CN104900489A - 一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法 - Google Patents
一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104900489A CN104900489A CN201510213029.2A CN201510213029A CN104900489A CN 104900489 A CN104900489 A CN 104900489A CN 201510213029 A CN201510213029 A CN 201510213029A CN 104900489 A CN104900489 A CN 104900489A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sapphire substrate
- micron
- patterned sapphire
- patterned
- nano
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 90
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 82
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 title claims abstract description 82
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 239000002114 nanocomposite Substances 0.000 title claims abstract description 12
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 33
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 17
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 8
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 16
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 13
- 238000010276 construction Methods 0.000 claims description 12
- 241000209094 Oryza Species 0.000 claims description 9
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 claims description 9
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 claims description 9
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 7
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 claims description 6
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims description 4
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 abstract description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 abstract 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 abstract 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 abstract 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 9
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 7
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 description 6
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001025261 Neoraja caerulea Species 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PBZHKWVYRQRZQC-UHFFFAOYSA-N [Si+4].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O Chemical compound [Si+4].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O PBZHKWVYRQRZQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000001338 self-assembly Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
- H01L21/02008—Multistep processes
- H01L21/0201—Specific process step
- H01L21/02019—Chemical etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02697—Forming conducting materials on a substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/20—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
- H01L33/22—Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
本发明公开了一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法,具体步骤包括:a)通过光刻和刻蚀工艺制备出具有高曲率和高深宽比的圆锥形微米图案化蓝宝石衬底;b)在微米图案化蓝宝石衬底上蒸发镀膜沉积金属镍层;c)将镀有金属镍层的蓝宝石衬底进行退火,得到具有镍纳米颗粒的微米图案化蓝宝石衬底;d)以镍纳米颗粒为掩模,将蓝宝石衬底进行ICP刻蚀,从而在圆锥形蓝宝石衬底上得到多个纳米蓝宝石柱阵列;e)除去残余的镍纳米颗粒,最终得到具有微米、纳米复合结构的图案化蓝宝石衬底。本发明制备微纳米复合结构的方法方便快捷、成本低廉,可以快速的在高深宽比、高曲率的微米图案上制备大面积的纳米图案。
Description
技术领域
本发明属于光电器件制备与微纳米加工领域,具体涉及利用光刻、电子束蒸发镀膜、金属退火自组装和刻蚀等方法制备一种新型的微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底。
背景技术
图案化蓝宝石衬底技术(patterned sapphire substrate,PSS)是近年来发展的一种可以提高LED外量子效率的一种方法。一方面,在外延生长GaN时,PSS会降低所产生的位错密度,使得LED的内量子效率得到提高;另一方面,PSS通过增加光子的反射,改变光传播路径,使得原本局域在外延层中的光子可以出射到空气中,这就增加了光提取效率(LEE)。目前普遍采用的是微米图案化蓝宝石衬底(micro-patterned sapphire substrate,MPSS)结构,常用光刻技术制备。
最近的研究工作表明,当图案化衬底的尺寸降低至纳米级时,LED器件的光输出功率(lightoutput power,LOP)会得到提高,这是由于纳米图案化蓝宝石衬底(nano-patterned sapphiresubstrate,NPSS)会进一步降低位错的密度,从而提高内量子效率。然而一些理论的模拟工作表明,相比于纳米尺度下的衬底图形,微米尺度的衬底图形其对出光效率的提高会更强;也就是说,尽管纳米尺度的图案化衬底可以更大程度上降低外延生长的位错密度,它可能在光引出效率上的表现不如微米图案化的衬底,目前关于这方面的报道还比较少。
目前,一种可以提升LED器件光提取效率的复合结构(hierarchical structure)已经开始被人们研究,这种复合结构一般是在微米图形的基础上进行纳米结构的制备,对于光提取效率的提升要优于单一的微米结构。但是,由于在高深度的微米图形上制备纳米图形具有很高的难度,传统的光刻不能在这种曲面上曝光,纳米压印技术也很难在高曲率的衬底上制备纳米图形。因此,受到制备方法的限制,利用微纳米图形的研究工作目前并不多见,也未见到在图案化蓝宝石衬底上制备纳米图案的相关报道。
发明内容
为了克服现有技术存在的缺点和不足,本发明的目的在于结合光刻工艺、电子束蒸发镀膜、金属退火技术和ICP刻蚀工艺,提供一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法,该方法能够较容易地在高曲率、高深宽比的微米图案化蓝宝石衬底上制备出纳米图案。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法,具体步骤如下:
a)通过光刻和刻蚀工艺制备出具有高曲率和高深宽比的圆锥形微米图案化蓝宝石衬底;
b)在所述微米图案化蓝宝石衬底上利用电子束蒸发镀膜沉积一层金属镍层;
c)将镀有金属镍层的蓝宝石衬底进行退火,退火温度为700-900℃,时间为1-3分钟,得到具有镍纳米颗粒的微米图案化蓝宝石衬底;
d)以所述镍纳米颗粒为掩模,将步骤c)制备得到的蓝宝石衬底进行感应耦合等离子体刻蚀,从而在圆锥形的蓝宝石衬底上得到多个纳米蓝宝石柱阵列;
e)除去残余的镍纳米颗粒,最终得到具有微米、纳米复合结构的图案化蓝宝石衬底。
步骤a)的具体过程如下:首先在蓝宝石衬底上旋涂光刻胶,利用光刻工艺得到微米级光刻胶点阵结构;然后以所述光刻胶点阵结构作为光刻掩膜,利用感应耦合等离子体刻蚀蓝宝石衬底;最后将剩余的光刻胶除去,得到具有高曲率和高深宽比的圆锥形微米图案化蓝宝石衬底。
所述光刻胶点阵结构的周期和高度均为3μm;所述圆锥形微米图案化蓝宝石衬底的周期为3μm,深度为1.7μm。
进一步地,所述金属镍层的厚度为10nm。
步骤d)中,进行感应耦合等离子体刻蚀的刻蚀深度为100-400nm。
本发明的方法具有以下优点:
(1)在高曲率、高深宽比的微米图案上利用传统方法制备纳米图案是一件非常困难的事情。金属退火技术是一种可以快速的、低成本的、大面积的制备纳米金属颗粒的方法,目前已经被应用于在平面上制备纳米颗粒。本发明巧妙利用了金属退火技术,可以很方便、快捷地在高曲率、高深宽比的微米图案上制备出大面积的金属纳米图案,其成本也非常低廉。
(2)在蓝宝石衬底的刻蚀中,本发明采用的金属镍具有优秀的抗刻蚀能力,并且残余的镍掩模可以很容易的利用稀硝酸或者盐酸清除掉。
(3)本发明制备的微米、纳米复合结构图案化蓝宝石衬底,同时具有微米图案化衬底和纳米图案化衬底的优点,一方面进一步降低了外延生长氮化镓时的位错密度,提高外延层的质量,提高了LED器件的内量子效率;另一方面仍然具有微米图案化衬底较高的光提取效率,可以进一步提升LED器件的性能。
(4)这种制备方法不仅可以在微米结构化的蓝宝石衬底上制备纳米图案,还可以应用到其他光电器件中常用的耐高温衬底,如硅、氧化硅和氮化硅衬底等,因此具有广泛的适用性,在光电器件的制备、微纳米加工以及光学领域有着潜在的应用,具有很好的应用前景。
附图说明
图1是本发明制备微米图案化蓝宝石衬底示意图;
图2是本发明制备微米、纳米复合结构图案化蓝宝石衬底示意图;
其中,1-旋涂的光刻胶;2-平片蓝宝石衬底;3-光刻胶结构;4-微米图案化蓝宝石衬底;5-金属Ni层;6-金属Ni纳米颗粒;7-纳米蓝宝石柱阵列;8-制备好的微米、纳米复合结构图案化蓝宝石衬底。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
本发明首先通过光刻工艺和蓝宝石刻蚀制备微米图案化的蓝宝石衬底,其周期可调;其次利用电子束蒸发镀膜设备在衬底表面蒸镀10nm的金属Ni;将镀有10nm金属Ni的衬底放入退火炉中,根据退火温度和时间的不同,得到直径可调的金属Ni纳米颗粒(平均直径为100-400nm);将具有金属Ni颗粒的衬底进行ICP刻蚀,根据刻蚀时间的不同,得到刻蚀不同深度的纳米蓝宝石柱阵列;将上述刻蚀过后的衬底在稀硝酸中除去残余的Ni掩模,得到新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底。
本实施例制备微米、纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法包括以下步骤:
一、3μm周期微米图案化蓝宝石衬底的制备,如图1所示:
a)在平片蓝宝石衬底2上旋涂一层3μm厚的光刻胶1;
b)光学曝光、显影,得到3μm周期,高度也为3μm的光刻胶点阵结构3;
c)坚膜并以光刻胶点阵结构3为光刻掩模,放入感应耦合等离子体刻蚀(ICP)中利用氯基刻蚀蓝宝石衬底2,刻蚀深度为1.7μm;
d)将残余的光刻胶掩模利用O2刻蚀除去,得到周期为3μm,深度为1.7μm的圆锥形阵列的微米图案化蓝宝石衬底4。
二、在微米图案化蓝宝石衬底4上制备110nm直径、300nm深度的纳米图案,如图2所示:
a)将步骤一得到的微米图案化蓝宝石衬底4放入电子束蒸发镀膜设备中,沉积10nm厚的金属Ni层5,得到具有金属Ni层5的微米图案化蓝宝石衬底;
b)将蓝宝石衬底C放入退火炉中快速退火,温度为850℃,时间为1分钟,得到具有金属Ni纳米颗粒6的微米图案化蓝宝石衬底;其中,金属Ni纳米颗粒6的平均直径为110nm;
c)以金属Ni纳米颗粒6为掩模,利用Cl2/BCl3刻蚀上述步骤b)制备的衬底,得到多个纳米蓝宝石柱阵列7,纳米蓝宝石柱阵列7的刻蚀深度为300nm;用稀硝酸洗去残余的金属Ni纳米颗粒6,得到新型的微米、纳米复合结构图案化蓝宝石衬底8。
利用上述制备得到的微米、纳米复合结构图案化蓝宝石衬底8,运用MOCVD生长技术来生长外延层,包括一层40nm厚的种子层、3μm厚的不掺杂GaN层、0.5μm厚的n型GaN层、0.2μm厚的电流扩散层、应变释放层、量子阱层和100nm厚的p型GaN层,最终得到GaN/InGaN基蓝光LED。
为了研究本发明的复合结构衬底对于LED性能的提升,同样制备平片蓝宝石衬底上的LED和微米图案化蓝宝石衬底B上的LED。
通过实验比较数据:相比于平片LED和微米图案化蓝宝石衬底LED,本发明制备的微米、纳米复合图案化蓝宝石衬底LED的电致发光(EL)分别提升了155.9%和16.4%;其光输出功率(LOP)分别提升了63.8%和9.5%;其外量子效率(EQE)分别提升了65.6%和9.45%。
Claims (5)
1.一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法,其特征在于,具体步骤如下:
a)通过光刻和刻蚀工艺制备出具有高曲率和高深宽比的圆锥形微米图案化蓝宝石衬底;
b)在所述微米图案化蓝宝石衬底上利用电子束蒸发镀膜沉积一层金属镍层;
c)将镀有金属镍层的蓝宝石衬底进行退火,退火温度为700-900℃,时间为1-3分钟,得到具有镍纳米颗粒的微米图案化蓝宝石衬底;
d)以所述镍纳米颗粒为掩模,将步骤c)制备得到的蓝宝石衬底进行感应耦合等离子体刻蚀,从而在圆锥形的蓝宝石衬底上得到多个纳米蓝宝石柱阵列;
e)除去残余的镍纳米颗粒,最终得到具有微米、纳米复合结构的图案化蓝宝石衬底。
2.如权利要求1所述的一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法,其特征在于,步骤a)的具体过程如下:首先在蓝宝石衬底上旋涂光刻胶,利用光刻工艺得到微米级光刻胶点阵结构;然后以所述光刻胶点阵结构作为光刻掩膜,利用感应耦合等离子体刻蚀蓝宝石衬底;最后将剩余的光刻胶除去,得到具有高曲率和高深宽比的圆锥形微米图案化蓝宝石衬底。
3.如权利要求2所述的一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法,其特征在于,所述光刻胶点阵结构的周期和高度均为3μm;所述圆锥形微米图案化蓝宝石衬底的周期为3μm,深度为1.7μm。
4.如权利要求1-3任意之一所述的一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法,其特征在于,所述金属镍层的厚度为10nm。
5.如权利要求1-3任意之一所述的一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法,其特征在于,步骤d)中,进行感应耦合等离子体刻蚀的刻蚀深度为100-400nm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510213029.2A CN104900489A (zh) | 2015-04-29 | 2015-04-29 | 一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510213029.2A CN104900489A (zh) | 2015-04-29 | 2015-04-29 | 一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN104900489A true CN104900489A (zh) | 2015-09-09 |
Family
ID=54033086
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510213029.2A Pending CN104900489A (zh) | 2015-04-29 | 2015-04-29 | 一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN104900489A (zh) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105226144A (zh) * | 2015-11-16 | 2016-01-06 | 河北工业大学 | 具有双层微纳米阵列结构的led图形化衬底的制作方法 |
CN106816506A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-06-09 | 广东量晶光电科技有限公司 | 一种蓝宝石衬底图形化制作的方法 |
CN107978662A (zh) * | 2017-11-21 | 2018-05-01 | 合肥芯灿半导体有限公司 | 一种氮化镓纳米孔洞的制备方法 |
CN108037549A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-05-15 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种接触屏及其制备方法 |
CN109192846A (zh) * | 2018-08-31 | 2019-01-11 | 宁波天炬光电科技有限公司 | 配件级低成本表面处理方法及一种装置 |
CN110491774A (zh) * | 2019-08-19 | 2019-11-22 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 一种蓝宝石衬底的表面处理方法及其使用的坩埚 |
US10663856B2 (en) | 2017-08-24 | 2020-05-26 | City University Of Hong Kong | Optical mask for use in a photolithography process, a method for fabricating the optical mask and a method for fabricating an array of patterns on a substrate using the optical mask |
CN115020562A (zh) * | 2022-06-01 | 2022-09-06 | 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司 | 具有团簇状小岛微结构的衬底的制备方法和外延结构 |
CN115350295A (zh) * | 2022-08-19 | 2022-11-18 | 元旭半导体科技(无锡)有限公司 | 一种深紫外led光触媒模块及其制备方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030186405A1 (en) * | 2002-04-01 | 2003-10-02 | The Ohio State University Research Foundation | Micro/nano-embossing process and useful applications thereof |
CN101159307A (zh) * | 2007-11-16 | 2008-04-09 | 北京工业大学 | 一种纳米结构出光面半导体发光二极管及其制备方法 |
CN101475173A (zh) * | 2009-01-20 | 2009-07-08 | 吉林大学 | 一种制备超疏水抗反射微米和纳米复合结构表面的方法 |
CN102903608A (zh) * | 2011-07-29 | 2013-01-30 | 北京大学 | 一种纳米级图形化蓝宝石衬底的制备方法 |
CN103035806A (zh) * | 2012-12-28 | 2013-04-10 | 湘能华磊光电股份有限公司 | 用于制备氮化物外延生长的纳米图形衬底的方法 |
CN103219426A (zh) * | 2013-04-10 | 2013-07-24 | 中国科学院微电子研究所 | 一种超小绒面太阳电池及其制备方法 |
CN104241465A (zh) * | 2014-09-22 | 2014-12-24 | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 | 一种纳米粗化复合图形化的蓝宝石衬底及制备方法 |
-
2015
- 2015-04-29 CN CN201510213029.2A patent/CN104900489A/zh active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030186405A1 (en) * | 2002-04-01 | 2003-10-02 | The Ohio State University Research Foundation | Micro/nano-embossing process and useful applications thereof |
CN101159307A (zh) * | 2007-11-16 | 2008-04-09 | 北京工业大学 | 一种纳米结构出光面半导体发光二极管及其制备方法 |
CN101475173A (zh) * | 2009-01-20 | 2009-07-08 | 吉林大学 | 一种制备超疏水抗反射微米和纳米复合结构表面的方法 |
CN102903608A (zh) * | 2011-07-29 | 2013-01-30 | 北京大学 | 一种纳米级图形化蓝宝石衬底的制备方法 |
CN103035806A (zh) * | 2012-12-28 | 2013-04-10 | 湘能华磊光电股份有限公司 | 用于制备氮化物外延生长的纳米图形衬底的方法 |
CN103219426A (zh) * | 2013-04-10 | 2013-07-24 | 中国科学院微电子研究所 | 一种超小绒面太阳电池及其制备方法 |
CN104241465A (zh) * | 2014-09-22 | 2014-12-24 | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 | 一种纳米粗化复合图形化的蓝宝石衬底及制备方法 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105226144A (zh) * | 2015-11-16 | 2016-01-06 | 河北工业大学 | 具有双层微纳米阵列结构的led图形化衬底的制作方法 |
CN105226144B (zh) * | 2015-11-16 | 2017-12-26 | 河北工业大学 | 具有双层微纳米阵列结构的led图形化衬底的制作方法 |
CN106816506A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-06-09 | 广东量晶光电科技有限公司 | 一种蓝宝石衬底图形化制作的方法 |
US10663856B2 (en) | 2017-08-24 | 2020-05-26 | City University Of Hong Kong | Optical mask for use in a photolithography process, a method for fabricating the optical mask and a method for fabricating an array of patterns on a substrate using the optical mask |
CN107978662A (zh) * | 2017-11-21 | 2018-05-01 | 合肥芯灿半导体有限公司 | 一种氮化镓纳米孔洞的制备方法 |
CN108037549A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-05-15 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种接触屏及其制备方法 |
CN109192846A (zh) * | 2018-08-31 | 2019-01-11 | 宁波天炬光电科技有限公司 | 配件级低成本表面处理方法及一种装置 |
CN110491774A (zh) * | 2019-08-19 | 2019-11-22 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 一种蓝宝石衬底的表面处理方法及其使用的坩埚 |
CN110491774B (zh) * | 2019-08-19 | 2021-10-26 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 一种蓝宝石衬底的表面处理方法及其使用的坩埚 |
CN115020562A (zh) * | 2022-06-01 | 2022-09-06 | 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司 | 具有团簇状小岛微结构的衬底的制备方法和外延结构 |
CN115350295A (zh) * | 2022-08-19 | 2022-11-18 | 元旭半导体科技(无锡)有限公司 | 一种深紫外led光触媒模块及其制备方法 |
CN115350295B (zh) * | 2022-08-19 | 2023-11-10 | 元旭半导体科技(无锡)有限公司 | 一种深紫外led光触媒模块及其制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104900489A (zh) | 一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法 | |
CN103094434B (zh) | ICP刻蚀GaN基多量子阱制备纳米阵列图形的方法 | |
CN101660187B (zh) | 基于预成型阳极氧化铝的亚微米图形衬底制作方法 | |
CN103199161B (zh) | 一种在GaP表面制备锥状结构的方法 | |
US9112103B1 (en) | Backside transparent substrate roughening for UV light emitting diode | |
CN105453277A (zh) | 半导体发光元件及其制造方法 | |
CN107452839B (zh) | 一种发光二极管外延片及其制作方法 | |
TW200816508A (en) | Fabrication methods of patterned sapphire substrate and light emitting diode | |
CN103165771A (zh) | 一种具有埋入式孔洞结构的氮化物底层及其制备方法 | |
CN102856446B (zh) | 具有纳米结构的磊晶基板及发光二极管的制作方法 | |
CN110416372A (zh) | 一种面向micro-LED应用的无损微纳结构的制备方法 | |
CN101814564A (zh) | 氮化物外延生长的纳米图形衬底制备方法 | |
WO2023202331A1 (zh) | 一种基于氮化铝镓材料的发光二极管外延结构及其制造方法 | |
CN104241465A (zh) | 一种纳米粗化复合图形化的蓝宝石衬底及制备方法 | |
An et al. | Increased light extraction from vertical GaN light-emitting diodes with ordered, cone-shaped deep-pillar nanostructures | |
CN101414653B (zh) | 发光二极管结构及制造方法 | |
CN104766910A (zh) | 一种GaN纳米线及其制备方法 | |
CN103022300A (zh) | 制作微纳米柱发光二极管的方法 | |
Huang et al. | Enhancement of the light output of GaN-based light-emitting diodes using surface-textured indium-tin-oxide transparent ohmic contacts | |
CN106785913A (zh) | GaN基金属‑超薄氧化物‑半导体的复合结构纳米激光器及其制备方法 | |
CN105355745A (zh) | 一种利用相分离技术制备纳米图案化蓝宝石衬底的方法 | |
KR100782129B1 (ko) | 웨이퍼 본딩 공정을 이용한 실리콘 기반 발광다이오드제조방법 | |
CN108461593B (zh) | 具有纳米级二氧化硅光栅钝化层的GaN基发光二极管及其加工方法 | |
CN107611231B (zh) | 基于纳米压印制备具有表面等离子体的垂直结构的发光二极管的方法 | |
Tsai et al. | Self-assembled two-dimensional surface structures for beam shaping of GaN-based vertical-injection light-emitting diodes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20150909 |
|
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |