CN104329470B - 一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门 - Google Patents

Abstract

本发明公开了电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，包括：基座，所述基座具有待密封封口，且具有第一腔室及第二腔室；具有前后伸缩部件的动力源装置；滑动装置；封闭装置等;本发明采用开合结构，通过开合来实现静态和动态真空，并且开启时，进气量很小，满足检测需要。同时此结构简单，可通过软件控制，运动顺畅，更适合于仪器整体化设计，装配简单，智能化程度高，满足高真空要求等。

Description

一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门

技术领域

本发明涉及质谱仪设备领域，具体来说，涉及一种电感耦合等离子体质谱仪的真空阀门。

背景技术

电感耦合等离子质谱仪工作时真腔室体必须保证在高真空(10^-7)环境下才能正常工作，因为等离子要在电场、磁场或电磁场中飞行一定的时间和空间，如果在这些时间和空间中存在大量的气体势必会使离子很快淬灭而达不到检测器。所以为了减少离子与背景气体的碰撞淬灭要抽真空使背景气体分子数量大大减少，以维持足够的离子平均自由程。而国内现有的真空阀门技术(如图3所示)具有高真空不能满足，智能化程度不高，结构复杂，不适合用于仪器整体化设计等缺点。

发明内容

有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本发明提供了一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，包括：

基座，所述基座具有待密封封口，且具有第一腔室及第二腔室，所述第一腔室一端具有与外界相通的通孔，另一端与所述第二腔室一端联通，所述第二腔室后端与所述待密封封口相通，所述第一腔室与第二腔室及上述带密封封口形成具有前后相通的腔室；

提供前后移动动作的动力源装置，包括跟随所述动力源前后运动的伸缩部件，所述动力源装置安装在基座外部；

滑动装置，所述滑动装置置于所述第一腔室内，一端伸出所述第一腔室外与所述伸缩部件相联，跟随所述伸缩前后运动；

封闭装置，包括密封圈、密封部件、梯形底座，所述密封部件顶部由容纳所述密封圈的容纳槽，所述容纳槽的深度小于所述密封圈横截面直径的三分之二，大于所述密封圈横截面直径的三分之一，所述密封部件形状与所述待密封封口形状大小一致，所述密封部件置于一端与所述滑动装置相联，另一端安装有滚轮，所述滚轮与所述梯形底座为滚动接触。

所述伸缩部件进行前后运动带动所述滑动装置在腔室内进行前后滑动，进而带动所述封闭装置进行前后运动，由于所述封闭装置的后端具有所述滚轮，所述滚轮在所述梯形底座上进行滚动，带动所述封闭装置进行上下的升降运动，进而挤压所述密封圈，从而对待密封封口进行密封；同时，本发明所使用的动力源装置也完全可以使用CPU等芯片进行控制，可以实现自动化，进而提升操作的便捷性和提高使用效率。

根据本发明背景技术中对现有技术所述，而国内现有的真空阀门技术具有高真空不能满足，智能化程度不高，结构复杂，不适合用于仪器整体化设计等缺点；而本发明提供的电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，采用开合结构，通过开合来实现静态和动态真空，并且开启时，进气量很小，满足检测需要。同时此结构简单，可通过软件控制，运动顺畅，更适合于仪器整体化设计，装配简单，智能化程度高，满足高真空要求等。

另外，根据本发明公开的电感耦合等离子体质谱仪真空阀门还具有如下附加技术特征：

进一步地，所述动力源装置为气缸，所述伸缩部件为活塞连杆。

可选地，所述动力源装置为直线马达，所述伸缩部件为所述直线马达上直线运动部件。

进一步地，所述滑动装置处于通孔的一端密闭安装，进行密闭安装可以进一步减少腔室和外界的物质交换，一方面能够保证腔室的洁净，另一方面可以更有效的保持真空系统的真空状态。

进一步地，所述滑动装置还包括，主滑动轴，所述主滑动轴前端与所述伸缩部件联接并跟随其进行前后滑动；

联接件，所述主滑动轴的后端与所述联接件的前端联接，所述联接件的后端与所述密封部件前端联接；

所述主滑动轴、所述联接件、所述密封部件三者形成三连杆机构。

进一步地，所述滑动装置和所述伸缩部件为同向安装。

所述滑动装置和所述伸缩部件的同向安装指的是，当伸缩部件向后伸出时，则所述滑动装置也向后伸出，当伸缩部件收回时，则所述滑动装置也向内收回，如此可以保证装置在整体上不必过长，进而方便整体设备的安装以及节省长度上的空间。

进一步地，所述电感耦合等离子体质谱仪真空阀门还包括左右滑动杆，所述左右滑动杆与所述密封部件的左右两侧相联，所述左右滑动杆与所述密封部件联接部位有第一滑动槽和第二滑动槽。所述密封部件在所述左右滑动杆上的所述滑动槽进行前后运动。

更进一步地，所述第一滑动槽和所述第二滑动槽均包括前后槽，所述前槽为横槽，所述后槽为向上倾斜槽。

左右滑动杆的存在，使得所述密封部件能够运行的更加平稳，滑动槽的结构使得所述密封部件可以升起。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1本发明一个实施例的3D示意图；

图2本发明一个实施例具有剖面的正视图；

图3本发明一个实施例具有剖面的侧视图；

图4图2中A区域放大示意图；

图5图2中B区域放大示意图;

图6本发明滑动槽示意图。

其中，1.气缸、 2.主滑动轴、3.第一联接件、 4. 第二联接件、5.密封圈、6.密封部件、7.滚轮、8.腔体前盖轴、9.梯形底座、10.滑动轴套、11.密封圈、12.右滑动轴、13.左滑动轴、14.密封圈、15.泵接口腔、16.低真腔室体、 A. 局部待放大区域、B.局部待放大区域。

具体实施方式

下面描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面将参照附图来描述本发明的电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，其中图1本发明一个实施例的3D示意图；图2本发明一个实施例具有剖面的正视图；图3本发明一个实施例具有剖面的侧视图，图4图2中A区域放大示意图；图5图2中B区域放大示意图，图6本发明滑动槽示意图。

根据本发明的实施例，如图1、2所示，本发明提供的电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，包括：

基座17，所述基座具有待密封封口173，且具有第一腔室171及第二腔室172，所述第一腔室171一端具有与外界相通的通孔，另一端与所述第二腔室172一端联通，所述第二腔室172后端与所述待密封封口173相通，所述第一腔室171与第二腔室172及上述带密封封口173形成具有前后相通的腔室；

提供前后移动动作的动力源装置，包括跟随所述动力源前后运动的伸缩部件，所述动力源装置安装在基座17外部；

滑动装置，所述滑动装置置于所述第一腔室171内，一端伸出所述第一腔室外与所述伸缩部件相联，跟随所述伸缩前后运动；

封闭装置，包括密封圈5、密封部件6、梯形底座9，所述密封部件6顶部由容纳所述密封圈5的容纳槽，所述容纳槽的深度小于所述密封圈5横截面直径的三分之二，大于所述密封圈5横截面直径的三分之一，所述密封部件6形状与所述待密封封口173形状大小一致，所述密封部件6置于一端与所述滑动装置相联，另一端安装有滚轮7，所述滚轮7与所述梯形底座9为滚动接触。

根据本发明的一些实施例，所述动力源装置为气缸1，所述伸缩部件为活塞连杆。

根据本发明的一些实施例，所述动力源装置为直线马达，所述伸缩部件为所述直线马达上直线运动部件。

根据本发明的一些实施例，所述滑动装置处于通孔的一端密闭安装。

根据本发明的一些实施例，所述滑动装置还包括主滑动轴2，所述主滑动轴2前端与所述伸缩部件联接并跟随其进行前后滑动；

联接件，所述主滑动轴2的后端与所述联接件的前端联接，所述联接件的后端与所述密封部件前端联接；

所述主滑动轴2、所述联接件、所述密封部件6三者形成三连杆机构。

根据本发明的一些实施例，所述滑动装置和所述伸缩部件为同向安装。

根据本发明的一些实施例，所述电感耦合等离子体质谱仪真空阀门还包括左右滑动杆12、13，所述左右滑动杆12、13与所述密封部件6的左右两侧相联所述左右滑动杆与所述密封部件联接部位有滑动槽。

进一步地，所述滑动槽包括前后槽，所述前槽为横槽，所述后槽为向上倾斜槽。左右滑动杆的存在，使得所述密封部件能够运行的更加平稳，如图6所示。

尽管参照本发明的多个示意性实施例对本发明的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本发明的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，其特征在于，包括：

基座，所述基座具有待密封封口，且具有第一腔室及第二腔室，所述第一腔室一端具有与外界相通的通孔，另一端与所述第二腔室一端联通，所述第二腔室后端与所述待密封封口相通，所述第一腔室与第二腔室及上述待密封封口形成具有前后相通的腔室；

提供前后移动动作的动力源装置，包括跟随所述动力源装置前后运动的伸缩部件，所述动力源装置安装在基座外部；

滑动装置，所述滑动装置置于所述第一腔室和所述第二腔室联通形成的腔室内，一端伸出所述第一腔室外与所述伸缩部件相联，跟随所述伸缩部件前后运动；

封闭装置，包括密封圈、密封部件、梯形底座，所述密封部件顶部由容纳所述密封圈的容纳槽，所述容纳槽的深度小于所述密封圈横截面直径的三分之二，大于所述密封圈横截面直径的三分之一，所述密封部件形状与所述待密封封口形状大小一致，所述密封部件一端与所述滑动装置相联，另一端安装有滚轮，所述滚轮与所述梯形底座为滚动接触；

所述伸缩部件进行前后运动带动所述滑动装置在腔室内进行前后滑动，进而带动所述封闭装置进行前后运动，所述封闭装置的后端具有所述滚轮，所述滚轮在所述梯形底座上进行滚动，带动所述封闭装置进行上下的升降运动，进而挤压所述密封圈，从而对待密封封口进行密封。

2.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，其特征在于，所述动力源装置为气缸，所述伸缩部件为活塞连杆。

3.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，其特征在于，所述动力源装置为直线马达，所述伸缩部件为所述直线马达上直线运动部件。

4.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，其特征在于，所述滑动装置处于所述通孔的一端密闭安装。

5.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，其特征在于，所述滑动装置还包括；

主滑动轴，所述主滑动轴前端与所述伸缩部件联接并跟随其进行前后滑动；

联接件，所述主滑动轴的后端与所述联接件的前端通过销钉联接，所述联接件的后端与所述密封部件前端通过销钉联接；

所述主滑动轴、所述联接件、所述密封部件三者形成三连杆机构。

6.根据权利要求5所述的电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，其特征在于，所述联接件包括第一联接件和第二联接件，所述第一联接件一端与所述主滑动轴相联，另一端与所述第二联接件相联，所述第二联接件的另一端与所述密封部件相联。

7.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，其特征在于，所述滑动装置和所述伸缩部件为同向安装。

8.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，其特征在于，所述电感耦合等离子体质谱仪真空阀门还包括左右滑动杆，所述左右滑动杆与所述密封部件联接部位有滑动槽。

9.根据权利要求8所述的电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，其特征在于，所述滑动槽包括前槽、后槽，所述前槽为横槽，所述后槽为向上倾斜槽。