CN104826781B - 圆片涂胶的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种圆片涂胶的方法，包括以下步骤：将圆片置于涂胶设备的载片台上；设置喷胶点，从所述圆片的中心位置起沿径向设置多个喷胶点；沿径向对所述圆片的各个喷胶点进行动态喷涂。上述圆片涂胶的方法，通过对设置的多个喷胶点进行多点式的动态喷涂，能够正常全面涂覆圆片的表面，使得圆片表面没有缺胶或散花异常。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制备技术领域，特别是涉及一种圆片涂胶的方法。
背景技术
微机电系统（MEMS，Micro-Electro-Mechanic System）是一种先进的制造技术平台，它是以半导体制造技术为基础发展起来。在MEMS产品制备过程中，经常需要对深槽MEMS圆片（例如规格为管芯长2000μm*宽2000μm*深80μm，划片道100μm的产品）进行涂胶。正常的涂胶方式是在中心喷胶后高速旋转成膜。现有光刻胶厚度最厚只可以做到5μm左右，对于深槽MEMS圆片，正常涂胶出来的圆片有严重缺胶，散花等异常，不能满足MEMS产品的要求。
发明内容
基于此，有必要针对上述问题，提供一种无缺胶或散花异常的圆片涂胶的方法。
一种圆片涂胶的方法，包括以下步骤：将圆片置于涂胶设备的载片台上；设置喷胶点，从所述圆片的中心位置起沿径向设置多个喷胶点；所述喷胶点包括位于中心位置的第一喷胶点，位于最外侧的第四喷胶点，位于所述圆片中心与所述圆片边缘正中间的第三喷胶点，以及靠近所述第三喷胶点且位于所述第三喷胶点与所述第一喷胶点之间的第二喷胶点；沿径向对所述圆片的各个喷胶点进行动态喷涂，其中所述第四喷胶点的喷胶量为第一喷胶量，所述第一喷胶点的喷胶量为所述第一喷胶量的3倍，所述第三喷胶点的喷胶量为所述第一喷胶量的2倍，所述第二喷胶点的喷胶量为所述第一喷胶量的2倍，喷涂的过程中所述圆片的转速小于或等于30转每分钟。
在其中一个实施例中，所述第一喷胶点与所述第二喷胶点的距离为所述第二喷胶点与所述第三喷胶点距离的两倍，所述第三喷胶点与所述第四喷胶点的距离等于所述第二喷胶点与所述第三喷胶点的距离。
在其中一个实施例中，所述动态喷涂的具体步骤包括：将所述喷涂设备的喷胶头移动到喷胶点处；对所述喷胶点动态喷胶一次后，所述圆片继续旋转第一时长完成一次动态喷涂，喷涂过程中所述圆片的转速小于或等于30转每分钟。
在其中一个实施例中，喷涂过程中所述圆片的转速为22～30转每分钟。
在其中一个实施例中，所述第一时长大于或等于10秒。
在其中一个实施例中，所述第一时长为15秒。
在其中一个实施例中，所述沿径向对所述圆片的各个喷胶点进行动态喷涂包括沿径向从所述第一喷胶点喷涂到所述第四喷胶点，或沿径向从所述第四喷胶点喷涂到所述第一喷胶点。
在其中一个实施例中，所述沿径向对所述圆片的各个喷胶点进行动态喷涂的步骤后还包括：将所述喷涂设备的喷胶头从所述圆片的表面移走，所述圆片以第二转速旋转成膜。
在其中一个实施例中，所述第二转速小于或等于900转每分钟。
在其中一个实施例中，所述第二转速为800转每分钟。
上述圆片涂胶的方法，通过对设置的多个喷胶点进行多点式的动态喷涂，能够正常全面涂覆圆片的表面，使得圆片表面没有缺胶或散花异常。上述圆片涂胶的方法，由于采用多点式的动态喷涂，对深槽MEMS圆片进行涂胶时同样能够满足产品涂胶的要求。
附图说明
图1为一实施例中圆片涂胶的方法的流程图；
图2为一实施例中圆片涂胶的方法中设置的多个喷胶点的示意图；
图3为一实施例中圆片涂胶的方法中动态喷涂的具体步骤流程图。
具体实施方式
为使本发明的目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。
如图1所示，一实施例中圆片涂胶的方法，包括以下步骤。
步骤S110，将圆片置于涂胶设备的载片台上。
将需要涂胶的圆片设置在涂胶设备的载片台上。圆片可以是普通的圆片也可以是需要涂胶的深槽MEMS圆片。在本实施例中，圆片为规格为管芯长2000μm*宽2000μm*深80μm，划片道为100μm的深槽MEMS圆片，圆片尺寸为6英寸。
S120，设置喷胶点，从圆片的中心位置起沿径向设置多个喷胶点。
喷胶点的个数需要根据圆片的尺寸来进行确定。从圆片的中心位置起沿径向设置多个喷胶点。设置的喷胶点包括位于中心位置的第一喷胶点、位于最外侧的第四喷胶点、位于圆片中心与圆片边缘正中间的第三喷胶点以及靠近第三喷胶点且位于第三喷胶点与第一喷胶点之间的第二喷胶点。其中，第一喷胶点与第二喷胶点的距离为第二喷胶点与第三喷胶点距离的两倍，第二喷胶点与第三喷胶点的距离和第三喷胶点与第四喷胶点的距离相等。在本实施例中，所采用的圆片为6英寸，设置上述四个喷胶点。喷胶点的位置如图2所示。中心位置的第一喷胶点P1、最外侧的第四喷胶点P4、圆片中心与圆片边缘正中间的第三喷胶点P3以及靠近第三喷胶点P3且位于第三喷胶点P3与第一喷胶点P1之间的第二喷胶点P2。具体地，第一喷胶点P1与第二喷胶点P2的距离为20mm左右，第二喷胶点P2与于第三喷胶点P3的距离为10mm左右，第三喷胶点P3与第四喷胶点P4的距离等于第二喷胶点P2与于第三喷胶点P3的距离。在其他的实施例中，为保证涂胶的均匀性以及全面性，可以沿径向处设置更多的喷胶点，喷胶点的相互之间的间隔也可以根据实际的需要进行设定。
S130，沿径向对圆片的各个喷胶点进行动态喷涂。
沿径向对各喷胶点进行动态喷涂可以是沿径向从位于中心位置的第一喷胶点喷涂到最外侧的第四喷胶点或从最外侧的第四喷胶点喷涂到中心位置的第一喷胶点。若要对喷涂效果进行巩固，也可以沿径向对各喷胶点反复进行喷涂。在本实施例中，对各喷胶点进行动态喷涂的顺序为沿径向从第一喷胶点P1喷涂到第四喷胶点P4。动态喷涂过程中，圆片的转速小于或等于30转每分钟。
在本实施例中，动态喷涂过程，动态喷涂的具体步骤如图3所示，包括以下步骤。
S132，将喷涂设备的喷胶头移动到喷胶点处。
按照预设的喷涂顺序，将喷胶设备的喷胶头依次移动到对应的喷胶点处。
S134，对喷胶点动态喷胶一次后，圆片继续旋转第一时长完成一次动态喷涂。
动态喷胶过程圆片处于旋转状态，能够均匀的将胶喷涂在喷胶点所在的同心圆上。在喷涂过程中，圆片的转速不能过高，否则胶会局部向外甩出线条胶，不会整体慢慢向外移。后续再涂胶时，胶基本上会沿着原来甩出的线条覆盖，易形成局部缺胶异常。圆片的转速也不能过低，应该保证在喷胶一次的时间中圆片至少要旋转一圈。在本实施例中，喷胶一次的喷胶量为1.7～1.9毫升。喷涂过程中圆片的转速为22～30rpm。具体地，圆片的转速为25rpm。
在完成动态喷胶后，圆片继续旋转第一时长，使喷涂的胶均匀转开，完成一次动态喷涂。第一时长应当要保证喷涂的胶均匀转开，第一时长大于或等于10秒。在本实施例中，第一时长为15秒。
在喷涂过程中，第四喷胶点的喷胶量为第一喷胶量，第一喷胶点的喷胶量为所述第一喷胶量的3倍，第三喷胶点的喷胶量为所述第一喷胶量的2倍，第二喷胶点的喷胶量为所述第一喷胶量的2倍。因此，在对圆片上不同点进行喷涂时，动态喷涂次数也会有所不同。在本实施例中，动态喷胶一次的喷胶量为第一喷胶量。因此，在沿径向对各喷胶点进行动态喷涂过程中，对位于圆片中心位置的第一喷胶点P1连续进行3次动态喷涂，对第二喷胶点P2以及第三喷胶点P3连续进行2次动态喷涂，对第四喷胶点P4进行1次动态喷涂。对中心位置的第一喷胶点进行3次动态喷涂，使得中心形成有足够的胶向外慢慢移动。对位于圆片中心与圆片边缘正中间的第三喷胶点进行多次喷涂可以使得圆片上胶更为均匀。在其他实施例中，根据需要还可以在各喷胶点间设置更多的喷胶点。如根据圆片的尺寸，可以在第一喷胶点P1和第二喷胶点P2之间设置第五喷胶点，第五喷胶点的喷胶量控制在第一喷胶点P1的喷胶量和第二喷胶点P2的喷胶量之间即可。
在本实施例中，对设置的四个喷胶点沿径向进行动态喷涂的具体步骤如下：
步骤1：在第一喷胶点P1动态喷胶一次后，圆片继续旋转15S，喷涂过程中圆片以25rpm旋转。
步骤2：重复步骤1两次，以使得圆片中心有足够的胶向外慢慢移动。
步骤3：将喷胶头移动到第二喷胶点P2，进行动态喷胶一次后，圆片继续旋转15S，喷涂过程中圆片以25rpm旋转。
步骤4：保持喷胶头在第二喷胶点P2，进行动态喷胶一次后，圆片继续旋转15S，喷涂过程中圆片以25rpm旋转。
步骤5：将喷胶头移动到第三喷胶点P3，进行动态喷胶一次后，圆片继续旋转15S，喷涂过程中圆片以25rpm旋转。
步骤6：保持喷胶头在第三喷胶点P3，进行动态喷胶一次后，圆片继续旋转15S，喷涂过程中圆片以25rpm旋转。
步骤7：将喷胶头移动到第四喷胶点P4，进行动态喷胶一次后，圆片继续旋转15S，喷涂过程中圆片以25rpm旋转。
在上述步骤中，动态喷胶一次的喷胶量为1.7～1.9毫升。
S140，将喷涂设备的喷胶头从圆片的表面移走，圆片以第二转速旋转成膜。
当对各喷胶点完成动态喷涂后，将喷涂设备的喷胶头从圆片的表面移走。圆片以第二转速旋转成膜。圆片旋转的转速需要根据成膜的厚度进行设定。在本实施例中，成膜厚度为6微米，为保证膜厚，第二转速不应超过900rpm。具体地，第二转速为800rpm。
上述圆片涂胶的方法，通过对设置的多个喷胶点进行动态喷涂，使得在喷胶量与传统喷胶量相同的情况下能够正常全面涂覆圆片的表面，而不出现缺胶或散花异常。上述圆片涂胶的方法，由于采用多点式的动态喷涂，对深槽MEMS圆片进行涂胶同样能够满足产品涂胶的要求。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种圆片涂胶的方法，包括以下步骤：
将圆片置于涂胶设备的载片台上；
设置喷胶点，从所述圆片的中心位置起沿径向设置多个喷胶点；所述喷胶点包括位于中心位置的第一喷胶点，位于最外侧的第四喷胶点，位于所述圆片中心与所述圆片边缘正中间的第三喷胶点，以及靠近所述第三喷胶点且位于所述第三喷胶点与所述第一喷胶点之间的第二喷胶点；
沿径向对所述圆片的各个喷胶点进行动态喷涂，其中所述第四喷胶点的喷胶量为第一喷胶量，所述第一喷胶点的喷胶量为所述第一喷胶量的3倍，所述第三喷胶点的喷胶量为所述第一喷胶量的2倍，所述第二喷胶点的喷胶量为所述第一喷胶量的2倍，喷涂的过程中所述圆片的转速小于或等于30转每分钟。
2.根据权利要求1所述的圆片涂胶的方法，其特征在于，所述第一喷胶点与所述第二喷胶点的距离为所述第二喷胶点与所述第三喷胶点距离的两倍，所述第三喷胶点与所述第四喷胶点的距离等于所述第二喷胶点与所述第三喷胶点的距离。
3.根据权利要求1所述的圆片涂胶的方法，其特征在于，所述动态喷涂的具体步骤包括：
将所述喷涂设备的喷胶头移动到喷胶点处；
对所述喷胶点动态喷胶一次后，所述圆片继续旋转第一时长完成一次动态喷涂，喷涂过程中所述圆片的转速小于或等于30转每分钟。
4.根据权利要求1或3所述的圆片涂胶的方法，其特征在于，喷涂过程中所述圆片的转速为22～30转每分钟。
5.根据权利要求3所述的圆片涂胶的方法，其特征在于，所述第一时长大于或等于10秒。
6.根据权利要求5所述的圆片涂胶的方法，其特征在于，所述第一时长为15秒。
7.根据权利要求1所述的圆片涂胶的方法，其特征在于，所述沿径向对所述圆片的各个喷胶点进行动态喷涂包括沿径向从所述第一喷胶点喷涂到所述第四喷胶点，或沿径向从所述第四喷胶点喷涂到所述第一喷胶点。
8.根据权利要求1所述的圆片涂胶的方法，其特征在于，所述沿径向对所述圆片的各个喷胶点进行动态喷涂的步骤后还包括：
将所述喷涂设备的喷胶头从所述圆片的表面移走，所述圆片以第二转速旋转成膜。
9.根据权利要求8所述的圆片涂胶的方法，其特征在于，所述第二转速小于或等于900转每分钟。
10.根据权利要求9所述的圆片涂胶的方法，其特征在于，所述第二转速为800转每分钟。
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