CN204058652U - 具有扇风板的拉晶炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体生产技术领域的设备，名称是有扇风板的拉晶炉，它具有架子，架子上安装有可摇摆的炉体，炉体内具有炉腔，所述的炉腔内具有扇风板，扇风板是上面具有转轴，下面是平面的结构，所述的炉腔顶部具有安装装置的挂鼻儿，所述的转轴就安装在挂鼻儿内，所述的扇风板是多个的，多个扇风板排列安装在炉腔顶部，这样的具有扇风板的拉晶炉可以使炉腔内部温度均匀、提高产品质量，所述的扇风板是多个的，多个扇风板排列安装在炉腔顶部，具有可以使炉腔内温度更均匀的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体生产技术领域的设备，特别是涉及拉晶炉。
背景技术
拉晶炉是指半导体原料的分子在高温下进行排列整齐的装备，拉晶炉具有架子，架子上安装有可摇摆的炉体，炉体内具有炉腔，现有技术中，炉腔内没有可以使炉腔内热气循环的装置，致使炉腔内温度不均匀，影响产品质量。
发明内容
本实用新型的目的就是针对上述缺点，提供一种可以使炉腔内部温度均匀、提高产品质量的拉晶炉——具有扇风板的拉晶炉。
本实用新型的技术方案是这样实现的：具有扇风板的拉晶炉，包括架子，架子上安装有可摇摆的炉体，炉体内具有炉腔，其特征是：所述的炉腔内具有扇风板，扇风板是上面具有转轴，下面是平面的结构，所述的炉腔顶部具有安装装置的挂鼻儿，所述的转轴就安装在挂鼻儿内。
进一步地讲，所述的扇风板是多个的，多个扇风板排列安装在炉腔顶部。
本实用新型的有益效果是：这样的具有扇风板的拉晶炉可以使炉腔内部温度均匀、提高产品质量，所述的扇风板是多个的，多个扇风板排列安装在炉腔顶部，具有可以使炉腔内温度更均匀的优点。
附图说明
图1是本实用新型的剖面结构示意图。
其中：1、架子 2、炉体 3、炉腔 4、扇风板。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图1所示，具有扇风板的拉晶炉，包括架子1，架子1上安装有可摇摆的炉体2，炉体2内具有炉腔3，其特征是：所述的炉腔内具有扇风板4，扇风板是上面具有转轴，下面是平面的结构，所述的炉腔顶部具有安装装置的挂鼻儿，所述的转轴就安装在挂鼻儿内。
这样，在使用时，由于炉体是不断的摆动的，扇风板也就不断的扇动，增加摇摆炉内部热气的循环，具有本实用新型的优点。
进一步地讲，所述的扇风板是多个的，多个扇风板排列安装在炉腔顶部，这样效果更好。
以上所述仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的结构特征并不限于此，任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新型的专利范围内。
Claims (2)
1.具有扇风板的拉晶炉，包括架子，架子上安装有可摇摆的炉体，炉体内具有炉腔，其特征是：所述的炉腔内具有扇风板，扇风板是上面具有转轴，下面是平面的结构，所述的炉腔顶部具有安装装置的挂鼻儿，所述的转轴就安装在挂鼻儿内。
2.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征是：所述的扇风板是多个的，多个扇风板排列安装在炉腔顶部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420537424.7U CN204058652U (zh) | 2014-09-19 | 2014-09-19 | 具有扇风板的拉晶炉 |
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|---|---|---|---|
| CN201420537424.7U CN204058652U (zh) | 2014-09-19 | 2014-09-19 | 具有扇风板的拉晶炉 |
Publications (1)
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| CN204058652U true CN204058652U (zh) | 2014-12-31 |
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2014
- 2014-09-19 CN CN201420537424.7U patent/CN204058652U/zh not_active Expired - Fee Related
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