CN104774674B - 一种太阳能硅片切割砂浆及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种太阳能硅片切割砂浆，所述太阳能硅片切割砂浆包括聚乙二醇切割液、碳化硅微粉和分散稳定剂，其中，所述分散稳定剂包括改性脲基聚合物，所述聚乙二醇切割液与碳化硅微粉的质量之和与所述改性脲基聚合物的质量比为1：0.02％‑4％。所述太阳能硅片切割砂浆的沉降速率慢、稳定性高，在不对砂浆水分含量进行降低的情况下，将所述太阳能硅片切割砂浆用于连续切割两次硅片，硅片的良品率均有所提高。本发明还提供了一种太阳能硅片切割砂浆的制备方法。
Description
技术领域
本发明属于用于硅片线切割的砂浆技术领域，具体涉及一种太阳能硅片切割砂浆及其制备方法。
背景技术
在太阳能硅片线切割过程中，通常是将碳化硅微粉按一定比例加入到切割液中，并充分分散，配置成均匀稳定的切割砂浆后再用于硅片切割，利用碳化硅颗粒的坚硬特性和锋利菱角将硅棒切断成片。
切割砂浆的标准含水量是在0.5％以下，切割液中的聚乙二醇(PEG)在切割过程中易吸水，导致切割2次后的砂浆含水量会上升至3％左右；而SiC分散在砂浆中是基于亲水的PEG通过氢键吸附在SiC表面，砂浆含水量上升后，由于水分子的氢键比PEG的氢键活性更强，SiC表面的PEG的吸附量会大大减少，导致被水吸附的SiC容易沉降，砂浆分散效果变差，从而影响切割硅片的良品率。因此，需要解决硅片切割过程中浆料中水分增加而影响SiC分散性的问题。
现有技术中解决该问题的方法有两种：一种是通过设计水分吸收装置减少砂浆中的水分(如专利文件CN 203408492U、CN 203664250U)，但吸水装置中所用干燥剂通常为硅胶，吸水容量有限；另一种是通过添加添加剂来提高分散性，如发明CN 102093925B采用聚有机羧酸类分散剂来改善SiC的分散性，但其对含水量2-3％的SiC砂浆体系的分散性改善空间较小，且添加酸性分散剂后，需要调整砂浆pH至中性才能使用。
因此，有必要提供一种高效、稳定、低成本且可多次切割的太阳能硅片切割砂浆及其制备方法。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种太阳能硅片切割砂浆，在不降低砂浆水分含量情况下，往常规切割砂浆中添加具有含有改性脲基聚合物作为分散稳定剂， 得到太阳能硅片的线切割砂浆。所述分散稳定剂可以和砂浆体系中的水优先形成氢键，减少水和PEG竞争吸附SiC粉体，减缓SiC在砂浆中的沉降，得到均匀、稳定的切割砂浆，可用于硅片多次切割，且保障了每次切割的硅片良品率。
第一方面，本发明提供了一种太阳能硅片切割砂浆，所述太阳能硅片切割砂浆包括聚乙二醇切割液、碳化硅微粉和分散稳定剂，其中，所述分散稳定剂包括改性脲基聚合物，所述改性脲基聚合物的结构式如下式(Ⅰ)所示：
R1-[NH-CO-NH-R2]n-NH-CO-NH-R1 式(Ⅰ)，
式(Ⅰ)中，所述n为聚合度，n为5-400的自然数，R1为CH3-N(CH3)-C12H24-、NO2-C14H28-、C12H25-C6H4-O-C6H4-、C10H21-C6H4-O-C6H4-和C3H7-OOC-C10H21-中的一种或多种，R2为二氨基取代的C2-C7的亚烷基；所述聚乙二醇切割液与所述碳化硅微粉的质量之和与所述改性脲基聚合物的质量比为1：0.02％-4％。
如本发明所述的，所述C12H25-C6H4-O-C6H4-为十二烷基二苯醚基。
如本发明所述的，所述C10H21-C6H4-O-C6H4-为癸基二苯醚基。
如本发明所述的，所述R2为二氨基取代的C2-C7的亚烷基，所述R2的分子式为：-CnH2n+2N-。如R2可以为-CH2-CH(NH2)-CH2-CH(NH2)-、-CH2-CH(NH2)-CH2-CH(NH2)-CH2-CH2-和-CH2-CH(NH2)-CH2-CH(NH2)-CH2-中的一种。
如本发明所述的，所述R1取代基的极性较大，与R2取代基的共同作用下可使改性脲基聚合物的极性比PEG的极性稍大，两者之间的互溶性较好，更重要的是，改性脲基聚合物中的-CO-NH-、R2取代基中的-NH2可优先与H2O形成氢键，减缓碳化硅在砂浆中的沉降。
优选地，所述n为10-150的自然数。
优选地，所述聚乙二醇切割液与所述碳化硅微粉质量之和与所述改性脲基聚合物的质量比为1：0.1％-4％。
优选地，所述改性脲基聚合物的质量是所述碳化硅微粉质量的0.04％-7.5％。
优选地，所述分散稳定剂中的溶质为所述改性脲基聚合物，所述改性脲基聚合物的质量分数为45％-52％，所述溶剂为N-甲基吡咯烷酮、二甲基亚砜和N-乙基吡咯烷酮中的一种。
如本发明所述的，所述分散稳定剂以液体形式添加。
优选地，所述分散稳定剂与所述PEG切割液的体积比为0.05％-16％：1。
优选地，所述聚乙二醇切割液与碳化硅微粉的质量之和与所述聚乙二醇的质量比为1：45-50％，所述聚乙二醇切割液与碳化硅微粉的质量之和与所述碳化硅微粉的质量比为1：48-53％。
如本发明所述的，所述聚乙二醇(PEG)切割液是以PEG为主要成分的产品，所述聚乙二醇(PEG)切割液包括市面上商业化的切割液或调配而成的现有切割液。
优选地，所述聚乙二醇(PEG)切割液包含聚乙二醇、表面活性剂、润滑剂、渗透剂和螯合剂，其中，所述聚乙二醇的体积百分含量为60％-95％；所述表面活性剂的体积百分比为0.1％-20％；所述润滑剂的体积百分比为0.1％-20％；所述渗透剂的体积百分比为0.1％-20％，所述螯合剂的体积百分比为0.1％-20％。
本发明添加改性脲基聚合物，需要其与砂浆的极性相匹配，水的极性大于改性脲基聚合物，改性脲基聚合物的极性大于PEG的极性，中高极性的改性脲基聚合物与PEG之间的互溶性较好，且能增加改性脲基化合物优先和水形成氢键的概率。当将砂浆分散稳定剂到常规砂浆后，由于水分子-OH的极性强于PEG，砂浆体系中极性较强的水，会优先与所述分散稳定剂中改性脲基聚合物通过-CONH-与H2O形成氢键，降低水分吸附碳化硅微粉的概率；此外相邻改性脲基聚合物分子链中R1、R2基团间还可缔合形成三维网状结构，进而构成较为稳定的砂浆体系，减缓碳化硅在砂浆中的沉降，使SiC颗粒能够在切割砂浆体系中均匀、稳定的分散和悬浮，同时能均匀地包覆在高速运动中的钢线表面，均匀平稳地使SiC作用在硅棒表面，同时带走切割热和破碎颗粒，保证硅片的表面质量，提高硅片的切割良品率。
第二方面，本发明提供了一种太阳能硅片切割砂浆的制备方法，包括以下步骤：
(1)称取碳化硅微粉和聚乙二醇切割液，混合得到切割砂浆混合液；
(2)将改性脲基聚合物溶于溶剂，得到分散稳定剂，往上述切割砂浆混合液中添加所述分散稳定剂，充分搅拌得到太阳能硅片切割砂浆，所述太阳能硅片切割砂浆包括聚乙二醇切割液、碳化硅微粉和分散稳定剂，其中，所述分散稳定剂包括改性脲基聚合物，所述改性脲基聚合物的结构式如下式(Ⅰ)所示：
R1-[NH-CO-NH-R2]n-NH-CO-NH-R1 式(Ⅰ)，
式(Ⅰ)中，所述n为聚合度，n为5-400的自然数，R1为CH3-N(CH3)-C12H24-、 NO2-C14H28-、C12H25-C6H4-O-C6H4-、C10H21-C6H4-O-C6H4-和C3H7-OOC-C10H21-中的一种或多种，R2为二氨基取代的C2-C7的亚烷基；所述聚乙二醇切割液与所述碳化硅微粉的质量之和与所述改性脲基聚合物的质量比为1：0.02％-4％。
优选地，式(Ⅰ)中，所述n为10-150的自然数。
优选地，步骤(1)中，所述碳化硅微粉与PEG切割液的混合比例为1.02-1.25Kg：1L。
优选地，所述分散稳定剂与所述PEG切割液的体积比为0.05％-16％：1。
更优选地，所述分散稳定剂与所述PEG切割液的体积比为0.2％-16％：1。
优选地，步骤(1)中，所述聚乙二醇切割液与所述碳化硅微粉的质量之和与所述聚乙二醇的质量比为1：45-50％，所述聚乙二醇切割液与所述碳化硅微粉的质量之和与所述碳化硅微粉的质量比为1：48-53％。
优选地，步骤(2)中，所述改性脲基聚合物的质量是碳化硅微粉质量的0.04％-7.5％。
优选地，步骤(2)中，所述聚乙二醇切割液与碳化硅微粉质量之和与所述改性脲基聚合物的质量比为1：0.1％-4％。
优选地，步骤(2)中，所述溶剂为N-甲基吡咯烷酮、二甲基亚砜和N-乙基吡咯烷酮中的一种。
优选地，步骤(2)中，所述分散稳定剂中，所述改性脲基聚合物的质量分数为45％-52％。
如本发明所述的，所述分散稳定剂以液体形式添加。
优选地，步骤(2)中，所述搅拌的时间为2-12小时。
本发明具有以下有益效果：
1、所用分散稳定剂为液态助剂，使用方便，且无需调控pH或温度；
2、太阳能硅片切割砂浆的沉降速率慢、稳定性高、制备方法简单，在不对砂浆水分含量进行降低的情况下，所述太阳能硅片切割砂浆用于连续切割两刀硅片后，所得硅片的良品率仍不低于90％，尤其是第2次切割所得硅片的良品率的改善幅度更大，硅片的线痕片率、崩边率也降低得更明显。
具体实施方式
下面将对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施 例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1
一种太阳能硅片切割砂浆的制备方法，包括以下步骤：
(1)称取碳化硅微粉和PEG切割液，混合得到切割砂浆混合液，所述切割砂浆混合液是由710 L 205型号的PEG切割液(PEG切割液中PEG的浓度为1.06kg/L，切割液的密度为1.12Kg/m3)加入750kg 1500#型号的SiC而配成；
(2)将改性脲基聚合物溶于N-甲基吡咯烷酮，得到分散稳定剂，往步骤(1)中的切割砂浆混合液中添加2.75L分散稳定剂，分散稳定剂的密度为1.12Kg/m3，所述分散稳定剂中改性脲基聚合物的质量分数为52％，所述聚乙二醇切割液与碳化硅微粉的质量之和与所述改性脲基聚合物的质量比为1：0.1％，充分搅拌2h，制得太阳能硅片切割砂浆，所述太阳能硅片切割砂浆包括聚乙二醇切割液、碳化硅微粉和分散稳定剂，其中，所述分散稳定剂包括改性脲基聚合物，所述改性脲基聚合物的结构式如下所示：
CH3-N(CH3)-C12H24-[NH-CO-NH-CH2-CH(NH2)-CH2-CH(NH2)]55-NH-CO-NH-C12H24-N(CH3)-CH3。
对所得太阳能硅片切割砂浆进行相关性能测量，测得砂浆密度为1.639g/ml，粘度为205cp/25℃，含水量是0.87％。
按照正常切割工艺，采用太阳能硅片切割砂浆进行硅片切割实验，连续切割2次，切割条件与常规切割砂浆(实施PEG切割液和碳化硅微粉的配比同实施例1)的应用条件保持一致，砂浆的沉降速率和硅片切割结果对比数据见下表2、3。
实施例2
一种太阳能硅片切割砂浆的制备方法，包括以下步骤：
(1)称取碳化硅微粉和PEG切割液，混合得到切割砂浆混合液，所述切割砂浆混合液是由750 L 209型号的PEG切割液(PEG切割液中PEG的浓度为1.02kg/L，切割液的密度为1.12Kg/m3)加入800kg 1200#SiC而配成；
(2)将改性脲基聚合物溶于N-乙基吡咯烷酮，得到分散稳定剂，往步骤(1)中的切割砂浆混合液中添加1.5L分散稳定剂，分散稳定剂的密度为1.12Kg/m3， 所述分散稳定剂中改性脲基聚合物的质量分数为52％，所述聚乙二醇切割液与碳化硅微粉的质量之和与所述改性脲基聚合物的质量比为1：0.05％，充分搅拌3h，制得太阳能硅片切割砂浆，所述太阳能硅片切割砂浆包括聚乙二醇切割液、碳化硅微粉和分散稳定剂，其中，所述分散稳定剂包括改性脲基聚合物，所述改性脲基聚合物的结构式如下所示：
C3H7-OOC-C10H21-[NH-CO-NH-CH2-CH(NH2)-CH2-CH(NH2)-CH2]150-NH-CO-NH-C10H21-COO-C3H7。
对所得太阳能硅片切割砂浆进行相关性能测量，测得砂浆密度为1.643g/ml，粘度为210cp/25℃，含水量是0.69％。
实施例3
一种太阳能硅片切割砂浆的制备方法，包括以下步骤：
(1)称取碳化硅微粉和PEG切割液，混合得到切割砂浆混合液，所述切割砂浆混合液是由760L 209型号的PEG切割液(PEG切割液中PEG的浓度为1.02kg/L，切割液的密度为1.12Kg/m3)加入825kg 1200#SiC而配成；
(2)将改性脲基聚合物溶于二甲基亚砜，得到分散稳定剂，往步骤(1)中的切割砂浆混合液中添加0.65L分散稳定剂，所述分散稳定剂中，改性脲基聚合物的质量百分数为45％，所述聚乙二醇切割液与碳化硅微粉的质量之和与所述改性脲基聚合物的质量比为1：0.023％，充分搅拌5h，制得太阳能硅片切割砂浆，所述太阳能硅片切割砂浆包括聚乙二醇切割液、碳化硅微粉和分散稳定剂，其中，所述分散稳定剂包括改性脲基聚合物，所述改性脲基聚合物的结构式如下所示：
NO2-C14H28-[NH-CO-NH-CH2-CH(NH2)-CH2-CH(NH2)-CH2]400-NH-CO-NH-C14H28-NO2。
并对所得太阳能硅片切割砂浆进行相关性能测量，测得砂浆密度为1.650g/ml，粘度为215cp/25℃，含水量是0.70％。
实施例4
一种太阳能硅片切割砂浆的制备方法，包括以下步骤：
(1)称取碳化硅微粉和PEG切割液，混合得到切割砂浆混合液，所述切割砂浆混合液是由560L 205型号的PEG切割液(PEG切割液中PEG的浓度为1.06kg/L，切割液的密度为1.12Kg/m3)加入700kg 1500#SiC而配成；
(2)将改性脲基聚合物溶于二甲基亚砜，得到分散稳定剂，往步骤(1)中的切割砂浆混合液中添加90L分散稳定剂，所述分散稳定剂中改性脲基聚合物的质量分数为52％，所述聚乙二醇切割液与碳化硅微粉的质量之和与所述改性脲基聚合物的质量比为1：4％，充分搅拌2h，制得太阳能硅片切割砂浆，所述太阳能硅片切割砂浆包括聚乙二醇切割液、碳化硅微粉和分散稳定剂，其中，所述分散稳定剂包括改性脲基聚合物，所述改性脲基聚合物的结构式如下所示：C10H21-C6H4-O-C6H4--[NH-CO-NH-CH2-CH(NH2)-CH2-CH(NH2)-CH2-CH2]5-NH-CO-NH-C6H4-O-C6H4-C10H21。
对所得太阳能硅片切割砂浆进行相关性能测量，测得砂浆密度为1.648g/ml，粘度为217.5cp/25℃，含水量是0.85％。
实施例5
一种太阳能硅片切割砂浆，所述太阳能硅片切割砂浆是由含水量3％的切割砂浆混合液和3ml分散稳定剂配置而成，所述含水量3％的切割砂浆混合液是由0.5L 205型号的聚乙二醇切割液(PEG切割液中PEG的浓度为1.06kg/L，切割液的密度为1.12Kg/m3)和0.54Kg 1200#型号的碳化硅微粉配置而成，所述分散稳定剂中，改性脲基聚合物的质量分数为52％，所述聚乙二醇切割液与碳化硅微粉的质量之和与所述改性脲基聚合物的质量比为1：0.15％，分散稳定剂的密度为1.12Kg/m3。其中所述改性脲基聚合物的结构式如下所示：
CH3-N(CH3)-C12H24-[NH-CO-NH-CH2-CH(NH2)-CH2-CH(NH2)]10-NH-CO-NH-C12H24-N(CH3)-CH3。
将实施例5所得的太阳能硅片切割砂浆与0.5％含水量、3％含水量的切割砂浆混合液进行静置比较(其中含水量0.5％和含水量3％的切割砂浆混合液的配制相同，只是放置时间不同而含水量不同)，观察砂浆中碳化硅的沉降速率，以静置20h后的上清液高度与初始液面的高度比来计算，其结果如表1所示：
表1 不同砂浆中SiC的沉降速率
由表1可知，含水量高达3％的切割砂浆混合液，在静置20h后，被水吸附的SiC沉降较多，即使再重新摇晃，砂浆的分散效果也不会变好；而在3％含水量的砂浆添加本发明所述分散稳定剂后，得到的太阳能硅片切割砂浆几乎与0.5％含水量砂浆中的SiC的沉降速率相同，对静置20h后的砂浆重新摇晃后，SiC还能在其中再分散，具有良好的再分散性。
由以上对比可知，在不采用水分吸收装置对切割砂浆混合液中的水分进行降低的情况下，仅需要在切割砂浆混合液中添加一定比例的本发明所述分散稳定剂，所得太阳能硅片切割砂浆的稳定性、分散性就可与低水分含量的切割砂浆混合液的性能相媲美。
效果实施例
为进一步给本发明所述有益效果提供佐证，将实施例1-4中配置好的太阳能硅片切割砂浆进行含水量、沉降速率测试，结果见表2；将太阳能硅片切割砂浆用于硅片切割实验，连续切割2次，并以实施例1-4中的切割砂浆混合液分别作为对比实施例1-4，砂浆的含水量、沉降速率和硅片切割结果对比数据如表2、3所示。
表2：砂浆的沉降速率及含水量变化比较
表3：连续切割2次所得硅片的良品率、崩缺率、线痕片率比较
上表2中，砂浆的沉降速率的测试方法同实施例5。
通过上述试验可知，刚配置好的太阳能硅片切割砂浆与切割砂浆混合液的含水量接近，在切割硅片后，砂浆的含水量均会上升，但相对于切割砂浆混合液而言，本发明的太阳能硅片切割砂浆的沉降速率明显减慢(见表格)。按照正常切割工艺连续切割两次硅棒，两次所得硅片的平均良品率有所改善，而对硅片良品率的改善主要体现在第2次切割，第二次切割时砂浆的含水量一般较高，但所述太阳能硅片切割砂浆体系仍然较稳定，SiC颗粒仍然能够在砂浆体系中均匀、稳定的分散和悬浮，均匀地包覆在高速运动中的钢线表面，均匀平稳地在硅棒表面，减少硅片的崩缺率、线痕片率，提高硅片的切割良品率。
以上对本发明做了详尽的描述，其目的在于让熟悉此领域技术的人士能够了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明的精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。
Claims (10)
1.一种太阳能硅片切割砂浆，其特征在于，所述太阳能硅片切割砂浆包括聚乙二醇切割液、碳化硅微粉和分散稳定剂，其中，所述分散稳定剂包括改性脲基聚合物，所述改性脲基聚合物的结构式如下式(Ⅰ)所示：
R1-[NH-CO-NH-R2]n-NH-CO-NH-R1 式(Ⅰ)，
式(Ⅰ)中，所述n为聚合度，n为5-400的自然数，R1为CH3-N(CH3)-C12H24-、NO2-C14H28-、C12H25-C6H4-O-C6H4-、C10H21-C6H4-O-C6H4-和C3H7-OOC-C10H21-中的一种或多种，R2为二氨基取代的C2-C7的亚烷基；所述聚乙二醇切割液与所述碳化硅微粉的质量之和与所述改性脲基聚合物的质量比为1：0.02％-4％。
2.如权利要求1所述的太阳能硅片切割砂浆，其特征在于，所述n为10-150的自然数。
3.如权利要求1所述的太阳能硅片切割砂浆，其特征在于，所述聚乙二醇切割液与所述碳化硅微粉质量之和与所述改性脲基聚合物的质量比为1：0.1％-4％。
4.如权利要求1所述的太阳能硅片切割砂浆，其特征在于，所述分散稳定剂中的溶质为所述改性脲基聚合物，所述改性脲基聚合物的质量分数为45％-52％，所述分散稳定剂中的溶剂为N-甲基吡咯烷酮、二甲基亚砜和N-乙基吡咯烷酮中的一种。
5.如权利要求1所述的太阳能硅片切割砂浆，其特征在于，所述分散稳定剂与所述聚乙二醇切割液的体积比为0.05％-16％：1。
6.如权利要求1所述的太阳能硅片切割砂浆，其特征在于，所述聚乙二醇切割液与碳化硅微粉的质量之和与所述聚乙二醇的质量比为1：45-50％，所述聚乙二醇切割液与碳化硅微粉的质量之和与所述碳化硅微粉的质量比为1：48-53％。
7.一种太阳能硅片切割砂浆的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)称取碳化硅微粉和聚乙二醇切割液，混合得到切割砂浆混合液；
(2)将改性脲基聚合物溶于溶剂，得到分散稳定剂，往上述切割砂浆混合液中添加所述分散稳定剂，充分搅拌得到太阳能硅片切割砂浆，所述太阳能硅片切割砂浆包括聚乙二醇切割液、碳化硅微粉和分散稳定剂，其中，所述分散稳定剂包括改性脲基聚合物，所述改性脲基聚合物的结构式如下式(Ⅰ)所示：
R1-[NH-CO-NH-R2]n-NH-CO-NH-R1 式(Ⅰ)，
式(Ⅰ)中，所述n为聚合度，n为5-400的自然数，R1为CH3-N(CH3)-C12H24-、NO2-C14H28-、C12H25-C6H4-O-C6H4-、C10H21-C6H4-O-C6H4-和C3H7-OOC-C10H21-中的一种或多种，R2为二氨基取代的C2-C7的亚烷基；所述聚乙二醇切割液与碳化硅微粉的质量之和与所述改性脲基聚合物的质量比为1：0.02％-4％。
8.如权利要求7所述的太阳能硅片切割砂浆的制备方法，其特征在于，所述分散稳定剂与所述聚乙二醇切割液的体积比为0.05％-16％：1。
9.如权利要求7所述的太阳能硅片切割砂浆的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述碳化硅微粉与所述聚乙二醇切割液的混合比例为1.02-1.25Kg：1L。
10.如权利要求7所述的太阳能硅片切割砂浆的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，所述溶剂为N-甲基吡咯烷酮、二甲基亚砜和N-乙基吡咯烷酮中的一种。
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| CN1050738A (zh) * | 1989-10-05 | 1991-04-17 | 中国石油化工总公司一坪化工厂 | 固体润滑剂分散液 |
| CN101032806A (zh) * | 2006-03-06 | 2007-09-12 | 张捷平 | 切削悬浮液回收的方法 |
| CN102093925A (zh) * | 2009-12-11 | 2011-06-15 | 安集微电子（上海）有限公司 | 一种太阳能硅片切割液 |
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2015
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Patent Citations (3)
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| CN1050738A (zh) * | 1989-10-05 | 1991-04-17 | 中国石油化工总公司一坪化工厂 | 固体润滑剂分散液 |
| CN101032806A (zh) * | 2006-03-06 | 2007-09-12 | 张捷平 | 切削悬浮液回收的方法 |
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