CN104612984A - 牵引式分子泵的转子端面测温装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种牵引式分子泵的转子端面测温装置，包括外壳，转子，端面法兰，第一级分子泵，与第一级分子泵过盈连接的第三级分子泵，第二级分子泵，螺钉通过第三级分子泵圆周处的第三级分子泵连接孔拧入到端面法兰的端面法兰螺纹孔中，螺钉探出端处于第二级分子泵圆周的螺钉连接孔中，过渡件通过外螺纹固定在装配阶梯孔的装配螺纹孔中，其自由端处于过渡件插入孔中，测温组件中的红外探头拧入到过渡件的装配螺孔中。本发明中红外探头通过过渡件与第三级分子泵相固定，在保证第二级分子泵、第三级分子泵的动间隙的情况下，能够方便拆装测温组件，保证了抽气槽的过流面积以及抽气效率。

Description

牵引式分子泵的转子端面测温装置
技术领域
本发明属于一种测温装置，具体涉及一种牵引式分子泵的转子端面测温装置。
背景技术
牵引分子泵是依靠气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，从而将气体分子驱送到泵的出口。牵引式分子泵中转子表面温度的变化情况能够直观地反应出该装置的实时工作状态和有关性能，因此温度的实时监控在该装置的研制过程中具有十分重要的意义。当转子以高转速尤其是超高转速进行转动时，转子自身会发生形变，其端面的温度实时测量是十分困难的，并且分子泵自身的结构也较为紧凑无法随意加装测温装置，因此如何准确并实时地测量到其表面的温度同时又不影响分子泵的工作性能，是现阶段该领域中的一个难题。若使用现有测温装置并将其安装至带有环形盘式分子泵的分子泵装配件上时，不但整个分子泵装配件的加工难度及其装配难度大大增加，而且也无法保证在分子泵性能不发生变化情况下对测温装置进行随意替换。
发明内容
本发明为解决现有技术存在的问题而提出，其目的是提供一种牵引式分子泵的转子端面测温装置。
本发明的技术方案是：一种牵引式分子泵的转子端面测温装置，包括圆筒形外壳，外壳内部设置有圆柱形转子，端面通过插入螺栓孔中的螺栓与端面法兰固定，外壳内部、转子外围、且与转子同轴设置有第一级分子泵，与第一级分子泵过盈连接的第三级分子泵，第二级分子泵固定在第三级分子泵装配槽中，圆筒形第一级分子泵内壁形成螺旋状第一级抽气槽，圆盘形第二级分子泵下端面形成多个沿圆周相间均布的第二级抽气槽和第二级抽气槽壁，厚壁圆筒形第三级分子泵下端面形成多个沿圆周相间均布的第三级抽气槽和第三级抽气槽壁，第三级分子泵外壁形成第三级侧抽气槽，螺钉通过第三级分子泵圆周处的第三级分子泵连接孔拧入到端面法兰的端面法兰螺纹孔中，螺钉探出端处于第二级分子泵圆周的螺钉连接孔中，过渡件通过外螺纹固定在装配阶梯孔的装配螺纹孔中，其自由端处于过渡件插入孔中，测温组件中的红外探头拧入到过渡件的装配螺孔中，数据线处于第二级分子泵数据线槽、端面法兰数据线槽中，红外测温装置通过测温装置安装孔固定在端面法兰中。
过渡件内部形成由密封环装配孔、限位孔、装配螺孔组成的阶梯孔，密封环装配孔内壁设置有过渡件密封环，过渡件密封环套装在红外探头外壁处，限位孔阶梯面处设置有红外探头密封垫。
第二级抽气槽、第三级抽气槽呈连续的放射状弧线、并互相对齐，第二级抽气槽、第三级抽气槽的槽型均为变宽度的矩形。
本发明中红外探头通过过渡件与第三级分子泵相固定，避免了安装红外探头时必须拆下第二级分子泵的步骤，简化了整个装置的结构及其安装方法；第二级分子泵在安装过程中不用从第三级分子泵上拆下，保证了两者间的间隙，也保证了分子泵与转子之间的动间隙，有效地控制了分子泵的抽气效率及分子泵的性能；第三级分子泵与端面法兰通过螺钉连接，使第三级分子泵顶部高度恰好与第二级分子泵抽气槽底部一致，充分地保证了第二级分子泵抽气槽的过流面积。
附图说明
图1 是本发明的主视图；
图2 是图1中未安装转子的仰视图；
图3 是本发明中第三级分子泵的仰视图；
图4 是本发明中第三级分子泵的俯视图；
图5 是本发明中第二级分子泵的仰视图；
图6 是本发明中第二级分子泵的俯视图；
图7 是本发明中端面法兰的俯视图；
图8 是图7中B-B截面的剖视图；
图9 是第三级分子泵与端面法兰的局部装配图；
图10 是本发明中过渡件的局部装配图；
图11 是本发明中过渡件的主视图；
图12 是图1中A-A面的局部放大示意图。
     其中：
        1  转子                  2  第一级分子泵
        3  第三级分子泵          4  端面法兰
        5  螺栓                  6  测温组件
        6a 红外探头              6b 数据线
        6c 红外测温装置          7  过渡件
        8  第二级分子泵          9  外壳
        10 装配阶梯孔            11 第三级分子泵连接孔
        12 第三级抽气槽壁        13 第三级抽气槽
        14 装配螺纹孔            15 第二级分子泵数据线槽
        16 螺钉连接孔            17 第二级抽气槽壁
        18 第二级抽气槽          19 过渡件插入孔
        20 支撑脚                21 端面法兰螺纹孔
        22 端面法兰数据线槽      23 测温装置安装孔
        24 螺钉                  25 过渡件密封环
        26 红外探头密封垫        27 第一级抽气槽
        28 第三级侧抽气槽        29 第三级分子泵装配槽
        30 螺栓孔                31 密封环装配孔
        32 限位孔                33 装配螺孔。
具体实施方式
以下，参照附图和实施例对本发明进行详细说明：
如图1~12所示，一种牵引式分子泵的转子端面测温装置，包括圆筒形外壳9，外壳9内部设置有圆柱形转子1，端面通过插入螺栓孔30中的螺栓5与端面法兰4固定，外壳9内部、转子1外围、且与转子1同轴设置有第一级分子泵2，与第一级分子泵2过盈连接的第三级分子泵3，第二级分子泵8固定在第三级分子泵装配槽29中，圆筒形第一级分子泵2内壁形成螺旋状第一级抽气槽27，圆盘形第二级分子泵8下端面形成多个沿圆周相间均布的第二级抽气槽18和第二级抽气槽壁17，厚壁圆筒形第三级分子泵3下端面形成多个沿圆周相间均布的第三级抽气槽13和第三级抽气槽壁12，第三级分子泵3外壁形成第三级侧抽气槽28，螺钉24通过第三级分子泵3圆周处的第三级分子泵连接孔11拧入到端面法兰4的端面法兰螺纹孔21中，螺钉24探出端处于第二级分子泵8圆周的螺钉连接孔16中，过渡件7通过外螺纹固定在装配阶梯孔10的装配螺纹孔14中，其自由端处于过渡件插入孔19中，测温组件6中的红外探头6a拧入到过渡件7的装配螺孔33中，数据线6b处于第二级分子泵数据线槽15、端面法兰数据线槽22中，红外测温装置6c通过测温装置安装孔23固定在端面法兰4中。
过渡件7内部形成由密封环装配孔31、限位孔32、装配螺孔33组成的阶梯孔，密封环装配孔31内壁设置有过渡件密封环25，过渡件密封环25套装在红外探头6a外壁处，限位孔32阶梯面处设置有红外探头密封垫26。
第二级抽气槽18、第三级抽气槽13呈连续的放射状弧线、并互相对齐，第二级抽气槽18、第三级抽气槽13的槽型均为变宽度的矩形。
第二级抽气槽壁17、第三级抽气槽壁12呈连续的放射状弧线、并互相对齐。
第二级分子泵数据线槽15、端面法兰数据线槽22分别处于第二级分子泵8、端面法兰4的相对端面。
圆盘形第二级分子泵8背部端面的支撑脚20与第三级分子泵装配槽29的槽底相接触，所述的支撑脚20为三个，沿圆周均布在第二级分子泵8背部端面。
第三级分子泵连接孔11、螺钉连接孔16、端面法兰螺纹孔21均为三个。
所述的第一级抽气槽27为U形槽。
本发明中红外探头通过过渡件与第三级分子泵相固定，避免了安装红外探头时必须拆下第二级分子泵的步骤，简化了整个装置的结构及其安装方法；第二级分子泵在安装过程中不用从第三级分子泵上拆下，保证了两者间的间隙，也保证了分子泵与转子之间的动间隙，有效地控制了分子泵的抽气效率及分子泵的性能；第三级分子泵与端面法兰通过螺钉连接，使第三级分子泵顶部高度恰好与第二级分子泵抽气槽底部一致，充分地保证了第二级分子泵抽气槽的过流面积。

Claims (3)

1.一种牵引式分子泵的转子端面测温装置，包括圆筒形外壳（9），外壳（9）内部设置有圆柱形转子（1），端面通过插入螺栓孔（30）中的螺栓（5）与端面法兰（4）固定，外壳（9）内部、转子（1）外围、且与转子（1）同轴设置有第一级分子泵（2），与第一级分子泵（2）过盈连接的第三级分子泵（3），第二级分子泵（8）固定在第三级分子泵装配槽（29）中，圆筒形第一级分子泵（2）内壁形成螺旋状第一级抽气槽（27），圆盘形第二级分子泵（8）下端面形成多个沿圆周相间均布的第二级抽气槽（18）和第二级抽气槽壁（17），厚壁圆筒形第三级分子泵（3）下端面形成多个沿圆周相间均布的第三级抽气槽（13）和第三级抽气槽壁（12），第三级分子泵（3）外壁形成第三级侧抽气槽（28），其特征在于：螺钉（24）通过第三级分子泵（3）圆周处的第三级分子泵连接孔（11）拧入到端面法兰（4）的端面法兰螺纹孔（21）中，螺钉（24）探出端处于第二级分子泵（8）圆周的螺钉连接孔（16）中，过渡件（7）通过外螺纹固定在装配阶梯孔（10）的装配螺纹孔（14）中，其自由端处于过渡件插入孔（19）中，测温组件（6）中的红外探头（6a）拧入到过渡件（7）的装配螺孔（33）中，数据线（6b）处于第二级分子泵数据线槽（15）、端面法兰数据线槽（22）中，红外测温装置（6c）通过测温装置安装孔（23）固定在端面法兰（4）中。
2.根据权利要求1所述的牵引式分子泵的转子端面测温装置，其特征在于：过渡件（7）内部形成由密封环装配孔（31）、限位孔（32）、装配螺孔（33）组成的阶梯孔，密封环装配孔（31）内壁设置有过渡件密封环（25），过渡件密封环（25）套装在红外探头（6a）外壁处，限位孔（32）阶梯面处设置有红外探头密封垫（26）。
3.根据权利要求1所述的牵引式分子泵的转子端面测温装置，其特征在于：第二级抽气槽（18）、第三级抽气槽（13）呈连续的放射状弧线、并互相对齐，第二级抽气槽（18）、第三级抽气槽（13）的槽型均为变宽度的矩形。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106677703A (zh) * 2016-12-23 2017-05-17 西安石油大学 一种动态指向式旋转导向钻井工具偏心机构
CN106981734A (zh) * 2017-04-14 2017-07-25 苏州鼎鑫冷热缩材料有限公司 一种牢固型电缆插拔头
CN111255699A (zh) * 2020-01-17 2020-06-09 苏州优德通力科技有限公司 一种带红外水位检测的手自一体自适应泵
CN112710406A (zh) * 2021-01-19 2021-04-27 核工业理化工程研究院 测量分子泵内表面温度的方法
CN114837943A (zh) * 2022-04-11 2022-08-02 北京通嘉宏瑞科技有限公司 一种可快速测量轴温的真空泵及其加工、测量方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001032790A (ja) * 1999-07-23 2001-02-06 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ
US6220824B1 (en) * 1999-06-21 2001-04-24 Varian, Inc. Self-propelled vacuum pump
JP2004116316A (ja) * 2002-09-24 2004-04-15 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプ
CN101253332A (zh) * 2005-09-01 2008-08-27 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 真空泵
CN203906329U (zh) * 2014-06-05 2014-10-29 核工业理化工程研究院 一种嵌入装置内部的牵引式分子泵
CN203906328U (zh) * 2014-06-05 2014-10-29 核工业理化工程研究院 一种可测转子表面温度的牵引式分子泵
CN204476797U (zh) * 2015-01-26 2015-07-15 核工业理化工程研究院 一种牵引式分子泵的转子端面测温装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6220824B1 (en) * 1999-06-21 2001-04-24 Varian, Inc. Self-propelled vacuum pump
JP2001032790A (ja) * 1999-07-23 2001-02-06 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ
JP2004116316A (ja) * 2002-09-24 2004-04-15 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプ
CN101253332A (zh) * 2005-09-01 2008-08-27 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 真空泵
CN203906329U (zh) * 2014-06-05 2014-10-29 核工业理化工程研究院 一种嵌入装置内部的牵引式分子泵
CN203906328U (zh) * 2014-06-05 2014-10-29 核工业理化工程研究院 一种可测转子表面温度的牵引式分子泵
CN204476797U (zh) * 2015-01-26 2015-07-15 核工业理化工程研究院 一种牵引式分子泵的转子端面测温装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106677703A (zh) * 2016-12-23 2017-05-17 西安石油大学 一种动态指向式旋转导向钻井工具偏心机构
CN106677703B (zh) * 2016-12-23 2019-03-26 西安石油大学 一种动态指向式旋转导向钻井工具偏心机构
CN106981734A (zh) * 2017-04-14 2017-07-25 苏州鼎鑫冷热缩材料有限公司 一种牢固型电缆插拔头
CN106981734B (zh) * 2017-04-14 2024-02-27 苏州鼎鑫冷热缩材料有限公司 一种牢固型电缆插拔头
CN111255699A (zh) * 2020-01-17 2020-06-09 苏州优德通力科技有限公司 一种带红外水位检测的手自一体自适应泵
WO2021142918A1 (zh) * 2020-01-17 2021-07-22 苏州优德通力科技有限公司 一种带红外水位检测的手自一体自适应泵
CN112710406A (zh) * 2021-01-19 2021-04-27 核工业理化工程研究院 测量分子泵内表面温度的方法
CN112710406B (zh) * 2021-01-19 2022-07-08 核工业理化工程研究院 测量分子泵内表面温度的方法
CN114837943A (zh) * 2022-04-11 2022-08-02 北京通嘉宏瑞科技有限公司 一种可快速测量轴温的真空泵及其加工、测量方法
CN114837943B (zh) * 2022-04-11 2024-01-30 北京通嘉宏瑞科技有限公司 一种可快速测量轴温的真空泵及其加工、测量方法

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