CN104723345A - 一种应用于晶圆传输机器人的可翻转末端组件 - Google Patents
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Abstract
一种应用于晶圆传输机器人的可翻转末端组件,机器人手腕壳体连接在小臂一端,手腕壳体内安装伺服电机,电机带轮安装在伺服电机输出轴上,钢带连接在电机带轮和回转机构带轮之间,回转机构带轮固定在回转机构上,回转机构一端固定在手腕壳体内部,另一端连接真空吸附末端,其中回转机构左端连接真空气管接头。在其他实施例中伺服电机也可用其他电机代替。吸附晶圆时,固定弯管和固定外管内首先产生真空,旋转内管在回转的同时也可产生真空,真空吸附末端中空孔道与真空末端连接轴内孔道产生真空压,依靠内外压差吸附晶圆,实现回转机构自身回转的同时,内部孔道产生真空压。避免线路缠绕,实现翻转动作与真空产生动作的同轴设计。
Description
技术领域
该发明涉及一种应用于晶圆传输机器人的可翻转末端组件,属于晶圆机器人设计技术领域。
背景技术
在晶圆搬运过程中,多种工况需要晶圆在搬运过程中的翻转。如大连理工大学康仁科等发明的晶圆传输机器人,专利号:ZL200420113013.1,公开号:CN2762970Y,授权公布日:2006年3月8号。其末端翻转机构采用旋转气缸驱动,同样设计了旋转气路组件,实现真空气路传输,同时实现末端的翻转。但旋转气缸额外增加气路的设计,另外旋转气缸还存在精度问题和气密性问题。采用电机驱动,控制线路布置相对简单,电机驱动更为精确,同样真空气路的回转与气路传输需要综合同轴设计。
发明内容
该发明的目的是提供应用于晶圆传输机器人的可翻转末端组件。在晶圆传输过程中,多种工况下需要晶圆的翻转操作,末端可翻转机器人可以满足此种需求。采用电机驱动可以避免旋转气缸存在的精度误差和气密性差的缺点。电机作为晶圆传输真空机器人末端翻转机构的驱动方式,避免旋转气缸在真空环境下不能使用的缺点。
本发明采用如下技术方案,可翻转末端组件包括手腕壳体401、伺服电机423、电机带轮422、钢带411、回转机构40、真空吸附末端3。机器人手腕壳体401连接在小臂5一端,手腕壳体401内安装伺服电机423,电机带轮422安装在伺服电机输出轴上,钢带411连接在电机带轮422和回转机构带轮410之间,回转机构带轮410固定在回转机构40上,回转机构40一端(左端)固定在手腕壳体401内部,另一端(右端)连接真空吸附末端3,其中回转机构40左端连接真空气管接头(图中未画出)。在其他实施例中伺服电机也可用其他电机代替。
手腕壳体401可绕小臂5右端回转,手腕壳体401内伺服电机423带动电机带轮422回转,钢带411可绕电机带轮422和回转机构带轮410缠绕,进而驱动回转机构40回转,带动真空吸附末端3实现翻转动作。
上述回转机构40包括固定弯管416、固定外管418、旋转内管413、真空轴承419、J型真空密封组件a407、J型真空密封组件b415和真空末端连接轴409、深沟球轴承403组成;固定弯管416左端连接真空气管接头,右端连接固定外管418,固定外管418内部同轴安装旋转内管413,固定外管418和旋转内管413之间安装真空轴承419支撑,旋转内管413与固定外管418右端处用J型真空密封组件b415密封,以保证回转机构40内部真空环境与回转机构40外部非真空环境间的密封隔绝。旋转内管413伸出端(右端)连接真空末端连接轴409,真空末端连接轴409中间固定回转机构带轮410,右端靠一个深沟球轴承403支撑在手腕壳体401侧壁上,真空末端连接轴409右端伸出端连接真空吸附末端3。轴承外圈内压盖402固定在手腕壳体401的内壁上;密封组件内压盖408固定在轴承外圈内压盖402外端;J型真空密封组件a407安装在轴承外圈内压盖402内壁上。
回转机构带轮410带动真空末端连接轴409回转,进而带动真空吸附末端3的翻转。同时,真空末端连接轴409带动旋转内管413相对固定外管418回转。
在吸附晶圆时,固定弯管416和固定外管418内首先产生真空,旋转内管413在回转的同时也可产生真空,真空吸附末端3中空孔道与真空末端连接轴409内孔道产生真空压,依靠内外压差吸附晶圆,实现回转机构40自身回转的同时,内部孔道产生真空压。避免线路缠绕,实现翻转动作与真空产生动作的同轴设计。
实施例中回转机构40实现末端翻转与真空气路的同轴防缠绕设计,便于一体化安装,真空气路密封性较好,便于真空气路的连接。在不使用真空吸附方式承载晶圆的场合,可以直接去除如附图3所示的整套回转机构40。参考附图2所示,伺服电机423经减速器426减速,通过联轴器427直接连接末端连接轴428,驱动非真空吸附式末端30翻转,增强该可翻转末端组件的适用性。
采用上述技术方案,实现晶圆传输机器人的末端翻转运动,同时产生真空压吸附晶圆,满足晶圆搬运过程中的多任务要求。钢带传动的使用,可以提高传动精度,增强机器人的可靠性,减少污染微粒的产生,提高机器人的洁净度等级。翻转传动方式在真空机器人设计时同样适用。回转机构的设计,保证了真空吸附末端与真空气路的同轴布置,简化结构,避免电机控制线路与真空气路的混合缠绕,提高真空吸附末端的翻转精度和速度。
附图说明
图1是翻转末端的立体结构图及臂体结构。
图2是非真空吸附式翻转末端结构图。
图3是图1的回转机构内部剖视图。
图中:3、真空吸附末端,30、非真空吸附式末端,40、回转机构,401、手腕壳体,402、轴承外圈内压盖,403、深沟球轴承,404、轴承外圈外端盖,405、末端连接螺钉,406、轴承内圈挡圈,407、J型真空密封组件a,408、密封组件内压盖,409、真空末端连接轴,410、回转机构带轮,411、钢带,412、带轮挡圈,413、旋转内管,414、旋转内管压盖,415、J型真空密封组件b,416、固定弯管,417、手腕壳体上盖,418、固定外管,419、真空轴承,420、真空轴承内圈挡圈,421、旋转内管端盖,422、电机带轮,423、伺服电机,426、减速器,427、联轴器,428、末端连接轴,5、小臂,6、大臂。
具体实施方式
以下结合具体图例详细阐述本发明的具体实施例。
如图1-3所示,可翻转末端组件包括手腕壳体401、伺服电机423、电机带轮422、钢带411、回转机构40、真空吸附末端3。机器人手腕壳体401连接在小臂5一端,手腕壳体401内安装伺服电机423,电机带轮422安装在伺服电机输出轴上,钢带411连接在电机带轮422和回转机构带轮410之间,回转机构带轮410固定在回转机构40上,回转机构40一端(左端)固定在手腕壳体401内部,另一端(右端)连接真空吸附末端3,其中回转机构40左端连接真空气管接头(图中未画出)。在其他实施例中伺服电机也可用其他电机代替。
手腕壳体401可绕小臂5右端回转,手腕壳体401内伺服电机423带动电机带轮422回转,钢带411可绕电机带轮422和回转机构带轮410缠绕,进而驱动回转机构40回转,带动真空吸附末端3实现翻转动作。
上述回转机构40,由固定弯管416、固定外管418、旋转内管413、真空轴承419、J型真空密封组件a407、J型真空密封组件b415和真空末端连接轴409、深沟球轴承403组成;固定弯管416左端连接真空气管接头,右端连接固定外管418,固定外管418内部同轴安装旋转内管413,固定外管418和旋转内管413之间安装真空轴承419支撑,旋转内管413与固定外管418右端处用J型真空密封组件415密封,以保证回转机构40内部真空环境与回转机构40外部非真空环境间的密封隔绝。旋转内管413伸出端(右端)连接真空末端连接轴409,真空末端连接轴409中间固定回转机构带轮410,右端靠一个深沟球轴承403支撑在手腕壳体401侧壁上,真空末端连接轴409右端伸出端连接真空吸附末端3。
回转机构带轮410带动真空末端连接轴409回转,进而带动真空吸附末端3的翻转。同时,真空末端连接轴409带动旋转内管413相对固定外管418回转。
在吸附晶圆时,固定弯管416和固定外管418内首先产生真空,旋转内管413在回转的同时也可产生真空,真空吸附末端3中空孔道与真空末端连接轴409内孔道产生真空压,依靠内外压差吸附晶圆,实现回转机构40自身回转的同时,内部孔道产生真空压。避免线路缠绕,实现翻转动作与真空产生动作的同轴设计。
实施例中回转机构40实现末端翻转与真空气路的同轴防缠绕设计,便于一体化安装,真空气路密封性较好,便于真空气路的连接。在不使用真空吸附方式承载晶圆的场合,可以直接去除如附图3所示的整套回转机构40。参考附图2所示,伺服电机423经减速器426减速,通过联轴器427直接连接末端连接轴428,驱动非真空吸附式末端30翻转,增强该可翻转末端组件的适用性。
Claims (2)
1.一种应用于晶圆传输机器人的可翻转末端组件,其特征在于:可翻转末端组件包括手腕壳体(401)、伺服电机(423)、电机带轮(422)、钢带(411)、回转机构(40)、真空吸附末端(3);机器人手腕壳体(401)连接在小臂(5)一端,手腕壳体(401)内安装伺服电机(423),电机带轮(422)安装在伺服电机输出轴上,钢带(411)连接在电机带轮(422)和回转机构带轮(410)之间,回转机构带轮(410)固定在回转机构(40)上,回转机构(40)一端固定在手腕壳体(401)内部,另一端连接真空吸附末端(3),其中回转机构(40)左端连接真空气管接头;在其他实施例中伺服电机也可用其他电机代替;
手腕壳体(401)可绕小臂(5)右端回转,手腕壳体(401)内伺服电机(423)带动电机带轮(422)回转,钢带(411)可绕电机带轮(422)和回转机构带轮(410)缠绕,进而驱动回转机构(40)回转,带动真空吸附末端(3)实现翻转动作;
上述回转机构(40)包括固定弯管(416)、固定外管(418)、旋转内管(413)、真空轴承(419)、J型真空密封组件a(407)、J型真空密封组件b(415)和真空末端连接轴(409)、深沟球轴承(403);固定弯管(416)左端连接真空气管接头,右端连接固定外管(418),固定外管(418)内部同轴安装旋转内管(413),固定外管(418)和旋转内管(413)之间安装真空轴承(419)支撑,旋转内管(413)与固定外管(418)右端处用J型真空密封组件b(415)密封,以保证回转机构(40)内部真空环境与回转机构(40)外部非真空环境间的密封隔绝;旋转内管(413)伸出端连接真空末端连接轴(409),真空末端连接轴(409)中间固定回转机构带轮(410),右端靠一个深沟球轴承(403)支撑在手腕壳体(401)侧壁上,真空末端连接轴(409)右端伸出端连接真空吸附末端(3);轴承外圈内压盖(402)固定在手腕壳体(401)的内壁上;密封组件内压盖(408)固定在轴承外圈内压盖(402)外端;J型真空密封组件a(407)安装在轴承外圈内压盖(402)内壁上;
回转机构带轮(410)带动真空末端连接轴(409)回转,进而带动真空吸附末端(3)的翻转;同时,真空末端连接轴(409)带动旋转内管(413)相对固定外管(418)回转;
在吸附晶圆时,固定弯管(416)和固定外管(418)内首先产生真空,旋转内管(413)在回转的同时也可产生真空,真空吸附末端(3)中空孔道与真空末端连接轴(409)内孔道产生真空压,依靠内外压差吸附晶圆,实现回转机构(40)自身回转的同时,内部孔道产生真空压;避免线路缠绕,实现翻转动作与真空产生动作的同轴设计。
2.根据权利要求1所述的一种应用于晶圆传输机器人的可翻转末端组件,其特征在于:伺服电机(423)经减速器(426)减速,通过联轴器(427)直接连接末端连接轴(428),驱动非真空吸附式末端(30)翻转,增强该可翻转末端组件的适用性。
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