CN104407225A - 一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置及其方法 - Google Patents
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Abstract
一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置及其方法，提高测量节拍3倍以上，降低磨损、弯曲、变形情况，减少维修和维护成本；装置及其方法简单合理，使用方便快捷，确保读取数值的测量准确性及测量重复性，大大提高工作效率和成品率；有效延长使用寿命，达到2000小时以上，节能环保。一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置，是由：电阻测试仪装置，手持式探头测试装置外壳，自重配重块，上滑竿，外壳内挡板，测试内芯装置，底座支撑防滑装置，圆滑探针针头，下滑竿装置，导线，测试探针套管，S型悬臂式弹簧构成；氧化铟锡膜上方设置底座支撑防滑装置，底座支撑防滑装置上方设置手持式探头测试装置外壳；满足用户和市场的需求。
Description
技术领域
本发明涉及氧化铟锡膜测试装置及其方法，尤其是一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置及其方法。
背景技术
目前，现有的氧化铟锡薄膜层的脆弱和柔韧性缺乏，使氧化铟锡薄膜方块电阻、电阻率的测试较为复杂。氧化铟锡是一种铟(III族)氧化物(In2O3)和锡(IV族)氧化物(SnO2)的混合物，通常质量比为90％In2O3∶10％SnO2及97％In2O3∶3％SnO2；氧化铟锡在薄膜状时，无色透明，随薄膜厚度加深，颜色反射色发生变化，由淡灰蓝色→亮灰色→黄色→紫红色→绿色→红色，透射颜色呈显茶色，随之薄膜层加厚，透射颜色呈现茶色越重；氧化铟锡在块状态时，它呈黄偏灰黑色；在薄膜状态时，膜层脆弱，碰触硬物碰扎，会形成ITO膜层空洞。
由于氧化铟锡薄膜脆弱和柔韧性缺乏的特性，现有四探针分尖头探针和圆头探针，圆头探针间距过宽、间距微弱变化，测试薄膜时出现数值测量重复性差，前者尖头探针对膜层存在破坏性，导致薄膜层形成ITO空洞，制约了高端产品测量电阻的制程；尖头探针或通常采用平台，外靠人为受力加压测试，或采用支架支撑，加测试平台，前者存在人为性受力差别不均匀，测试数据跳动，测试数据重复性差，后者虽把前者系列弊端予以掩盖，由于测试支架活动范围受限，需延续固定轨道测试，测试范围、测试频率受制约，对于氧化铟锡薄膜连续生产企业，无法满足制程连续性。
具体的表现有：读取数值的测量准确性及测量重复性不一；主要部件测试的探针处，磨损、弯曲、变形情况较多，一般有时200-300小时就会失效、损坏，增加维修维护成本，耗费大量时间与能源。测试中对表面薄膜层损伤破坏率不小，降低了成品率，以及产品质量；现有的测试装置与ITO膜层接触，压力保持的一致性差，导致工作人员测量要求高，操作缓慢、繁琐复杂，需依靠测量架支撑，测试频率及工作效率低；形成氧化铟锡膜测试技术发展中的瓶颈，是本领域长期以来难以解决的技术问题，不能满足用户和市场的需求。
鉴于上述原因，现有的氧化铟锡膜测试装置及其方法亟待创新。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术中的不足，提供了一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置及其方法，提高测量节拍3倍以上，降低磨损、弯曲、变形情况，减少维修和维护成本；装置及其方法简单合理，使用方便快捷，确保读取数值的测量准确性及测量重复性，大大提高工作效率和成品率；有效延长使用寿命，达到2000小时以上，节能环保。
本发明为了实现上述目的，采用如下的技术方案：
一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置，是由：电阻测试仪装置1，手持式探头测试装置外壳2，自重配重块3，上滑竿4，外壳内挡板5，测试内芯装置6，底座支撑防滑装置7，圆滑探针针头8，下滑竿装置9，导线10，测试探针套管11，S型悬臂式弹簧12构成；氧化铟锡膜上方设置底座支撑防滑装置7，底座支撑防滑装置7上方设置手持式探头测试装置外壳2；底座支撑防滑装置7与手持式探头测试装置外壳2之间的中部预留孔，孔中设置下滑竿装置9；
下滑竿装置9内设置至少四根测试探针套管11，测试探针套管11内设置S型悬臂式弹簧12；S型悬臂式弹簧12的上端设置导线10，下端设置圆滑探针针头8，圆滑探针针头8设置于测试探针套管11内的下部；导线10的另一端通过手持式探头测试装置外壳2设置于电阻测试仪装置1的一侧。
手持式探头测试装置外壳2内的上部设置外壳内挡板5，外壳内挡板5中部预留孔，孔中设置上滑竿4；上滑竿4的上端设置自重配重块3，下端设置测试内芯装置6；下滑竿装置9设置于测试内芯装置6下部，测试内芯装置6内设置导线10。
手持式探头测试装置外壳2设置为圆筒形、或正多边柱形，与自重配重块3、上滑竿4、外壳内挡板5、测试内芯装置6、下滑竿装置9五者同轴心线设置；自重配重块3设置为圆形、正多边形的金属、或铁块。
下滑竿装置9内设置的四根测试探针套管11均布为一排、或者矩形；测试探针套管11下端对应设置圆滑探针针头8。
圆滑探针针头8采用球形镀金，直径Ф设置为0.7mm，相邻的圆滑探针针头8之间的距离S设置为0.5mm±0.01mm。
底座支撑防滑装置7以手持式探头测试装置外壳2的轴心线为中心，对称设置至少三个。
一种氧化铟锡膜手持式探头测试的方法，具体的方法步骤依次如下：首先，开启电阻测试仪装置1，准备好氧化铟锡膜的被测试方块样本，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的底座支撑防滑装置7放置于准备好的氧化铟锡膜的被测试方块样本上；
同时，手持式探头测试装置外壳2内的自重配重块3由自身的重力作用在上滑竿4上，使上滑竿4通过外壳内挡板5定向压下测试内芯装置6向下滑动，继而测试内芯装置6推动下滑竿装置9向下滑动，下滑竿装置9内的圆滑探针针头8与测试探针套管11同步向下移动；当圆滑探针针头8与氧化铟锡膜的被测试方块样本接触，接触点接受到稳定压力，使圆滑探针针头8合力为4±1N牛顿，反作用于测试探针套管11内S型悬臂式弹簧12上，且向上移动伸入测试探针套管11内，相邻的圆滑探针针头8之间的距离S设置为0.5mm±0.01mm，使圆滑探针针头8的间距相对偏差≤1.0％，探针游移率≤0.3mm，探针弧度为π/2；
接着，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的四根圆滑探针针头8中，靠外边两根探针由稳压电源供电，经过串联的电流表测出：在被测氧化铟锡膜的被测试方块样本扩散薄层中通过一定量的电流I；中间两根探针测定出两根探针之间的电位差V，继而由电阻测试仪装置1测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs＝V/I；
当氧化铟锡膜的被测试方块样本的尺寸大于圆滑探针针头8的间距S，达到3倍以上时，方块电阻可以表示为Rs＝C(V/I)，式中C为修正因子，其数值由被测样品的长L、宽a、厚b尺寸和探针间距决定；
然后，测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs，及其电阻率：ρ“电阻率单位为Rho”＝电阻R*截面面积A/长度L。
本发明的工作原理是：采用四探针探头自重原理，测量节拍快，测量精度提高，改善探针形态，避免人为性测量对氧化铟锡薄膜层破损，能够与市面现有测试电阻仪器相连接匹配；该装置耐用性好，机身其加工精度不高，结构紧凑探针间距精确，导向精度高，针尖上下滑动灵活，无卡阻和拖尾现象，保证同一平面上的针尖在同一水平线上，探针型号普通，便于维修维护。
本发明装置包括四探针探头自重测量，四探针与氧化铟锡膜层接触点受力平均，受力压力减少。测试探头装置垂直放于测试样本上，结合柔软圆滑探针针头、底座支持防滑装置，利用探头自身重量对探针进行施加压力，致使四探针与氧化铟锡膜层紧密接触，结构紧凑合理，探针间距精确，导向精度高，针尖上下滑动灵活，无卡阻和拖尾现象，保证同一平面上的针尖在同一水平线上，配合探针柔软防滑的特性，加以底座支撑防滑装置，得以稳定精密接触测量氧化铟锡薄膜，传导至电阻测试仪。
本发明用于对薄膜方块电阻、电阻率的测试。测试探头装置垂直放于测试样本上，结合圆滑探针针头、底座支持防滑装置，利用探头自身重量对探针进行施加压力，致使四探针与氧化铟锡膜层紧密接触，结构紧凑，探针间距精确，导向精度高，针尖上下滑动灵活，无卡阻和拖尾现象，保证同一平面上的针尖在同一水平线上，加以底座支撑防滑装置，得以稳定精密接触测量氧化铟锡薄膜，传导至电阻测试仪。
本发明测试探头提起时，内部测试内芯垂直下压，通过所配比自重力，施压给四探针，通过探针内部弹簧调节压力，紧密结合探针与测试样品氧化铟锡薄膜层。
本发明探头装置顶部配有自重配重铁块，根据探针弹簧压力，配备相应配重铁块，以致能与薄膜紧密结合，减少传输电流、电压损耗。
本发明采用特制的S型悬臂式弹簧，使每根探针都具有独立、准确的压力，探针尾部伸入弹簧，测试时弹簧整体受力，并且确保压力可以垂直用于弹簧。采用这种结合，针头运动稳定，更换维修方便。
本发明测试薄膜的四探针探头，为球形镀金探针，保证接触电阻最小，将装置紧密有效接触被测氧化铟锡薄膜。
本发明测试探针尾部套管壁增厚，能保证探针伸缩游移率，套管与导线连接尾端，PBC板焊接、固封，减少探针伸缩游移率。
本发明探头装置外壳上下端伸缩滑竿，依靠自重上下滑动，探头装置放于测试样品表面时，上下环固架支撑，保证无卡顿受阻，更平缓的垂直压于测试样品表面。
本发明的具体实施不局限于以上内容的说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。
本发明的有益效果是：装置及其方法简单合理，使用方便，操作快捷，制造容易，提高测量节拍3倍以上，降低磨损、弯曲、变形情况，减少维修和维护成本；确保读取数值的测量准确性及测量重复性，大大提高工作效率和成品率；有效延长使用寿命，达到2000小时以上，节能环保。正常工作中，实现测试100000次以上无故障。具体研发结果见下(表1)。
本发明采用手持式、自重力探头，无需借助人为施压，探头放于测试样品后即可读取数值，测量准确性及测量重复性得以保证；主要部件探针处，无较大外力对其施压，减少磨损、弯曲、变形情况，采用针套式圆头形探头，杜绝了测试对表面薄膜层的损伤破坏，形成ITO膜层空洞。该装置使用自重力压合探针与波膜层接触，压力保持一致，避免人员测量差别性，简化了操作，无需依靠测量架支撑，提高了测试频率及工作效率。满足了用户和市场的需求。
(表1)：
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步说明：
图1是本发明的总装结构示意图；
图2是图1中D处的放大结构示意图；
图3是图1、2中圆滑探针针头的结构示意图；
图4是图1中氧化铟锡膜方块电阻的测量方法示意图；
图1、2、3、4中：电阻测试仪装置1，手持式探头测试装置外壳2，自重配重块3，上滑竿4，外壳内挡板5，测试内芯装置6，底座支撑防滑装置7，圆滑探针针头8，下滑竿装置9，导线10，测试探针套管11，S型悬臂式弹簧12。
具体实施方式
下面结合实施例和附图与具体实施方式对本发明作进一步详细说明：
实施例1：
如图所示，一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置，是由：电阻测试仪装置1，手持式探头测试装置外壳2，自重配重块3，上滑竿4，外壳内挡板5，测试内芯装置6，底座支撑防滑装置7，圆滑探针针头8，下滑竿装置9，导线10，测试探针套管11，S型悬臂式弹簧12构成；氧化铟锡膜上方设置底座支撑防滑装置7，底座支撑防滑装置7上方设置手持式探头测试装置外壳2；底座支撑防滑装置7与手持式探头测试装置外壳2之间的中部预留孔，孔中设置下滑竿装置9；
下滑竿装置9内设置至少四根测试探针套管11，测试探针套管11内设置S型悬臂式弹簧12；S型悬臂式弹簧12的上端设置导线10，下端设置圆滑探针针头8，圆滑探针针头8设置于测试探针套管11内的下部；导线10的另一端通过手持式探头测试装置外壳2设置于电阻测试仪装置1的一侧。
手持式探头测试装置外壳2内的上部设置外壳内挡板5，外壳内挡板5中部预留孔，孔中设置上滑竿4；上滑竿4的上端设置自重配重块3，下端设置测试内芯装置6；下滑竿装置9设置于测试内芯装置6下部，测试内芯装置6内设置导线10。
手持式探头测试装置外壳2设置为圆筒形、或正多边柱形，与自重配重块3、上滑竿4、外壳内挡板5、测试内芯装置6、下滑竿装置9五者同轴心线设置；自重配重块3设置为圆形、正多边形的金属、或铁块。
下滑竿装置9内设置的四根测试探针套管11均布为一排、或者矩形；测试探针套管11下端对应设置圆滑探针针头8。
圆滑探针针头8采用球形镀金，直径Ф设置为0.7mm，相邻的圆滑探针针头8之间的距离S设置为0.5mm±0.01mm。
底座支撑防滑装置7以手持式探头测试装置外壳2的轴心线为中心，对称设置至少三个。
实施例2：
如图所示，一种氧化铟锡膜手持式探头测试的方法，具体的方法步骤依次如下：首先，开启电阻测试仪装置1，准备好氧化铟锡膜的被测试方块样本，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的底座支撑防滑装置7放置于准备好的氧化铟锡膜的被测试方块样本上；
同时，手持式探头测试装置外壳2内的自重配重块3由自身的重力作用在上滑竿4上，使上滑竿4通过外壳内挡板5定向压下测试内芯装置6向下滑动，继而测试内芯装置6推动下滑竿装置9向下滑动，下滑竿装置9内的圆滑探针针头8与测试探针套管11同步向下移动；当圆滑探针针头8与氧化铟锡膜的被测试方块样本接触，接触点接受到稳定压力，使圆滑探针针头8合力为4±1N牛顿，反作用于测试探针套管11内S型悬臂式弹簧12上，且向上移动伸入测试探针套管11内，相邻的圆滑探针针头8之间的距离S设置为0.5mm±0.01mm，使圆滑探针针头8的间距相对偏差≤1.0％，探针游移率≤0.3mm，探针弧度为π/2；
接着，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的四根圆滑探针针头8中，靠外边两根探针由稳压电源供电，经过串联的电流表测出：在被测氧化铟锡膜的被测试方块样本扩散薄层中通过一定量的电流I；中间两根探针测定出两根探针之间的电位差V，继而由电阻测试仪装置1测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs＝V/I；
当氧化铟锡膜的被测试方块样本的尺寸大于圆滑探针针头8的间距S，达到3倍以上时，方块电阻可以表示为Rs＝C(V/I)，式中C为修正因子，其数值由被测样品的长L、宽a、厚b尺寸和探针间距决定；
然后，测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs，及其电阻率：ρ“电阻率单位为Rho”＝电阻R*截面面积A/长度L。
实施例3：
如图所示，一种氧化铟锡膜手持式探头测试的方法，具体的方法步骤依次如下：首先，开启电阻测试仪装置1，准备好氧化铟锡膜的被测试方块样本，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的底座支撑防滑装置7放置于准备好的氧化铟锡膜的被测试方块样本上；
同时，手持式探头测试装置外壳2内的自重配重块3由自身的重力作用在上滑竿4上，使上滑竿4通过外壳内挡板5定向压下测试内芯装置6向下滑动，继而测试内芯装置6推动下滑竿装置9向下滑动，下滑竿装置9内的圆滑探针针头8与测试探针套管11同步向下移动；当圆滑探针针头8与氧化铟锡膜的被测试方块样本接触，接触点接受到稳定压力，使圆滑探针针头8合力为4+1N牛顿，反作用于测试探针套管11内S型悬臂式弹簧12上，且向上移动伸入测试探针套管11内，相邻的圆滑探针针头8之间的距离S设置为0.5mm+0.01mm，使圆滑探针针头8的间距相对偏差1.0％，探针游移率0.3mm，探针弧度为π/2；
接着，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的四根圆滑探针针头8中，靠外边两根探针由稳压电源供电，经过串联的电流表测出：在被测氧化铟锡膜的被测试方块样本扩散薄层中通过一定量的电流I；中间两根探针测定出两根探针之间的电位差V，继而由电阻测试仪装置1测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs＝V/I；
当氧化铟锡膜的被测试方块样本的尺寸大于圆滑探针针头8的间距S时，达到10倍时，方块电阻可以表示为Rs＝C(V/I)，式中C为修正因子，其数值由被测样品的长L、宽a、厚b尺寸和探针间距决定；
然后，测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs，及其电阻率：ρ“电阻率单位为Rho”＝电阻R*截面面积A/长度L。
实施例4：
如图所示，一种氧化铟锡膜手持式探头测试的方法，其特征在于：具体的方法步骤依次如下：首先，开启电阻测试仪装置1，准备好氧化铟锡膜的被测试方块样本，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的底座支撑防滑装置7放置于准备好的氧化铟锡膜的被测试方块样本上；
同时，手持式探头测试装置外壳2内的自重配重块3由自身的重力作用在上滑竿4上，使上滑竿4通过外壳内挡板5定向压下测试内芯装置6向下滑动，继而测试内芯装置6推动下滑竿装置9向下滑动，下滑竿装置9内的圆滑探针针头8与测试探针套管11同步向下移动；当圆滑探针针头8与氧化铟锡膜的被测试方块样本接触，接触点接受到稳定压力，使圆滑探针针头8合力为4-1N牛顿，反作用于测试探针套管11内S型悬臂式弹簧12上，且向上移动伸入测试探针套管11内，相邻的圆滑探针针头8之间的距离S设置为0.5mm-0.01mm，使圆滑探针针头8的间距相对偏差0.5％，探针游移率0.1mm，探针弧度为π/2；
接着，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的四根圆滑探针针头8中，靠外边两根探针由稳压电源供电，经过串联的电流表测出：在被测氧化铟锡膜的被测试方块样本扩散薄层中通过一定量的电流I；中间两根探针测定出两根探针之间的电位差V，继而由电阻测试仪装置1测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs＝V/I；
当氧化铟锡膜的被测试方块样本的尺寸大于圆滑探针针头8的间距S时，达到3倍时，方块电阻可以表示为Rs＝C(V/I)，式中C为修正因子，其数值由被测样品的长L、宽a、厚b尺寸和探针间距决定；
然后，测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs，及其电阻率：ρ“电阻率单位为Rho”＝电阻R*截面面积A/长度L。
实施例5：
如图所示，一种氧化铟锡膜手持式探头测试的方法，其特征在于：具体的方法步骤依次如下：首先，开启电阻测试仪装置1，准备好氧化铟锡膜的被测试方块样本，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的底座支撑防滑装置7放置于准备好的氧化铟锡膜的被测试方块样本上；
同时，手持式探头测试装置外壳2内的自重配重块3由自身的重力作用在上滑竿4上，使上滑竿4通过外壳内挡板5定向压下测试内芯装置6向下滑动，继而测试内芯装置6推动下滑竿装置9向下滑动，下滑竿装置9内的圆滑探针针头8与测试探针套管11同步向下移动；当圆滑探针针头8与氧化铟锡膜的被测试方块样本接触，接触点接受到稳定压力，使圆滑探针针头8合力为4N牛顿，反作用于测试探针套管11内S型悬臂式弹簧12上，且向上移动伸入测试探针套管11内，相邻的圆滑探针针头8之间的距离S设置为0.5mm，使圆滑探针针头8的间距相对偏差0.75％，探针游移率0.2mm，探针弧度为π/2；
接着，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的四根圆滑探针针头8中，靠外边两根探针由稳压电源供电，经过串联的电流表测出：在被测氧化铟锡膜的被测试方块样本扩散薄层中通过一定量的电流I；中间两根探针测定出两根探针之间的电位差V，继而由电阻测试仪装置1测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs＝V/I；
当氧化铟锡膜的被测试方块样本的尺寸大于圆滑探针针头8的间距S时，达到5倍时，方块电阻可以表示为Rs＝C(V/I)，式中C为修正因子，其数值由被测样品的长L、宽a、厚b尺寸和探针间距决定；
然后，测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs，及其电阻率：ρ“电阻率单位为Rho”＝电阻R*截面面积A/长度L。
Claims (10)
1.一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置，是由：电阻测试仪装置(1)，手持式探头测试装置外壳(2)，自重配重块(3)，上滑竿(4)，外壳内挡板(5)，测试内芯装置(6)，底座支撑防滑装置(7)，圆滑探针针头(8)，下滑竿装置(9)，导线(10)，测试探针套管(11)，S型悬臂式弹簧(12)构成；其特征在于：氧化铟锡膜上方设置底座支撑防滑装置(7)，底座支撑防滑装置(7)上方设置手持式探头测试装置外壳(2)；底座支撑防滑装置(7)与手持式探头测试装置外壳(2)之间的中部预留孔，孔中设置下滑竿装置(9)；
下滑竿装置(9)内设置至少四根测试探针套管(11)，测试探针套管(11)内设置S型悬臂式弹簧(12)；S型悬臂式弹簧(12)的上端设置导线(10)，下端设置圆滑探针针头(8)，圆滑探针针头(8)设置于测试探针套管(11)内的下部；导线(10)的另一端通过手持式探头测试装置外壳(2)设置于电阻测试仪装置(1)的一侧。
2.根据权利要求1所述的一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置，其特征在于：手持式探头测试装置外壳(2)内的上部设置外壳内挡板(5)，外壳内挡板(5)中部预留孔，孔中设置上滑竿(4)；上滑竿(4)的上端设置自重配重块(3)，下端设置测试内芯装置(6)；下滑竿装置(9)设置于测试内芯装置(6)下部，测试内芯装置(6)内设置导线(10)。
3.根据权利要求1、或2所述的一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置，其特征在于：手持式探头测试装置外壳(2)设置为圆筒形、或正多边柱形，与自重配重块(3)、上滑竿(4)、外壳内挡板(5)、测试内芯装置(6)、下滑竿装置(9)五者同轴心线设置；自重配重块(3)设置为圆形、正多边形的金属、或铁块。
4.根据权利要求1所述的一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置，其特征在于：下滑竿装置(9)内设置的四根测试探针套管(11)均布为一排、或者矩形；测试探针套管(11)下端对应设置圆滑探针针头(8)。
5.根据权利要求4所述的一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置，其特征在于：圆滑探针针头(8)采用球形镀金，直径Ф设置为0.7mm，相邻的圆滑探针针头(8)之间的距离S设置为0.5mm±0.01mm。
6.根据权利要求1所述的一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置，其特征在于：底座支撑防滑装置(7)以手持式探头测试装置外壳(2)的轴心线为中心，对称设置至少三个。
7.一种氧化铟锡膜手持式探头测试的方法，其特征在于：具体的方法步骤依次如下：首先，开启电阻测试仪装置(1)，准备好氧化铟锡膜的被测试方块样本，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的底座支撑防滑装置(7)放置于准备好的氧化铟锡膜的被测试方块样本上；
同时，手持式探头测试装置外壳(2)内的自重配重块(3)由自身的重力作用在上滑竿(4)上，使上滑竿(4)通过外壳内挡板(5)定向压下测试内芯装置(6)向下滑动，继而测试内芯装置(6)推动下滑竿装置(9)向下滑动，下滑竿装置(9)内的圆滑探针针头(8)与测试探针套管(11)同步向下移动；当圆滑探针针头(8)与氧化铟锡膜的被测试方块样本接触，接触点接受到稳定压力，使圆滑探针针头(8)合力为4±1N牛顿，反作用于测试探针套管(11)内S型悬臂式弹簧(12)上，且向上移动伸入测试探针套管(11)内，相邻的圆滑探针针头(8)之间的距离S设置为0.5mm±0.01mm，使圆滑探针针头(8)的间距相对偏差≤1.0％，探针游移率≤0.3mm，探针弧度为π/2；
接着，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的四根圆滑探针针头(8)中，靠外边两根探针由稳压电源供电，经过串联的电流表测出：在被测氧化铟锡膜的被测试方块样本扩散薄层中通过一定量的电流I；中间两根探针测定出两根探针之间的电位差V，继而由电阻测试仪装置(1)测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs＝V/I；
当氧化铟锡膜的被测试方块样本的尺寸大于圆滑探针针头(8)的间距S，达到3倍以上时，方块电阻可以表示为Rs＝C(V/I)，式中C为修正因子，其数值由被测样品的长L、宽a、厚b尺寸和探针间距决定；
然后，测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs，及其电阻率：ρ“电阻率单位为Rho”＝电阻R*截面面积A/长度L。
8.根据权利要求7所述的一种氧化铟锡膜手持式探头测试的方法，其特征在于：具体的方法步骤依次如下：首先，开启电阻测试仪装置(1)，准备好氧化铟锡膜的被测试方块样本，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的底座支撑防滑装置(7)放置于准备好的氧化铟锡膜的被测试方块样本上；
同时，手持式探头测试装置外壳(2)内的自重配重块(3)由自身的重力作用在上滑竿(4)上，使上滑竿(4)通过外壳内挡板(5)定向压下测试内芯装置(6)向下滑动，继而测试内芯装置(6)推动下滑竿装置(9)向下滑动，下滑竿装置(9)内的圆滑探针针头(8)与测试探针套管(11)同步向下移动；当圆滑探针针头(8)与氧化铟锡膜的被测试方块样本接触，接触点接受到稳定压力，使圆滑探针针头(8)合力为4+1N牛顿，反作用于测试探针套管(11)内S型悬臂式弹簧(12)上，且向上移动伸入测试探针套管(11)内，相邻的圆滑探针针头(8)之间的距离S设置为0.5mm+0.01mm，使圆滑探针针头(8)的间距相对偏差1.0％，探针游移率0.3mm，探针弧度为π/2；
接着，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的四根圆滑探针针头(8)中，靠外边两根探针由稳压电源供电，经过串联的电流表测出：在被测氧化铟锡膜的被测试方块样本扩散薄层中通过一定量的电流I；中间两根探针测定出两根探针之间的电位差V，继而由电阻测试仪装置(1)测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs＝V/I；
当氧化铟锡膜的被测试方块样本的尺寸大于圆滑探针针头(8)的间距S时，达到10倍时，方块电阻可以表示为Rs＝C(V/I)，式中C为修正因子，其数值由被测样品的长L、宽a、厚b尺寸和探针间距决定；
然后，测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs，及其电阻率：ρ“电阻率单位为Rho”＝电阻R*截面面积A/长度L。
9.根据权利要求7所述的一种氧化铟锡膜手持式探头测试的方法，其特征在于：具体的方法步骤依次如下：首先，开启电阻测试仪装置(1)，准备好氧化铟锡膜的被测试方块样本，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的底座支撑防滑装置(7)放置于准备好的氧化铟锡膜的被测试方块样本上；
同时，手持式探头测试装置外壳(2)内的自重配重块(3)由自身的重力作用在上滑竿(4)上，使上滑竿(4)通过外壳内挡板(5)定向压下测试内芯装置(6)向下滑动，继而测试内芯装置(6)推动下滑竿装置(9)向下滑动，下滑竿装置(9)内的圆滑探针针头(8)与测试探针套管(11)同步向下移动；当圆滑探针针头(8)与氧化铟锡膜的被测试方块样本接触，接触点接受到稳定压力，使圆滑探针针头(8)合力为4-1N牛顿，反作用于测试探针套管(11)内S型悬臂式弹簧(12)上，且向上移动伸入测试探针套管(11)内，相邻的圆滑探针针头(8)之间的距离S设置为0.5mm-0.01mm，使圆滑探针针头(8)的间距相对偏差0.5％，探针游移率0.1mm，探针弧度为π/2；
接着，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的四根圆滑探针针头(8)中，靠外边两根探针由稳压电源供电，经过串联的电流表测出：在被测氧化铟锡膜的被测试方块样本扩散薄层中通过一定量的电流I；中间两根探针测定出两根探针之间的电位差V，继而由电阻测试仪装置(1)测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs＝V/I；
当氧化铟锡膜的被测试方块样本的尺寸大于圆滑探针针头(8)的间距S时，达到3倍时，方块电阻可以表示为Rs＝C(V/I)，式中C为修正因子，其数值由被测样品的长L、宽a、厚b尺寸和探针间距决定；
然后，测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs，及其电阻率：ρ“电阻率单位为Rho”＝电阻R*截面面积A/长度L。
10.根据权利要求7所述的一种氧化铟锡膜手持式探头测试的方法，其特征在于：具体的方法步骤依次如下：首先，开启电阻测试仪装置(1)，准备好氧化铟锡膜的被测试方块样本，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的底座支撑防滑装置(7)放置于准备好的氧化铟锡膜的被测试方块样本上；
同时，手持式探头测试装置外壳(2)内的自重配重块(3)由自身的重力作用在上滑竿(4)上，使上滑竿(4)通过外壳内挡板(5)定向压下测试内芯装置(6)向下滑动，继而测试内芯装置(6)推动下滑竿装置(9)向下滑动，下滑竿装置(9)内的圆滑探针针头(8)与测试探针套管(11)同步向下移动；当圆滑探针针头(8)与氧化铟锡膜的被测试方块样本接触，接触点接受到稳定压力，使圆滑探针针头(8)合力为4N牛顿，反作用于测试探针套管(11)内S型悬臂式弹簧(12)上，且向上移动伸入测试探针套管(11)内，相邻的圆滑探针针头(8)之间的距离S设置为0.5mm，使圆滑探针针头(8)的间距相对偏差0.75％，探针游移率0.2mm，探针弧度为π/2；
接着，将一种氧化铟锡膜手持式探头测试装置的四根圆滑探针针头(8)中，靠外边两根探针由稳压电源供电，经过串联的电流表测出：在被测氧化铟锡膜的被测试方块样本扩散薄层中通过一定量的电流I；中间两根探针测定出两根探针之间的电位差V，继而由电阻测试仪装置(1)测出氧化铟锡膜的被测试方块样本的方块电阻Rs＝V/I；
当氧化铟锡膜的被测试方块样本的尺寸大于圆滑探针针头(8)的间距S时，达到5倍时，方块电阻可以表示为Rs＝C(V/I)，式中C为修正因子，其数值由被测样品的长L、宽a、厚b尺寸和探针间距决定；
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