CN104699118B - 补偿平台的动态和热形变误差的系统、平台设备和器材 - Google Patents

补偿平台的动态和热形变误差的系统、平台设备和器材 Download PDF

Info

Publication number
CN104699118B
CN104699118B CN201410726068.8A CN201410726068A CN104699118B CN 104699118 B CN104699118 B CN 104699118B CN 201410726068 A CN201410726068 A CN 201410726068A CN 104699118 B CN104699118 B CN 104699118B
Authority
CN
China
Prior art keywords
axis
vertical direction
encoder head
motion
dynamic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201410726068.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104699118A (zh
Inventor
高秉官
B.拉胡尔
徐锺奎
辛寿根
郑澈
权容昱
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SOONHAN ENGINEERING CORP
Original Assignee
SOONHAN ENGINEERING CORP
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SOONHAN ENGINEERING CORP filed Critical SOONHAN ENGINEERING CORP
Publication of CN104699118A publication Critical patent/CN104699118A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104699118B publication Critical patent/CN104699118B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D3/00—Control of position or direction
    • G05D3/12—Control of position or direction using feedback
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C5/00—Base supporting structures with legs
    • B66C5/02—Fixed or travelling bridges or gantries, i.e. elongated structures of inverted L or of inverted U shape or tripods
    • B66C5/04—Fixed or travelling bridges or gantries, i.e. elongated structures of inverted L or of inverted U shape or tripods with runways or tracks supported for movements relative to bridge or gantry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
    • G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/404—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia

Abstract

本发明涉及用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统、平台设备、其制造以及测量和检查器材。该系统包括：第一二维位置测量单元，用于测量沿X轴方向移动的机架梁的位置以提供对其X轴运动的反馈；第二二维位置测量单元，用于测量在所述沿X轴方向移动的机架梁上移动的沿Y轴方向移动的滑块的位置以提供对其Y轴运动的反馈；热固定点，其被提供作为热参考以便测量所述沿X轴方向移动的机架梁的热膨胀；以及补偿控制单元，用于通过基于从所述第一和所述第二二维位置测量单元收到的数据测量动态和热形变误差来实时地控制所述线性运动单平面机架平台的误差运动。

Description

补偿平台的动态和热形变误差的系统、平台设备和器材
技术领域
本申请涉及用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统、平台设备、其制造以及测量和检查器材，并且更具体地涉及用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统，其测量由于线性运动单平面机架平台的运动引起的线性和偏航误差以及热形变误差，以便控制针对所测量的线性、偏航和热形变误差的实时补偿，并且本申请具体地还涉及应用该系统及其制造的平台设备以及用于其的测量和检查设备。
背景技术
通常称为H型机架平台的线性运动单平面机架平台可应用在要求高静态和动态精确度的高速扫描领域中。
在这样的线性运动单平面机架平台中，由于线性和偏航误差导致的动态误差以及由于热膨胀导致的热形变误差影响对机架平台的位置的确定，从而导致精确度的下降以及因此的产品质量的下降。
为了解决这样的问题，已经提出了各种技术，但是还未考虑实时补偿。
发明内容
发明目的
本发明的一目的是提供用于准确测量线性运动单平面机架平台中的动态和热形变误差以便针对它们进行实时补偿的技术。
发明概要
为了实现该目的，本发明的实施例提供一种用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统。该系统包括：第一二维位置测量单元，其被布置在分别位于所述线性运动单平面机架平台的两侧上的两个线性边梁中的每一个中，用于测量沿X轴方向移动的机架梁的位置以提供对其X轴运动的反馈；第二二维位置测量单元，用于测量在所述沿X轴方向移动的机架梁上移动的沿Y轴方向移动的滑块的位置以提供对其Y轴运动的反馈；热固定点，其被提供作为热参考以便测量所述沿X轴方向移动的机架梁的热膨胀；以及补偿控制单元，用于通过基于从所述第一和所述第二二维位置测量单元收到的数据测量动态和热形变误差来实时地控制所述线性运动单平面机架平台的误差运动。
上述系统没有示出本发明的全部特性。通过参考下面所述的具体实施例可以更具体地理解本发明的各种特性及其益处和效果。
发明效果
提供用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统，其测量由于线性运动单平面机架平台的运动引起的线性和偏航误差以及热形变误差，以便控制针对所测量的线性、偏航和热形变误差的实时补偿，以及应用该系统的平台设备及其制造、测量和检查器材。
附图说明
图1是根据本发明的实施例的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统的概略视图；
图2是根据本发明的实施例的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统的前视图；
图3是示出根据本发明的实施例的提供在用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统中的二维位置测量单元的结构的视图；
图4是示出根据本发明的实施例的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统的沿Y轴方向移动的滑块的具体结构的视图；
图5是根据本发明的实施例的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统的线性误差补偿算法的框图；
图6是根据本发明的实施例的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统的偏航误差补偿算法。
具体实施方式
在下文中，参考附图来详细地描述本发明的优选实施例，以使得本领域技术人员可以容易地实现本发明。然而，在对本发明的优选实施例的详细描述中，传统部件的功能或结构被省略详细描述，以避免不必要地混淆本发明的要点。此外，具有类似功能和操作的部分通过相同的附图标记被提到。
除此以外，贯穿整个说明书，某个部件被连接到另一部件的表达不仅仅意味着“直接的连接”，而且意味着“通过另一元件的间接的连接”。此外，“包括某部件”的表达意味着能包括其它部件，除非有相反的描述。
图1是根据本发明的实施例的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统的概略视图，且图2是根据本发明的实施例的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统的前视图。
参考图1和2，其上安装有依据本发明的实施例的用于实时补偿动态和热形变误差的系统200的线性运动单平面机架平台100包括基座110和分别位于基座110的顶部的两侧上的两个线性边梁121、122，其支撑用于支撑沿X轴方向和沿Y轴方向移动的组件的多个垂直空气轴承131和多个水平空气轴承132。在这种情况下，垂直空气轴承131和水平空气轴承132的位置可基于用于改善控制带宽的成本函数以及用于改善系统的本征频率的机械设计的视角两者而被确定。
X轴运动由沿X轴方向移动的机架梁140来执行。沿X轴方向移动的机架梁140由两个移动托架151、152保持，这两个移动托架151、152由多个垂直空气轴承和多个水平空气轴承的支撑，并且这两个移动托架151、152是由两个驱动马达161、162沿X轴方向驱动的。在此情况下，两个线性边梁121和122中的一个（在下文中被称为“主轴”）具有比另一个（在下文中被称为“从轴”）更大的硬度。换而言之，主轴的移动托架151借助于垂直和水平空气弹簧被牢固地安装。
Y轴运动由沿着沿X轴方向移动的机架梁140移动的沿Y轴方向移动的滑块170来执行，并且沿Y轴方向移动的滑块170是由两个驱动马达181、182沿Y轴方向驱动的。
安装在线性运动单平面机架平台100上的用于实时地补偿动态和热形变误差的系统200包括用于提供X轴向反馈的二维位置测量单元210，用于提供Y轴向反馈的二维位置测量单元220，热固定点230，以及补偿控制单元（参考图5和6)。
用于提供X轴向反馈的二维位置测量单元210被提供给两个线性边梁121、122中的每个以测量X轴运动，并且其包括二维编码器标尺（encoder scale）211、运动方向编码器头212、垂直方向编码器头213和编码器安装块214。
二维编码器标尺211在沿X轴方向移动的机架梁140的两端处被安装在基座110上以测量X轴运动，并且如下面参考图3所述的，其包括二维格栅以沿着运动方向以及垂直方向这两者进行测量。
运动方向编码器头212和垂直方向编码器头213用于从二维编码器标尺211的二维格栅分别测量沿运动方向和沿垂直方向的位移。
编码器安装块214用于将运动方向编码器头212和垂直方向编码器头213安装在沿X轴方向移动的机架梁140上。
用于Y轴反馈的二维位置测量单元220用于测量沿Y轴方向移动的滑块170的Y轴运动，并且其包括二维编码器标尺221、运动方向编码器头222、垂直方向编码器头223、和用于测量偏航误差的附加垂直方向编码器头224。
二维编码器标尺221被安装在沿X轴方向移动的机架梁140的两端中的每一端处以测量Y轴运动，并且如下面参考图3所述的，其包括二维格栅以沿着运动方向以及垂直方向这两者进行测量。
运动方向编码器头222和垂直方向编码器头223用于从二维编码器标尺221的二维格栅分别测量沿运动方向和沿垂直方向的位移。
另外，提供其他垂直编码器头224以在沿Y轴方向移动期间测量偏航。通过使用垂直编码器头224测量偏航的具体方法在下面参考图4被描述。并且，可以通过使用包括驱动马达161、162和两个运动编码器头212的两个伺服轴来补偿所测得的偏航误差。
热固定点230被提供作为用于沿X轴方向移动的机架梁140的热膨胀的热参考，其被固定地布置在二维编码器标尺221的一端处，二维编码器标尺221被包括在用于Y轴反馈的二维位置测量单元220中且在被包括在用于X轴反馈的二维位置测量单元210中的垂直方向编码器头213的紧上方。相应地，仅仅在二维编码器标尺221的一端处提供易于通过单个垂直方向编码器头213测量的热偏移。此外，二维编码器标尺221可由具有低CTE（热膨胀系数）的诸如微晶玻璃（Zerodur）的材料制成，因此即使在贯穿整个处理区域的大的热变化下也保持高精确度。
由用于X轴反馈的二维位置测量单元210的垂直方向编码器头213所测得的值被用来实时提供用于补偿在沿X轴方向朝向沿Y轴方向移动的滑块170驱动时产生的动态线性误差和根据温度变化而产生的热偏移误差这两者的信号，沿Y轴方向移动的滑块170由包括驱动马达181、182以及两个运动方向编码器头222的两个伺服轴驱动。
图3示出根据本发明的实施例的提供在用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统中的二维位置测量单元的结构。
如图3中所示，二维编码器标尺211包括用于沿着运动方向和垂直方向这两者进行测量的二维格栅。并且在二维编码器标尺211中，运动编码器头212被布置在运动方向测量格栅部分上并且垂直方向编码器头213被安装在垂直方向测量格栅部分上。
运动方向编码器头212和垂直方向编码器头213分别按照运动方向和垂直方向测量精确度和线性度，以将结果提供给补偿控制单元以用于反馈。
图4详细示出根据本发明的实施例的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统中的沿Y轴方向移动的滑块的结构。
参考图4，两个二维编码器标尺221-1、221-2可被安装在沿X轴方向移动的机架梁140的两侧上。
一个二维编码器标尺221-1包括运动方向编码器头222-1、垂直方向编码器头223-1和附加垂直方向编码器头224，而另一二维编码器标尺221-2包括运动方向编码器头222-2和垂直方向编码器头223-2。
在此情况下，沿Y轴方向移动的滑块的偏航误差可基于垂直方向编码器头223-1和附加垂直方向编码器头224之间的相对距离被测量。
图5示出根据本发明的实施例的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统的线性误差补偿算法。
参考图5，在步骤242中，用于实时补偿动态和热形变误差的系统200的控制单元240通过接收来自X轴向主轴的运动方向编码器头的信号执行平台映射241，并将结果添加至从X轴向主轴的垂直方向编码器头收到的信号（即，测得的线性误差）。
然后，步骤242的输出信号通过步骤243被滤波，从而作为用于线性误差的参考信号更新Y 轴向主和从轴的控制循环。在此情况下，通过使用低通滤波器来进行对来自步骤242的输出信号的滤波，以消除高频噪声分量，由此产生低频线性误差信号。并且可以考虑移动滑块的反作用力、平台动态响应以及移动滑块在动态补偿过程期间的控制带宽来优化滤波器参数。
之后，在步骤245、247中Y轴向主和从轴的控制循环从通过将目标位置信号244和用于线性误差的参考信号相加获得的值中分别减去从Y轴向主轴的运动方向编码器头收到的信号和从Y轴向从轴的运动方向编码器头收到的信号，以生成通过各自的PID（Proportional-Integrate-Derivative，比例积分微分）控制器246、247被递送给用于Y轴向主轴和Y轴向从轴的驱动马达的各自的控制信号。
虽然参考图5描述了线性误差补偿算法，但是也可以以与线性误差补偿算法相同的方式执行热形变误差补偿。
图6示出根据本发明的实施例的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统的偏航误差补偿算法。
参考图6，在步骤251中，用于实时补偿动态和热形变误差的系统200的控制单元250计算从Y轴向主轴的垂直方向编码器头收到的信号与从附加垂直方向编码器头收到的信号之间的差。
然后，通过步骤252对结果得到的输出信号进行滤波。在此情况下，通过使用低通滤波器来进行对输出信号的滤波，以消除由于移动滑块的运动而产生的高频噪声分量，由此产生低频偏航误差信号。并且可以考虑机架梁的反作用力、平台动态响应以及机架梁在期望扫描运动和动态补偿过程期间的控制带宽来优化滤波器参数。
之后，在步骤253中使用因子lg/(2.lc)对滤波后的结果进行缩放。在此情况下，lc是Y轴向主轴的垂直方向编码器头和附加垂直方向编码器头之间的距离，并且lg是X轴向主轴的垂直方向编码器头和从轴的垂直编码器头之间的距离（参考图2)。
然后，步骤253的输出信号作为用于偏航误差的参考信号更新X轴向主和从轴的控制循环。
之后，在步骤254、257中X轴向主和从轴的控制循环从分别通过从目标位置信号中减去用于偏航误差的参考信号（或者相反）和使它们两者相加获得的值中分别减去从X轴向主轴的运动方向编码器头收到的信号和从X轴向从轴的运动方向编码器头收到的信号，以生成通过各自的PID（Proportional-Integrate-Derivative，比例积分微分）控制器256、259被递送给用于X轴向主轴和X轴向从轴的驱动马达的各自的控制信号。
使用上述用于补偿动态和热形变误差的系统的线性运动单平面机架平台可被用在用于制造、测量或检查半导体、LCD、LED、OLED、AMOLED、PCB、太阳能电池、CNT、陶瓷材料、化学材料、织物材料、生物材料等的所有设备中。在此情况下，用于制造、测量或检查那些的设备被本领域技术人员熟知，并且因此省略对其的详细描述。
本发明并不受到前述实施例和附图的限制。本领域技术人员可替换、修改和更改组成元素而不脱离本发明的技术概念。
对附图标记的说明
100 线性运动单平面机架平台
110 基座
121，122 线性边梁
131 垂直空气轴承
132 水平空气轴承
140 沿X轴方向移动的机架梁
151、152 移动托架
161、162 驱动马达
170 沿Y轴方向移动的滑块
181、182 驱动马达
200 用于实时补偿动态和热形变误差的系统
210 用于X轴反馈的二维位置测量单元
211 二维编码器标尺
212 运动方向编码器头
213 垂直方向编码器头
214 编码器安装块
220 用于Y轴反馈的二维位置测量单元
221 二维编码器标尺
222 运动方向编码器头
223，224 垂直方向编码器头
230 热固定点。

Claims (11)

1.一种用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统，包括：
第一二维位置测量单元，其被布置在分别位于所述线性运动单平面机架平台的两侧上的两个线性边梁中的每一个中，用于测量沿X轴方向移动的机架梁的位置以提供对其X轴运动的反馈；
第二二维位置测量单元，用于测量在所述沿X轴方向移动的机架梁上移动的沿Y轴方向移动的滑块的位置以提供对其Y轴运动的反馈；
热固定点，其被提供作为热参考以便测量所述沿X轴方向移动的机架梁的热膨胀；以及
补偿控制单元，用于通过基于从所述第一和所述第二二维位置测量单元收到的数据测量动态和热形变误差来实时地控制所述线性运动单平面机架平台的误差运动；
其中所述第一二维位置测量单元包括：
第一二维编码器标尺，其被安装在所述沿X轴方向移动的机架梁的两端中的每一端之下的基座上，其包括用于沿着所述运动方向以及垂直方向这两者进行测量的二维格栅；
第一运动方向编码器头，其被布置在所述第一二维编码器标尺的用于测量运动方向位移的运动方向测量栅格部分上；
第一垂直方向编码器头，其被布置在所述第一二维编码器标尺的用于测量垂直方向位移的垂直方向测量栅格部分上；以及
编码器安装块，用于将所述运动方向编码器头和所述垂直方向编码器头安装在所述沿X轴方向移动的机架梁上；
其中所述第二二维位置测量单元包括：
第二二维编码器标尺，其沿着所述Y轴运动方向被安装在所述沿X轴方向移动的机架梁的两侧中的每一侧上，其包括用于沿着所述运动方向以及所述垂直方向这两者进行测量的二维格栅；
第二运动方向编码器头，其被布置在所述第二二维编码器标尺的用于测量运动方向位移的运动方向测量栅格部分上；以及
第二垂直方向编码器头，其被布置在所述第二二维编码器标尺的垂直方向测量栅格部分上；
其中所述补偿控制单元针对从所述第一运动方向编码器头收到的信号执行平台映射，以生成结果得到的信号，所述结果得到的信号被加到从所述垂直方向编码器头收到的信号，并且所述补偿控制单元对相加的结果进行滤波以生成滤波后结果以便作为用于线性误差的参考信号更新Y轴控制循环。
2.根据权利要求1所述的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统，其中所述第二二维位置测量单元还包括与所述第二垂直方向编码器头分离开的第三垂直方向编码器头，所述第三垂直方向编码器头被布置在所述第二二维编码器标尺的用于测量垂直方向位移的垂直方向测量栅格部分上。
3.根据权利要求2所述的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统，其中所述沿Y轴移动的滑块的偏航误差是基于所述第二垂直方向编码器头和布置在沿所述Y轴运动方向安装在所述沿X轴移动的机架梁的一侧上的所述第二二维编码器标尺上的所述第三垂直方向编码器头之间的相对距离被测量的。
4.根据权利要求1所述的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统，其中，所述滤波是通过低通滤波器来进行的，以消除高频噪声分量，由此产生仅低频线性误差信号。
5.根据权利要求2所述的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统，其中所述补偿控制单元计算从所述第二垂直方向编码器头收到的信号与从所述第三垂直方向编码器头收到的信号之间的差，并对所述差进行滤波以生成所述滤波后结果，所述滤波后结果通过使用因子lg/(2.lc)被缩放，以作为用于偏航误差的参考信号更新X轴控制循环，其中所述第二和第三垂直方向编码器头被布置在沿所述Y轴运动方向安装在所述沿X轴移动的机架梁的一侧上的所述第二二维编码器标尺上；
所述lc是所述第二垂直方向编码器头和布置在沿所述Y轴运动方向安装在所述沿X轴移动的机架梁的一侧上的所述第二二维编码器标尺上的所述第三垂直方向编码器头之间的距离；以及
所述lg是分别布置在分别安装在所述沿X轴移动的机架梁的两端之下的所述基座上的所述第一二维编码器标尺上的所述第一垂直方向编码器头之间的距离。
6.根据权利要求5所述的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统，其中，所述滤波是通过低通滤波器来进行的，以消除高频噪声分量，由此产生仅低频偏航误差信号。
7.一种使用根据权利要求1-6中任一项所述的用于实时补偿线性运动单平面机架平台的动态和热形变误差的系统的平台设备。
8.根据权利要求7所述的平台设备，其被用在用于制造、测量或检查以下中的一个的设备中：半导体、LCD、LED、OLED、AMOLED、PCB、太阳能电池、CNT、陶瓷材料、化学材料、织物材料以及生物材料。
9.一种配备有根据权利要求7所述的平台设备的器材，用于制造以下中的一个：半导体、LCD、LED、OLED、AMOLED、PCB、太阳能电池、CNT、陶瓷材料、化学材料、织物材料以及生物材料。
10.一种配备有根据权利要求7所述的平台设备的器材，用于测量以下中的一个：半导体、LCD、LED、OLED、AMOLED、PCB、太阳能电池、CNT、陶瓷材料、化学材料、织物材料以及生物材料。
11.一种配备有根据权利要求7所述的平台设备的器材，用于检查以下中的一个：半导体、LCD、LED、OLED、AMOLED、PCB、太阳能电池、CNT、陶瓷材料、化学材料、织物材料以及生物材料。
CN201410726068.8A 2013-12-04 2014-12-04 补偿平台的动态和热形变误差的系统、平台设备和器材 Active CN104699118B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2013-0150059 2013-12-04
KR1020130150059A KR101448509B1 (ko) 2013-12-04 2013-12-04 직선 운동 평면 구동형 겐트리 스테이지의 동적 및 열변형 에러 실시간 보상 시스템, 스테이지 장치 및 제조, 계측 및 검사 장비

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104699118A CN104699118A (zh) 2015-06-10
CN104699118B true CN104699118B (zh) 2018-12-28

Family

ID=51996975

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410726068.8A Active CN104699118B (zh) 2013-12-04 2014-12-04 补偿平台的动态和热形变误差的系统、平台设备和器材

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9417633B2 (zh)
EP (1) EP2881699B1 (zh)
JP (1) JP6343549B2 (zh)
KR (1) KR101448509B1 (zh)
CN (1) CN104699118B (zh)
TW (1) TWI635377B (zh)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016084147A1 (ja) * 2014-11-26 2016-06-02 株式会社東京精密 ウェーハの検査方法
CN108139685B (zh) * 2015-09-30 2020-12-04 株式会社尼康 曝光装置、平面显示器的制造方法、组件制造方法、及曝光方法
CN111650818B (zh) * 2015-09-30 2024-03-15 株式会社尼康 曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法
WO2017057465A1 (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 株式会社ニコン 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法、並びに計測方法
CN106951597B (zh) * 2017-02-24 2020-03-20 上海理工大学 基于碳纤维材料热收缩性的电主轴热变形补偿设计方法
CN106933098B (zh) * 2017-02-24 2019-10-01 上海理工大学 平板型机械结构热变形补偿系统设计方法
US10508932B2 (en) * 2017-04-10 2019-12-17 Calnetix Technologies, Llc Measuring the position of an object using eddy-currents
JP7096009B2 (ja) * 2018-02-21 2022-07-05 株式会社ミツトヨ 位置検出エンコーダ及び位置検出エンコーダの製造方法
CN109000702A (zh) * 2018-05-16 2018-12-14 苏州汇川技术有限公司 编码器校正系统及方法
CN108919746B (zh) * 2018-07-05 2020-08-14 大连理工大学 一种转摆台的热误差测试与分析方法
CN108838627B (zh) * 2018-07-05 2020-04-28 大连理工大学 一种用于直观检测立式铣床热误差变化的样件加工方法
CN111750774B (zh) * 2019-03-29 2021-09-24 上海微电子装备（集团）股份有限公司 光学测量装置及方法
CN112113509B (zh) * 2019-06-20 2022-06-17 上海微电子装备（集团）股份有限公司 龙门式测量装置及龙门式测量方法
JP2022024542A (ja) * 2020-07-28 2022-02-09 芝浦機械株式会社 加工機、加工システム及び被加工物の製造方法
KR102500439B1 (ko) * 2020-12-30 2023-02-17 알에스오토메이션주식회사 정밀도가 향상된 갠트리 로봇
CN116214918A (zh) * 2023-01-05 2023-06-06 南京航空航天大学 一种大尺寸连续纤维高温3d打印机热床变形容忍结构

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5333386A (en) * 1991-10-17 1994-08-02 Carl-Zeiss-Stiftung Heidenheim/Brenz Method of measuring the effective instantaneous position of a slide-mounted probe element or tool
CN102364306A (zh) * 2010-06-18 2012-02-29 循环工程株式会社 使用编码器反馈、误差映射以及气压控制的误差补偿系统

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3312297B2 (ja) * 1999-07-02 2002-08-05 住友重機械工業株式会社 ステージ位置制御装置
US6949733B2 (en) * 2003-03-10 2005-09-27 Asm Technology Singapore Pte Ltd Determination of a movable gantry position including a dual measurement module
JP2008059016A (ja) * 2006-08-29 2008-03-13 Yaskawa Electric Corp 位置決め制御装置および位置決め制御方法
DE102006044358A1 (de) * 2006-09-20 2008-04-03 Etel S.A. Positioniereinrichtung in Portalbauweise
JP2008117968A (ja) * 2006-11-06 2008-05-22 Tokyo Seimitsu Co Ltd プローバ
JP5071131B2 (ja) * 2008-01-31 2012-11-14 東京エレクトロン株式会社 プローブ装置
DE102008010284A1 (de) * 2008-02-21 2009-08-27 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh XY-Tisch mit einer Messanordnung zur Positionsbestimmung
US7752003B2 (en) * 2008-06-27 2010-07-06 Hexagon Metrology, Inc. Hysteresis compensation in a coordinate measurement machine
TWM364561U (en) * 2008-09-02 2009-09-11 Prec Machinery Res & Dev Ct Thermal deformation compensating device for processing device
EP2270425A1 (en) * 2009-07-03 2011-01-05 Leica Geosystems AG Coordinate measuring machine (CMM) and method of compensating errors in a CMM
KR101144958B1 (ko) * 2009-09-14 2012-05-11 순환엔지니어링 주식회사 갠트리 구조형 스테이지의 직각도 오차 측정 방법 및 오차 보상 원점복귀 방법
WO2012024509A1 (en) * 2010-08-20 2012-02-23 First Solar, Inc. Position-sensitive metrology system
KR101689802B1 (ko) * 2010-10-26 2016-12-27 삼성전자 주식회사 겐트리 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5333386A (en) * 1991-10-17 1994-08-02 Carl-Zeiss-Stiftung Heidenheim/Brenz Method of measuring the effective instantaneous position of a slide-mounted probe element or tool
CN102364306A (zh) * 2010-06-18 2012-02-29 循环工程株式会社 使用编码器反馈、误差映射以及气压控制的误差补偿系统

Also Published As

Publication number Publication date
US20150153742A1 (en) 2015-06-04
CN104699118A (zh) 2015-06-10
KR101448509B1 (ko) 2014-10-13
US9417633B2 (en) 2016-08-16
JP6343549B2 (ja) 2018-06-13
TW201525636A (zh) 2015-07-01
JP2015109079A (ja) 2015-06-11
EP2881699A1 (en) 2015-06-10
TWI635377B (zh) 2018-09-11
EP2881699B1 (en) 2018-04-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104699118B (zh) 补偿平台的动态和热形变误差的系统、平台设备和器材
JP2015109079A5 (zh)
CN108351203B (zh) 提供精确坐标测量的方法、独立基准模块和坐标测量机
KR102245707B1 (ko) 위치 결정 장치
KR101943239B1 (ko) 갠트리 장치 및 제어 방법
CN105682831A (zh) 用于检查数控机床定位精度的方法和系统
CN106476278A (zh) 打印平台调校系统及其调校方法
JP6243530B2 (ja) 基板を移動させるための位置決め装置
CN110440721A (zh) 一种三维移动平台运动角误差快速测量装置及方法
EP2899500B1 (en) Method for compensating measurement errors due to thermally induced structural deformations in a coordinate measurement machine
CN108760025B (zh) 多柔性板振动检测装置及方法
CN106216994B (zh) 机械对位组装模组及工件对位组装方法
CN106513442B (zh) 一种高速板材厚度测量与保持装置
KR101014121B1 (ko) 기판의 표면을 검사하기 위한 측정 장치 및 측정 방법
CN102421542A (zh) 用于悬浮金属条的振动阻尼和形状控制的方法和系统
JP4291313B2 (ja) ヘッド作動制御装置及び制御方法及びステージ装置
CN205352323U (zh) 多传感器测量系统
CN107042630A (zh) 一种高度易扩展且高精度的3d打印机
CN107457121A (zh) 位置调整装置以及具有位置调整装置的密封胶涂布机
TWI466753B (zh) 動態變形自動修正裝置
US8819952B2 (en) Control device for a parallel slider device, control method and measuring device using same
KR20130048197A (ko) 공기압 리니어 가이드 방식의 병렬 슬라이더 장치 및 그 제어 방법 및 측정 장치
CN117451287A (zh) 基于二自由度磁耦合直线运动的柔性臂振动测控装置及方法
JP2019035777A (ja) 三次元座標測定装置
JP2011185437A (ja) 空気圧リニアガイド方式の並列スライダ装置およびその制御方法および測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant