中，如图4a所示；在蒸镀工艺进行的过程中，蒸镀孔21有可能被蒸镀材料30a堵塞而无法继续进行蒸镀，如图4b所示；此时，在动力装置70的驱动下，杆状件60从中空结构件50的上部伸出，并伸入到蒸镀孔21中，将堵塞蒸镀孔21的蒸镀材料30a排除，如图4c所示；在排除蒸镀材料30a之后，在动力装置70的驱动下，杆状件60重新回收到中空结构件50中，如同初始状态的图4a所示。其中，杆状件60的直径应当小于蒸镀孔21的直径，并且最好是略小于蒸镀孔21的直径。

在如上结构的蒸镀坩埚中，加热装置40包括电源41以及环绕于所述坩埚本体10外周的电热丝42，主要由电热丝42产生热量对蒸镀材料30加热。这样的加热方式使得坩埚内蒸镀材料30的边缘温度高而中心温度低，即存在横向温差的问题，影响了蒸镀工艺的质量。为了解决这一问题，在本实施例中，如图3所示的，将所述杆状件60电性连接于所述电源41，同时，所述杆状件60是由电热材料制备形成，在接通电源后，所述杆状件60可产生热量，从坩埚本体10的中心对蒸镀材料30进行加热。再结合设置于坩埚本体10外周的电热丝42同时对蒸镀材料30进行加热，有效解决了坩埚内蒸镀材料30边缘温度高而中心温度低的缺点，即解决了坩埚横向温差的问题。

参阅图5，本实施例还提供了一种OLED材料的蒸镀装置，该装置包括工作平台1以及多个如上实施例提供的蒸镀坩埚2，所述工作平台1的中央具有工作通孔1a，所述多个蒸镀坩埚2设置于所述工作通孔1a中，在本实施例中，所述工作通孔1a呈圆形结构，多个蒸镀坩埚2呈圆轴对称地排列于工作通孔1a中。在制备OLED器件时，将OLED材料装载于蒸镀坩埚2，将OLED器件的衬底放置于工作通孔1a，在蒸镀坩埚2中升华或者熔融汽化的OLED材料，透过蒸镀孔21沉积在衬底上。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

显然，本发明的保护范围并不局限于上诉的具体实施方式，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (8)

1.一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体(10)以及加热装置(40)，所述坩埚本体(10)用于容纳蒸镀材料(30)，所述加热装置(40)用于对所述蒸镀材料(30)进行加热，所述坩埚本体(10)的开口端设置有一坩埚盖子(20)，所述坩埚盖子(20)中设置有蒸镀孔(21)；其特征在于，所述坩埚本体(10)中设置有一两端均为开口的中空结构件(50)，所述中空结构件(50)的一端穿过所述坩埚本体(10)的底部并与坩埚本体(10)的底部固定连接，另一端位于所述坩埚盖子(20)下方并且正对于所述蒸镀孔(21)；所述中空结构件(50)中设置有一杆状件(60)，所述杆状件(60)在一动力装置(70)的驱动下可在所述中空结构件(50)中自由移动，并且，所述杆状件(60)在所述动力装置(70)的驱动下，至少部分可移动至所述蒸镀孔(21)中。

2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述中空结构件(50)凸起于所述坩埚本体(10)底部的高度小于所述坩埚本体(10)的高度，并且大于所述坩埚本体(10)所容纳的蒸镀材料(30)的最大高度。

3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述中空结构件(50)凸起于所述坩埚本体(10)底部的高度为所述坩埚本体(10)的高度的以上。

4.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述中空结构件(50)的材料与所述坩埚本体(10)的材料相同，所述中空结构件(50)与所述坩埚本体(10)为一体成型。

5.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述加热装置(40)包括电源(41)以及环绕于所述坩埚本体(10)外周的电热丝(42)，所述电热丝(42)与所述电源(41)电性连接。

6.根据权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述杆状件(60)由电热材料制备形成，所述杆状件(60)与所述电源(41)电性连接。

7.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述动力装置(70)为伺服电机。

8.一种OLED材料的蒸镀装置，包括工作平台(1)以及多个蒸镀坩埚(2)，所述工作平台(1)的中央具有工作通孔(1a)，所述多个蒸镀坩埚(2)设置于所述工作通孔中，其特征在于，所述蒸镀坩埚(2)为如权利要求1-7任一所述的蒸镀坩埚。