CN104630713A - 连线装置及应用其的oled生产线 - Google Patents

Abstract

本发明提供的连线装置及应用其的OLED生产线，其包括机架、箱体舱和工作舱，机架的底部具有多个移动轮；箱体舱固定在机架上，在箱体舱内设置有旋转轴和与之连接的用于承载工件的至少两个工件框架，旋转轴在旋转时带动至少两个工件框架沿旋转轴旋转，以使至少两个工件框架逐一经过与工作舱相对应的位置处；工作舱固定在机架上，工作舱具有第一密封机构和第二密封机构，工作舱通过第一密封机构与箱体舱连通或隔离，以及通过第二密封机构与真空镀膜设备的真空腔室对接或脱离。本发明提供的连线装置可以在真空或高纯氮气的保护下，实现对多个工件的传输和装卸。本发明提供的OLED生产线大大提高了OLED的生产效率和产量。

Description

连线装置及应用其的OLED生产线

技术领域

本发明涉及OLED制造领域，具体涉及一种连线装置及应用其的OLED生产线。

背景技术

真空蒸镀是有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode，以下简称OLED）器件制备过程的主要方法之一，其基本原理是在高真空环境中，将蒸发材料加热至蒸发温度进行蒸发之后再冷凝在镀膜基体上形成薄膜。随着OLED产业的不断发展，相关生产企业的竞争越来越激烈，降低成本、提高生产效率则是提高企业竞争力的常用手段。例如，为了提高生产效率，降低产品成本，通常采用由多台全自动的真空镀膜设备构成的生产线进行大批量加工，以应对日益增加的市场需求。

在目前的OLED生产线中，通常是每台真空蒸镀设备每道工序仅蒸镀一个膜层，而且，由于在不同真空蒸镀设备之间转移工件都必须在真空或高纯氮气的保护下实施，因而上述真空蒸镀设备生产线需采用整体、连续的线性方式进行真空高纯氮气保护，这使得该生产线的占地空间较大、配套厂房及相关设施的成本较高。例如，一条蒸镀尺寸为470*370mm的工件、生产速度为每分钟完成2片的真空蒸镀设备生产线，其总长度达50m以上，这就要求容纳该生产线的厂房的层高不低于5m，且还需对厂房下挖1m，以预埋各种管道。

而且，OLED的膜层通常具有有机膜层、无机膜层以及层间掺杂层等的共计18层以上膜层，而且在上述真空蒸镀设备生产线中，每台真空蒸镀设备每道工序仅蒸镀一种膜层，且每道工序均需进行一次抽真空过程，即：在工件进入真空腔室之前向真空腔室充入保护性气体；在工件进入真空腔室之后对真空腔室抽真空；对工件进行蒸镀工艺。上述抽真空过程占据了整个蒸镀工艺的大部分时间，从而上述蒸镀设备生产线的生产效率较低。

为此，申请号为“201310209692.6”、发明名称为“一种具有双旋转机构的OLED镀膜机”的中国专利申请中公开了一种真空蒸镀设备，其包括机架、真空室、多个钼舟、动力系统、钼舟通电加热系统以及仪表柜。该镀膜机通过在真空室内设计工件双旋转机构支架，充分扩大了工件装夹面积，从而不仅可以实现每道工序同时对多个工件进行蒸镀，而且还可以提高镀膜材料的利用率。

利用上述OLED镀膜机的优势，可以采用“分堆式”生产线代替现有技术中所采用的整体、连续的线性生产线，顾名思义，“分堆式”生产线是将OLED的多层膜层遵循蒸镀工序的先后顺序进行分配而形成若干个膜层堆，每层膜层堆借助两台上述OLED镀膜机蒸镀该膜层堆被分配到的膜层，每台OLED镀膜机每道工序可同时对多个工件蒸镀多层膜层，由此，只要能够有一种在同一或不同膜堆的两台真空镀膜设备之间传输和装卸工件的连线装置，就可以使多个工件同时完成所有膜层的蒸镀，从而实现“分堆式”连续制造OLED的生产线，即，不再像现有技术的生产线所采用的多个工件逐一完成所有的蒸镀工序，而是一定数量的工件同时完成所有的蒸镀工序。

此外，除了要求上述连线装置能够在同一或不同膜堆的两台真空镀膜设备之间传输和装卸工件之外，还要求连线装置能够同时传输多个工件，以能够装载单台真空镀膜设备单次蒸镀的所有工件，而且，由于在不同真空蒸镀设备之间转移工件都必须在真空或高纯氮气的保护下实施，因而还要求连线装置能够在真空或高纯氮气的保护下实现对多个工件的传输和装卸。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种连线装置及应用其的OLED生产线，其可以在真空或高纯氮气的保护下，实现对多个工件的传输和装卸。

为实现本发明的目的而提供一种连线装置，用于向真空镀膜设备的真空腔室传输和装卸工件，其包括机架、箱体舱和工作舱，其中所述机架的底部具有多个移动轮；所述箱体舱固定在所述机架上，在所述箱体舱内设置有旋转轴和与之连接的用于承载工件的至少两个工件框架，所述旋转轴在旋转时带动所述至少两个工件框架沿所述旋转轴的周向旋转，以使所述至少两个工件框架逐一经过与所述工作舱相对应的位置处；所述工作舱固定在所述机架上，所述工作舱具有第一密封机构和第二密封机构，所述工作舱通过所述第一密封机构与所述箱体舱连通或隔离，以及通过所述第二密封机构与所述真空镀膜设备的真空腔室对接或脱离。

其中，每个工件框架具有沿竖直方向间隔设置的锁紧装置，每个锁紧装置包括一对支撑件和四个弹性凹形件，其中，所述一对支撑件彼此相对地分别设置在所述工件框架内的两个侧壁上；所述四个弹性凹形件分别包覆一个工件的四个角，并由该对支撑件夹持固定在中间。

其中，在每个工件框架与所述旋转轴之间设置有支撑臂，所述支撑臂的一端与所述旋转轴固定连接，所述支撑臂的另一端与所述工件框架的顶部铰接。

其中，所述连线装置还包括工件框架控制单元，用于控制所述工件框架在每停顿固定时长之后旋转预定角度，以使各个工件框架逐一旋转至与所述工作舱相对应的位置处，并且每个工件框架在该位置处停顿所述固定时长。

优选的，所述工件框架控制单元在10s～1h的连续范围内调节所述固定时长。

优选的，所述至少两个工件框架沿所述旋转轴的周向均匀分布。

其中，所述工作舱包括彼此连通的操作室和过渡室，其中所述操作室通过所述第一密封机构与所述箱体舱连通或隔离；所述过渡室采用可伸缩的柔性结构，并通过所述第二密封机构与所述真空镀膜设备的真空腔室对接或脱离；在所述操作室的室壁上设置有可由外向内伸入所述操作室的至少两套真空手套，所述真空手套用于供人的手部伸入所述工作舱内，并在所述箱体舱和所述真空镀膜设备的真空腔室之间传递工件。

优选的，所述真空手套为两套，其中一套真空手套位于靠近所述箱体舱的位置处；其中另一套真空手套位于靠近所述真空镀膜设备的真空腔室的位置处。

其中，所述第一密封机构包括连通所述操作室与所述箱体舱的第一开口，以及用于开启或关闭所述第一开口的第一密封门。

其中，所述第一密封门的数量为两道，所述两道第一密封门相对且间隔设置，并且所述操作室与所述箱体舱采用气密性对接的方式彼此锁紧，以密封所述两道第一密封门之间的间隔空间。

其中，所述第二密封机构包括在所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室相互对接时，连通所述过渡室与真空腔室的第二开口，以及用于开启或关闭所述第二开口的第二密封门。

其中，所述第二开口的尺寸大于所述真空腔室的室门尺寸，并且在所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室相互对接的两个对接面之间设置有密封件，所述密封件包围所述第二开口，用以在所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室相互对接时，密封所述第二密封门与所述真空腔室的室门之间的间隔空间。

优选的，所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室采用气密性对接的方式彼此锁紧。

优选的，所述过渡室的可伸缩的柔性结构为由瓦楞状橡胶和钢丝骨架形成的具有多个横向波纹的管状结构。

其中，所述连线装置还包括辅助舱，所述辅助舱固定在所述机架上，且位于所述工作舱的底部，所述辅助舱用于容纳所述连线装置的电器设备；所述电器设备包括真空抽气装置、动力传动装置、热风循环装置、氮气气缸以及进出气管道。

优选的，所述移动轮为万向轮。

优选的，在所述机架的底部还设置有可伸缩的定位装置，所述定位装置在需要所述机架通过所述移动轮移动时回缩，以与地面相分离，在所述机架移动至预设位置时伸出，以与地面相接触。

优选的，所述旋转轴垂直于竖直平面。

作为另一个技术方案，本发明还提供一种OLED生产线，其包括遵循蒸镀OLED膜层工序的先后顺序分配而成的多个膜层堆，每个膜层堆包括两台可对多个工件蒸镀一层或多层膜层的真空镀膜设备，用于蒸镀其所在膜层堆被分配到的OLED膜层，所述OLED生产线还包括多台连线装置，用于在同一或不同膜层堆的两台真空镀膜设备之间传输和装卸工件，所述连线装置采用权利要求1-18任意一项所述的连线装置。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的连线装置，其不仅可以自由移动至与当前工序的真空镀膜设备对接的位置处，而且还可以通过第一密封机构使工作舱与箱体舱连通，通过第二密封机构使工作舱与真空镀膜设备的真空腔室对接，从而使箱体舱、工作舱和真空镀膜设备的真空腔室形成相互连通的密封空间，此时通过对该密封空间进行抽真空或者注入高纯氮气，可以实现工件的装卸过程均在真空或高纯氮气的保护下进行。而且，通过借助旋转轴在旋转时带动用于承载工件的至少两个工件框架沿旋转轴的周向旋转，以使至少两个工件框架逐一经过与工作舱相对应的位置处，可以实现将真空镀膜设备内的完成当前工序的工件传递至工件框架（空置的）上，而后将其余工件框架上的完成前一工序的工件传递至真空镀膜设备内，从而可以实现一次性装卸一台真空镀膜设备单次工艺的所有工件。此外，通过第一密封机构使工作舱与箱体舱隔离，通过第二密封机构使工作舱与真空镀膜设备的真空腔室脱离，可以使箱体舱和工作舱各自形成密封空间，从而只需要通过对箱体舱单独进行抽真空或者注入高纯氮气，就可以保证连线装置在运输工件的过程中也在真空或高纯氮气的保护下进行。

本发明提供的OLED生产线，其通过采用本发明提供的上述连线装置，以及可对多个工件蒸镀一层或多层膜层的真空镀膜设备，并通过遵循蒸镀OLED膜层工序的先后顺序将所需蒸镀的所有OLED膜层分配形成多个膜层堆，不仅可以减小占地空间、减少真空镀膜设备的配置数量、降低配套厂房及相关设施的投资和运行成本，而且还可以实现多个工件同时完成所有OLED膜层的蒸镀，并仅需在连线装置与真空镀膜设备的真空腔室相互对接之后，对由工作舱、箱体舱以及真空镀膜设备的真空腔室形成的密封空间进行一次抽真空过程即可，这与现有技术的生产线所采用的多个工件逐一完成所有的蒸镀工序相比，可以提高生产线的生产效率和产量。例如，在本发明提供的OLED生产线中，若每台真空镀膜设备每道工序同时蒸镀16个工件，则每蒸镀16个工件才需进行一次抽真空过程，与之相比，在现有技术所采用的生产线中，由于蒸镀16个工件需要轮流送入一台真空镀膜设备进行一道工序，且每道工序均需进行一次抽真空过程，因而16个工件完成一道工序需进行16次抽真空过程，因此，本发明提供的OLED生产线，大大提高了OLED的生产效率和产量。

附图说明

图1为本发明实施例提供的连线装置的原理框图；

图2为本发明实施例提供的连线装置的立体示意图；

图3为本发明实施例提供的连线装置的俯视图；

图4A为图1中工件框架的立体图；

图4B为四个角分别具有弹性凹形件的工件的立体图；

图4C为工件框架的锁紧装置的装配示意图；

图5为工件框架的旋转过程示意图；以及

图6为本发明实施例提供的OLED生产线的示意图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的连线装置及应用其的OLED生产线进行详细描述。

下述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“竖直方向”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

在本发明的描述中，“地面”均是指承载本发明实施例提供的连线装置的表面。

在本发明的描述中，“真空蒸镀设备”均是采用现有技术中可对多个工件蒸镀一层或多层膜层的真空镀膜设备，该真空镀膜设备的具体结构可参考申请号为“201310209692.6”、发明名称为“一种具有双旋转机构的OLED镀膜机”的中国专利申请中提及的OLED镀膜机，在此不再赘述。

图1为本发明实施例提供的连线装置的原理框图。请参阅图1，连线装置用于向真空镀膜设备的真空腔室6传输和装卸工件，其包括机架1、箱体舱3和工作舱4。其中，机架1的底部具有多个移动轮2；箱体舱3固定在机架1上，在箱体舱3内设置有旋转轴和与之连接的用于承载工件的至少两个工件框架，该旋转轴在旋转时带动至少两个工件框架沿旋转轴的周向旋转，以使至少两个工件框架逐一经过与工作舱4相对应的位置处。工作舱4固定在机架1上，工作舱4具有第一密封机构34和第二密封机构41，工作舱4通过第一密封机构34与箱体舱3连通或隔离，以及通过第二密封机构41与真空镀膜设备的真空腔室6对接或脱离。

本发明提供的连线装置，其不仅可以通过移动轮2自由移动至与当前工序的真空镀膜设备对接的位置处，而且还可以通过第一密封机构34使工作舱4与箱体舱3连通，通过第二密封机构41使工作舱4与真空镀膜设备的真空腔室6对接，从而使箱体舱3、工作舱4和真空镀膜设备的真空腔室6形成相互连通的密封空间，此时通过对该密封空间进行抽真空或者注入高纯氮气，可以实现工件的装卸过程均在真空或高纯氮气的保护下进行。而且，通过借助旋转轴在旋转时带动用于承载工件的至少两个工件框架沿旋转轴的周向旋转，以使至少两个工件框架逐一经过与工作舱相对应的位置处，可以实现将真空镀膜设备内的完成当前工序的工件传递至工件框架（空置的）上，而后将其余工件框架上的完成前一工序的工件传递至真空镀膜设备内，从而可以实现一次性装卸一台真空镀膜设备单次工艺的所有工件。此外，通过第一密封机构34使工作舱4与箱体舱3隔离，通过第二密封机构41使工作舱4与真空镀膜设备的真空腔室6脱离，可以使箱体舱3和工作舱4各自形成密封空间，从而只需要通过对箱体舱3单独进行抽真空或者注入高纯氮气，就可以保证连线装置在运输工件的过程中也在真空或高纯氮气的保护下进行。

下面对本发明提供的连线装置的一个具体实施例进行详细描述。具体地，图2为本发明实施例提供的连线装置的立体示意图。图3为本发明实施例提供的连线装置的俯视图。请一并参阅图2和图3，包括机架1、箱体舱3、工作舱4、工件框架控制单元（图中未示出）和辅助舱5。

在本实施例中，布置在机架1底部的移动轮2可以采用万向轮，以允许操作人员朝向任意方向推动机架1移动，从而可以使连线装置自由移动至与当前工序的真空镀膜设备对接的位置处。而且，在机架1的底部还设置有可伸缩的定位装置11，定位装置11在需要机架1移动时回缩，以与地面分离，此时机架1可通过移动轮2自由移动；定位装置11在机架1移动至预设位置时伸出，以与地面接触，此时机架1因定位装置11与地面之间产生的摩擦阻力而相对于地面固定不动。

箱体舱3固定在机架1上，在箱体舱3内设置有旋转轴32和与之连接的用于承载工件的至少两个工件框架31，旋转轴32水平设置，即，垂直于竖直平面，并在旋转时带动至少两个工件框架31沿旋转轴32的周向（即，在竖直平面内）旋转，以使至少两个工件框架31逐一经过与工作舱4相对应的位置处。容易理解，至少两个工件框架31沿旋转轴32的周向在竖直平面内旋转，可以最大程度地节省工件框架31在水平方向上的占用空间，从而可以减小箱体舱3的横向体积。当然，本发明并不局限于此，在实际应用中，旋转轴32也可以相对于竖直平面倾斜，甚至平行于竖直平面，即，至少两个工件框架31在倾斜于竖直平面的平面内，或者在垂直于竖直平面的平面内旋转，只要至少两个工件框架可以逐一经过与工作舱相对应的位置处即可。

如图1和图5所示，在本实施例中，工件框架31的数量为六个，且六个工件框架31沿旋转轴32的周向均匀分布；并且，六个工件框架31在旋转轴32的带动下旋转时，逐一经过与工作舱4相对应的装卸位置（即，图5中1号工件框架31所在位置处）。在实际应用中，工件框架的数量可以根据具体情况（例如工件框架在旋转轴周向上的占用空间、旋转轴的承重等等）自由设定，只要其能够保证工件框架能够围绕旋转轴正常运转即可。

工件框架控制单元用于控制工件框架31在每停顿固定时长之后旋转预定角度，以使各个工件框架31逐一旋转至上述装卸位置，并且每个工件框架在该装卸位置处停顿固定时长，由此，操作人员可在该固定时长内通过工作舱4在真空蒸镀设备的真空腔室6与箱体舱3内的工件框架31之间装卸工件。如图5所示，当其中一个工件框架31到达上述装卸位置时，所有工件框架31停止旋转，此时处于装卸位置上的工件框架31（如图5中所示的1号工件框架31）与工作舱4相对应；有两个工件框架31的高度最高（如图5中所示的2号、3号工件框架31），且二者在水平方向上相互平齐；有两个工件框架31的高度最低（如图5中所示的5号、6号工件框架31），且二者在水平方向上相互平齐。

容易理解，上述工件框架控制单元的控制方式在工件框架31匀速旋转的前提下，要求所有工件框架31沿旋转轴32的周向均匀分布，以确保每经过上述固定时长就有其中一个工件框架31到达上述装卸位置。优选的，工件框架控制单元可以在10s～1h的连续范围内调节固定时长。当然，在实际应用中，所有工件框架31也可以沿旋转轴32的周向非均匀分布，在这种情况下，可根据每相邻两个工件框架31之间的旋转角度的设定规则，设定工件框架控制单元的控制规则，只要保证每次停顿均有一个工件框架到达上述装卸位置即可。

在实际应用中，也可以采用手动的方式控制工件框架31旋转，并在相应的工件框架31旋转至上述装卸位置处之后手动控制所有工件框架31停止继续旋转，容易理解，手动控制方式即为手动驱动旋转轴旋转，从而带动工件框架同步旋转，在这种情况下，无需设置固定时长，操作人员可根据具体情况自由操作。

在本实施例中，在每个工件框架31与旋转轴32之间设置有支撑臂33，支撑臂33的一端与旋转轴32固定连接，支撑臂33的另一端与工件框架31的顶部铰接。支撑臂33与工件框架31铰接的方式具体可以为，即：图4A为图1中工件框架的立体图。如图4A所示，在工件框架31的顶部横梁处设置有水平贯穿该顶部横梁的通孔，并在该通孔内设置有可旋转的转轴312，支撑臂33的另一端与该转轴312固定连接，从而实现支撑臂33与工件框架31的铰接。容易理解，上述通孔和转轴312设置在顶部横梁上的位置应保证铰接在支撑臂33上的工件框架31在沿旋转轴32的周向旋转时，始终使其内的工件保持大致水平。当然，在实际应用中，支撑臂与工件框架还可以采用其他任意连接方式，只要保证工件框架在沿旋转轴的周向旋转时，其内的工件能够保持水平即可，而无需限定支撑臂与工件框架铰接的方式。

下面对工件框架的具体结构进行详细描述。具体地，图4B为四个角分别具有弹性凹形件的工件的立体图。图4C为工件框架的锁紧装置的装配示意图。请一并参阅图4A-4C，每个工件框架31具有沿竖直方向间隔设置的锁紧装置，每个锁紧装置包括一对支撑件311和四个弹性凹形件313，其中，一对支撑件311彼此相对地分别设置在工件框架31内的两个侧壁上，即，如图4A所示，一对支撑件311分别设置在左右两个侧梁内侧，且位于同一水平面上；四个弹性凹形件313分别包覆一个工件的四个角，如图4B所示，每个弹性凹形件313具有一个凹部，弹性凹形件313通过该凹部与工件的其中一个角相配合。在向工件框架31内装载工件的过程中，如图4C所示，将每个工件安装于一对支撑件311之间，并利用四个弹性凹形件313的弹性实现将工件夹持固定在该对支撑件311中间（即，一对支撑件311的两个内端端部之间的水平间隔处）。借助弹性凹形件313，可以在装载有工件的工件框架31旋转过程中起到较好的减震效果。弹性凹形件313可以采用硅胶、橡胶等的弹性较好的材料制作。

下面对工作舱的具体结构进行详细描述。具体地，工作舱4包括彼此连通的操作室401和过渡室402，如图3所示。其中，操作室401通过第一密封机构34与箱体舱3连通或隔离，在本实施例中，第一密封机构34包括连通操作室401与箱体舱3的第一开口（图中未示出），以及用于开启或关闭该第一开口的第一密封门341。其中，第一密封门341的数量为两道，两道第一密封门341相对且间隔设置，并且操作室401与箱体舱3采用气密性对接的方式彼此锁紧，以密封两道第一密封门341之间的间隔空间。容易理解，上述第一开口可以为分别对应地设置在操作室401与箱体舱3彼此相对的舱室壁上的两个开口，两道第一密封门341中的其中一道密封门用于开启或关闭操作室401的开口，其中另一道密封门用于开启或关闭箱体舱3的开口。

而且，在操作室401的室壁上设置有可由外向内伸入操作室401的至少两套真空手套，真空手套用于供人的手部伸入工作舱4内，并在箱体舱3和真空镀膜设备的真空腔室6之间传递工件。

过渡室402采用可伸缩的柔性结构，并通过第二密封机构41与真空镀膜设备的真空腔室6对接或脱离。在本实施例中，第二密封机构41包括在过渡室402与真空镀膜设备的真空腔室6相互对接时，连通过渡室402与真空镀膜设备的真空腔室6的第二开口（图中未示出），以及用于开启或关闭该第二开口的第二密封门411。例如，在本实施例中，过渡室402的可伸缩的柔性结构可以为由瓦楞状橡胶4021和钢丝骨架4022形成的具有多个横向波纹（即，在水平方向上延伸的波纹）的管状结构，其中，瓦楞状橡胶4021采用管状结构，用于作为过渡室402的室壁，所谓瓦楞状橡胶，是指该橡胶的表面为具有多个横向波纹的褶皱表面；钢丝骨架4022用于支撑瓦楞状橡胶4021的管状轮廓，以形成过渡室402的内部空间。过渡室402的可伸缩的柔性结构不仅便于过渡室402与真空镀膜设备的真空腔室6的对接，且可以提高二者对接的稳定性，并且还可以在装卸工件的过程中起到缓冲的效果。容易理解，过渡室402的伸缩方向是指在过渡室402与真空腔室6相互对接时，沿水平方向靠近或远离真空腔室6的方向。

容易理解，在整个工艺过程中，过渡室402和真空镀膜设备的真空腔室6需要进行多次对接和脱离，即，在需要装卸真空腔室6内的工件时过渡室402和真空腔室6相互对接，在装卸完毕后过渡室402和真空腔室6相互脱离。因此，为了便于过渡室402与真空腔室6的对接、提高对接的密封性，可以使第二开口的尺寸大于真空腔室6的室门62的尺寸，即，第二开口的轮廓包围真空腔室6的室门62的轮廓。在实际应用中，第二开口的形状和尺寸可以根据不同的真空镀膜设备的机型以及真空腔室的室门形状和尺寸而设定。

而且，在过渡室402与真空镀膜设备的真空腔室6相互对接的两个对接面（414，61）之间设置有密封件412（例如密封圈），密封件412包围第二开口，用以在过渡室402与真空镀膜设备的真空腔室6相互对接时，密封该第二开口，容易理解，由于第二开口的轮廓包围真空腔室6的室门62轮廓，因而通过密封件412密封第二开口，亦即密封真空腔室6的室门62。此外，过渡室402与真空镀膜设备的真空腔室6采用气密性对接的方式彼此锁紧。在实际应用中，为了便于工件的装卸，过渡室的内腔尺寸应满足真空镀膜设备的真空腔室的室门朝外（即，自真空腔室朝向过渡室内部的方向）开启90°以上，以及第二密封门朝向过渡室内部开启90°以上。

在本实施例中，如图3所示，真空手套42为两套，其中一套真空手套422位于靠近箱体舱3的位置处（即，靠近第一密封门341的位置处），以便于开启或关闭第一密封门341，并缩短真空手套422通过第一密封门341伸入箱体舱3进行取片或放片的距离；与之相类似的，其中另一套真空手套421位于靠近真空镀膜设备的真空腔室6的位置处，以便于开启或关闭第二密封门411以及真空腔室6的室门62，并缩短真空手套421通过第二密封门411以及真空腔室6的室门62伸入真空腔室6进行取片或放片的距离。

另外，为了便于第二密封门341的开启或关闭，第二密封门341还具有转盘式把手342。

连线装置还包括辅助舱5，辅助舱5固定在机架1上，且位于工作舱4的底部，辅助舱5用于容纳连线装置的电器设备51，如图2所示，电器设备51包括真空抽气装置、动力传动装置、热风循环装置、氮气气缸以及进出气管道等等。上述各个装置主要用于实现连线装置的压力控制、注入高纯氮气、干燥等的功能。

下面对本发明实施例提供的连线装置的工作过程进行详细描述。

具体地，首先，在利用连线装置传输和装卸工件之前，对连线装置内的各个舱室（例如箱体舱3、工作舱4等）进行抽真空（具有较低的真空度即可）和利用洁净循环热风进行干燥的操作，优选的，保持各个舱室的真空度在1.33*10^-1Pa以下；然后，向各个舱室注入一个大气压以上的高纯氮气进行保护，以保证各个舱室的杂质气体含量在1ppm以下。

其次，箱体舱3内的所有工件框架31中，应至少保证其中一个工件框架31是空置的，以供装载自当前工序的真空蒸镀设备取出的已完成当前工序的工件，其余的工件框架31则已装载有完成前一道工序的工件，待取出当前工序的工件之后，将前一道工序的工件放入当前工序的真空蒸镀设备中。

连线装置的移动以及与真空蒸镀设备的相互对接的方法的具体步骤为：由两名以上的操作人员一前一后（或者一左一右）推动连线装置朝向当前工序的真空镀膜设备移动；待连线装置移动至与当前工序的真空蒸镀设备对接的位置处之后，使定位装置11伸出，以使连线装置相对于地面固定不动；然后，过渡室402与真空镀膜设备的真空腔室6采用气密性对接的方式彼此锁紧，从而完成连线装置与当前工序的真空蒸镀设备的对接。

连线装置的抽真空、干燥以及注入高纯氮气的具体步骤为：操作人员利用真空手套421伸入工作舱4，并开启第二密封门411；开启真空抽气装置的抽气阀门，对工作舱4以及真空腔室6的室门62与第二密封门411之间的间隔空间进行除气，当去气管道上的真空指示表72指示真空度达到1*10³Pa的上限之后，关闭抽气阀门（可利用第一控制伺候仪表73控制抽气阀门自动关闭）；开启热风循环装置的阀门，利用洁净干燥热风的循环流动去除工作舱4以及真空腔室6的室门62与第二密封门411之间的间隔空间内的潮气，经过大约10～15min之后关闭热风循环装置的阀门；再一次开启真空抽气装置的抽气阀门进行除气，当去气管道上的真空指示表72指示真空度达到1*10^-1Pa的上限之后，关闭抽气阀门。开启氮气进出气管道的阀门（该进出气管道的出气端通常设置在箱体舱3的远离工作舱4的位置），以向箱体舱3内注入高纯氮气；待压力表74指示压力值达到一个大气压以上之后，关闭氮气进出气管道的阀门（可利用第二控制伺候仪表75控制氮气进出气管道的阀门自动关闭）。此外，在工作舱4内部还可以设置诸如日光灯、LED灯等的照明装置71，以提高工作舱4内的可视性。

连线装置的装卸工件的具体步骤为：一名操作人员利用真空手套422伸入工作舱4，并开启第一密封门341（通过转动转盘式把手342），以使箱体舱3与工作舱4连通；另一名操作人员利用真空手套421伸入工作舱4，并开启真空腔室6的室门62（第二密封门411已在抽真空步骤之前开启），以使真空腔室6与工作舱4连通。开启动力传动装置，以使旋转轴32带动工件框架31旋转，工件框架31的旋转规则可以采用在每停顿固定时长之后旋转预定角度的方式，也可以采用由操作人员自由控制的方式，此时各个工件框架31按旋转规则逐一经过第一开口，容易理解，空置的工件框架31应首先经过第一开口，以装载完成当前工序的工件。

然后，由两名操作人员通过工作舱4在箱体舱3与真空镀膜设备的真空腔室6之间传递工件。其中，卸载完成当前工序的工件的具体步骤为：一名操作人员利用真空手套421伸入工作舱4，且通过第二开口和室门62自真空腔室6内取出完成当前工序的工件，并传递给戴有真空手套422的另一名操作人员的手上；另一名操作人员将该工件通过第一开口放入停顿在装卸位置（与第一开口相对应的位置）处的空置的工件框架31上；重复该步骤，直至所有的完成当前工序的工件全部装载至空置的工件框架31上。

需要说明的是，卸载完成当前工序的工件的上述过程通常需要花费45～60s的时间，因此，若工件框架31采用在每停顿固定时长之后旋转预定角度的旋转规则，则该固定时长应大于45～60s，优选的，该固定时长的取值范围可以在50～65s。

向当前工序的真空镀膜设备装载前一工序的工件的具体步骤仅是上述卸载完成当前工序的工件的步骤的逆顺序，且二者每个步骤的内容相类似，故在此不再重复描述。此外，在本发明提供的连线装置的工作过程中所采用的参数并不局限于本实施例中所提出的上述参数，在实际应用中，可以根据具体情况自由设定。

待完成前一工序的工件的装载之后，一名操作人员利用真空手套421伸入工作舱4，且先后关闭室门62和第二密封门411；另一名操作人员利用真空手套422伸入工作舱4，且关闭第一密封门341；在关闭热风循环装置的阀门以及氮气进出气管道的阀门之后，将工作舱4与当前工序的真空镀膜设备脱离，连线装置即可向另一台当前工序的真空镀膜设备移动。待将所有工件框架31内的前一工序的工件与所有当前工序的真空镀膜设备中的完成当前工序的工件交换完毕，连线装置便可向后一工序的真空镀膜设备移动。

图6为本发明实施例提供的OLED生产线的示意图。请参阅图6，本发明还提供一种OLED生产线，其包括遵循蒸镀OLED膜层工序的先后顺序分配而成的多个膜层堆，以及多台连线装置。其中，每个膜层堆包括两台可对多个工件蒸镀一层或多层膜层的真空镀膜设备，用于蒸镀其所在膜层堆被分配到的OLED膜层；连线装置用于在同一或不同膜层堆的两台真空镀膜设备之间传输和装卸工件，并且该连线装置采用了本发明实施例提供的上述连线装置。

下面结合图6以18个OLED膜层为例，对本发明实施例提供的OLED生产线进行详细描述。具体地，将18个OLED膜层划分5个膜层堆；每个膜层堆配置2台可对多个工件同时蒸镀一层或多层膜层的真空镀膜设备，配置2台连线装置在同一或不同膜层堆的两台真空镀膜设备之间传输和装卸工件。如图6所示，可以将5个膜层堆围绕一圈排布，以缩短连线装置的移动距离，从而可以提高传输效率。

本发明实施例提供的OLED生产线，其通过采用本发明实施例提供的上述连线装置，以及可对多个工件蒸镀一层或多层膜层的真空镀膜设备，并通过遵循蒸镀OLED膜层工序的先后顺序将所需蒸镀的所有OLED膜层分配形成多个膜层堆，不仅可以减小占地空间、减少真空镀膜设备的配置数量、降低配套厂房及相关设施的投资和运行成本，而且还可以实现多个工件同时完成所有OLED膜层的蒸镀，并仅需在连线装置与真空镀膜设备的真空腔室相互对接之后，对由工作舱、箱体舱以及真空镀膜设备的真空腔室形成的密封空间进行一次抽真空过程即可，这与现有技术的生产线所采用的多个工件逐一完成所有的蒸镀工序相比，可以提高生产线的生产效率和产量。

例如，在本发明提供的OLED生产线中，若每台真空镀膜设备每道工序同时蒸镀16个工件，则每蒸镀16个工件才需进行一次抽真空过程，与之相比，在现有技术所采用的生产线中，由于蒸镀16个工件需要轮流送入一台真空镀膜设备进行一道工序，且每道工序均需进行一次抽真空过程，因而16个工件完成一道工序需进行16次抽真空过程，因此，本发明提供的OLED生产线，大大提高了真空蒸镀设备生产线的生产效率和产量。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (19)

1.一种连线装置，用于向真空镀膜设备的真空腔室传输和装卸工件，其特征在于，包括机架、箱体舱和工作舱，其中

所述机架的底部具有多个移动轮；

所述箱体舱固定在所述机架上，在所述箱体舱内设置有旋转轴和与之连接的用于承载工件的至少两个工件框架，所述旋转轴在旋转时带动所述至少两个工件框架沿所述旋转轴的周向旋转，以使所述至少两个工件框架逐一经过与所述工作舱相对应的位置处；

所述工作舱固定在所述机架上，所述工作舱具有第一密封机构和第二密封机构，所述工作舱通过所述第一密封机构与所述箱体舱连通或隔离，以及通过所述第二密封机构与所述真空镀膜设备的真空腔室对接或脱离。

2.根据权利要求1所述的连线装置，其特征在于，每个工件框架具有沿竖直方向间隔设置的锁紧装置，每个锁紧装置包括一对支撑件和四个弹性凹形件，其中，所述一对支撑件彼此相对地分别设置在所述工件框架内的两个侧壁上；所述四个弹性凹形件分别包覆一个工件的四个角，并由该对支撑件夹持固定在中间。

3.根据权利要求1所述的连线装置，其特征在于，在每个工件框架与所述旋转轴之间设置有支撑臂，所述支撑臂的一端与所述旋转轴固定连接，所述支撑臂的另一端与所述工件框架的顶部铰接。

4.根据权利要求1所述的连线装置，其特征在于，所述连线装置还包括工件框架控制单元，用于控制所述工件框架在每停顿固定时长之后旋转预定角度，以使各个工件框架逐一旋转至与所述工作舱相对应的位置处，并且每个工件框架在该位置处停顿所述固定时长。

5.根据权利要求4所述的连线装置，其特征在于，所述工件框架控制单元在10s～1h的连续范围内调节所述固定时长。

6.根据权利要求1所述的连线装置，其特征在于，所述至少两个工件框架沿所述旋转轴的周向均匀分布。

7.根据权利要求1所述的连线装置，其特征在于，所述工作舱包括彼此连通的操作室和过渡室，其中

所述操作室通过所述第一密封机构与所述箱体舱连通或隔离；

所述过渡室采用可伸缩的柔性结构，并通过所述第二密封机构与所述真空镀膜设备的真空腔室对接或脱离；

在所述操作室的室壁上设置有可由外向内伸入所述操作室的至少两套真空手套，所述真空手套用于供人的手部伸入所述工作舱内，并在所述箱体舱和所述真空镀膜设备的真空腔室之间传递工件。

8.根据权利要求7所述的连线装置，其特征在于，所述真空手套为两套，其中一套真空手套位于靠近所述箱体舱的位置处；其中另一套真空手套位于靠近所述真空镀膜设备的真空腔室的位置处。

9.根据权利要求7所述的连线装置，其特征在于，所述第一密封机构包括连通所述操作室与所述箱体舱的第一开口，以及用于开启或关闭所述第一开口的第一密封门。

10.根据权利要求9所述的连线装置，其特征在于，所述第一密封门的数量为两道，所述两道第一密封门相对且间隔设置，并且

所述操作室与所述箱体舱采用气密性对接的方式彼此锁紧，以密封所述两道第一密封门之间的间隔空间。

11.根据权利要求7所述的连线装置，其特征在于，所述第二密封机构包括在所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室相互对接时，连通所述过渡室与真空腔室的第二开口，以及用于开启或关闭所述第二开口的第二密封门。

12.根据权利要求11所述的连线装置，其特征在于，所述第二开口的尺寸大于所述真空腔室的室门尺寸，并且

在所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室相互对接的两个对接面之间设置有密封件，所述密封件包围所述第二开口，用以在所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室相互对接时，密封所述第二密封门与所述真空腔室的室门之间的间隔空间。

13.根据权利要求12所述的连线装置，其特征在于，所述过渡室与所述真空镀膜设备的真空腔室采用气密性对接的方式彼此锁紧。

14.根据权利要求7所述的连线装置，其特征在于，所述过渡室的可伸缩的柔性结构为由瓦楞状橡胶和钢丝骨架形成的具有多个横向波纹的管状结构。

15.根据权利要求1所述的连线装置，其特征在于，所述连线装置还包括辅助舱，所述辅助舱固定在所述机架上，且位于所述工作舱的底部，所述辅助舱用于容纳所述连线装置的电器设备；

所述电器设备包括真空抽气装置、动力传动装置、热风循环装置、氮气气缸以及进出气管道。

16.根据权利要求1所述的连线装置，其特征在于，所述移动轮为万向轮。

17.根据权利要求1所述的连线装置，其特征在于，在所述机架的底部还设置有可伸缩的定位装置，所述定位装置在需要所述机架通过所述移动轮移动时回缩，以与地面相分离，在所述机架移动至预设位置时伸出，以与地面相接触。

18.根据权利要求1所述的连线装置，其特征在于，所述旋转轴垂直于竖直平面。

19.一种OLED生产线，其包括遵循蒸镀OLED膜层工序的先后顺序分配而成的多个膜层堆，每个膜层堆包括两台可对多个工件蒸镀一层或多层膜层的真空镀膜设备，用于蒸镀其所在膜层堆被分配到的OLED膜层，所述OLED生产线还包括多台连线装置，用于在同一或不同膜层堆的两台真空镀膜设备之间传输和装卸工件，其特征在于，所述连线装置采用权利要求1-18任意一项所述的连线装置。