CN104882391A - 芯片高精度检测用吸料装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了芯片高精度检测用吸料装置，连接在检测台的正上方，实现对芯片的单一自动化移动，包括连接在检测台上方的若干个支撑臂，以及套在每一个支撑臂内的吸气装置；每一个吸气装置包括从下往上设置的吸嘴、气缸、活塞、气管，吸嘴连接在气缸底部位置，并设置在检测台的正上方，每一个支撑臂套在其对应的气缸的外部，对其进行固定，活塞套在气缸内上下滑动，气管的一端连接活塞，且其另一端连接抽气泵，抽气泵带动活塞上下运动；本发明的吸料装置连接在检测台的正上方，采用抽吸泵带动吸气装置将放置在芯片检测台上的芯片吸附在吸嘴上，此时移动吸料装置便可以将芯片逐个地移动，提高其自动化检测的程度。

Description

芯片高精度检测用吸料装置
技术领域
本发明涉及芯片制造技术领域，特别是涉及芯片高精度检测用吸料装置。 
背景技术
 芯片制作完整过程包括芯片设计、晶片制作、封装制作、成本测试等几个环节，其中晶片片制作过程尤为的复杂。
首先是芯片设计，根据设计的需求，生成的“图样”，其次是晶片的制作：选取芯片的原料晶圆，接着是将些纯硅制成硅晶棒，成为制造集成电路的石英半导体的材料，将其切片就是芯片制作具体需要的晶圆。晶圆越薄，成产的成本越低，但对工艺就要求的越高，之后便是晶圆涂膜，以提高其抵抗氧化以及耐温能力，其材料为光阻的一种，晶圆光刻显影、蚀刻、搀加杂质、晶圆测试。最后是封装、测试和包装。
也就是说芯片在制造快完成时，需要进行其电特性测试，并进行封装，现有的芯片在进行该工艺步骤时，生产厂家一般采用流水线式检测装置对芯片进行电特性检测，首先是使用红外检测器对其进行外观检测，之后才是电流、频率、电容等电气特性的检测，检测完成后进行封装，得到芯片成品。现有的芯片检测未对芯片进行整理，直接进行检测，由于芯片的放置方位不一样，会造成芯片红外检测出现误差，需要二次返工进行检测。并且需要人工确认，自动化程度不高，人力成本较大。
发明内容
为了克服上述现有技术的不足，本发明提供了芯片高精度检测用吸料装置，其目的在于实现芯片的自动化逐一移动，方便芯片检测仪对芯片进行单独检测，从而提高芯片的检测效率和自动化检测程度。 
本发明所采用的技术方案是：芯片高精度检测用吸料装置，连接在检测台的正上方，实现对芯片的单一自动化移动，包括连接在检测台上方的若干个支撑臂，以及套在每一个支撑臂内的吸气装置；每一个吸气装置包括从下往上设置的吸嘴、气缸、活塞、气管，吸嘴连接在气缸底部位置，并设置在检测台的正上方，每一个支撑臂套在其对应的气缸的外部，对其进行固定，活塞套在气缸内上下滑动，气管的一端连接活塞，且其另一端连接抽气泵，抽气泵带动活塞上下运动。本发明的吸料装置连接在检测台的正上方，采用抽吸泵带动吸气装置将放置在芯片检测台上的芯片吸附在吸嘴上，此时移动吸料装置便可以将芯片逐个地移动，从而便于检测台上的其他检测设备对其进行逐一检测，提高其自动化检测的程度。
进一步地，气管与活塞连接位置处还套有限位块，限位块与支撑臂之间的气缸外还连接弹簧。当抽气泵工作，也就是抽气时，吸料装置上吸附有芯片时，弹簧处于压缩状态，当吸料装置移动到位之后，抽气泵不工作，弹簧自动回复，将活塞推高，芯片掉落在检测台上进行检测。实现活塞的自动回复原位，节省了能源。
进一步地，每一个支撑臂上还设置有若干个滑槽，并其通过其中至少一个滑槽与检测台相连，以便固定吸气装置。
更进一步地，每一个支撑臂通过若干个螺栓穿过其上设置的滑槽与检测台连接固定。 
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明的吸料装置连接在检测台的正上方，采用抽吸泵带动吸气装置将放置在芯片检测台上的芯片吸附在吸嘴上，此时移动吸料装置便可以将芯片逐个地移动，从而便于检测台上的其他检测设备对其进行逐一检测，提高其自动化检测的程度。
本发明实现了芯片的自动化逐一移动，方便芯片检测仪对芯片进行单独检测，从而提高了芯片的检测效率和自动化检测程度和检测效率。
附图说明
图1为芯片高精度检测用吸料装置的一个实施例的三维结构示意图；
图2为图1中A处的详细视图。
具体实施方式
为了加深对本发明的理解，下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，该实施例仅用于解释本发明，并不对本发明的保护范围构成限定。 
如图1和图2所示,芯片高精度检测用吸料装置，连接在检测台1的正上方，实现对芯片的单一自动化移动，包括连接在检测台1上方的若干个支撑臂2，以及套在每一个支撑臂2内的吸气装置3；每一个吸气装置3包括从下往上设置的吸嘴4、气缸5、活塞6、气管7，吸嘴4连接在气缸5底部位置，并设置在检测台1的正上方，每一个支撑臂2套在其对应的气缸5的外部，对其进行固定，活塞6套在气缸5内上下滑动，气管7的一端连接活塞6，且其另一端连接抽气泵10，抽气泵10带动活塞6上下运动。本发明的吸料装置连接在检测台1的正上方，采用抽吸泵10带动吸气装置3将放置在芯片检测台1上的芯片吸附在吸嘴4上，此时移动吸料装置便可以将芯片逐个地移动，从而便于检测台上的其他检测设备对其进行逐一检测，提高其自动化检测的程度。
在本发明中，气管7与活塞6连接位置处还套有限位块8，限位块8与支撑臂2之间的气缸5外还连接弹簧9。当抽气泵10工作，也就是抽气时，吸料装置3上吸附有芯片时，弹簧9处于压缩状态，当吸料装置移动到位之后，抽气泵10不工作，弹簧9自动回复，将活塞6推高，芯片掉落在检测台1上进行检测。实现活塞的自动回复原位，节省了能源。
此外，每一个支撑臂2上还设置有若干个滑槽21，并其通过其中至少一个滑槽21与检测台相连，以便固定吸气装置。每一个支撑臂2通过若干个螺栓11穿过其上设置的滑槽21与检测台1连接固定。 
本发明实现了芯片的自动化逐一移动，方便芯片检测仪对芯片进行单独检测，从而提高了芯片的检测效率和自动化检测程度和检测效率。
本发明的实施例公布的是较佳的实施例，但并不局限于此，本领域的普通技术人员，极易根据上述实施例，领会本发明的精神，并做出不同的引申和变化，但只要不脱离本发明的精神，都在本发明的保护范围内。

Claims (4)

1.芯片高精度检测用吸料装置，其特征在于：连接在检测台（1）的正上方，实现对芯片的单一自动化移动，包括连接在检测台（1）上方的若干个支撑臂（2），以及套在每一个所述支撑臂（2）内的吸气装置（3）；每一个所述吸气装置（3）包括从下往上设置的吸嘴（4）、气缸（5）、活塞（6）、气管（7），所述吸嘴（4）连接在气缸（5）底部位置，并设置在检测台（1）的正上方，每一个所述支撑臂（2）套在其对应的气缸（5）的外部，对其进行固定，所述活塞（6）套在气缸（5）内上下滑动，所述气管（7）的一端连接活塞（6），且其另一端连接抽气泵（10），所述抽气泵（10）带动活塞（6）上下运动。
2. 根据权利要求1所述的芯片高精度检测用吸料装置，其特征在于：所述气管（7）与活塞（6）连接位置处还套有限位块（8），所述限位块（8）与支撑臂（2）之间的气缸（5）外还连接弹簧（9）。
3. 根据权利要求2所述的芯片高精度检测用吸料装置，其特征在于：每一个所述支撑臂（2）上还设置有若干个滑槽（21），并其通过其中至少一个滑槽（21）与检测台相连。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的芯片高精度检测用吸料装置，其特征在于：每一个所述支撑臂（2）通过若干个螺栓（11）穿过其上设置的滑槽（21）与检测台（1）连接固定。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112595269A (zh) * 2020-12-14 2021-04-02 重庆建筑工程职业学院 一种房地产建筑面积测量装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020053134A1 (en) * 2000-06-21 2002-05-09 Wataru Hidese Component mounter and mounting method
CN101938894A (zh) * 2009-06-30 2011-01-05 株式会社泰塞克 电子元件用搬送装置
CN103165500A (zh) * 2011-12-15 2013-06-19 江南大学 多臂轻质芯片供送机构
CN204424219U (zh) * 2015-02-28 2015-06-24 兴化市华宇电子有限公司 芯片高精度检测用吸料装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020053134A1 (en) * 2000-06-21 2002-05-09 Wataru Hidese Component mounter and mounting method
CN101938894A (zh) * 2009-06-30 2011-01-05 株式会社泰塞克 电子元件用搬送装置
CN103165500A (zh) * 2011-12-15 2013-06-19 江南大学 多臂轻质芯片供送机构
CN204424219U (zh) * 2015-02-28 2015-06-24 兴化市华宇电子有限公司 芯片高精度检测用吸料装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112595269A (zh) * 2020-12-14 2021-04-02 重庆建筑工程职业学院 一种房地产建筑面积测量装置

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