CN104849778A - 内置式ccd安防监控滤光片的制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，包括如下步骤：将玻璃片加工成：455mm×355mm×0.55mm-60mm×60mm×0.55mm的玻璃基片；步骤1所得的玻璃基片进行超声波清洗，去除表面的灰尘、脏印及其他有机或无机的吸附物；将步骤2所得玻璃基片进行干燥；在局部100级超净的环境中，将步骤3所得玻璃基片转移到镀膜夹具上，再转移到镀膜伞上，进入真空室进行烘烤以及抽真空；将步骤4所得玻璃基片两面进行离子束辅助电子束真空镀膜，得半成品。本发明能在超薄的无色玻璃基片上完成异常复杂的薄膜镀制，使之能满足CCD安防监控用的光学性能要求，切换速度快，能耗低，使用寿命长的要求。

Description

内置式CCD安防监控滤光片的制备方法
技术领域
本发明涉一种内置式CCD安防监控滤光片的制备方法。
背景技术
近年来，由于反恐、国土安全、社会安全以及发展智能交通的需要，世界上各个国家都在安防监控领域加大了投入，其中图像识别技术包括人脸识别和车牌识别技术是重要的一个发展方向。我国人口规模巨大，经济增长迅速，对可靠的人脸识别技术以及安全的智能交通的需求也越来越迫切。几年前，人脸识别在生物识别中的市场份额微不足道，到2007年，市场份额迅速上升到12.9％，仅小于指纹识别，并且比重还在不断增加。车牌照的识别是一项新型技术，众多企业已立项了产品的研发，相信在不久的将来，车牌识别产品就会面世。也正是图像识别产品的产业化发展，极大地促进了作为图像摄取系统中核心元件之一的光学窄带滤光片的研发和产业化。
真空镀膜生产窄带滤光片以欧洲、美国的技术最为先进，欧、美国家研制的镀膜设备能够在无色玻璃基片上镀制各种复杂的薄膜，实现小型化，集成化，有些公司还能直接将薄膜镀制在CCD传感器上，但相对较高的制造成本导致的低性价比，又大大限制了产品的市场。在国内，镀膜设备、镀膜技术水平普遍较低，大多数光学薄膜生产厂都只能制备膜层相对简单的滤光片，能生产窄带滤光片的厂家极少，而且还只能依赖颜色玻璃片作为基底，进行膜层数较少的设计与镀制，与国外水平想距甚远。潜在市场的巨大需求和技术实现上的差距，促进了国内窄带光学滤光片的研究，深圳飞莱特光电技术有限公司就是正在研发超薄型小面积的窄带滤光片的企业之一。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，旨在充分利用自有的技术优势，研发出小型化、成本低的用于图像识别系统的产品，参与全球竞争，实现良好经济效益、社会效益。
为解决上述技术问题，本发明的实施例提供一种内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，包括如下步骤：
步骤1：将玻璃片加工成：455mm×355mm×0.55mm-60mm×60mm×0.55mm的玻璃基片；
步骤2：步骤1所得的玻璃基片进行超声波清洗，去除表面的灰尘、脏印及其他有机或无机的吸附物；
步骤3：将步骤2所得玻璃基片进行干燥；
步骤4：在局部100级超净的环境中，将步骤3所得玻璃基片转移到镀膜夹具上，再转移到镀膜伞上，进入真空室进行烘烤以及抽真空；
步骤5：将步骤4所得玻璃基片两面进行离子束辅助电子束真空镀膜，得半成品；
步骤6：将半成品裁切成客户需要的小尺寸，得成品；
步骤7：对成品进行清洗、检验，最后包装入库。
作为优选，所述步骤3的干燥方式是洁净强冷风干燥。
作为优选，所述步骤5中采用光控和晶控相结合的技术控制膜沉积的厚度。
作为优选，所述步骤5中的真空镀膜过程中，对沉积参数进行动态跟踪并根据实时状态进行动态修正。
作为优选，所述沉积参数包括真空度、折射率和沉积速率。
本发明能在超薄的无色玻璃基片上完成异常复杂的薄膜镀制，使之能满足CCD安防监控用的光学性能要求。由于其超薄特性，这种滤光片适合内置于CCD传感器前方，这种内置式滤光片的优点是成本低，安装方便，占空小。在需要彩色和黑白滤光片进行频繁切换的场合，只有这种超薄型的滤光片才能满足切换速度快，能耗低，使用寿命长的要求。
附图说明
图1为本发明的工艺流程图示意图。
具体实施方式
为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
本发明针对现有的不足提供一种内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，如图1所示，包括如下步骤：
步骤1：将玻璃片加工成：455mm×355mm×0.55mm-60mm×60mm×0.55mm的玻璃基片；
步骤2：步骤1所得的玻璃基片进行超声波清洗，去除表面的灰尘、脏印及其他有机或无机的吸附物；
步骤3：将步骤2所得玻璃基片进行干燥；
步骤4：在局部100级超净的环境中，将步骤3所得玻璃基片转移到镀膜夹具上，再转移到镀膜伞上，进入真空室进行烘烤以及抽真空；
步骤5：将步骤4所得玻璃基片两面进行离子束辅助电子束真空镀膜，得半成品；
步骤6：将半成品裁切成客户需要的小尺寸，得成品；
步骤7：对成品进行清洗、检验，最后包装入库。
所述步骤3的干燥方式是洁净强冷风干燥。
所述步骤5中采用光控和晶控相结合的技术控制膜沉积的厚度。
所述步骤5中的真空镀膜过程中，对沉积参数进行动态跟踪并根据实时状态进行动态修正。
所述沉积参数包括真空度、折射率和沉积速率。
其中，本发明采用
(1)光控和晶控相结合的技术控制薄膜沉积厚度，对窄带滤光片膜系结构中的非耦合层膜层采用光控技术，对耦合层膜层采用晶控技术。为减少耦合层光学厚度的误差，取了离耦合层最近的一层已经镀制过的、与耦合层材料相同的膜层物理厚度做为耦合层监控的实际厚度。该技术已申请国家发明专利，该专利技术的直接效果是，使得“内置式CCD安防监控滤光片”的产业化成为可能，产品的成功率达到95％以上。而常规的光控技术或常规的晶控技术只有理论上的可行性，在实际生产控制过程中，产品成功率不到10％。
(2)采用了自行设计的干燥设备对超声波清洗过的玻璃基片进行干燥。干燥设备采用洁净强冷风吹干的方式对玻璃基片进行风干，避免了干燥过程中在玻璃表面出现水印。设备的制造成本低、运行成本低、操作方便。洁净强冷风干与普通热风烘干的效果对比见表1
表1
(3)在真空镀膜过程中，对沉积参数(如真空度、折射率和沉积速率)进行动态跟踪，并根据实时状态进行动态修正，成功地用国产镀膜机完成了复杂膜系的镀制，即使膜层数达到80层以上时还能保证所需的光学性能，该技术使窄带滤光片超薄化成为可能。通常的光控或晶控技术只能生产出40层以下的滤光片。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (5)

1.内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1：将玻璃片加工成：455mm×355mm×0.55mm-60mm×60mm×0.55mm的玻璃基片；
步骤2：步骤1所得的玻璃基片进行超声波清洗，去除表面的灰尘、脏印及其他有机或无机的吸附物；
步骤3：将步骤2所得玻璃基片进行干燥；
步骤4：在局部100级超净的环境中，将步骤3所得玻璃基片转移到镀膜夹具上，再转移到镀膜伞上，进入真空室进行烘烤以及抽真空；
步骤5：将步骤4所得玻璃基片两面进行离子束辅助电子束真空镀膜，得半成品；
步骤6：将半成品裁切成客户需要的小尺寸，得成品；
步骤7：对成品进行清洗、检验，最后包装入库。
2.根据权利要求1所述的内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，所述步骤3的干燥方式是洁净强冷风干燥。
3.根据权利要求1所述的内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，所述步骤5中采用光控和晶控相结合的技术控制膜沉积的厚度。
4.根据权利要求1所述的内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，所述步骤5中的真空镀膜过程中，对沉积参数进行动态跟踪并根据实时状态进行动态修正。
5.根据权利要求4所述的内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，所述沉积参数包括真空度、折射率和沉积速率。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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