CN104656529B - 用于基板加工的监控方法和监控装置 - Google Patents

用于基板加工的监控方法和监控装置 Download PDF

Info

Publication number
CN104656529B
CN104656529B CN201510001898.9A CN201510001898A CN104656529B CN 104656529 B CN104656529 B CN 104656529B CN 201510001898 A CN201510001898 A CN 201510001898A CN 104656529 B CN104656529 B CN 104656529B
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
information
predetermined process
status
status indication
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201510001898.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104656529A (zh
Inventor
姚成宜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOE Technology Group Co Ltd
Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOE Technology Group Co Ltd, Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical BOE Technology Group Co Ltd
Priority to CN201510001898.9A priority Critical patent/CN104656529B/zh
Publication of CN104656529A publication Critical patent/CN104656529A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104656529B publication Critical patent/CN104656529B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/406—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by monitoring or safety
    • G05B19/4063—Monitoring general control system

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

本发明提供一种用于基板加工的监控方法和监控装置，该监控方法包括：S10、检测处于检测工位的每个基板的状态信息，所述状态信息包括所述基板经过的每道工序的信息；S20、根据每个基板的状态信息判断每个基板的状态，并且，当每个基板的所述状态信息均包括预定工序信息时，执行步骤S30；当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，执行步骤S40；S30、控制每个基板进入预定工序的后一工序；S40、暂停对不包括所述预定工序信息的基板的加工。本发明可以防止未完成预定工序的基板直接进入后一工序而导致的基板报废等事故，且节省了人力。

Description

用于基板加工的监控方法和监控装置
技术领域
本发明用于显示装置的制作领域，具体涉及一种用于基板加工的监控方法和监控装置。
背景技术
在显示装置的制作过程中，对基板的加工通常是在生产产线上自动进行的：将摩擦处理后的基板放入卡夹后，当系统检测到每个基板均放入到卡夹后，控制每个基板自动进入下一工序。但是产线发生故障时，未经摩擦处理的基板也会放入卡夹，而自动进入下一工序，导致材料以及稼动损失，造成工序事故。如果在基板放入卡夹后，采用人工统计的方法统计未经摩擦的基板，不仅耗时耗力，还有可能统计出错，造成再次漏摩擦或重复摩擦的情况发生。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于基板加工的监控方法和监控装置，用于防止未经摩擦的基板进入摩擦工序后的下一工序。
为了实现上述目的，本发明提供一种用于基板加工的监控方法，该监控方法包括：
S10、检测处于检测工位的每个基板的状态信息，所述状态信息包括所述基板经过的每道工序的信息；
S20、根据每个基板的状态信息判断每个基板的状态，并且，当每个基板的所述状态信息均包括预定工序信息时，执行步骤S30；当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，执行步骤S40；
S30、控制每个基板进入预定工序的后一工序；
S40、暂停对不包括所述预定工序信息的基板的加工。
优选地，步骤S20包括：
S21、设置与所述状态信息中每道工序的信息相对应的状态标记；
S22、将被检测的基板的所述状态信息中的每道工序的信息转换成相应的状态标记；
S23、将被检测的基板的状态标记与对应于所述预定工序的状态标记对比，当被检测的基板的状态标记与对应于预定工序的状态标记一致时，则基板处于已完成预定工序的状态；当被监控的基板的状态标记与对应于预定工序的状态标记不一致时，则基板处于未完成预定工序的状态。
优选地，所述被检测的基板的状态标记包括：对应于预定工序的前一工序的状态标记和对应于预定工序的状态标记。
优选地，所述监控方法还包括在步骤S20之前进行的：
S01、生成所述状态信息中每道工序的信息与所述状态标记之间的映射关系表。
优选地，所述步骤S40之后还包括：
S41、产生报警信号。
优选地，所述步骤S40之后还包括：
S42、生成待处理信号，并将包括该待处理信号的工序信息添加至处于未完成预定工序的状态的基板的状态信息中；
S43、对包括待处理信号的基板进行预定工序处理。
优选地，步骤S43之后还包括：
S44、对每个基板的状态信息进行更新。
优选地，所述预定工序为摩擦工序。
相应地，本发明还提供一种用于基板加工的监控装置，包括：
检测模块，用于检测处于检测工位的每个基板的状态信息，其中，所述状态信息包括所述基板经过的每道工序的信息；
判断模块，用于根据所述状态信息判断每个基板的状态，且当每个基板的状态信息均包括预定工序信息时，所述判断模块发出第一判定信号；当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，所述判断模块发出第二判定信号；
控制模块，用于根据所述判断模块发出的信号对基板的加工进行控制，当该控制模块接收到所述判断模块发出的第一判定信号时，控制基板进入预定工序后的后一工序；当控制模块接收到判断模块发出的第二判定信号时，控制不包括所述预定工序信息的基板的加工工序暂停。
优选地，所述判断模块包括：
设置单元，用于设置与所述状态信息中每道工序的信息相对应的状态标记；
信息转换单元，用于将被检测的基板的状态信息中的每道工序的信息转换成相应的状态标记；
对比单元，用于将被检测的基板的状态标记与对应于所述预定工序的状态标记对比，当被检测的基板的状态标记与对应于预定工序的状态标记一致时，则发出第一判定信号；当被检测的基板的状态标记与对应于预定工序的状态标记不一致时，则发出第二判定信号。
优选地，所述被检测的基板的状态标记包括：对应于预定工序的前一工序的状态标记和对应于预定工序的状态标记。
优选地，所述监控装置还包括存储单元，用于存储所述状态信息中每道工序的信息与所述状态标记之间的映射关系表。
优选地，所述监控装置还包括报警模块，当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，所述控制模块控制所述报警模块产生报警信号。
优选地，当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，所述控制模块能够将包括待处理信号的工序信息添加至处于未完成预定工序的状态的基板的状态信息中，并控制包括待处理信号的基板进入预定工序。
优选地，所述监控装置还包括更新模块，当控制模块控制包括待处理信号的基板进入预定工序后，所述更新模块能够更新每个基板的状态信息。
优选地，所述预定工序为摩擦工序。
在本发明中，当每个基板的所述状态信息均包括预定工序信息时，表明每个基板均已完成预定工序，可以进入预定工序的后一工序；当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，则说明被检测基板还未经过预定工序，暂停未完成预定工序的基板的加工工序，从而防止出现基板还未完成预定工序就已经进入后一工序的现象，从而减少了基板报废等工序事故。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1是本发明的实施方式中用于基板加工的监控方法的流程示意图；
图2是本发明的实施方式中用于基板加工的监控装置的结构示意图。
其中，附图标记为：10、检测模块；20、判断模块；21、设置单元；22、信息转换单元；23、对比单元；24、存储单元；30、控制模块；40、报警模块；50、更新模块。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
作为本发明的一方面，提供一种用于基板加工的监控方法，如图1所示，该监控方法包括：
S10、检测处于检测工位的每个基板的状态信息，所述状态信息包括所述基板经过的每道工序的信息；
S20、根据每个基板的状态信息判断每个基板的状态，并且，当当每个基板的所述状态信息均包括预定工序信息时，执行步骤S30；当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，执行步骤S40；
S30、控制每个基板进入预定工序的后一工序；
S40、暂停加工工序。
在基板加工的产线上包括多个工序，所述状态信息包括所述基板经过的每道工序的信息，即每当基板完成一道工序，系统的处理单元可以记录基板已经经过这道工序。
因此，当每个基板的所述状态信息均包括预定工序信息时，表明每个基板均已完成预定工序，可以进入预定工序的后一工序；当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，则说明被检测基板还未经过预定工序，暂停未完成预定工序的基板的加工工序，从而防止出现基板还未完成预定工序就已经进入后一工序的现象，从而减少了基板报废等工序事故。例如，所述预定工序为摩擦取向工序时，本发明的监控方法就可以防止出现未经过摩擦的基板直接进入后一工序的现象。
通常，在基板加工的产线上，多个基板设置在卡夹内，卡夹内用于固定基板的卡槽即为所述检测工位。因此，当多个基板设置在同一卡夹内时，执行步骤S40时，暂停对未完成预定工序的基板的加工的同时，其他已完成预定工序的基板的加工也可以一并暂停。
作为本发明的一种具体实施方式，所述步骤S20包括：
S21、设置与所述状态信息中每道工序的信息相对应的状态标记；
S22、将被检测的基板的所述状态信息中的每道工序的信息转换成相应的状态标记；
S23、将被检测的基板的状态标记与对应于所述预定工序的状态标记对比，当被检测的基板的状态标记与对应于预定工序的状态标记一致时，则基板处于已完成预定工序的状态；当被监控的基板的状态标记与对应于预定工序的状态标记不一致时，则基板处于未完成预定工序的状态。
将状态信息中的每道工序的信息转换成相应的状态标记后可以便于系统的处理模块判断出基板所处的状态。可以预先设置每道工序的信息所对应的状态标记，并保存在系统内。如，所述状态信息中的第一道工序的信息设置为“1”，第二道工序的信息设置为“2”等等。当基板经过第一道工序时，则基板的状态信息为基板经过第一道工序的信息，因此，基板的状态标记为“1”；当基板经过第二道工序时，基板的状态标记为“2”，依次类推。需要说明的是，基板所经过的每道工序时是顺次进行的，每个基板可以仅对应一个状态标记，即，当基板经过第一道工序时，基板对应的状态标记为“1”，而经过第二道工序后，将原来的状态标记“1”更新为“2”。
具体地，所述被检测的基板的状态标记包括：对应于预定工序的前一工序的状态标记和对应于预定工序的状态标记。
例如，设置预定工序的前一工序的信息所对应的状态标记为“F”，预定工序的信息所对应的状态标记为“T”，当被检测的基板完成预定工序的前一工序时，则被检测的基板的状态信息包括完成前一工序的信息，因此被检测的基板的状态标记为“F”，此时，可以判断出基板处于未完成预定工序的状态；当被检测的基板完成预定工序时，则被检测的基板的状态信息包括完成预定工序的信息，因此被检测的基板的状态标记为“T”，此时，可以判断出基板处于已完成预定工序的状态。
为了便于状态信息中的每道工序的信息和状态标记之间的转换，所述监控方法还包括在步骤S20之前进行的：
S01、生成所述状态信息中每道工序的信息与所述状态标记之间的映射关系表。
所述映射关系表可以预先保存在系统中，当检测到基板经过某一道工序时，通过该映射关系表可以方便地将基板经过该工序的信息转换成相应的状态标记，从而判断出基板的状态。
本发明的监控方法还包括在所述步骤S40之后的步骤：
S41、产生报警信号。
当被检测的基板的状态信息中不包括预定工序信息时，即基板处于未完成预定工序的状态时，将加工工序暂停，同时产生报警信号，如亮起红灯、响起报警声音等，以提醒操作人员注意。步骤S41可以在步骤S40之后进行，也可以和步骤S40同步进行。
进一步地，所述步骤S40之后还包括：
S42、生成待处理信号，并将包括该待处理信号的工序信息添加至处于未完成预定工序的状态的基板的状态信息中；
S43、对包括待处理信号的基板进行预定工序处理。
当检测出处于未完成预定工序的基板时，向该基板的状态信息中添加待处理信号，系统的处理单元可以根据所述处理信号控制所述未完成预定工序的基板进行摩擦处理，使得加工工序自动化进行，不需要人工查找未完成预定工序的基板，减少了人力和时间，且减少了人工查找造成的误查。
如上文中所述，多个基板可以设置在卡夹内的多个卡槽内。检测基板的状态信息时，可以首先检测卡槽内是否存在基板，并生成相应的标记，检测基板的状态信息时，只需对存在基板的卡槽进行检测即可。而当检测每个基板的状态信息后，可以对每个基板分配待处理标记(即待处理信号)，例如，检测前存在基板的卡槽所对应的标记为“O”，不存在基板的卡槽所对应的标记为“X”，检测时只检测“O”对应的卡槽内的基板；检测出每个基板的状态后，为处于已完成预定工序状态的基板分配待处理标记“X”，为处于未完成预定工序状态的基板分配待处理标记“O”，从而对“O”对应的基板进行预定工序的处理。
更进一步地，步骤S43之后还包括：
S44、对每个基板的状态信息进行更新。当对处于未完成预定工序状态的基板进行预定工序的处理后，将其状态信息更新为包括预定工序信息的状态信息，即将基板的状态标记更新为预定工序对应的状态工序，以表明基板处于已完成预定工序的状态。
在本发明中，所述预定工序可以为对基板进行摩擦取向的摩擦工序，本发明的监控方法可以保证每个基板在完成摩擦工序的前提下才进入摩擦工序的后一工序，防止未经摩擦的基板进入后一工序而导致的基板报废等问题。当然，所述预定工序还可以生产流水线上的其他工序。
作为本发明的另一方面，提供一种用于基板加工的监控装置，如图2所示，包括：
检测模块10，用于检测处于检测工位的每个基板的状态信息，其中，所述状态信息包括所述基板经过的每道工序的信息；
判断模块20，用于根据所述状态信息判断每个基板的状态；
控制模块30，用于根据判断模块20发出的信号对基板的加工进行控制，当该控制模块30接收到所述判断模块发出的第一判定信号时，控制基板进入预定工序后的后一工序；当控制模块接收到判断模块发出的第二判定信号时，控制不包括所述预定工序信息的基板的加工工序暂停。上文中的处理模块即为包括判断模块20和控制模块30的部分。
如上文中所述，可以将基板的状态信息中的每道工序的信息转换成相应的状态标记，从而根据所述状态标记判断基板的状态。具体地，判断模块20包括：
设置单元21，用于设置与所述状态信息中每道工序的信息相对应的状态标记；
信息转换单元22，用于将被检测的基板的状态信息中的每道工序的信息转换成相应的状态标记；
对比单元23，用于将被检测的基板的状态标记与对应于所述预定工序的状态标记对比，当被检测的基板的状态标记与对应于预定工序的状态标记一致时，表明基板处于已完成预定工序的状态，此时可以发出第一判定信号，使得控制模块30控制基板进入后一工序；当被检测的基板的状态标记与对应于预定工序的状态标记不一致时，则基板处于未完成预定工序的状态，此时，可以发出第二判定信号，使得控制模块30控制基板暂停加工。
具体地，所述被检测的基板的状态标记包括：对应于预定工序的前一工序的状态标记和对应于预定工序的状态标记。
进一步地，所述监控装置还包括存储单元24，用于存储所述状态信息中每道工序的信息与所述状态标记之间的映射关系表。信息转换单元22可以根据该映射关系表将状态信息中的每道工序的信息转换成相应的状态标记，以便于对基板的状态的判断。
如图2所示，本发明的监控装置还包括报警模块40，当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，控制模块30控制报警模块40产生报警信号。报警模块40可以包括指示灯或音频输出器件等。
进一步地，当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，控制模块30可以将包括待处理信号的工序信息添加至处于未完成预定工序的状态的基板的状态信息中，并控制包括待处理信号的基板进入预定工序。控制模块30根据基板的状态对基板的加工进行自动控制，不需要人工进行手动统计，从而提高了生产效率，节省了人力，且减少了人工统计的错误时造成的重复摩擦或漏摩擦的现象。
监控装置还可以包括更新模块50，当控制模块30控制包括待处理信号的基板进入预定工序后，更新模块50可以更新每个基板的状态信息。当处于未完成预定工序状态的基板进入预定工序后，则基板的状态信息中包括预定工序的信息，从而表明该基板处于已完成预定工序的状态。当每个基板均处于已完成预定工序的状态时，即可控制所有基板进入后一工序，实现基板加工的自动化进行。
如上文中所述，所述预定工序可以为对基板进行摩擦取向的摩擦工序。
上述对本发明提供的基板加工的监控方法和监控装置的描述，可以看出，在基板加工的产线上，本发明通过判断基板的状态来控制基板是否进行后一工序，当基板的状态信息中不包括预定工序信息时，则表明基板为经过预定工序，这时控制加工工序停止，并产生报警信号通知操作人员；然后自动将未完成预定工序的基板进入预定工序，只有当所有的基板均已完成预定工序时，才控制基板进入后一工序，从而防止未经过预定工序的基板进入后一工序而导致的材料浪费等工序事故，同时减少了人力，节约了生产成本，提高了生产效率。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (14)

1.一种用于基板加工的监控方法，其特征在于，该监控方法包括：
S10、检测处于检测工位的每个基板的状态信息，所述状态信息包括所述基板经过的每道工序的信息；
S20、根据每个基板的状态信息判断每个基板的状态，并且，当每个基板的所述状态信息均包括预定工序信息时，执行步骤S30；当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，执行步骤S40；
S30、控制每个基板进入预定工序的后一工序；
S40、暂停对不包括所述预定工序信息的基板的加工；
步骤S20包括：
S21、设置与所述状态信息中每道工序的信息相对应的状态标记；
S22、将被检测的基板的所述状态信息中的每道工序的信息转换成相应的状态标记；
S23、将被检测的基板的状态标记与对应于所述预定工序的状态标记对比，当被检测的基板的状态标记与对应于预定工序的状态标记一致时，则基板处于已完成预定工序的状态；当被检测的基板的状态标记与对应于预定工序的状态标记不一致时，则基板处于未完成预定工序的状态。
2.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，所述被检测的基板的状态标记包括：对应于预定工序的前一工序的状态标记和对应于预定工序的状态标记。
3.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，所述监控方法还包括在步骤S20之前进行的：
S01、生成所述状态信息中每道工序的信息与所述状态标记之间的映射关系表。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的监控方法，其特征在于，所述步骤S40之后还包括：
S41、产生报警信号。
5.根据权利要求1至3中任意一项所述的监控方法，其特征在于，所述步骤S40之后还包括：
S42、生成待处理信号，并将包括该待处理信号的工序信息添加至处于未完成预定工序的状态的基板的状态信息中；
S43、对包括待处理信号的基板进行预定工序处理。
6.根据权利要求5所述的监控方法，其特征在于，步骤S43之后还包括：
S44、对每个基板的状态信息进行更新。
7.根据权利要求1至3中任意一项所述的监控方法，其特征在于，所述预定工序为摩擦工序。
8.一种用于基板加工的监控装置，其特征在于，包括：
检测模块，用于检测处于检测工位的每个基板的状态信息，其中，所述状态信息包括所述基板经过的每道工序的信息；
判断模块，用于根据所述状态信息判断每个基板的状态，且当每个基板的状态信息均包括预定工序信息时，所述判断模块发出第一判定信号；当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，所述判断模块发出第二判定信号；
控制模块，用于根据所述判断模块发出的信号对基板的加工进行控制，当该控制模块接收到所述判断模块发出的第一判定信号时，控制基板进入预定工序后的后一工序；当控制模块接收到判断模块发出的第二判定信号时，控制不包括所述预定工序信息的基板的加工工序暂停，
所述判断模块包括：
设置单元，用于设置与所述状态信息中每道工序的信息相对应的状态标记；
信息转换单元，用于将被检测的基板的状态信息中的每道工序的信息转换成相应的状态标记；
对比单元，用于将被检测的基板的状态标记与对应于所述预定工序的状态标记对比，当被检测的基板的状态标记与对应于预定工序的状态标记一致时，则发出第一判定信号；当被检测的基板的状态标记与对应于预定工序的状态标记不一致时，则发出第二判定信号。
9.根据权利要求8所述的监控装置，其特征在于，所述被检测的基板的状态标记包括：对应于预定工序的前一工序的状态标记和对应于预定工序的状态标记。
10.根据权利要求9所述的监控装置，其特征在于，所述监控装置还包括存储单元，用于存储所述状态信息中每道工序的信息与所述状态标记之间的映射关系表。
11.根据权利要求8至10中任意一项所述的监控装置，其特征在于，所述监控装置还包括报警模块，当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，所述控制模块控制所述报警模块产生报警信号。
12.根据权利要求8至10中任意一项所述的监控装置，其特征在于，当被检测基板的所述状态信息中不包括预定工序信息时，所述控制模块能够将包括待处理信号的工序信息添加至处于未完成预定工序的状态的基板的状态信息中，并控制包括待处理信号的基板进入预定工序。
13.根据权利要求12所述的监控装置，其特征在于，所述监控装置还包括更新模块，当控制模块控制包括待处理信号的基板进入预定工序后，所述更新模块能够更新每个基板的状态信息。
14.根据权利要求12所述的监控装置，其特征在于，所述预定工序为摩擦工序。
CN201510001898.9A 2015-01-04 2015-01-04 用于基板加工的监控方法和监控装置 Expired - Fee Related CN104656529B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510001898.9A CN104656529B (zh) 2015-01-04 2015-01-04 用于基板加工的监控方法和监控装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510001898.9A CN104656529B (zh) 2015-01-04 2015-01-04 用于基板加工的监控方法和监控装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104656529A CN104656529A (zh) 2015-05-27
CN104656529B true CN104656529B (zh) 2017-08-29

Family

ID=53247799

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510001898.9A Expired - Fee Related CN104656529B (zh) 2015-01-04 2015-01-04 用于基板加工的监控方法和监控装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104656529B (zh)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101357290B1 (ko) * 2006-10-06 2014-01-28 가부시끼가이샤 도시바 가공 종점 검지방법, 연마방법 및 연마장치
JP5179767B2 (ja) * 2007-03-12 2013-04-10 株式会社日立国際電気 基板処理装置及びその表示方法、データ収集方法、並びにイベント収集プログラム
CN103280414B (zh) * 2013-04-28 2015-03-11 合肥京东方光电科技有限公司 一种异物不良点监控方法及监控装置
CN103792715B (zh) * 2014-01-27 2017-01-25 北京京东方显示技术有限公司 一种显示基板制造方法、系统及装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN104656529A (zh) 2015-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105783198B (zh) 空调器及其故障显示方法
CN110750413B (zh) 多机房温度报警方法、装置及存储介质
CN101937036A (zh) 电器故障检测方法、装置及系统
CN111105565A (zh) 一种换电柜的离线换电池方法及系统
CN102735860B (zh) 一种体液检验流水线工作站样本处理方法、装置及系统
CN106371052A (zh) 智能电表的安全监控方法、装置及系统
CN101894083A (zh) 中断处理设备以及方法
CN111267618A (zh) 一种汽车电池热失控预警控制方法及系统
CN104424078A (zh) 减少浮动告警信息的方法及系统
CN208537658U (zh) 一种智能提醒漏电报警系统
CN115476730A (zh) 动力电池的热失控监控方法、装置及存储介质
CN104656529B (zh) 用于基板加工的监控方法和监控装置
CN100458859C (zh) 一种告警信息的处理方法
CN105738790A (zh) 车辆变流器自检测方法、装置与系统
CN106124999A (zh) 一种在线检测蓄电池组中某一电池漏液的方法和装置
CN203204127U (zh) 电子密码锁电路测试仪
CN101895438A (zh) 告警模拟方法、系统及告警正确性检测方法、系统
CN205941834U (zh) 一种在线检测蓄电池组中某一电池漏液的装置
CN110456193B (zh) 一种电能表自动检定流水线贴标智能在线监测方法及系统
CN106776169A (zh) 一种测试服务器的psu的方法及装置
CN107355949A (zh) 一种空调故障检查学习方法
JP2009276234A (ja) ガス漏洩検出装置
JP2014232413A (ja) 製造実行システムの異常管理装置
CN111123398A (zh) 基于探测仪的加液检测方法、装置及电子设备
CN109557897B (zh) 通知控制装置、通知控制系统、通知控制方法及存储介质

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20170829

Termination date: 20210104