CN104357802A - 一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及立式真空镀膜设备领域，具体涉及一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头。它包括底座，底座中部设有第一通孔，底座的底部设有与底座相连接的用于引导液体的引液组件，底座的顶部设有用于安装靶桶的下端盖，所述下端盖中部设有第二通孔，引液组件的头端穿过所述第一通孔和第二通孔，下端盖与底座之间设有套在所述引液组件上用于转动的转动组件，所述转动组件上还设有用于密封所述转动组件的密封组件。本发明通过双轴承配合同步轮的超薄端头结构,既满足使用要求，又节约腔体空间，在制造真空设备室能节约了材料使用，降低设备成本，同时压缩了真空室空间，等于加大了真空泵的抽速.并且由于厚度比较薄还可适用于旧的真空设备改造。
Description
技术领域
本发明涉及立式真空镀膜设备领域，具体涉及一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头。
背景技术
目前的大型真空溅射镀膜线及单体机都开始采用旋转靶代替原来的平面阴极，旋转阴极相比老旧的平面阴极具有如下优点：首先靶材利用率高 最高可达90%，（平面阴极25%-35%），其次是试用周期长，可延长生产时间，并且工艺稳定性高。现有的旋转阴极端头中端头的高度一般高的达到200mm以上，最低的也在100mm以上，这样的高度在制造新的真空设备室可以将真空室设计高一些，来和旋转阴极相匹配，但是这无疑增加了设备成本。尤其是对以前老的真空设备的平面靶改造时，由于老设备没有给端头预留空间，无法改进，进而使得老设备无法被重新利用起来。
发明内容
本发明的目的是提供一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头来解决现有技术中旋转阴极端头的高度过高导致的现有真空设备需要将真空室设计高一些，来和旋转阴极相匹配，从而达到的增加设备成本，以及老设备无法匹配旋转阴极端头的问题。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头，包括底座，所述底座中部设有第一通孔，所述底座的底部设有与底座相连接的用于引导液体的引液组件，所述底座的顶部设有用于安装靶桶的下端盖，所述下端盖中部设有第二通孔，所述引液组件的头端穿过所述第一通孔和第二通孔，所述下端盖与底座之间设有套在所述引液组件上用于转动的转动组件，所述转动组件上还设有用于密封所述转动组件的密封组件。
在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。
进一步，所述转动组件包括位于下端盖与底座之间用于驱动下端盖转动的同步轮，所述同步轮与下端盖之间设有第二轴承，所述同步轮与底座之间设有第一轴承，所述同步轮与下端盖相连接；
进一步，所述密封组件包括设于第二轴承上的轴套，所述轴套与底座之间设有用于轴套与底座之间密封的第一氟化物密封圈；
进一步，所述密封组件还包括设置于下端盖上的第二氟化物密封圈，所述引液组件与底座之间设有第三氟化物密封圈；
进一步，所述密封组件还包括设于第二轴承与下端盖之间用于密封真空的第一轴封，所述密封组件还包括设于第一轴封与下端盖之间设有用于第一轴封限位、气封和引电的无油轴承；
进一步，所述密封组件还包括设于下端盖的通孔内且套在引液组件端头上的用于封液体的第二轴封，所述第二轴封与下端盖通孔之间还设有用于第二轴封限位的卡簧；
进一步，所述轴套与底座之间通过螺栓连接，所述同步轮与下端盖通过螺栓连接；
进一步，所述引液组件包括用于与底座相连接的壳体，所述壳体内设有液流通道，所述端头上设有与液流通道连通的出液孔和进液孔，所述液流通道的进液端和出液端设有位于底座的一侧的引液管；
进一步，所述引液管上还连接有液嘴，所述引液管为铜管，所述引液组件与底座之间通过螺栓连接；
进一步，所述转动组件上还连接有通过齿轮或皮带驱动所述转动组件转动的驱动组件。
本发明的有益效果是：本发明通过双轴承配合同步轮的超薄端头结构,既满足使用要求，又节约腔体空间，在制造真空设备室能节约了材料使用，降低设备成本，同时压缩了真空室空间，等于加大了真空泵的抽速. 并且由于厚度比较薄还可适用于旧的真空设备改造，能使旧设备结合新技术从而增强设备生命力，采用轴封具有化学稳定性高，耐磨性好，密封性能比橡胶轴封更优良的效果，轴承采用不锈钢滚珠轴承，引液体座采用内部导液体方法，传动采用同步轮传动，所有静密封采用耐温在200度左右的氟橡胶圈，采用此种结构使端头的高度降低，并且端头的优点在于结构紧凑，维护方便，维护周期较长。
附图说明
图1是本发明阴极端头结构示意图；
图2为本发明阴极端头结构外观图；
图3为本发明阴极端头结构爆炸图；
图4是本发明阴极端头的实施例图。
附图中，各标号所代表的部件如下：
1、底座，11、第一通孔，2、转动组件，21、同步轮，22、第一轴承，23、第二轴承，3、引液组件，31、头端，32、壳体，33、引液管，34、液嘴，35、出液孔，36、进液孔，4、下端盖，41、第二通孔，5、密封组件，51、轴套，52、第一氟化物密封圈，53、第一轴封，54、无油轴承，55、第二氟化物密封圈，56、第二轴封，57、卡簧，58、第三氟化物密封圈，6、驱动电机，7、同步带，8、真空室门，9、靶桶，91、磁性组件，92、靶桶液管。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
图1和图2分别是本发明阴极端头结构和外观示意图；包括底座1，所述底座中部设有第一通孔11，所述底座的底部设有与底座相连接的用于引导液体的引液组件3，所述底座的顶部设有用于安装靶桶9的下端盖4，所述下端盖中部设有第二通孔41，所述引液组件的头端31穿过所述第一通孔和第二通孔，所述下端盖与底座之间设有套在所述引液组件上用于转动的转动组件2，所述转动组件上还设有用于密封所述转动组件的密封组件5。所述转动组件包括位于下端盖与底座之间用于驱动下端盖转动的同步轮21，所述同步轮与下端盖之间设有第二轴承23，所述同步轮与底座之间设有第一轴承22，所述同步轮与下端盖相连接。
图3为本发明阴极端头结构爆炸图；所述密封组件包括设于第二轴承上的轴套51，所述轴套与底座之间设有用于轴套与底座之间密封的第一氟化物密封圈52；所述密封组件还包括设置于下端盖上的第二氟化物密封圈55，所述引液组件与底座之间设有第三氟化物密封圈58；所述密封组件还包括设于第二轴承与下端盖之间用于密封真空的第一轴封53，所述密封组件还包括设于第一轴封与下端盖之间设有用于第一轴封限位、气封和引电的无油轴承54；所述密封组件还包括设于下端盖的通孔内且套在引液组件端头上的用于封液体的第二轴封56，所述第二轴封与下端盖通孔之间还设有用于第二轴封限位的卡簧57；所述轴套与底座之间通过螺栓连接，所述同步轮与下端盖通过螺栓连接。
所述引液组件包括用于与底座相连接的壳体32，所述壳体内设有液流通道，所述端头上设有与液流通道连通的出液孔35和进液孔36，所述液流通道的进液端和出液端设有位于底座的一侧的引液管33；所述引液管上还连接有液嘴34，所述引液管为铜管，所述引液组件与底座之间通过螺栓连接；所述转动组件上还连接有通过齿轮或皮带驱动所述转动组件转动的驱动组件。
本发明通过双轴承配合同步轮的超薄端头结构,既满足使用要求，又节约腔体空间，在制造真空设备室能节约了材料使用，降低设备成本，同时压缩了真空室空间，等于加大了真空泵的抽速. 并且由于厚度比较薄还可适用于旧的真空设备改造，能使旧设备结合本发明阴极端头从而增强设备生命力，采用轴封具有化学稳定性高，耐磨性好，密封性能比橡胶轴封更优良的效果，轴承采用不锈钢滚珠轴承，引液体座采用内部导液体方法，本发明中由内径为8mm至16mm铜管引出，传动采用同步轮传动，所有静密封采用耐温在200度左右的氟橡胶圈，靶管采用标准133mm直径.功率密度最大可达20W/cm2，靶材最高可达1200mm，进液体口压力0.4MPa，采用此种结构使阴极端头的高度降低到60mm以下，且阴极端头结构紧凑,维护方便.维护周期在1年以上。该第一轴封和第二轴封也采用氟化物材料。
图4是本发明阴极端头的实施例图；本发明的优选实施例中驱动组件为驱动电机，所述驱动电机通过同步带驱动同步轮，驱动电机与阴极端头被真空室门隔开，所述阴极端头上的下端盖上卡接有靶桶，所述靶桶内设有磁性组件和靶桶液管，阴极端头的高度为57mm，12mm的铜管，液体采用水，水流从进液端进入液流通道，从端头的出液孔进入靶桶液管，在靶桶液管内完成循环后从端头的进液孔进入液流通道，并处出液端留出，完成一次水的循环。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头，其特征在于：包括底座，所述底座中部设有第一通孔，所述底座的底部设有与底座相连接的用于引导液体的引液组件，所述底座的顶部设有用于安装靶桶的下端盖，所述下端盖中部设有第二通孔，所述引液组件的头端穿过所述第一通孔和第二通孔，所述下端盖与底座之间设有套在所述引液组件上用于转动的转动组件，所述转动组件上还设有采用轴封密封所述转动组件的密封组件。
2.根据权利要求1所述的一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头，其特征在于：所述转动组件包括位于下端盖与底座之间用于驱动下端盖转动的同步轮，所述同步轮与下端盖之间设有第二轴承，所述同步轮与底座之间设有第一轴承，所述同步轮与下端盖相连接。
3.根据权利要求2所述的一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头，其特征在于：所述密封组件包括设于第二轴承上的轴套，所述轴套与底座之间设有用于轴套与底座之间密封的第一氟化物密封圈。
4.根据权利要求3所述的一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头，其特征在于：所述密封组件还包括设置于下端盖上的第二氟化物密封圈，所述引液组件与底座之间设有第三氟化物密封圈。
5.根据权利要求4所述的一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头，其特征在于：所述密封组件还包括设于第二轴承与下端盖之间用于密封真空的第一轴封，密封组件还包括设于第一轴封与下端盖之间设有用于第一轴封限位、气封和引电的无油轴承。
6.根据权利要求5所述的一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头，其特征在于：所述密封组件还包括设于下端盖的通孔内且套在引液组件端头上的用于封液体的第二轴封，所述第二轴封与下端盖通孔之间还设有用于第二轴封限位的卡簧。
7.根据权利要求6所述的一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头，其特征在于：所述轴套与底座之间通过螺栓连接，所述同步轮与下端盖通过螺栓连接。
8.根据权利要求1所述的一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头，其特征在于：所述引液组件包括用于与底座相连接的壳体，所述壳体内设有液流通道，所述端头上设有与液流通道连通的出液孔和进液孔，所述液流通道的进液端和出液端设有位于底座的一侧的引液管。
9.根据权利要求8所述的一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头，其特征在于：所述引液管上还连接有液嘴，所述引液管为铜管，所述引液组件与底座之间通过螺栓连接。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头，其特征在于：所述转动组件上还连接有通过齿轮或皮带驱动所述转动组件转动的驱动组件。
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Effective date of registration: 20200904 Address after: 523000 Second Floor, Building B, 99 Jinghai West Road, Shatou Community, Chang'an Town, Dongguan City, Guangdong Province Patentee after: GUANGDONG TISNAWELL NEW MATERIAL TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: Longgang District of Shenzhen City, Guangdong province 518000 Baolong Avenue Baoqing Lu Hua Feng Digital Technology Park 7 Patentee before: Shao Haiping |
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Denomination of invention: A fluoride shaft seal ultra thin rotating cathode end Effective date of registration: 20220525 Granted publication date: 20170315 Pledgee: Industrial and Commercial Bank of China Limited Dongguan Chang'an sub branch Pledgor: GUANGDONG TISNAWELL NEW MATERIAL TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2022980006390 |