CN112710406B - 测量分子泵内表面温度的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种测量分子泵内表面温度的方法，方法包括：（ⅰ）延长测温元件的引线；（ⅱ）确定测温元件温度标定系数；（ⅲ）设置测温元件安装槽及引线穿出槽；（ⅳ）测温元件的装配；（ⅴ）压力表的装配；（ⅵ）温度和压力的测量和（ⅶ）关系图绘制。本发明可以测量分子泵内表面温度变化情况、掌握分子泵抽空腔体内部尺寸不同、压力等不同时，分子泵内表面温度变化情况，为分子泵优化、设计提供依据。本发明可以用于不同型号分子泵内表面温度分布测量。

Description

测量分子泵内表面温度的方法
技术领域
本发明属于分子泵设计领域，具体涉及一种测量分子泵内表面温度的方法。
背景技术
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。在分子泵使用时，需要使分子泵安装空间内压力小于10-3Pa，因此需要配置对分子泵安装空间进行持续抽空的分子泵系统。同时，由于分子泵的使用要求需要观察分子泵内表面温度变化情况，控制其内表面温度小于30℃。为了同时满足分子泵抽空性能要求以及分子泵内表面温度进行测量需求，亟需设计一种不影响分子泵工作压力的要求的分子泵内表面温度试验测定方法。
发明内容
本发明是为了克服现有技术中存在的缺点而提出的，其目的是提供一种测量分子泵内表面温度的方法。
本发明是通过以下技术方案实现的：
一种测量分子泵内表面温度的方法，包括以下步骤：
（ⅰ）延长测温元件的引线
将测温元件的引线连接延长线；
（ⅱ）确定测温元件温度标定系数
将测温元件放置在恒温箱中，并将测温元件与温度表连接，记录温度表读数与恒温箱实际温度，绘制两者关系曲线，计算温度标定系数；
（ⅲ）设置测温元件安装槽及引线穿出槽
在分子泵抽气槽上开设测温元件安装槽，在分子泵上端法兰上开设引线穿出槽；
（ⅳ）测温元件的装配
将测温元件安装在测温元件安装槽上，并加胶固定，将其引线从引线穿出槽中穿出并加胶，同时，在引线穿出处装配密封垫和密封法兰进行密封；
（ⅴ）压力表的装配
在分子泵安装处设计压力测量位置，安装压力表；
（ⅵ）温度和压力的测量
分子泵安装在其抽空腔体内，调节腔体内部气体压力，记录测温元件测量的温度和压力表压力，即为分子泵表面温度和分子泵安装处压力，多次测量取平均值；
（ⅶ）关系图绘制
根据所得数据绘制分子泵安装处压力、分子泵内表面温度与分子泵抽空腔体内部气体压力关系图。
在上述技术方案中，所述测温元件为铂电阻贴片。
在上述技术方案中，所述延长线为长漆包线，所述长漆包线与引线焊接连接，所述长漆包线长度为10cm。
在上述技术方案中，所述步骤（ⅱ）确定测温元件温度标定系数时，调节恒温箱温度为20℃~100℃。
在上述技术方案中，所述测温元件安装槽长度为5mm。
在上述技术方案中，所述步骤（ⅵ）温度和压力的测量时，调节腔体内部气体压力为200 Pa ~30000Pa。
本发明的有益效果是：
本发明提供了一种测量分子泵内表面温度的方法，可以测量分子泵内表面温度变化情况、掌握分子泵抽空腔体内部尺寸不同、压力等不同时，分子泵内表面温度变化情况，为分子泵优化、设计提供依据。本发明可以用于不同型号分子泵内表面温度分布测量。
附图说明
图1是本发明测量分子泵内表面温度的方法所采用的测温结构的示意图。
其中：
1 分子泵抽空腔体 2 分子泵
3 测温元件 4 延长线
5 密封法兰 6 温度表
7 压力表
对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，可以根据以上附图获得其他的相关附图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明技术方案，下面结合说明书附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明测量分子泵内表面温度的方法的技术方案。
如图1所示，应用于测量分子泵内表面温度的方法的测温结构，包括分子泵2抽气槽上开设的测温元件安装槽和分子泵2上端法兰上开设引线穿出槽；测温元件3装配于测温元件安装槽内，并加胶固定，测温元件3的引线焊接延长线4，延长线4从引线穿出槽穿出，并连接温度表6，延长线4穿出处设置密封法兰5和密封垫。
为了进一步获得分子泵抽空腔体内部尺寸不同、压力等不同时，分子泵内表面温度变化情况，设置用于测量分子泵抽空腔体1内压力的压力表7。
应用上述测量结构的测量分子泵内表面温度的方法，包括以下步骤：
（ⅰ）延长测温元件的引线
将测温铂电阻贴片引线焊接10cm长漆包线；
（ⅱ）确定测温元件温度标定系数
将铂电阻贴片放置在恒温箱中，并将铂电阻贴片与温度表连接，调节恒温箱温度为20℃~100℃，记录温度表读数与恒温箱实际温度，绘制两者关系曲线，计算温度标定系数；
（ⅲ）设置测温元件安装槽及引线穿出槽
在分子泵抽气槽上开设5mm的测温元件安装槽，在分子泵上端法兰上开设引线穿出槽；
（ⅳ）测温元件的装配
将测温元件安装在测温元件安装槽上，并加胶固定，将其引线从引线穿出槽中穿出并加胶，同时，在引线穿出处装配密封垫和密封法兰进行密封；
（ⅴ）压力表的装配
在分子泵安装处设计压力测量位置，安装压力表；
（ⅵ）温度和压力的测量
分子泵安装在其抽空腔体内，调节腔体内部气体压力为200 Pa ~30000Pa，记录测温元件测量的温度和压力表压力，即为分子泵表面温度和分子泵安装处压力，多次测量取平均值；
（ⅶ）关系图绘制
根据所得数据绘制分子泵安装处压力、分子泵内表面温度与分子泵抽空腔体内部气体压力关系图。
本发明提供了一种测量分子泵内表面温度的方法，可以测量分子泵内表面温度变化情况、掌握分子泵抽空腔体内部尺寸不同、压力等不同时，分子泵内表面温度变化情况，为分子泵优化、设计提供依据。本发明可以用于不同型号分子泵内表面温度分布测量。
申请人声明，以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (6)

1. 一种测量分子泵内表面温度的方法，其特征在于：包括以下步骤：
（ⅰ）延长测温元件的引线
将测温元件的引线连接延长线；
（ⅱ）确定测温元件温度标定系数
将测温元件放置在恒温箱中，并将测温元件与温度表连接，记录温度表读数与恒温箱实际温度，绘制两者关系曲线，计算温度标定系数；
（ⅲ）设置测温元件安装槽及引线穿出槽
在分子泵抽气槽上开设测温元件安装槽，在分子泵上端法兰上开设引线穿出槽；
（ⅳ）测温元件的装配
将测温元件安装在测温元件安装槽上，并加胶固定，将其引线从引线穿出槽中穿出并加胶，同时，在引线穿出处装配密封垫和密封法兰进行密封；
（ⅴ）压力表的装配
在分子泵安装处设计压力测量位置，安装压力表；
（ⅵ）温度和压力的测量
分子泵安装在其抽空腔体内，调节腔体内部气体压力，记录测温元件测量的温度和压力表压力，即为分子泵表面温度和分子泵安装处压力，多次测量取平均值；
（ⅶ）关系图绘制
根据所得数据绘制分子泵安装处压力、分子泵内表面温度与分子泵抽空腔体内部气体压力关系图。
2.根据权利要求1所述的测量分子泵内表面温度的方法，其特征在于：所述测温元件为铂电阻贴片。
3.根据权利要求1所述的测量分子泵内表面温度的方法，其特征在于：所述延长线为长漆包线，所述长漆包线与引线焊接连接，所述长漆包线长度为10cm。
4.根据权利要求1所述的测量分子泵内表面温度的方法，其特征在于：所述步骤（ⅱ）确定测温元件温度标定系数时，调节恒温箱温度为20℃~100℃。
5.根据权利要求1所述的测量分子泵内表面温度的方法，其特征在于：所述测温元件安装槽长度为5mm。
6. 根据权利要求1所述的测量分子泵内表面温度的方法，其特征在于：所述步骤（ⅵ）温度和压力的测量时，调节腔体内部气体压力为200 Pa ~30000Pa。
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