CN104555885A - 一种新型mems扫描镜封装构造 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种新型MEMS扫描镜封装构造，属于半导体封装领域。该封装结构主要包括一底部基板（3）、配置于所述底部基板（3）上的环状立壁（2）、配置于所述环状立壁（2）的上部盖板（1）。其特征在于：所述环状立壁（2）上表面为对水平面具有一定倾角的斜面，所述倾角大于或等于扫描镜扭转的最大机械角度。本发明的有益效果是：光源经过倾斜的上部盖板（1）时的反射点会投射在最终投影区域以外，所以可以投射出清楚的图像。
Description
技术领域
本发明涉及一种半导体封装构造，特别是具有可动结构的MEMS扫描镜的气密性封装构造。
背景技术
微机电系统（MEMS）封装基本参考微电子封装技术。其中，金属封装一般是先将固定好元器件的基板与底座粘接，然后进行封帽工艺。现有的封帽工艺采用平面盖板，但对于需要透光环境的MEMS扫描镜，盖板只能为透明材料，如果仍然使用采用平面盖板的平窗结构，光源入射则会产生一定量的反射，反射点将与投影出的图形发生重叠，影响了图形的精确显示。所以需要提供一种MEMS封装结构克服上述缺点。
发明内容
为了达到上述目的，本发明提供一种MEMS扫描镜的封装结构，使投影的图像能够避开光源入射上部盖板时的反射点，显示出清楚、真实的图像。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明提供一种扫描镜封装构造，其特征在于，其包含：
一底部基板（3），具有4个定位点，用以将MEMS晶片以及柔性PCB准确定位；
一环状立壁（2），配置于该底部基板（3）上；
一上部盖板（1），配置于该环状立壁（2）上。
其中底部基板（3）的材质采用铝，且表面经过阳极处理。
其中底部基板（3）的上表面有四个定位点，定位点（5）（6）用于该MEMS晶片定位，定位点（4）（7）用于该柔性PCB定位。
其中环状立壁（2）的材质为铝，且表面经过阳极处理。
其中环状立壁（2）上表面为斜面，对水平面具有一定的倾角，所述倾角大于或等于扫描镜扭转的最大机械角度。环状立壁（2）上有凹槽，与该上部盖板（1）恰好接合。
其中上部盖板（1）材质为K9玻璃，双面镀膜，透射率为99%以上。
其中上部盖板（1）与环形立壁（2）、环形立壁（2）与底部基板（3）的连接均采用光学胶粘接。
其中底部基板（3）、环状立壁（2）与上部盖板（1）相结合，形成一密闭空腔。
根据本发明的MEMS扫描镜元件封装构造，上部盖板（1）为斜窗，对水平面有一定角度的倾角，光源穿过上部盖板（1）入射产生的反射点将发生偏移，落在最终投影区以外区域。
本发明的有益效果是：光源经过倾斜的上部盖板（1）时的反射点会投射在最终投影区域以外，所以可以投射出清楚的图像。
当上部盖板(1)的倾角小于扫描镜扭转的最大机械角度时，光源经过上部盖板(1)时的反射点会与最终投影区域产生交叠，干扰了最终的投影图像。当上部盖板(1)的倾角为0，即上部盖板(1)为平窗时，也是如此。
当上部盖板(1)的倾角大于或等于扫描镜扭转的最大机械角度时，光源经过上部盖板(1)时的反射点会投射在最终投影区域以外，不会影响最终的投影图像。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1为根据本发明的MEMS扫描镜封装结构示意图。
图1中1.上部盖板，2.环状立壁，3.底部基板。
具体实施方式
参照图1，针对本专利申请人制作的具有±15度最大机械扭转角度的微扫描镜可 采用15度或大于15度的斜窗，本具体实施方式采用以下技术方案：它包含一底部基板(3)，一环形立壁(2)以及一上部盖板(1)。MEMS晶片通过粘片工艺，固定在底部基板(3)上，其电性通过引线焊接、柔性PCB连接至底部基板(3)外部。其中环形立壁(2)，下表面为水平方向，与底部基板(3)相粘接。上表面相对水平面有15度倾角，与上部盖板(1)相粘接。因此，底部基板(3)、环状立壁(2)与上部盖板(1)相结合，形成一密闭空腔。
本具体实施方式制作方便，封装简单，使最终投影避开了光源经过MEMS扫描镜上部盖板的反射点，得到清楚的投影图像。
另外，针对本专利申请人采用制作的具有±10度最大机械扭转角度的微扫描镜采用20度的斜窗，可得到清楚的投影图像。
作为对比，针对本专利申请人采用制作的具有±15度最大机械扭转角度的微扫描镜采用10度的斜窗，反射点依然与投影图像重合。
Claims (5)
1.一种新型MEMS扫描镜封装构造，主要包括一底部基板（3）、配置于所述底部基板（3）上的环状立壁（2）、配置于所述环状立壁（2）的上部盖板（1）；所述底部基板（3）、环状立壁（2）与上部盖板（1）相结合，形成一容纳MEMS晶片以及柔性PCB的密闭空腔；其特征在于：所述环状立壁（2）上表面为对水平面具有一定倾角的斜面，所述倾角大于或等于扫描镜扭转的最大机械角度。
2.一种如权利要求1所述的新型MEMS扫描镜封装构造，其特征在于：所述底部基板（3）具有4个定位点，用以将MEMS晶片以及柔性PCB准确定位。
3.一种如权利要求1所述的新型MEMS扫描镜封装构造，其特征在于：所述底部基板（3）和环状立壁（2）的材质采用铝，且表面经过阳极处理；环状立壁（2）上有凹槽，与该上部盖板（1）恰好接合。
4.一种如权利要求1所述的新型MEMS扫描镜封装构造，其特征在于：所述上部盖板（1）材质为K9玻璃，双面镀膜，透射率为99%以上。
5.一种如权利要求1所述的新型MEMS扫描镜封装构造，其特征在于：所述上部盖板（1）与环形立壁（2）、环形立壁（2）与底部基板（3）的连接均采用光学胶粘接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201410475742.XA CN104555885A (zh) | 2014-09-18 | 2014-09-18 | 一种新型mems扫描镜封装构造 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201410475742.XA CN104555885A (zh) | 2014-09-18 | 2014-09-18 | 一种新型mems扫描镜封装构造 |
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| CN201410475742.XA Pending CN104555885A (zh) | 2014-09-18 | 2014-09-18 | 一种新型mems扫描镜封装构造 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106127134A (zh) * | 2016-06-20 | 2016-11-16 | 联想(北京)有限公司 | 光学装置、电子设备及其控制方法 |
| CN110709751A (zh) * | 2017-06-08 | 2020-01-17 | 罗伯特·博世有限公司 | 微机械光转向设备 |
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| CN106127134B (zh) * | 2016-06-20 | 2019-07-26 | 联想(北京)有限公司 | 光学装置、电子设备及其控制方法 |
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| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
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