CN104471254A - 真空泵用零件以及真空泵 - Google Patents

Abstract

提供一种能够恰当地进行纤维强化复合材料的表面的覆膜的形成处理的真空泵用零件以及真空泵。在由纤维强化复合材料构成的圆筒形的第2圆筒部件（62）的表面上形成有作为涂层层的覆膜、即镀层（626）的真空泵用零件中，镀层（626）是经过从圆筒形的第2圆筒部件（62）的表面除去含有脱模剂层（622）的表面部分的除去加工工序，和使除去了含有脱模剂层（622）的表面部分后的第2圆筒部件（62）的表面（63）粗面化的粗面化工序形成的。

Description

真空泵用零件以及真空泵

技术领域

本发明涉及半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置中作为工艺室或其它密闭室的气体排气机构加以利用的真空泵中使用的真空泵用零件以及真空泵，特别是涉及能够恰当地进行纤维强化复合材料的表面的覆膜的形成处理的真空泵用零件以及真空泵。

背景技术

以往，作为在涡轮分子泵的铝合金制的旋转翼的下部固定作为纤维强化复合材料的FRP（纤维增强塑料）制的圆筒而构成螺纹槽泵部的真空泵，公知有专利文献1及专利文献2。

在此，由于这种真空泵需要对腐蚀性气体进行排气，所以为了防止各种零件的腐蚀，一般是在其表面实施由镍合金等构成的耐腐蚀性涂层。

但是，虽然关于上述铝合金制的旋转翼的涂层，公知有若干个发明，但关于相对于FRP制的圆筒的涂层的发明则不为人知。

FRP制的圆筒在其成型时使用的脱模剂大多附着在其表面上或熔入其中，因此，为了对其表面进行涂层，使作为其涂层材料的镀层等的覆膜密接在FRP制的圆筒的表面上，事先必须要除去脱模剂。

尤其是在作为本发明的对象的真空泵中，由于需要使FRP制的圆筒高速旋转，所以为了防止作为涂层材料的覆膜脱离FRP制的圆筒的表面，上述事先除去脱模剂的处理是必须的。

附着在FRP制的圆筒的表面上或融入其中的脱模剂的除去虽然能够通过磨石、砂纸或喷丸处理等对表面进行磨削而除去，但在磨削过度的情况下，存在对FRP内部的纤维带来损坏，引起原材料的强度降低的弊端。

在这种情况下，由于受到损坏的仅是表面附近的纤维，而不是原材料整体的强度降低，所以是在一般使用下几乎没有影响的水平。但是，在本发明为对象的真空泵中，由于如上所述必须使FRP制的圆筒高速旋转，所以若FRP制的圆筒的表面附近的纤维粉碎，则纤维以该粉碎部位为起点飞散，在这种真空泵中产生重大的不良情况。

但是，在这种真空泵中使用的FRP制的圆筒的表面的脱模剂除去之际，必须满足以下的条件。

条件1：严格地管理研磨量，防止FRP制的圆筒的表面附近的纤维损坏。

条件2：这种FRP制的圆筒大多因成型时的纤维的卷绕不均匀等表面是起伏的，所以必须进行追随着该表面的起伏的研磨。

条件3：为了提高脱模剂除去后形成的镀层的密接度，必须在脱模剂除去后的FRP制的圆筒的表面制作出适当大小的凹凸（锚固效果）。

在此，在用细的磨粒进行研磨的情况下，由于容易管理研磨量而容易满足条件1，但由于表面的凹凸减小而不容易满足条件3。

此外，在用粗的磨粒进行研磨的情况下，由于在表面制作出适当尺寸的凹凸而容易满足条件3，但研磨量的管理困难，不容易满足条件1。

另一方面，在用中等程度的磨粒进行研磨的情况下，条件1、条件3均不容易满足，难以同时满足两者。

专利文献1：日本国特开平7－4383号公报，

专利文献2：日本国特开2004－278512号公报。

发明内容

本发明是为了解决这种问题而提出的，其目的在于提供一种能够恰当地进行纤维强化复合材料的表面的覆膜形成处理的真空泵用零件以及真空泵。

为了达到上述的目的，本发明的真空泵用零件是具备覆膜的纤维强化复合材料，其特征在于，前述覆膜是至少经过除去前述纤维强化复合材料的表面部分的除去加工工序，和使前述纤维强化复合材料的表面粗面化的粗面化工序形成的。

在此，其特征在于，前述除去加工工序包含通过药品将前述纤维强化复合材料溶解，从而除去前述表面部分的处理。

此外，其特征在于，前述除去加工工序包含通过使用在具有柔软性的基材上固接有磨粒的研磨材料对前述纤维强化复合材料进行研磨，从而除去前述表面部分的处理。

此外，其特征在于，前述除去加工工序包含通过在具有柔软性的基材上涂敷磨粒并对前述纤维强化复合材料进行研磨，从而除去前述表面部分的处理。

此外，其特征在于，前述除去加工工序包含通过对前述纤维强化复合材料进行喷丸加工，从而除去前述表面部分的处理。

此外，其特征在于，前述粗面化工序包含通过使用在具有柔软性的基材上固接有磨粒的研磨材料对除去了前述表面部分后的前述纤维强化复合材料进行研磨，从而使前述表面粗面化的处理。

此外，其特征在于，前述粗面化工序包含通过在具有柔软性的基材上涂敷磨粒并对除去了前述表面部分后的前述纤维强化复合材料进行研磨，从而使前述表面粗面化的处理。

此外，其特征在于，前述粗面化工序包含通过对除去了前述表面部分后的前述纤维强化复合材料进行喷丸加工，从而使前述表面粗面化的处理。

此外，其特征在于，前述除去加工工序包含通过使用在具有柔软性的基材上固接有磨粒的研磨材料对前述纤维强化复合材料进行研磨，从而除去前述表面部分的处理，或者通过在具有柔软性的基材上涂敷磨粒并对前述纤维强化复合材料进行研磨，从而除去前述表面部分的处理，前述粗面化工序包含通过使用在具有柔软性的基材上固接有磨粒的研磨材料对除去了前述表面部分后的前述纤维强化复合材料进行研磨，从而使前述表面粗面化的处理，或者通过在具有柔软性的基材上涂敷磨粒并对除去了前述表面部分后的前述纤维强化复合材料进行研磨，从而使前述表面粗面化的处理，前述粗面化工序使用的前述磨粒的粒径为在前述除去加工工序中使用的前述磨粒的粒径的3倍以上。

此外，其特征在于，前述除去加工工序包含通过对前述纤维强化复合材料进行喷丸加工，从而除去前述表面部分的处理，前述粗面化工序包含通过对除去了前述表面部分后的前述纤维强化复合材料进行喷丸加工，从而使前述表面粗面化的处理，在前述粗面化工序的前述喷丸加工中使用的喷丸材料的粒径为在前述除去加工工序的前述喷丸加工中使用的喷丸材料的粒径的3倍以上。

根据本发明，由于在表面形成有覆膜的纤维强化复合材料中，覆膜是至少经过除去纤维强化复合材料的表面部分的除去加工工序，和使表面粗面化的粗面化工序形成的，所以能够提供一种不会对纤维强化复合材料的表面附近的纤维带来损坏，能够除去脱模剂，并且能够形成密接性高的覆膜的真空泵用零件以及真空泵。

附图说明

图1是适用本发明的真空泵的剖视图；

图2是将构成图1所示的真空泵的螺纹槽泵部的第2圆筒部件拔出后表示的立体图；

图3表示图2所示的FRP制的圆筒中A表示的部分截面的放大图，是说明本发明所涉及的除去加工工序、粗面化工序的附图；

图4是适用本发明的其它的真空泵的剖视图。

附图标记说明：

1：封装壳体，1A：泵壳，1B：泵座，1C：凸缘，2：气体吸气口，3：气体排气口，4：定子柱，5：转子轴，6：转子，60：圆形部件，61：第1圆筒部件，62：第2圆筒部件、圆筒部件，63：端部件，7：轴毂孔，9：转子轴肩部，10：径向磁力轴承：10A：径向电磁铁标靶，10B：径向电磁铁，10C：径向方向位移传感器，11：轴向磁力轴承，11A：电枢盘，11B：轴向电磁铁，11C：轴向方向位移传感器，12：驱动马达，12A：固定体，12B：转动体，13：旋转翼，14：固定翼，18：固定部件，19：螺纹槽，P1：复合泵（真空泵），P2：螺纹槽泵（真空泵），Pt：翼排气部，Ps：螺纹槽泵部，S：螺纹槽泵流路。

具体实施方式

以下，参照说明书所附的附图对用于实施本发明的实施例详细地进行说明。

图1是适用本发明的真空泵的剖视图。该图的真空泵P1在半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置中作为工艺室或其它的密闭室的气体排气机构等加以利用。

该真空泵P1在封装壳体1内具有通过旋转翼13和固定翼14对气体进行排气的翼排气部Pt，和利用螺纹槽19对气体进行排气的螺纹槽泵部Ps。

封装壳体1成为用螺栓将筒状的泵壳1A和有底筒状的泵座1B沿其筒轴方向连结成一体的有底圆筒形。泵壳1A的上端部作为气体吸气口2开口，在泵座1B的下端部侧面设有气体排气口3。

气体吸气口2通过设在泵壳1A上缘的凸缘1C上的未图示的螺栓与例如半导体制造装置的工艺室等高真空的未图示的密闭室相连。气体排气口3连接成与未图示的辅助泵连通。在泵壳1A内的中央部设有内置各种电装品的圆筒状的定子柱4，定子柱4以其下端一侧螺钉固定在泵座1B上的形态立设。

在定子柱4的内侧设有转子轴5，转子轴5配置成其上端部朝向气体吸气口2的方向，其下端部朝向泵座1B的方向。此外，转子轴5的上端部设成从定子柱4的圆筒上端面向上方突出。

转子轴5由径向磁力轴承10和轴向磁力轴承11支撑而能够径向和轴向旋转，在该状态下被驱动马达12驱动而旋转。

驱动马达12为由固定体12A和转动体12B构成的构造，设在转子轴5的大致中央附近。这种驱动马达12的固定体12A配置在定子柱4的内侧，该驱动马达12的转动体12B一体地装设在转子轴5的外周面一侧。

径向磁力轴承10在驱动马达12的上下各配置一组，共计配置两组，轴向磁力轴承11在转子轴5的下端部一侧配置一组。

两组径向磁力轴承10、10分别具备安装在转子轴5的外周面上的径向电磁铁标靶10A、配置在与其对置的定子柱4内侧面上的多个径向电磁铁10B、以及径向方向位移传感器10C。径向电磁铁标靶10A由将高透磁率材料的钢板层叠而成的层叠钢板构成，径向电磁铁10B穿过径向电磁铁标靶10A而用磁力沿径向吸引转子轴5。

径向方向位移传感器10C检测转子轴5的径向位移。而且，通过基于径向方向位移传感器10C的检测值（转子轴5的径向位移）控制径向电磁铁10B的励磁电流，转子轴5在径向规定位置被磁力支撑而上浮。

轴向磁力轴承11具备安装在转子轴5的下端部外周的圆盘形状的电枢盘11A、隔着电枢盘11A上下对置的轴向电磁铁11B、和设置在稍稍离开转子轴5的下端面的位置的轴向方向位移传感器11C。

电枢盘11A由透磁率高的材料构成，上下的轴向电磁铁11B用磁力从上下方向吸引电枢盘11A。轴向方向位移传感器11C检测转子轴5的轴向位移。而且，通过基于轴向方向位移传感器11C的检测值（转子轴5的轴向位移）控制上下的轴向电磁铁11B的励磁电流，转子轴5在轴向规定位置被磁力支撑而上浮。

在前述定子柱4的外侧，作为真空泵P的旋转体设有转子6。转子6为包围在定子柱4的外周的圆筒形状，成为了经由位于大致中间的圆环板状的圆形部件60，将直径不同的两个筒体（第1筒体61和第2筒体62）沿其轴向连结的构造。

前述第1圆筒部件61由与圆形部件60相同的材料（例如铝或者其合金）形成。另一方面，前述第2圆筒部件62由纤维增强塑料（FRP：Fiber Reinforced Plastics）形成。

此外，前述第1圆筒部件61通过切削加工等从铝块或者其合金块上切出。在图1的复合泵P1中，前述圆形部件60为在第1圆筒部件61的端部外周设有凸缘那样的形态，与第1圆筒部件61一同从前述铝块或者其合金块上切出。

另一方面，前述第2圆筒部件62是在与圆形部件60及第1圆筒部件61分体地形成后，通过压入圆形部件60的外周而嵌合地接合的。另外，也可以通过粘接将第2圆筒部件62接合在圆形部件60的外周。

在第1圆筒部件61的上端设有端部件63，转子6和转子轴5经由该端部件63而一体化。作为这种一体化的构造的一例，在图1的复合泵P1中，在端部件63的中心设有轴毂孔7，并且在转子轴5的上端部外周形成台阶状的肩部（以下称为“转子轴肩部9”）。而且，转子6与转子轴5的一体化是将比其转子轴肩部9靠上的转子轴5顶端部嵌入端部件63的轴毂孔7中，并且用螺栓将端部件63和转子轴肩部9 紧固地固定。

由前述第1和第2圆筒部件61、62以及圆形部件60构成的转子6经由转子轴5由径向磁力轴承10、10及轴向磁力轴承11支撑，能够绕其轴心（转子轴5）旋转。被支撑的转子6被驱动马达12的转子轴5的旋转驱动而绕其转子轴5旋转。

因此，在图1的复合泵P1中，由转子轴5，径向磁力轴承10、10和轴向磁力轴承11，驱动马达12构成的泵支撑系统、旋转驱动系统作为驱动前述圆形部件60及第1和第2圆筒部件61、62绕其中心旋转的驱动机构发挥功能。

《翼排气部Pt的详细结构》，在图1的复合泵P1中，转子6的大致中间位置（具体地说是圆形部件60的位置，以下也同样）的上游（从转子6的大致中间位置到转子6的气体吸气口2一侧端部的范围，以下也同样）作为翼排气部Pt发挥功能。翼排气部Pt的详细结构如以下所述。

比转子6的大致中间位置靠上游一侧的转子6构成部分、即第1圆筒部件61是作为翼排气部Pt的旋转体旋转的部分，在第1圆筒部件61的外周面上一体地设有多个旋转翼13。这多个旋转翼13以作为转子6的旋转轴心的转子轴5或者封装壳体1的轴心（以下称为“泵轴心”）为中心放射状地排列。

另一方面，在泵壳1A的内周面一侧设有多个固定翼14，这多个固定翼14也以泵轴心为中心放射状地排列配置。而且，通过前述那样的旋转翼13和固定翼14沿着泵轴心交错地配置多级，形成了翼排气部Pt。

任一个旋转翼13均是通过切削加工与第1圆筒部件61的外径加工部一体地切出形成的叶片状的切削加工品，以最适于气体分子的排气的角度倾斜。此外，任一个固定翼14也以最适于气体分子的排气的角度倾斜。

《翼排气部Pt的动作说明》，在由以上的结构构成的翼排气部Pt中，通过驱动马达12的起动，转子轴5、转子6以及多个旋转翼13一体地高速旋转，最上级的旋转翼13相对于从气体吸气口2入射的气体分子赋予从气体吸气口2朝向气体排气口3一侧的方向的运动量。具有该排气方向的运动量的气体分子被固定翼14向下一级的旋转翼13一侧送入。通过以上这种运动量向气体分子的赋予和送入动作重复地进行多级，气体吸气口2一侧的气体分子依次朝向转子6的下游转移，到达螺纹槽泵部Ps的上游一侧。

《螺纹槽泵部Ps的详细结构》，在图1的复合泵P1中，转子6的大致中间位置的下游（从转子6的大致中间位置到转子6的气体排气口3侧端部的范围，以下也同样）作为螺纹槽泵部Ps发挥功能。螺纹槽泵部Ps的详细结构如以下所述。

比转子6的大致中间靠下游一侧的转子6结构部分、即第2圆筒部件62是作为螺纹槽泵部Ps的旋转部件旋转的部分，在该第2的圆筒部件62的外周，作为螺纹槽泵部定子设有筒状的固定部件18，该筒状的固定部件（螺纹槽泵部定子）18为包围在第2圆筒部件62的外周的构造。另外，前述固定部件18的下端部由泵座1B支撑。

在固定部件18与第2圆筒部件62之间设有螺旋状的螺纹槽泵流路S。在图1的例子中，采用了通过使第2圆筒部件62的外周面为没有凹凸的曲面，并且在固定部件18的内表面一侧形成螺旋状的螺纹槽19，在第2圆筒部件62与固定部件18之间形成螺纹槽泵流路S的结构。也可以取代这种结构，而构成为通过将这种螺纹槽19形成在第2圆筒部件62的外周面上，并且使固定部件18的内表面为没有凹凸的曲面，在第2圆筒部件62与固定部件18之间形成螺纹槽泵流路S。

前述螺纹槽19形成为向其深度朝向下方而小直径化的圆锥形状变化。此外，前述螺纹槽19从固定部件18的上端螺旋状地刻设到下端。

在该螺纹槽泵部Ps中，为了通过螺纹槽19与第2圆筒部件62外周面的牵引效果而一边将气体压缩一边移送，所以螺纹槽19的深度设定成在螺纹槽泵流路S的上游入口一侧（靠近气体吸气口2的流路开口端）最深，在其下游出口一侧（靠近气体排气口3的流路开口端）最浅。

如《螺纹槽泵部Ps的动作说明》之前的《翼排气部Pt的动作说明》一栏中所说明的那样，到达了螺纹槽泵部Ps的上游一侧的气体分子进一步向螺纹槽泵流路S转移。转移的气体分子通过第2圆筒部件62的旋转产生的效果、即第2圆筒部件62外周面与螺纹槽19的牵引效果，从过渡流压缩成粘性流，并朝向气体排气口3转移，最终通过未图示的辅助泵向外部排气。

在上述结构的真空泵P1中，本发明所涉及的该实施例的真空泵用零件适用于作为螺纹槽泵部Ps的结构部分的第2圆筒部件62。

图2是将构成图1所示的真空泵的螺纹槽泵部Ps的第2圆筒部件62拔出后表示的立体图，图3表示图2所示的FRP制的圆筒中A表示的部分截面的放大图，是说明本发明所涉及的除去加工工序、粗面化工序的附图。

在图1所示的真空泵中，构成螺纹槽泵部Ps的第2圆筒部件62在该实施例中是由强化材料例如使用碳纤维、母材主要使用环氧树脂的纤维强化复合材料形成。

在这种情况下，作为强化材料的强化纤维621如图3（A）所示，沿着该第2圆筒部件62的圆周方向卷绕多层。而且，由于该强化纤维621的卷绕不均匀，该第2圆筒部件62的表面不是平坦的，产生了些许的起伏。

此外，由于该实施例的第2圆筒部件62是通过加热、加圧成型而形成的，所以在脱模时，如图3（A）所示，在其表面上例如形成有附着或熔入了硅系的脱模剂的脱模剂层622。

该脱模剂层622的存在降低了之后进行的作为涂层处理的无电镀处理形成的例如由镍合金构成的镀层的密接度。

因此，在该实施例的第2圆筒部件62上，首先执行图3（A）所示的除去含有脱模剂层622的表面部分的除去加工工序。另外，图3（B）表示含有脱模剂层622的表面部分除去后的状态，实线所示的面623表示了含有脱模剂层622的表面部分除去后的该第2圆筒部件62的外形面（表面），点划线所示的面624表示了含有脱模剂层622的表面部分除去前的该第2圆筒部件62的外形面。

在该除去加工工序中，含有脱模剂层622的表面部分的除去量必须严格地管理成到达强化纤维621而不会切断大量的强化纤维621。例如，在该除去加工工序中，若含有脱模剂层622的表面部分的除去量到达强化纤维621，并对强化纤维621带来损坏，则强化纤维621以该部分为起点剥落并飞散，在这种真空泵中产生重大的不良情况。

为此，该除去加工工序通过以下所示的某一种方法进行。

A－1）通过药品将含有脱模剂层622的表面部分溶解并除去。

作为在此使用的药品，能够使用三彩化工制的「脱硅」、日动化学工业制的「断硅」、金子化学制的「树脂溶解剂：e纤维素溶剂21系列」等有机溶剂、铬酸、高锰酸等。

A－2）通过使用在具有柔软性的基材上固着有磨粒的研磨材料对表面进行研磨，从而除去含有脱模剂层622的表面部分。

在此，作为在具有柔软性的基材上固着有磨粒的研磨材料，能够使用1）在海绵表面粘接有磨粒的研磨材料，2）在尼龙无纺布上粘接与磨粒的研磨材料，3）将粘接有磨粒的尼龙线捆扎而成的刷子，4）由加有狭缝的磨粒粘接研磨布构成的纱布轮等。此外，作为在此使用的磨粒，优选从＃240以上的磨粒选择，例如使用＃600的磨粒。

A－3）通过在具有柔软性的基材上涂敷磨粒并对表面进行研磨，从而除去含有脱模剂层622的表面部分。

该方法为所谓抛光的方法，作为在此使用的磨粒，优选从＃240以上的磨粒选择，例如使用＃600的磨粒。

A－4）通过表面的喷丸加工除去含有脱模剂层622的表面部分。

在此的喷丸加工是用压缩空气将喷丸材料（各种研磨材料等的颗粒）吹喷在制品的表面上，或者用旋转翼连续投射的气体喷丸的方法。另外，作为上述喷丸材料，能够使用钢砂、钢丸、钢丝球、矾土、玻璃珠、硅砂等。此外，也能够取代上述气体喷丸，而通过压缩空气将均匀地分散有细磨粒的加工液高速地吹向工作物表面吹喷的液体珩磨。

通过使用上述A－1）至A－4）的任一种方法，即使在第2圆筒部件62的表面有些许起伏，也能够追随着该表面的起伏，不对强化纤维921带来损坏地进行脱模剂层622的除去。

如图3（B）所示，若从第2圆筒部件62的表面除去含有脱模剂层622的表面部分，则接着执行将图3（B）中实线所示的面623粗面化成图3（C）中实线所示的面625的粗面化工序。

该粗面化工序通过以下所示的某一种方法进行。

B－1）通过使用在具有柔软性的基材上固着有磨粒的研磨材料对除去了含有脱模剂层622的表面部分后的表面623进行研磨，从而使表面粗面化。

在此，作为在具有柔软性的基材上固着有磨粒的研磨材料，与A－2）同样，能够使用1）在海绵表面上粘接有磨粒的研磨材料，2）在尼龙无纺布上粘接有磨粒的研磨材料，　3）将粘接有研磨的尼龙线捆扎而成的刷子，4）由加有狭缝的磨粒粘接研磨布构成的纱布轮等。但是，作为在此使用的磨粒，优选从＃180以下的磨粒选择，例如使用＃100的磨粒。

B－2）通过在具有柔软性的基材上涂敷磨粒并对除去了含有脱模剂层622的表面部分后的表面623进行研磨，从而使表面粗面化。

该方法与A－3）同样，是所谓抛光的方法，但作为在此使用的磨粒，优选从＃180以下的磨粒选择，例如使用＃100的磨粒。

另外，在B－1）或者B－2）使用的磨粒的粒径优选使用为在A－2）或者A－3）使用的磨粒的粒径的3倍以上的粒径。

B－3）通过除去了含有脱模剂层622的表面部分后的表面623的喷丸加工，从而使表面粗面化。

该方法与A－4）同样，但在此优选使用粒径为在A－4）的喷丸加工使用的喷丸材料的粒径的3倍以上的喷丸材料。

通过使用上述B－1）至B－3）的任一种方法，有效地在第2圆筒部件62的表面上形成图3（C）的面625所示的凹凸而被粗面化。

在该粗面化后的图3（C）中实线所示的第2圆筒部件62的面625上，如图3（D）所示，通过无电镀形成作为涂层层的镀层626。

该镀层626通过形成在面625上的凹凸产生的锚固效果而被强力地密接在第2圆筒部件62的表面上。

另外，在上述说明中，作为除去加工工序表示了A－1）至A－4）这四种方法，作为粗面化工序表示了B－1）至B－3）这三种方法，但也能够是上述四种除去加工工序的方法A－1）至A－4）的某一种与上述三种粗面化工序的方法B－1）至B－3）的某一种的任意组合。

此外，在上述实施例中，作为涂层层的覆膜，表示了形成无电镀的镀层626的情况，但也可以通过塗装等形成作为涂层层的覆膜。

另外，在上述实施例中，表示了本发明在具有翼排气部Pt和螺纹槽泵部Ps的复合型真空泵中的适用情况，但本发明也同样能够适用于仅由螺纹槽泵构成的真空泵中。

图4是适用本发明的其它真空泵P2的剖视图。

该图的真空泵P2为省略了图1的真空泵P1中的翼排气部Pt的形式，作为基本的结构，具备：圆形部件60，驱动圆形部件60绕其中心旋转的驱动机构（具体地说是由转子轴5，径向磁力轴承10、10及轴向磁力轴承11，驱动马达12构成的泵支撑系统、旋转驱动系统），接合在圆形部件60的外周的圆筒部件62，包围在圆筒部件62的外周、作为螺纹槽泵部定子的固定部件18，以及形成在圆筒部件62与固定部件18之间的螺纹槽泵流路S，由于通过圆形部件60及圆筒部件62的旋转，通过螺纹槽泵流路S对气体进行排气与图1的复合泵P1同样，所以对于相同部件赋予相同的附图标记，省略其详细说明。

另外，由圆形部件60和圆筒部件62构成的转子6以与图1的转子6同样的构造与转子轴5一体化。

相对于该图4所示的真空泵P2的圆筒部件62，与图1所示的第2圆筒部件62同样，也能够适用本发明。

本发明并不仅限于上述的实施方式，只要是在本发明的技术构思的范围内，根据本领域技术人员的通常的创造能力能够进行更多的变形。

Claims (12)

1.一种真空泵用零件，是具备覆膜的纤维强化复合材料，其特征在于，前述覆膜是至少经过除去前述纤维强化复合材料的表面部分的除去加工工序，和使前述纤维强化复合材料的表面粗面化的粗面化工序形成的。

2.如权利要求1所述的真空泵用零件，其特征在于，前述除去加工工序包含通过药品将前述纤维强化复合材料溶解，从而除去前述表面部分的处理。

3.如权利要求1所述的真空泵用零件，其特征在于，前述除去加工工序包含通过使用在具有柔软性的基材上固接有磨粒的研磨材料对前述纤维强化复合材料进行研磨，从而除去前述表面部分的处理。

4.如权利要求1所述的真空泵用零件，其特征在于，前述除去加工工序包含通过在具有柔软性的基材上涂敷磨粒并对前述纤维强化复合材料进行研磨，从而除去前述表面部分的处理。

5.如权利要求1所述的真空泵用零件，其特征在于，前述除去加工工序包含通过对前述纤维强化复合材料进行喷丸加工，从而除去前述表面部分的处理。

6.如权利要求1至5中任一项所述的真空泵用零件，其特征在于，前述粗面化工序包含通过使用在具有柔软性的基材上固接有磨粒的研磨材料对除去了前述表面部分后的前述纤维强化复合材料进行研磨，从而使前述表面粗面化的处理。

7.如权利要求1至5中任一项所述的真空泵用零件，其特征在于，前述粗面化工序包含通过在具有柔软性的基材上涂敷磨粒并对除去了前述表面部分后的前述纤维强化复合材料进行研磨，从而使前述表面粗面化的处理。

8.如权利要求1至5中任一项所述的真空泵用零件，其特征在于，前述粗面化工序包含通过对除去了前述表面部分后的前述纤维强化复合材料进行喷丸加工，从而使前述表面粗面化的处理。

9.如权利要求1所述的真空泵用零件，其特征在于，前述除去加工工序包含通过使用在具有柔软性的基材上固接有磨粒的研磨材料对前述纤维强化复合材料进行研磨，从而除去前述表面部分的处理，或者通过在具有柔软性的基材上涂敷磨粒并对前述纤维强化复合材料进行研磨，从而除去前述表面部分的处理，前述粗面化工序包含通过使用在具有柔软性的基材上固接有磨粒的研磨材料对除去了前述表面部分后的前述纤维强化复合材料进行研磨，从而使前述表面粗面化的处理，或者通过在具有柔软性的基材上涂敷磨粒并对除去了前述表面部分后的前述纤维强化复合材料进行研磨，从而使前述表面粗面化的处理，前述粗面化工序使用的前述磨粒粒径为在前述除去加工工序中使用的前述磨粒的粒径的3倍以上。

10.如权利要求1所述的真空泵用零件，其特征在于，前述除去加工工序包含通过对前述纤维强化复合材料进行喷丸加工，从而除去前述表面部分的处理，前述粗面化工序包含通过对除去了前述表面部分后的前述纤维强化复合材料进行喷丸加工，从而使前述表面粗面化的处理，在前述粗面化工序的前述喷丸加工中使用的喷丸材料的粒径为在前述除去加工工序的前述喷丸加工中使用的喷丸材料的粒径的3倍以上。

11.一种在真空泵中使用的转子，其特征在于，具备前述权利要求1至10中任一项所述的真空泵用零件。

12.一种真空泵，其特征在于，具备前述权利要求1至10中任一项所述的真空泵用零件。