CN104805497A - 一种一次性完成的拉晶炉 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及半导体致冷件生产技术领域的设备，名称是一种一次性完成的拉晶炉，包括炉体，炉体具有炉腔，在炉腔内有放置拉晶管的卡件，还有加热体，加热体移动可以对拉晶管进行加热，所述的加热体是空芯圆柱形的结构，加热体包括多个加热件，相邻的加热件中间是冷却圈，所述的冷却圈中间是中空结构，中空结构外面连通循环冷却液，所述的冷却圈和加热体之间有隔热材料隔断，所述的多个加热体从前至后的加热温度是依次升高的，所述的多个加热体从前至后的加热温度依次升高5—7℃，具有拉晶效果好、使用方便、一次就可以完成的优点。
Description
技术领域
本发明涉及半导体致冷件生产技术领域的设备，特别是涉及拉晶炉。
背景技术
晶粒是制造半导体致冷件的部件，晶粒的主要成分是三碲化二铋，作为制造致冷件的晶粒要求其分子排列整齐，晶粒里面的分子排列越整齐，致冷件的效率就越高。
晶粒是由晶棒切割而成的，这就要求晶棒里面的分子排列是整齐的。
制造晶棒时，对其里面的分子进行排列的过程就是拉晶，拉晶是在拉晶炉中进行的。
拉晶炉具有炉腔，在炉腔内有放置拉晶管的卡件，还有个加热体，加热体上下移动可以对拉晶管进行加热，现有技术中，加热体只有一个加热部位，随着对拉晶技术的提高，发现对原材料进行多次拉晶，在拉晶的过程中进行冷却，可以取得更好的拉晶效果，使用现有技术的拉晶炉就要多次拉晶，具有使用不便的缺点。
发明内容
本发明的目的就是针对上述缺点，提供一种拉晶效果好、使用方便、一次就可以完成的拉晶炉——一种一次性完成的拉晶炉。
本发明的技术方案是这样实现的：一种一次性完成的拉晶炉，包括炉体，炉体具有炉腔，在炉腔内有放置拉晶管的卡件，还有加热体，加热体可移动可以对拉晶管进行加热，其特征是：所述的加热体是空芯圆柱形的结构，加热体包括多个加热件，相邻的加热件中间是冷却圈，所述的冷却圈中间是中空结构，中空结构外面连通循环冷却液，所述的冷却圈和加热体之间有隔热材料隔断。
进一步地讲，所述的多个加热体从前至后的加热温度是依次升高的。
较好的，所述的多个加热体从前至后的加热温度依次升高5—7℃。
较好的，第一个加热体温度达到200—220℃之间，所述的冷却圈温度控制在70—90℃之间。
本发明的有益效果是：
1、这样的拉晶炉具有拉晶效果好、使用方便、一次就可以完成的优点；
2、所述的多个加热体从前至后的加热温度是依次升高的，第一个加热体温度达到200—220℃之间，所述的冷却圈温度控制在70—90℃之间具有拉晶效果更好的优点。
附图说明
图1是本发明的剖面结构示意图。
其中：1、炉体 2、炉腔 3、卡件 4、加热体 5、加热件 6、冷却圈 7、第一个加热体间 8、隔热材料 9、晶棒。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明。
如图1所示，一种一次性完成的拉晶炉，包括炉体1，炉体具有炉腔2，在炉腔内有放置拉晶管的卡件3，还有加热体4，加热体移动可以对拉晶管进行加热，其特征是：所述的加热体是空芯圆柱形的结构，加热体包括多个加热件5，相邻的加热件中间是冷却圈6，所述的冷却圈中间是中空结构，中空结构外面连通循环冷却液，所述的冷却圈和加热体之间有隔热材料8隔断，如图，卡件卡着晶棒9，加热体可左右移动安装在炉体内，冷却圈6可以对加热的晶棒进行冷却，冷却圈6里面的冷却液起着降温的作用，这样晶棒一次经过加热体就可以完成加热——冷却——加热等多个步骤，具有本发明的优点。
进一步地讲，所述的多个加热体从前至后的加热温度是依次升高的，发明人经过试验，这样可以达到更好的效果，所述的从前至后是依据拉晶过程中经过晶棒的顺序。
较好的，第一个加热件7温度达到200—220℃之间，所述的多个加热体从前至后的加热温度依次升高5—7℃。发明人经过试验，这样可以取得晶棒里面的分子排列更整齐的效果。
进一步地讲，所述的冷却圈温度控制在70—90℃之间。
以上所述仅为本发明的具体实施例，但本发明的结构特征并不限于此，任何本领域的技术人员在本发明的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本发明的专利范围内。
Claims (4)
1.一种一次性完成的拉晶炉，包括炉体，炉体具有炉腔，在炉腔内有放置拉晶管的卡件，还有加热体，加热体移动可以对拉晶管进行加热，其特征是：所述的加热体是空芯圆柱形的结构，加热体包括多个加热件，相邻的加热件中间是冷却圈，所述的冷却圈中间是中空结构，中空结构外面连通循环冷却液，所述的冷却圈和加热体之间有隔热材料隔断。
2.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征是：所述的多个加热体从前至后的加热温度是依次升高的。
3.根据权利要求2所述的拉晶炉，其特征是：所述的多个加热体从前至后的加热温度依次升高5—7℃。
4.根据权利要求1、2或3所述的拉晶炉，其特征是：第一个加热体温度达到200—220℃之间，所述的冷却圈温度控制在70—90℃之间。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510216137.5A CN104805497A (zh) | 2015-05-02 | 2015-05-02 | 一种一次性完成的拉晶炉 |
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Publications (1)
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| CN104805497A true CN104805497A (zh) | 2015-07-29 |
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ID=53690677
Family Applications (1)
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| CN201510216137.5A Pending CN104805497A (zh) | 2015-05-02 | 2015-05-02 | 一种一次性完成的拉晶炉 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN104805497A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105887184A (zh) * | 2016-05-10 | 2016-08-24 | 河南鸿昌电子有限公司 | 半导体晶棒熔炼拉晶装置和熔炼拉晶的方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1078001A (zh) * | 1992-04-29 | 1993-11-03 | 西北工业大学 | 一种材料提纯的方法及其装置 |
| CN102517624A (zh) * | 2011-12-16 | 2012-06-27 | 华中科技大学 | 一种多段控温晶体生长炉 |
| CN204589370U (zh) * | 2015-05-02 | 2015-08-26 | 河南鸿昌电子有限公司 | 一种一次性完成的拉晶炉 |
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2015
- 2015-05-02 CN CN201510216137.5A patent/CN104805497A/zh active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1078001A (zh) * | 1992-04-29 | 1993-11-03 | 西北工业大学 | 一种材料提纯的方法及其装置 |
| CN102517624A (zh) * | 2011-12-16 | 2012-06-27 | 华中科技大学 | 一种多段控温晶体生长炉 |
| CN204589370U (zh) * | 2015-05-02 | 2015-08-26 | 河南鸿昌电子有限公司 | 一种一次性完成的拉晶炉 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105887184A (zh) * | 2016-05-10 | 2016-08-24 | 河南鸿昌电子有限公司 | 半导体晶棒熔炼拉晶装置和熔炼拉晶的方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
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| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
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