CN104614946A

CN104614946A - 基于滴定工装的ut装脚工艺

Info

Publication number: CN104614946A
Application number: CN201510023343.4A
Authority: CN
Inventors: 俞子华
Original assignee: Toppan Photomasks Co Ltd Shanghai
Current assignee: Toppan Photomasks Co Ltd Shanghai
Priority date: 2015-01-16
Filing date: 2015-01-16
Publication date: 2015-05-13

Abstract

本发明提供一种基于滴定工装的UT装脚工艺，包括步骤：1）提供UT脚片以及UT掩模板；2）将所述UT脚片及UT掩模板经对准标记进行对准；3）提供装有紫外固化胶的气动点胶机，通过所述气动点胶机将紫外固化胶滴置于所述UT脚片上，并通过所述紫外固化胶将所述UT脚片及UT掩模板进行粘接；4）采用紫外光照射使所述紫外固化胶固化。本发明滴胶操作简单，加胶量精确，重复性好，用量稳定，误差很小。紫外固化胶在容器内不与空气接触，无污染，非紫外光照不固化，使用寿命较长，一般为数年，有利于节约成本。不需要更换针头，可有效节省人力成本。固化时间短，通常为不大于20秒，大大提高了装脚工艺的效率。

Description

基于滴定工装的UT装脚工艺

技术领域

本发明属于半导体制造领域，特别是涉及一种基于滴定工装的UT装脚工艺。

背景技术

设计与工艺制造之间的接口是版图。版图是一组相互套合的图形，各层版图相应于不同的工艺步骤，每一层版图用不同的图案来表示。版图与所采用的制备工艺紧密相关。在计算机及其超大规模集成电路(Very Large Scale INTEGRATED Circuits，VLSI)设计系统上设计完成的集成电路版图只是一些图像和数据，当将设计结果送到工艺线上实验时，还必须经过一个重要的中间环节，即制版。

制版是通过图形发生器完成图形的缩小和重复。在设计完成集成电路的版图以后，设计者得到的是一组标准的制版数据，将这组数据传送给图形发生器(一种制版设备)，图形发生器(Pattern Generator，PG)根据数据，将设计的版图结果分层转移到掩模板上。制版的目的就是产生一套分层的版图掩膜，为将来进行图形转移(即光刻)做准备。

光刻掩模板(Photo Mask)包含了整个硅片的芯片图形特征，进行1：1图形复制。这种掩模板用于比较老的接近式光刻和扫描对准投影机中。投影掩模板的优点是，投影掩模板的特征尺寸较大，掩模板制造更加容易；掩模板上的缺陷会缩小转移到硅片上，对图形复制的危害减小；使曝光的均匀度提高。

掩模板是光刻复制图形的基准和蓝本，掩模板上的任何缺陷都会对最终图形精度产生严重的影响。掩模板质量的优劣直接影响光刻图形的质量。

UT光刻机是通用的光刻机种类之一，其使用前需要在掩模板上装上UT脚后，方可在该掩模板上刻蚀集成电路图形。

传统的UT装脚工艺用注射器加注速干胶于不锈钢脚片上，室温自然固化，传统的UT装脚工艺包括以下步骤：

1)将UT脚片置于与UT掩模板对应的位置；

2)提供UT掩模板，并使所述UT掩模板与所述UT脚片对准；

3)用注射器抽取速干胶，并将速干胶滴置于所述UT脚片上；

4)于室温自然固化。

传统的UT装脚工艺有以下几个缺点：

第一、每做一片板,注射器需从速干胶瓶中吸取两次胶，每次约30微升(ul)，由于

用量少，挂壁误差大(约5～10ul)。

第二、每次滴完胶后需要更换针头。

第三、速干胶瓶频繁开闭，会污染\固化，缩短胶的使用寿命，以50ml为例，大概两周就需要更换一瓶。

第四、室温自然固化长，需15分钟以上。

鉴于以上所述，提供一种能有效克服上述缺点的新的UT装脚工艺实属必要。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种基于滴定工装的UT装脚工艺，用于解决现有技术中的上述缺陷。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种基于滴定工装的UT装脚工艺，所述UT装脚工艺包括步骤：

1)提供UT脚片以及UT掩模板；

2)将所述UT脚片及UT掩模板经对准标记进行对准；

3)提供装有紫外固化胶的气动点胶机，通过所述气动点胶机将紫外固化胶滴置于所述UT脚片上，并通过所述紫外固化胶将所述UT脚片及UT掩模板进行粘接；

4)采用紫外光照射使所述紫外固化胶固化。

作为本发明的基于滴定工装的UT装脚工艺的一种优选方案，所述UT脚片为不锈金属脚片。

作为本发明的基于滴定工装的UT装脚工艺的一种优选方案，所述UT掩模板为具有图形的石英板。

作为本发明的基于滴定工装的UT装脚工艺的一种优选方案，所述气动点胶机为脚踩式气动点胶机。

作为本发明的基于滴定工装的UT装脚工艺的一种优选方案，步骤2)中，采用光学显微镜将所述UT脚片及UT掩模板进行对准。

作为本发明的基于滴定工装的UT装脚工艺的一种优选方案，步骤3)中，于每个UT脚片上滴置两滴紫外固化胶，所述紫外固化胶具有间隔的分布于所述UT脚片的中部区域。

作为本发明的基于滴定工装的UT装脚工艺的一种优选方案，步骤3)中，滴置的每滴紫外固化胶的体积为30-40微升。

作为本发明的基于滴定工装的UT装脚工艺的一种优选方案，步骤3)在所述紫外固化胶将所述UT脚片及UT掩模板进行粘接后，还包括检查所述UT脚片与UT掩模板之间是否有溢胶以及是否有缝隙的步骤，在没有溢胶或缝隙的情况下再进行紫外固化胶的固化。

作为本发明的基于滴定工装的UT装脚工艺的一种优选方案，步骤4)中，采用紫外光固化仪对所述紫外固化胶进行照射固化。

作为本发明的基于滴定工装的UT装脚工艺的一种优选方案，步骤4)中，紫外光固化的温度为室温，固化的时间为5-20秒。

如上所述，本发明提供一种基于滴定工装的UT装脚工艺，所述UT装脚工艺包括步骤：1)提供UT脚片以及UT掩模板；2)将所述UT脚片及UT掩模板进行对准；3)提供装有紫外固化胶的气动点胶机，通过所述气动点胶机将紫外固化胶滴置于所述UT脚片上，并通过所述紫外固化胶将所述UT脚片及UT掩模板进行粘接；4)采用紫外光照射使所述紫外固化胶固化。本发明具有以下有益效果：

1、滴胶操作简单，加胶量精确，重复性好，用量稳定，误差很小。

2、紫外固化胶在容器内不与空气接触，无污染，非紫外光照不固化，使用寿命较长，一般为数年，有利于节约成本。

3、不需要更换针头，节省人力成本。

4、固化时间短，通常为不大于20秒，大大提高了装脚工艺的效率。

附图说明

图1显示为本发明的基于滴定工装的UT装脚工艺的步骤流程示意图。

图2～图6显示为本发明的基于滴定工装的UT装脚工艺步骤1)～步骤4)所呈现的结构示意图。

元件标号说明

101 UT脚片

102 UT掩模板

103 对准标记

104 注射器

105 气压管

106 紫外固化胶

S11～S14 步骤1)～步骤4)

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1～图6。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

如图1～图6所示，本实施例提供一种基于滴定工装的UT装脚工艺，所述UT装脚工艺包括步骤：

如图1，首先进行步骤1)S11，提供UT脚片101以及UT掩模板102。

作为示例，所述UT脚片101为不锈钢金属脚片，所述UT掩模板102为具有图形的石英板，当然，所述UT脚片101也可以是其它的金属材料做成，所述UT掩模板102也可以采用其它的掩膜基底做成，并不限于此处所列举的示例。

如图1及图2所示，然后进行步骤2)S12，将所述UT脚片101及UT掩模板102进行对准。

作为示例，采用光学显微镜将所述UT脚片101及UT掩模板102经对准标记103进行对准，一般来说所述UT掩模板102上形成有对准标记103，如图2所示，将UT脚片101放置于合适的位置以后，依据该对准标记103进行对准即可。

如图1及图3～图5所示，其中，图5显示为粘接时的侧视结构示意图，接着进行步骤3)S13，提供装有紫外固化胶106的气动点胶机，通过所述气动点胶机将紫外固化胶106滴置于所述UT脚片101上，并通过所述紫外固化胶106将所述UT脚片101及UT掩模板102进行粘接。

作为示例，所述气动点胶机为脚踩式气动点胶机，具体地，所述脚踩式气动点胶机包括注射器104及气压管105，滴胶时，只需要踩踏脚踩式气动点胶机的气动踏板，气压通过所述气压管105后传递至注射器104中，使注射器104中的紫外固化胶106滴出。在本实施例中，所述脚踩式气动点胶机为SK101N数字点胶机，所述紫外固化胶106为乐泰363紫外固化胶106。所述紫外固化胶106在容器内不与空气接触，具有无污染,，非紫外光照不固化，使用寿命长等优点。

作为示例，于每个UT脚片101上滴置两滴紫外固化胶106，所述紫外固化胶106具有间隔的分布于所述UT脚片101的中部区域，具体地，注射器104对准到要点胶的位置后，踩踏脚踩式气动点胶机的气动踏板，使紫外固化胶106滴置于UT脚片101的中部区域。

作为示例，滴置的每滴紫外固化胶106的体积为30-40微升，通过该脚踩式气动点胶机可以精确地控制紫外固化胶106的体积，重复性好，用量稳定，误差很小。

作为示例，在所述紫外固化胶106将所述UT脚片101及UT掩模板102进行粘接后，还包括检查所述UT脚片101与UT掩模板102之间是否有溢胶以及是否有缝隙的步骤，在没有溢胶或缝隙的情况下再进行紫外固化胶106的固化，以进一步提高UT装脚工艺的质量。

如图1及图6所示，最后进行步骤4)S14，采用紫外光照射使所述紫外固化胶106固化。

作为示例，采用紫外光固化仪对所述紫外固化胶106进行照射固化。

作为示例，紫外光固化的温度为室温，一般为15～40摄氏度，固化的时间为5-20秒。本实施例采用紫外固化胶106以及紫外光照射固化工艺，可以大大缩短固化的时间，一般为不超过20秒即可完成固化工艺，有效地提高了UT装脚工艺的效率。

如上所述，本发明提供一种基于滴定工装的UT装脚工艺，所述UT装脚工艺包括步骤：1)提供UT脚片101以及UT掩模板102；2)将所述UT脚片101及UT掩模板102进行对准；3)提供装有紫外固化胶106的气动点胶机，通过所述气动点胶机将紫外固化胶106滴置于所述UT脚片101上，并通过所述紫外固化胶106将所述UT脚片101及UT掩模板102进行粘接；4)采用紫外光照射使所述紫外固化胶106固化。本发明具有以下有益效果：

2、紫外固化胶106在容器内不与空气接触，无污染，非紫外光照不固化，使用寿命较长，一般为数年，有利于节约成本。

3、不需要更换针头，节省人力成本。

所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims

1.一种基于滴定工装的UT装脚工艺，其特征在于，所述UT装脚工艺包括步骤：

1)提供UT脚片以及UT掩模板；

2)将所述UT脚片及UT掩模板进行对准；

4)采用紫外光照射使所述紫外固化胶固化。

2.根据权利要求1所述的基于滴定工装的UT装脚工艺，其特征在于：所述UT脚片为不锈金属脚片。

3.根据权利要求1所述的基于滴定工装的UT装脚工艺，其特征在于：所述UT掩模板为具有图形的石英板。

4.根据权利要求1所述的基于滴定工装的UT装脚工艺，其特征在于：所述气动点胶机为脚踩式气动点胶机。

5.根据权利要求1所述的基于滴定工装的UT装脚工艺，其特征在于：步骤2)中，采用光学显微镜将所述UT脚片及UT掩模板进行对准。

6.根据权利要求1所述的基于滴定工装的UT装脚工艺，其特征在于：步骤3)中，于每个UT脚片上滴置两滴紫外固化胶，所述紫外固化胶具有间隔的分布于所述UT脚片的中部区域。

7.根据权利要求1所述的基于滴定工装的UT装脚工艺，其特征在于：步骤3)中，滴置的每滴紫外固化胶的体积为30-40微升。

8.根据权利要求1所述的基于滴定工装的UT装脚工艺，其特征在于：步骤3)在所述紫外固化胶将所述UT脚片及UT掩模板进行粘接后，还包括检查所述UT脚片与UT掩模板之间是否有溢胶以及是否有缝隙的步骤，在没有溢胶或缝隙的情况下再进行紫外固化胶的固化。

9.根据权利要求1所述的基于滴定工装的UT装脚工艺，其特征在于：步骤4)中，采用紫外光固化仪对所述紫外固化胶进行照射固化。

10.根据权利要求1所述的基于滴定工装的UT装脚工艺，其特征在于：步骤4)中，紫外光固化的温度为室温，固化的时间为5-20秒。