CN104567662A - 一种光学测量平台 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种光学测量平台，属于光学测量技术领域。该测量平台包括底座、固定连接件、X方向移动平台、Y方向移动平台、限位板、升降机构、承载机构和仪器安装机构。该测量平台具有仪器安装机构，该仪器安装机构可以用于安装不同的测量头，本发明提供的光学测量平台具有承载机构，该承载机构可以用于承载不同的待测样品。固定连接于该升降机构的承载机构由该升降机构带动能够分别沿XYZ三个方向移动，进而，使待测样品分别在XYZ三个方向移动从而到达待测位置。因此，该光学测量平台具有通用性。

Description

一种光学测量平台

技术领域

本发明涉及光学测量技术领域，特别涉及一种光学测量平台。

背景技术

随着半导体行业的快速发展，利用光学测量技术精确测量晶片上单层或多层薄膜的结构，厚度，空间形貌和材料特性变得十分重要。光学测量手段的多样性，使得各种光学测量设备应运而生，一种测量设备往往只能满足一种测量的需要，对于光学实验室中多种测量需要，则需要定制多种不同的测量设备。不仅浪费财力，而且不利于环保。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提出了一种能够适用于各种光学测量头并能够使待测样品分别在XYZ三个方向移动从而到达待测位置的通用光学测量平台。

本发明提供的光学测量平台包括底座、固定连接件、X方向移动平台、Y方向移动平台、限位板、升降机构、承载机构和仪器安装机构，

所述固定连接件固定连接于所述底座，所述固定连接件上部设有X方向导向轨，所述固定连接件中心具有第一通孔；

所述X方向移动平台下部能够与所述X方向导向轨构成X方向滑动副，所述X方向移动平台上部设有Y方向导向轨，所述X方向移动平台中心具有第二通孔；

所述Y方向移动平台的下部能够与所述Y方向导向轨构成Y方向滑动副，所述Y方向移动平台中心具有第三通孔；

所述限位板嵌合于所述第三通孔内，所述限位板中心具有第四通孔；

所述第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔连通并形成容置空间，所述升降机构设置于所述容置空间内并受限于所述容置空间；

所述承载机构固定连接于所述升降机构的顶部，用于承载待测样品；

所述仪器安装机构用于安装测量头，所述测量头用于对所述待测样品进行测量。

本发明提供光学测量平台具有仪器安装机构，该仪器安装机构可以用于安装不同的测量头，本发明提供的光学测量平台具有承载机构，该承载机构可以用于承载不同的待测样品。由于本发明提供的光学测量平台的升降机构受限于由固定连接件的第一通孔、X方向移动平台的第二通孔、Y方向移动平台的第三通孔和限位板的第四通孔形成的容置空间，操作X方向移动平台能够使该升降机构沿X方向移动，操作Y方向移动平台能够是该升降机构沿Y方向移动，该升降机构本身能够沿Z方向移动，因此，固定连接于该升降机构的承载机构能够分别沿XYZ三个方向移动，进而，使待测样品分别在XYZ三个方向移动从而到达待测位置。因此，该光学测量平台具有通用性。

附图说明

图1为本发明实施例提供的光学测量平台的结构示意图。

具体实施方式

为了深入了解本发明，下面结合附图及具体实施例对本发明进行详细说明。

参见附图1，本发明提供的光学测量平台包括底座1、固定连接件2、X方向移动平台17、Y方向移动平台18、限位板8、升降机构10、承载机构11和仪器安装机构。

固定连接件2固定连接于底座1，固定连接件2上部设有X方向导向轨3，固定连接件2中心具有第一通孔。

X方向移动平台17下部能够与X方向导向轨3构成X方向滑动副，X方向移动平台17上部设有Y方向导向轨7，X方向移动平台17中心具有第二通孔。

Y方向移动平台18的下部能够与Y方向导向轨7构成Y方向滑动副，Y方向移动平台18中心具有第三通孔。

限位板8嵌合于第三通孔内，限位板8中心具有第四通孔。

第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔连通并形成容置空间9，升降机构10设置于容置空间9内并受限于容置空间9。

承载机构11固定连接于升降机构10的顶部，用于承载待测样品12。

仪器安装机构用于安装测量头，测量头用于对待测样品12进行测量。

其中，X方向导向轨3具有两根，对称地布置于固定连接件2的Y方向两侧，从而保证X方向移动平台的受力平衡。

其中，Y方向导向轨7具有两根，对称地布置于X方向移动平台的X方向两侧，从而保证Y方向移动平台的受力平衡。

其中，X方向移动平台17的Y方向两侧边具有向下的第一限位凸起5，第一限位凸起5与固定连接件2的Y方向两侧接触，从而，保证X方向移动平台相对于固定连接件2的位置。

其中，Y方向移动平台18的X方向两侧边具有向下的第二限位凸起6，第二限位凸起6与X方向移动平台17的X方向两侧接触，从而保证Y方向移动平台相对于X方向移动平台17的位置。

其中，本发明提供的光学测量平台还包括X方向驱动机构4，用于驱动X方向移动平台17沿X方向移动，本实施例中，X方向驱动机构4是步进电机，从而实现本发明提供的光学测量平台在X方向的自动移动。

其中，本发明提供的光学测量平台还包括Y方向驱动机构13，用于驱动Y方向移动平台18沿Y方向移动，本实施例中，Y方向驱动机构13是步进电机，从而实现本发明提供的光学测量平台在Y方向的自动移动。。

其中，仪器安装机构包括固定臂16、活动臂15和仪器连接件14，活动臂14的一端与固定臂16构成滑动副，活动臂15的另一端固定连接于仪器连接件14，该仪器安装机构通过活动臂15的一端与固定臂16构成的滑动副实现仪器连接件14的移动，当需要安装的测量头规格发生较大的变化时，通过移动活动臂，可以使光学测量头仍然能处于承载机构11上方，即使光学测量头仍然能够对准样品，因此，该仪器安装机构能够更进一步地增强本发明提供的光学测量平台的通用性。

本发明提供光学测量平台具有仪器安装机构，该仪器安装机构可以用于安装不同的测量头，本发明提供的光学测量平台具有承载机构11，该承载机构11可以用于承载不同的待测样品12。由于本发明提供的光学测量平台的升降机构受限于由固定连接件2的第一通孔、X方向移动平台17的第二通孔、Y方向移动平台18的第三通孔和限位板8的第四通孔形成的容置空间9，操作X方向移动平台17能够使该升降机构10沿X方向移动，操作Y方向移动平台18能够使该升降机构10沿Y方向移动，该升降机构10本身能够沿Z方向移动，因此，固定连接于该升降机构10的承载机构11能够分别沿XYZ三个方向移动，进而，使待测样品12分别在XYZ三个方向移动从而到达待测位置。因此，该光学测量平台具有通用性。例如测量头可以是单波长椭偏仪的测量头，硅基太阳能表面增透膜的测量头，CCD显微观测头以及加工型激光头等。

以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种光学测量平台，其特征在于，包括底座、固定连接件、X方向移动平台、Y方向移动平台、限位板、升降机构、承载机构和仪器安装机构，

所述固定连接件固定连接于所述底座，所述固定连接件上部设有X方向导向轨，所述固定连接件中心具有第一通孔；

所述X方向移动平台下部能够与所述X方向导向轨构成X方向滑动副，所述X方向移动平台上部设有Y方向导向轨，所述X方向移动平台中心具有第二通孔；

所述Y方向移动平台的下部能够与所述Y方向导向轨构成Y方向滑动副，所述Y方向移动平台中心具有第三通孔；

所述限位板嵌合于所述第三通孔内，所述限位板中心具有第四通孔；

所述第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔连通并形成容置空间，所述升降机构设置于所述容置空间内并受限于所述容置空间；

所述承载机构固定连接于所述升降机构的顶部，用于承载待测样品；

所述仪器安装机构用于安装测量头，所述测量头用于对所述待测样品进行测量。

2.根据权利要求1所述的光学测量平台，其特征在于，所述X方向导向轨具有两根，对称地布置于所述固定连接件的Y方向两侧。

3.根据权利要求1所述的光学测量平台，其特征在于，所述Y方向导向轨具有两根，对称地布置于所述X方向移动平台的X方向两侧。

4.根据权利要求1所述的光学测量平台，其特征在于，所述X方向移动平台的Y方向两侧边具有向下的第一限位凸起，所述第一限位凸起与所述固定连接件的Y方向两侧接触。

5.根据权利要求1所述的光学测量平台，其特征在于，所述Y方向移动平台的X方向两侧边具有向下的第二限位凸起，所述第二限位凸起与所述X方向移动平台的X方向两侧接触。

6.根据权利要求1所述的光学测量平台，其特征在于，还包括X方向驱动机构，用于驱动所述X方向移动平台沿X方向移动。

7.根据权利要求1所述的光学测量平台，其特征在于，还包括Y方向驱动机构，用于驱动所述Y方向移动平台沿Y方向移动。