CN104483770A - 防静电装置和平板显示制造设备 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 68
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 98
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 42
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 27
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 27
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 10
- 238000001029 thermal curing Methods 0.000 claims description 9
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 7
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract description 36
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 abstract description 20
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract description 9
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 132
- 238000000034 method Methods 0.000 description 34
- 230000008569 process Effects 0.000 description 24
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 18
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 13
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 5
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000010041 electrostatic spinning Methods 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 2
- 238000001523 electrospinning Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 229960001760 dimethyl sulfoxide Drugs 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000011214 refractory ceramic Substances 0.000 description 1
- -1 rubbed Substances 0.000 description 1
- 238000012163 sequencing technique Methods 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
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- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05F—STATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
- H05F3/00—Carrying-off electrostatic charges
- H05F3/04—Carrying-off electrostatic charges by means of spark gaps or other discharge devices
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
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Abstract
本发明公开了一种防静电装置和平板显示制造设备，涉及平板显示制造领域，能够解决平板显示行业因静电积累、释放对显示面板造成静电损伤的问题，并且成本低，安装、使用、维护方便。本发明提供的防静电装置包括：可调节供气系统，用于提供压缩气体；多个出风口，所述可调节供气系统提供的压缩气体通过所述出风口向基板吹气；放电针，设置于所述出风口中，用于通过放电使经过所述放电针针尖附近的空气电离，使所述出风口所吹气体含有离子。
Description
技术领域
本发明涉及平板显示制造领域，尤其涉及一种防静电装置和平板显示制造设备。
背景技术
在平板显示面板的生产过程中，显示面板需要被频繁的搬送、运输，自动化程度较高的生产线中使用对位机台来实现这些功能。对位机台上设置有真空吸盘，在搬运过程中真空吸盘和显示面板要频繁地进行接触、贴合及分离运动，对位机台与显示面板会因这些运动产生摩擦，从而导致静电积累。另外，对位机台自身高速运转也会产生静电积累，这些积累的静电在对位机台与显示面板间的接触面释放，极可能会造成显示面板静电损伤，影响产品品质，造成损失。
目前解决静电问题的方式是在基板上方进行X射线照射，X射线照射虽然能达到静电去除的目的，但X射线对人体(作业区内需要人来操作)危害比较大，而且X射线产生装置的安装、使用、维护成本都比较高。
发明内容
本发明的实施例提供一种防静电装置和平板显示制造设备，能够解决平板显示行业因静电积累、释放对显示面板造成静电损伤的问题，并且成本低，安装、使用、维护方便。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
本发明提供一种防静电装置，用于平板显示制造领域，包括：可调节供气系统，用于提供压缩气体；多个出风口，所述可调节供气系统提供的压缩气体通过所述出风口向基板吹气；放电针，设置于所述出风口中，用于通过放电使经过所述放电针针尖附近的空气电离，使所述出风口所吹气体含有离子。
可选地，所述出风口设置于所述制造设备上与基板相接触的表面上。
进一步地，所述防静电装置还包括：控制模块，用于通过控制所述放电针的放电电压、所述可调节供气系统的出气口的气体流量、和/或所述出风口距所述基板表面的距离，来调节到达所述基板表面的离子浓度。
进一步地，所述防静电装置还包括：可移动装置，以及驱动并控制所述可移动装置运动的驱动控制部分；所述多个出风口设置于所述可移动装置上，所述驱动控制部分与所述控制模块相连。
可选地，所述可调节供气系统包括用于控制出气流量的流量控制模块，所述流量控制模块与所述控制模块相连。
可选地，还包括所述放电针的电压提供电路，所述电压提供电路包括电压调节模块，所述电压调节模块与所述控制模块相连。
优选地，所述出风口内设置有气体喷射装置，或者所述出风口直接由所述气体喷射装置形成；所述气体喷射装置包括过滤器、气道和喷头；所述气体喷射装置的进气端通过管道与所述可调节供气系统的出气口相连，所述可调节供气系统提供的压缩气体自所述进气端进入，经所述过滤器、气道后从所述喷头喷出。
优选地，所述气体喷射装置的气体流道上还安装有：压控装置，用于测量及调节从所述喷头喷出气体的压强，与所述控制模块相连。
优选地，所述可调节供气系统到所述出风口的气路上还设置有：密闭空间形成的匀压仓；所述多个出风口设置于所述匀压仓上，为所述匀压仓的出气端口；所述匀压仓的进气端口与所述可调节供气系统的出气口通过管道相连通。
可选地，所述匀压仓的进气端口为一渐变变粗的管道。
可选地，所述可调节供气系统到所述出风口之间的气路上设置有电磁阀，所述电磁阀与所述控制模块相连。
可选地，所述可调节供气系统到所述出风口的气路上设置有：气体分路装置，其进气端与所述供气管道相连通，其出气端为多个，分别与所述多个出风口相连通或者直接形成所述多个出风口。
可选地，所述可调节供气系统为空气压缩机。
本发明还提供一种平板显示制造设备，包括任一项所述的防静电装置。
可选地，所述平板显示制造设备，还包括：距离传感器，用于感应基板与所述平板显示制造设备之间的距离。
可选地，所述平板显示制造设备为热固化设备，或者需要加压的检测设备，或者对位/旋转机台。
可选地，所述平板显示制造设备为对位/旋转机台，所述对位/旋转机台的主体结构内设置有空腔，该空腔中设置所述防静电装置的可调节供气系统；所述主体结构还形成有与基板相接触的表面，该表面上设置有运动导向槽，所述防静电装置的可移动装置沿所述运动导向槽移动。
可选地，所述防静电装置的驱动控制部分包括驱动齿轮和带齿皮带；所述可移动装置的中轴固定在所述带齿皮带上，所述带齿皮带与所述驱动齿轮相啮合，使得所述驱动齿轮带动所述带齿皮带运动时，所述可移动装置沿所述运动导向槽移动。
本发明实施例提供的防静电装置和平板显示制造设备，通过放电针设置于出风口中，使吹向基板底面的压缩气体含有离子，气体中的离子中和基板因摩擦造成的静电，避免静电积累，从而避免静电释放对显示面板造成静电损伤，并且该装置成本低，安装、使用、维护方便。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本发明实施例一提供的用于平板显示制造领域的防静电方法的原理示意图；
图2为本发明实施例二提供的防静电装置的部分结构示意图；
图3为本发明实施例二提供的防静电装置的控制系统示意图；
图4为本发明实施例二提供的防静电装置的出风口的示意图；
图5为本发明实施例二中气体喷射装置的结构示意图；
图6为本发明实施例二中防静电装置的结构示意图；
图7为本发明实施例二提供的热固化设备的原理示意图；
图8为本发明实施例二提供的热固化设备加热腔的结构示意图；
图9为本发明实施例二提供的检测设备检测腔的具体结构示意图；
图10为本发明实施例二中一种现有对位机台的俯视结构示意图；
图11为本发明实施例二提供的对位机台的俯视结构示意图；
图12为本发明实施例二中安装了防静电装置的对位机台的带屏俯视图；
图13为本发明实施例二中对位机台上防静电装置的驱动结构的俯视图；
图14为本发明实施例二中对位机台上除静电装置的气体管路图。
附图标记
7-正离子，8-负离子，9-显示面板，10-基板，101-底面，11-压缩气体，
20-机台的台面，21-出风口，22-放电针，23-控制模块，24-可移动装置，
241-驱动控制部分，25-可调节供气系统，251-流量控制模块，
26-电压提供电路，261-电压调节模块，27-匀压仓，271-匀压仓的出气端口，
272-匀压仓的进气端口，28-电磁阀，29-气体分路装置I，
291-气体分路装置II，292-气体分路装置III，30-气体喷射装置，31-过滤器，
32-气道，33-喷头，34-压控装置，40-加热腔，41-腔体，42-加热空腔，
43-加热板，44-红外测温器，45-热电偶，50-检测腔，
51-低辐射保护玻璃罩，52-检测空腔，53-偏光片，54-扩散板，
55-背光灯组，56-加热板，60-对位机台主体部分，61-距离传感器，
62-驱动控制部分，63-真空吸盘，64-驱动控制部分，65-运动导槽，66-中轴，
67-带齿皮带，68-驱动齿轮，69-带齿皮带的从动轮，70-中轴，
71-连接各出风口的供气管，72-总的供气管。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例一
本发明实施例提供一种用于平板显示制造领域的防静电方法，如图1所示，该方法主要包括：向基板10的底面101吹含有离子的气体11，底面101为基板10与平板显示制造设备相接触的表面，如图1中所示基板10的下表面。
在平板显示制造过程中，平板显示制造设备如对位机台、机械手等要频繁地与基板(本实施例中的基板用来统称显示面板及其半成品)进行接触、贴合及分离运动，会因摩擦导致静电积累，为解决该问题，本实施例在需要去除静电或预防静电产生的情景下，向基板10的底面101吹拂含有离子的气体，一方面气体中的离子可以中和基板因摩擦造成的静电；另一方面还可以降低制造设备与基板10底面101的摩擦，从而避免静电积累，进而避免静电释放对显示面板造成静电损伤，并且该方法成本低，对应的去除静电装置安装、使用、维护方便。
具体而言，可将出风口设置于平板显示制造设备上用于承接基板，与基板相接触、摩擦的表面上，当传感器检测到基板接近平板显示制造设备在一定范围内时，开始向基板10的底面101吹拂含有离子的气体。进一步优选地，对需要对基板10进行对位操作的制造设备如对位机台等，还可以利用向基板10底面101吹含有离子的压缩气体的方式，将基板10托起进行对位，避免因摩擦导致静电积累。
在上述防静电方法基础上，本发明提供一种用于平板显示制造领域的防静电装置，该装置可具体应用在各种平板显示制造设备上，降低摩擦，中和基板上的静电，从而避免静电释放对显示面板造成静电损伤，成本低，易实现。
实施例二
本发明实施例提供一种防静电装置，用于平板显示制造领域，如图1和2所示，该防静电装置包括：可调节供气系统(图中未示出)，用于提供压缩气体；多个出风口21，所述可调节供气系统提供的压缩气体通过出风口21向基板10的底面101吹气，底面为基板10与平板显示制造设备相接触的表面；放电针22，设置于出风口21中，用于通过放电使经过放电针22针尖附近的空气电离，使出风口21所吹气体含有离子。
静电产生一般是由于基板与平板显示制造设备频繁接触、贴合、对位、分离等过程中相互摩擦时产生，本发明实施例提供的防静电装置为一种离子风气源，通过向平板显示制造设备与基板之间的接触面吹拂含有离子的气体，中和因摩擦等造成的静电，避免静电积累，从而消除静电损伤。其中，优选地，出风口21向基板10的底面101(与平板显示制造设备相接触的、容易产生静电积累的表面)吹气，可以如图1所示从基板10的下方直接自下而上向基板底面101吹气，也可以根据实际情况选择从基板10的侧面向基板底面101及二者接触面吹气。在第一种自下而上向基板底面101吹气的情况下时，可将出风口21形成于平板显示制造设备中用于承接基板，与基板相接触、摩擦的表面(机台的台面20)上，出风口21可以是图2所示狭缝状，还可以是离散状分布的气孔。
其中，可调节供气系统用于提供压缩气体(如压缩空气)，且所述压缩气体的流量及气压是可控的，可以根据实际进行调整。通常所需要压缩气体的气压为3-5个大气压，此气压值在压缩空气中属于较低压，采用普通的空气压缩机就能够达到，这样一方面可减少设备投入，另一方面还可降低能耗。
放电针22用于在接通放电高压后进行放电，将针尖附近的空气电离，一般为针状金属。具体而言，放电针22可以按照一定的几何规则或者密度进行排列，而所述放电高压通常可以达到5K到50KV。
出风口21用于吹出所述压缩空气，以形成层流风，用于将在放电针22针尖附近区域的离子带到有静电积累的基板表面。出风口2可以为狭缝状，或为长长的扁平状，类似一气源发生装置。当然，出风口21形状可以根据实际情况进行设计，以便于消除基板表面的静电积累为宜，并不限于上面所述。另外，出风口21处于放电针22的上风处，即远离基板表面的一端，这样形成的层流风可以将放电针22电离的离子吹至基板表面。
进一步地，所述防静电装置还包括：控制模块，用于通过控制放电针22的放电电压、可调节供气系统的出气口的气体流量、和/或出风口21距基板10表面的距离，来调节到达基板10表面的离子浓度。该控制模块可以独立设置，也可以直接利用平板显示制造设备本身固有的控制模块，只要能实现上述控制即可。
具体而言，如图3所示，所述防静电装置还包括：可移动装置24以及驱动并控制该可移动装置运动的驱动控制部分241，所述的多个出风口21设置于可移动装置24上，驱动控制部分241与控制模块23相连，可移动装置24与驱动控制部分241相互配合，使得出风口21到基板10表面的距离可通过控制模块23调节。可调节供气系统25包括用于控制出气流量的流量控制模块251，该流量控制模块251与控制模块23相连。放电针21的电压提供电路26包括电压调节模块261，该电压调节模块261与控制模块23相连。控制模块23通过控制放电针22的放电电压、可调节供气系统25出气口的气体流量以及出风口21距基板10表面的距离，来调节到达基板10表面的离子浓度。进一步地，还可设置静电测量模块，对静电去除结果进行测试，以控制是否继续向基板喷射离子气体进行静电去除。
下面针对本实施例提供的防静电装置，对其控制方法简单介绍如下：步骤一、将放电针22接通放电高压，使放电针22通过针尖放电将其附近的空气电离；步骤二、可调节供气系统向出风口21输入压缩空气，且压缩空气的流量及气压是可控的，即可根据实际需求由控制模块23进行调整；步骤三、通过出风口21吹出所述压缩空气，以形成层流风，用于将放电针22针尖附近区域的离子带到有静电积累的基板表面；步骤四、通过控制放电针22的放电电压、可调节供气系统25出气口的气体流量以及出风口21距基板10表面的距离，来调节到达基板10表面的离子浓度，以达到良好的静电去除效果。需要说明的是：上述步骤并无先后顺序，可以在防静电装置的使用过程中，对离子浓度的实际需求，可以通过对上述放电高压、输入口的气体流量及出风口到基板表面的距离进行调节。
进一步可选地，在需要对基板进行对位操作的情景下，还可以利用防静电装置喷出的气体将基板托起进行对位，避免对位过程中因相互摩擦导致静电积累。如图4所示，为达到对托起基板气流的良好控制的目的，出风口21内设置有气体喷射装置30，或者出风口21直接由气体喷射装置形成；气体喷射装置如图5所示包括过滤器31、气道32和喷头33；气体喷射装置的进气端通过管道与可调节供气系统的出气口21相连，可调节供气系统提供的压缩气体自进气端进入，经过滤器31、气道32后从喷头33喷出。优选地，气体喷射装置的气道32为螺旋气道，可喷出螺旋气体形成气垫，产生更大的上托力，更易使基板浮起。
优选地，气体喷射装置的气体流道(此处的气体流道是气体喷射装置的进气端到出气端的统称，上文中的气道32仅指从喷头喷出前的一小段气体流道)上还安装有：压控装置34，用于测量及调节从喷头喷出气体的压强，与控制模块23相连。通过增设气体喷射装置30，采用下部吹气，利用螺旋气道形成气垫将基板托起，使之悬浮起来进行对位，降低摩擦，从根本上消除静电产生的根源，减少静电积累。气体喷射装置30再结合之前对输入口的气体流量及出风口到基板表面的距离的控制，可对防静电装置喷出的气流强度进行更精细控制，与对位控制相配合，可实现无摩擦对位。
如图6所示，一种优选的实施方式中，可调节供气系统到出风口的气路上还设置有：密闭空间形成的匀压仓27；匀压仓27的出气端口271过管道与气体喷射装置30的进气端相连通，匀压仓27的进气端口272与可调节供气系统25的出气口通过管道相连通；匀压仓27可以使多个出风口21喷出的气体压强一致，避免基板倾斜或不平而影响制造工艺。可选地，匀压仓27的进气端口272为一渐变变粗的管道或者设置有挡板等装置，避免从进气端口272冲进来的气体对出气口的压强产生影响，从而使各出风口21喷出的气体压强一致。另外，如果出风口21内未设置气体喷射装置30，匀压仓27的出气端口271还可直接与多个出风口21相导通，或者多个出风口21直接设置于匀压仓27上，匀压仓27的出气端口271直接形成出风口21。
进一步优选地，可调节供气系统25到出风口21之间的气路上，例如在压缩气体进入匀压仓27之前的气路上设置有电磁阀28，电磁阀28与控制模块23相连。具体而言，可通过气体分路装置I29，将可调节供气系统25出来的气路分成多个支路，每一个支路上安装一个电磁阀28，然后再通过气体分路装置II 291将各支路合成一个气路。采用这样的方式安装电磁阀28，可增加对气体流量的可控性。
本发明实施例提供的防静电装置可具体应用在各种平板显示制造设备上，降低摩擦，中和基板上的静电，从而避免静电释放对显示面板造成静电损伤，成本低，易实现。另一方面，通过防静电装置的可调节供气系统25、电磁阀28、气体喷射装置30对气体进行调控，再结合之前对出风口到基板表面的距离的控制，可对防静电装置喷出的气流强度进行更精细控制，与对位控制相配合，可实现无摩擦对位。
本发明实施例还提供一种平板显示制造设备，包括任一项所述的防静电装置。
所述防静电装置可具体安装在各种平板显示制造设备上，如静电纺丝设备、热固化设备、需要加压的检测设备以及对位/旋转机台等，用以降低基板与设备的相互摩擦，中和基板上的静电，从而避免静电释放对显示面板造成静电损伤，成本低，易实现。
可选地，上述平板显示制造设备，还包括：距离传感器，用于感应基板与所述平板显示制造设备之间的距离。距离传感器用以感应基板与所述平板显示制造设备之间的距离，实现气体喷射与接、送基板之间的配合。
为了本领域技术人员更好的理解本发明实施例提供的技术方案，下面通过具体的实施例对本发明提供的防静电装置以及平板显示制造设备的结构进行详细说明。
(一)、静电纺丝设备
静电纺丝是一种特殊的纤维制造工艺，聚合物溶液或熔体在强电场中进行喷射纺丝。在电场作用下，针头处的液滴会由球形变为圆锥形(即“泰勒锥”)，并从圆锥尖端延展得到纤维细丝。这种方式可以生产出纳米级直径的聚合物细丝。静电纺丝技术也是一种简单而高效制备微纳米纤维薄膜的技术，由于此技术所需设备和实验成本低，制备出的纤维比表面积大、适用性广泛等独特的优势，近年来备受关注。液晶屏制造的过程中，利用该技术制备薄膜例如ITO透明导电薄膜等。
在液晶屏制造的过程中，为中和基板表面的静电积累，采用进行防静电装置控制。防静电装置的出风口设置于各静电纺丝模块之间的空隙中。其中，放电电压通常在5k-50kv之间，输入口的气体流量通常在500～3000m3/h之间，出风口距基板表面的距离通常在5～40cm之间进行选择。上述数值范围在实际应用中的优势在于：在中和静电纺基板表面电荷的同时不会干扰到液晶屏制造的平稳进行。高电压、高气体流量和小的距离使得中和效果较好，但是这也会对静电纺的进行产生扰动，所以，上述工艺参数的调整是在液晶屏制造和中和效果之间的平衡范围。
实验数据1
在液晶屏制造的过程中，为中和基板表面的静电积累，采用上述防静电装置进行静电消除。液晶屏制造设备的喷丝头喷出的是10wt％的聚乙烯醇/二甲基亚砜溶液。具体实验参数如下：放电针的放电电压为5kv，可调节供气系统提供的压缩气体的压强为3个大气压，出风口距基板表面为20cm，出风口的空气流量为1000m3/h。当采用上述防静电装置进行静电消除后，液晶屏制造设备可以连续运行48小时而没有出现纺丝无法进行的情况；而在使用上述防静电装置之前，液晶屏制造机每运行3小时就无法继续稳定地工作。
实验数据2
液晶屏制造设备的喷丝头喷出的是PE熔体，熔体温度为250℃。具体实验参数如下：放电针的放电电压为30kv，可调节供气系统提供的压缩气体的压强为5个大气压，出风口距基板表面为40cm，出风口的空气流量为2000m3/h。当采用上述防静电装置进行静电消除后，液晶屏制造设备可以连续运行48小时而没有出现纺丝无法进行的情况；而在使用上述防静电装置之前，液晶屏制造设备每运行2小时就无法继续稳定地工作。
本发明可以通过上述防静电装置的放电针将空气电离，并由压缩空气形成层流风将离子吹至基板表面以中和静电积累，方向准确，且安全可控。
(二)、热固化设备
平板显示(如液晶显示器)制造过程，对盒过程要进行加压，加压的目的在与使液晶屏达到柱状隔垫物(PS)支撑的状态，该工序使用热固化设备完成。当基板周围有一定气压时，胶与玻璃的接触更加紧密，胶的固化状态非常好，这样固化效果更好，因此本发明实施例提供的热固化设备使用上述防静电装置喷出的气体作为压盒气体。
如图7所示，本发明实施例提供的热固化设备，在加热腔40的下部利用上述防静电装置喷射含有离子的高压气流，利用气流喷射给基板10提供压力，在上部利用平行的加热板进行均匀加热。另外，还可以直接使上述防静电装置喷射高温高压气流，加压的同时提供加热处理。
具体而言，如图8所示，所述加热腔40包括：由耐高温陶瓷形成的腔体41，腔体41内形成有用于容纳基板的加热空腔42，加热空腔42的顶部/上部设置有加热板43(例如硅橡胶加热板)作为热源，加热空腔42的底部/下部设置有用于测量温度的红外测温器44和热电偶45，以及红外距离感应装置。加热空腔42的底部/下部还设置有气体喷射装置30形成的出气口，采用下部吹气，螺旋气体形成气垫使基板悬浮对盒，可以有效避免盒厚不均导致的黑色异常点(黑Gap)。当然，气体喷射装置30形成的出气口还可设置在加热腔40的其他位置，只要能使防静电装置出气口喷出的气体作为压盒气体即可。
(三)、加压检测设备
本发明提供的防静电装置还可应用于需要加压的检测设备，去除静电并向待检测产品提供检测所需要的压力。本实施例提供的检测设备使用防静电装置喷出的气体作为检测设备检测腔的加压气体。
图9示出检测腔的具体结构示意图。检测腔50包括：低辐射保护玻璃罩(检测窗口)51、检测空腔52，偏光片53、扩散板54、背光灯组55和加热板56。与现有检测设备的不同之处在于，本实施例检测腔50将本发明提供的防静电装置的出气口设置检测空腔52的腔壁上，去除静电并向待检测产品提供检测所需要的压力。除此之外与现有检测设备的结构大致相同，不再详述。
(三)、对位机台
本发明提供的防静电装置还可应用于对位/旋转机台，具体而言，对位/旋转机台使用防静电装置喷出的气体将基板托起进行对位。
如图10所示，为一种现有技术中的对位机台的俯视图。对位机台包括主体结构60、驱动控制部分64、距离传感器61和真空吸盘63。对位机台主体结构60有一定强度和厚度，中空，内设真空管、传感器导线等必要的管路和线路。距离传感器61设置于主体结构60的台面前端，可以感应基板与对位机台表面的距离，驱动控制部分62负责对位机台的运动控制和相关的电气控制，结合距离传感器61的检测信号，实现真空吸盘63与接、送基板之间的配合。
本发明实施例提供的新型对位机台设置有本发明提供的防静电装置，具体设计结构存在多样，下面仅举出两种作为参考。
本发明实施例提供的新型对位机台除增加一可移动的防静电装置外，与上述现有结构大致类似。如图11～图14所示，具体而言，对位机台上还形成有可移动装置24，防静电装置的出风口21设置在该可移动装置24，可移动装置24在驱动控制部分64的作用下可以沿Y轴上下移动，因不同尺寸需要设定防静电装置相应的除静电位置，通过电气控制以及可移动装置24沿Y轴的移动，这样对不同尺寸的面板搬运过程中都可自动到达有效的除静电距离。与现有对位机台相类似地，对位机台的主体结构60有一定强度和厚度，内设置有空腔，该空腔中除设置真空管、传感器导线等必要的管路和线路，还设置有防静电装置的气路如可调节供气系统、输气管道以及电磁阀28；对位机台前端设置有距离传感器61，可以感应显示面板与对位机台表面的距离；对位机台的台面上设置真空吸盘63，真空吸盘63在底部与空腔内的真空管等真空设备相连，可通过真空吸附将显示面板固定在对位机台上；驱动控制部分64，负责对位机台及防静电装置的运动控制和相关的电气控制，实现防静电装置的气体喷射、真空吸盘63的吸附与接、送基板之间的配合。该驱动控制部分64可理解为现有对位机台的驱动控制部分62的功能扩展，使其不仅包括现有的对位控制功能，还包括防静电装置中控制模块功能、对可移动装置24进行驱动控制的功能以及该些功能相互间的配合等，总之，本实施例驱动控制部分64可实现接、送基板以及进行基板对位过程中各机械部件和电气部件的控制以及相互配合。
图12是本发明实施例安装了防静电装置的对位机台的带屏俯视图，其中：9为显示面板，通过真空吸盘63吸附固定在对位机台上；7和8分别为防静电装置产生的正负离子示意，距离Z代表防静电装置出风口21与显示面板9边缘的距离，为保证除静电效果，具体实施时，通过驱动控制模块62的控制可移动装置24沿Y轴移动，使Z的距离一般应>50mm。
可移动装置24如何实现沿Y轴移动以及如何实现距离Z的控制，本发明实施例对此不做限定，可以是本领域技术人员所熟知的任意实现方式。下面仅为本领域技术人员理解方便，举出一种实现方式作为范例，可以理解的是，该范例并不用于限定本发明。
图13是本发明实施例的对位机台上防静电装置的驱动结构的俯视图。对位机台主体结构60还形成有与基板相接触的表面(对位机台的台面)，该表面上设置有运动导向槽65，防静电装置的可移动装置24沿运动导向槽65移动。驱动控制部分64包括驱动齿轮68和带齿皮带67；可移动装置24的中轴70固定在带齿皮带67上，带齿皮带67与驱动齿轮68相啮合，使得驱动齿轮68带动带齿皮带67运动时，可移动装置24可沿运动导向槽65移动，从而使设置在可移动装置24上的出风口21到显示面板9边缘的距离Z可调可控。其中，69为带齿皮带67的从动轮。针对不同尺寸的显示面板9，防静电装置的位置需要设定相应的值，通过驱动控制部分64控制驱动齿轮68和带齿皮带67的运动，这样对不同尺寸的面板搬运过程中，可自动调节可移动装置24出风口21到显示面板9边缘的距离Z，从而使可移动装置24自动到达有效除静电的位置处，并且在静电去除之后，还可自动将移动装置24将除静电装置移开，不妨碍后续的制造工艺或检测工艺。
图14是上述对位机台上除静电装置的气体管路图，其中，21为除静电装置的出风口，71为连接除静电装置各个出风口21的供气管，72为总的供气管；292为连接总的供气管72与各个出风口的供气管71的气体分路装置III。具体而言，除静电装置的气体管路如下：可调节供气系统出来的气路通过气体分路装置I 29分成多个支路，每一个支路上安装一个电磁阀28，然后再通过气体分路装置II 291将各支路合成一个总的供气气路。然后供气气路通过总的供气管72引到可移动装置24上，可移动装置24上设置有多个出风口21，总的供气管72通过气体分路装置III 292分成多个支路，每一支路通过一个供气管连接一个出风口21。气体分路装置III 292、出风口21设置在可移动装置24上，可以随可移动装置24上沿Y轴移动。
距离传感器61感应的显示面板9与对位机台之间的距离信号，当显示面板9距离对位机台的距离在一定范围值内时，除静电装置的电源开启，可移动装置24沿Y轴移至距离显示面板9边缘Z(Z可以根据实际情况进行设置)时，同时电磁阀28开启，除静电装置的出气口21喷射含有离子的压缩气体，在随后的整个显示面板9与对位机台接触、贴合、移动对位过程实现静电消除。对位完成后，除静电装置关闭，出气口21停止喷射气体，显示面板9通过真空吸盘63吸附固定在对位机台上进行后续制造或检测过程(此时，可移动装置24可移开以避免妨碍制造或检测过程)。当然，如果有需要，也可以在后续制造或检测过程，除静电装置继续喷射含有离子的压缩气体，直至显示面板9离开对位机台。显示面板9离开对位机台的过程，除静电装置也可继续喷射含有离子的压缩气体消除静电，在显示面板9离开后，显示面板9与对位机台之间距离变大，根据距离传感器61的感应信号，电磁阀28关闭，同时除静电装置的电源关闭。整个既消除静电又兼顾到节电节气的要求，同时根据所搬运的面板尺寸大小，控制可移动装置24与显示面板9边缘的距离Z，同时开启不同数量的电磁阀28控制出气量来合理调节除静电能力的强弱。
本发明实施例还提供的另一种新型对位机台，参照图4和6所示，其与本实施例上一新型对位机台的区别之处在于，本实施例对位机台没有设计可移动装置24，而是直接将除静电装置的出风口21设置在对位机台的台面20上，当然，虽图6未示出，对位机台的台面20上同时还设置有真空吸盘、距离传感器等。与出风口21相连同的气路如匀压仓27、电磁阀28、气体分路装置I 291、气体分路装置II 29以及连接该些器件的管道均设置在对位机台主体结构的空腔内。当距离传感器感应到显示面板与对位机台之间的距离在一定范围值内时，除静电装置的电源开启，同时电磁阀28开启，除静电装置的出气口21向上喷射含有离子的压缩气体，在随后的移动对位过程托起基板进行对位，同时实现静电消除。对位完成后，除静电装置关闭，出气口21停止喷射气体，显示面板通过真空吸盘吸附固定在对位机台上进行后续制造或检测过程。显示面板欲离开对位机台的过程，先打开除静电装置，出风口21喷射含有离子的压缩气体消除静电同时使显示面板离开对位机台。当显示面板与对位机台之间距离变大，根据距离传感器的感应信号，电磁阀28关闭，同时除静电装置的电源关闭。
本发明实施例提供的对位机台通过向基板吹含有离子的压缩气体的方式，降低基板与对位机台间的摩擦，同时使气体中的离子中和基板中的静电，避免静电积累，从而避免静电释放对显示面板造成静电损伤，除静电装置安装、使用、维护方便。
本发明实施例还提供的另一种新型旋转机台，除静电装置喷出的气体可在机械手与翻转器交换基板时使用，也可以应用在对位上。
在翻转装置中增加除静电装置，利用除静电装置喷出的气体承接显示基板，使显示基板脱离翻转器，以及利用除静电装置喷出的含离子的压缩气体进行对位，均可有效减少静电的产生。除静电装置在旋转机台的设置可参照上述对位机台，此处不再详述。
本发明实施例利用压缩离子风气体(含有离子的压缩气体)在基板与机台之间的摩擦面上进行吹气，这样有效控制在基板上产生的静电，即节约能源，有可以有效控制静电的源头，静电去除率大大提高。具体可应用在具有加压检测腔、加热腔室等的设备上，利用除静电装置喷出的气体产生设备所需压力并消除静电，还可应用在涉及对位、摩擦、搬送等设备上，降低摩擦并消除静电。
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。
本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的程序可存储于一计算机可读取存储介质中，该程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，所述的存储介质可为磁碟、光盘、只读存储记忆体(Read-Only Memory，ROM)或随机存储记忆体(Random Access Memory，RAM)等。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
Claims (18)
1.一种防静电装置，用于平板显示制造领域，其特征在于，包括：
可调节供气系统，用于提供压缩气体；
多个出风口，所述可调节供气系统提供的压缩气体通过所述出风口向基板的底面吹气，所述底面为所述基板与平板显示制造设备相接触的表面；
放电针，设置于所述出风口中，用于通过放电使经过所述放电针针尖附近的空气电离，使所述出风口所吹气体含有离子。
2.根据权利要求1所述的防静电装置，其特征在于，所述出风口设置于所述制造设备上与基板相接触的表面上。
3.根据权利要求1所述的防静电装置，其特征在于，还包括：
控制模块，用于通过控制所述放电针的放电电压、所述可调节供气系统的出气口的气体流量、和/或所述出风口距所述基板表面的距离，来调节到达所述基板表面的离子浓度。
4.根据权利要求3所述的防静电装置，其特征在于，还包括：可移动装置，以及驱动并控制所述可移动装置运动的驱动控制部分；
所述多个出风口设置于所述可移动装置上，所述驱动控制部分与所述控制模块相连。
5.根据权利要求3所述的防静电装置，其特征在于，所述可调节供气系统包括用于控制出气流量的流量控制模块，所述流量控制模块与所述控制模块相连。
6.根据权利要求3所述的防静电装置，其特征在于，还包括所述放电针的电压提供电路，所述电压提供电路包括电压调节模块，所述电压调节模块与所述控制模块相连。
7.根据权利要求3所述的防静电装置，其特征在于，所述出风口内设置有气体喷射装置，或者所述出风口直接由所述气体喷射装置形成；所述气体喷射装置包括过滤器、气道和喷头；所述气体喷射装置的进气端通过管道与所述可调节供气系统的出气口相连，所述可调节供气系统提供的压缩气体自所述进气端进入，经所述过滤器、气道后从所述喷头喷出。
8.根据权利要求7所述的防静电装置，其特征在于，所述气体喷射装置的气体流道上还安装有：
压控装置，用于测量及调节从所述喷头喷出气体的压强，与所述控制模块相连。
9.根据权利要求3所述的防静电装置，其特征在于，所述可调节供气系统到所述出风口的气路上还设置有：密闭空间形成的匀压仓；
所述匀压仓的出气端口与所述多个出风口相导通，或者直接形成所述出风口；所述匀压仓的进气端口与所述可调节供气系统的出气口通过管道相连通。
10.根据权利要求9所述的防静电装置，其特征在于，
所述匀压仓的进气端口为一渐变变粗的管道。
11.根据权利要求3或9所述的防静电装置，其特征在于，所述可调节供气系统到所述出风口之间的气路上设置有电磁阀，所述电磁阀与所述控制模块相连。
12.根据权利要求1所述的防静电装置，其特征在于，所述可调节供气系统到所述出风口的气路上设置有：
气体分路装置，其进气端与所述供气管道相连通，其出气端为多个，分别与所述多个出风口相连通或者直接形成所述多个出风口。
13.根据权利要求1所述的防静电装置，其特征在于，所述可调节供气系统为空气压缩机。
14.一种平板显示制造设备，其特征在于，包括权利要求1-13任一项所述的防静电装置。
15.根据权利要求14所述的平板显示制造设备，其特征在于，还包括：距离传感器，用于感应基板与所述平板显示制造设备之间的距离。
16.根据权利要求15所述的平板显示制造设备，其特征在于，所述平板显示制造设备为热固化设备，或者需要加压的检测设备，或者对位/旋转机台。
17.根据权利要求16所述的平板显示制造设备，其特征在于，所述平板显示制造设备为对位/旋转机台，所述对位/旋转机台的主体结构内设置有空腔，该空腔中设置所述防静电装置的可调节供气系统；
所述主体结构还形成有与基板相接触的表面，该表面上设置有运动导向槽，所述防静电装置的可移动装置沿所述运动导向槽移动。
18.根据权利要求17所述的平板显示制造设备，其特征在于，所述防静电装置的驱动控制部分包括驱动齿轮和带齿皮带；所述可移动装置的中轴固定在所述带齿皮带上，所述带齿皮带与所述驱动齿轮相啮合，使得所述驱动齿轮带动所述带齿皮带运动时，所述可移动装置沿所述运动导向槽移动。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510003164.4A CN104483770B (zh) | 2015-01-05 | 2015-01-05 | 防静电装置和平板显示制造设备 |
| US14/897,920 US10123404B2 (en) | 2015-01-05 | 2015-07-21 | Anti-static method, anti-static device and flat display manufacturing equipment |
| PCT/CN2015/084551 WO2016110083A1 (zh) | 2015-01-05 | 2015-07-21 | 防静电方法、防静电装置和平板显示制造设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510003164.4A CN104483770B (zh) | 2015-01-05 | 2015-01-05 | 防静电装置和平板显示制造设备 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104483770A true CN104483770A (zh) | 2015-04-01 |
| CN104483770B CN104483770B (zh) | 2019-01-22 |
Family
ID=52758333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510003164.4A Expired - Fee Related CN104483770B (zh) | 2015-01-05 | 2015-01-05 | 防静电装置和平板显示制造设备 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10123404B2 (zh) |
| CN (1) | CN104483770B (zh) |
| WO (1) | WO2016110083A1 (zh) |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2016110083A1 (zh) | 2016-07-14 |
| CN104483770B (zh) | 2019-01-22 |
| US20160374186A1 (en) | 2016-12-22 |
| US10123404B2 (en) | 2018-11-06 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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